JPH0875817A - 電圧印加電流測定装置 - Google Patents
電圧印加電流測定装置Info
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- JPH0875817A JPH0875817A JP6230668A JP23066894A JPH0875817A JP H0875817 A JPH0875817 A JP H0875817A JP 6230668 A JP6230668 A JP 6230668A JP 23066894 A JP23066894 A JP 23066894A JP H0875817 A JPH0875817 A JP H0875817A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 開閉器の数、特に大電流用開閉器の数を少な
くし、装置を小型化する。 【構成】 中電流用及び小電流用の電流検出用抵抗器Ｒ
ｍ２及びＲｍ３を、回路のフォースとセンス間に接続し
ている。演算増幅器は、出力に所定の電圧を印加するた
め反転増幅器または非反転増幅器を構成する。また、引
算回路は、大電流用の電流検出用抵抗器の両端の電位差
を検出するものと、中電流用及び小電流用の電流検出用
抵抗器の両端の電位差を検出するものとがある。この構
成では、従来２個使用していた大電流用開閉器がＳ１の
みの１個となり、装置を小型化できる。
くし、装置を小型化する。 【構成】 中電流用及び小電流用の電流検出用抵抗器Ｒ
ｍ２及びＲｍ３を、回路のフォースとセンス間に接続し
ている。演算増幅器は、出力に所定の電圧を印加するた
め反転増幅器または非反転増幅器を構成する。また、引
算回路は、大電流用の電流検出用抵抗器の両端の電位差
を検出するものと、中電流用及び小電流用の電流検出用
抵抗器の両端の電位差を検出するものとがある。この構
成では、従来２個使用していた大電流用開閉器がＳ１の
みの１個となり、装置を小型化できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＩＣ等の被試験デバイ
スの直流特性を測定する電圧印加電流測定装置に関する
ものである。
スの直流特性を測定する電圧印加電流測定装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】図３に従来の電圧印加電流測定機能を持
つ回路の構造を示す。図中１は演算増幅器、２は出力電
圧Ｖｏに所望の電圧を設定するＤ／Ａ変換器、Ｒｍ１、
Ｒｍ２及びＲｍ３は出力に負荷を接続し、所定の電圧を
与えたときに流れる電流を検出する電流検出用抵抗器、
３は出力電圧Ｖｏを演算増幅器１の反転入力端子に抵抗
器Ｒｆを通して負帰還し、Ｄ／Ａ変換器２の出力電圧Ｖ
ｉに対して、Ｖｏ＝−Ｖｉ・Ｒｆ／Ｒｉの出力電圧を発
生させる電圧帰還回路、Ｒｓｆは帰還ループの開放防止
用の抵抗器、４及び５は電流検出用抵抗器の両端の電位
差を検出する引算回路、６は測定した電流値をデジタル
に変換するＡ／Ｄ変換器である。
つ回路の構造を示す。図中１は演算増幅器、２は出力電
圧Ｖｏに所望の電圧を設定するＤ／Ａ変換器、Ｒｍ１、
Ｒｍ２及びＲｍ３は出力に負荷を接続し、所定の電圧を
与えたときに流れる電流を検出する電流検出用抵抗器、
３は出力電圧Ｖｏを演算増幅器１の反転入力端子に抵抗
器Ｒｆを通して負帰還し、Ｄ／Ａ変換器２の出力電圧Ｖ
ｉに対して、Ｖｏ＝−Ｖｉ・Ｒｆ／Ｒｉの出力電圧を発
生させる電圧帰還回路、Ｒｓｆは帰還ループの開放防止
用の抵抗器、４及び５は電流検出用抵抗器の両端の電位
差を検出する引算回路、６は測定した電流値をデジタル
に変換するＡ／Ｄ変換器である。
【０００３】従来の回路において、電流レンジを大電流
とするとき、開閉器Ｓ１、Ｓ２、Ｓ４及びＳａをＯＮ
（閉）とし、Ｓ３及びＳｂをＯＦＦ（開）とする。この
場合、出力電流は、演算増幅器１よりＲｍ１、Ｓ４及び
Ｓ１を経由して出力に接続された負荷に流れる。そし
て、電流測定は、Ｒｍ１両端の電位差を引算回路５で検
出し、Ａ／Ｄ変換器６でデジタルに変換される。
とするとき、開閉器Ｓ１、Ｓ２、Ｓ４及びＳａをＯＮ
（閉）とし、Ｓ３及びＳｂをＯＦＦ（開）とする。この
場合、出力電流は、演算増幅器１よりＲｍ１、Ｓ４及び
Ｓ１を経由して出力に接続された負荷に流れる。そし
て、電流測定は、Ｒｍ１両端の電位差を引算回路５で検
出し、Ａ／Ｄ変換器６でデジタルに変換される。
【０００４】また、電流レンジを中電流とするとき、開
閉器Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３及びＳｂをＯＮとし、Ｓ４及びＳ
ａをＯＦＦとする。この場合、出力電流は、演算増幅器
１よりＲｍ１、並列接続されたＲｍ２及びＲｍ３、及び
Ｓ１を経由して出力に接続された負荷に流れる。そし
て、電流測定は、Ｒｍ２及びＲｍ３両端の電位差を引算
回路４で検出し、Ａ／Ｄ変換器６でデジタルに変換され
る。
閉器Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３及びＳｂをＯＮとし、Ｓ４及びＳ
ａをＯＦＦとする。この場合、出力電流は、演算増幅器
１よりＲｍ１、並列接続されたＲｍ２及びＲｍ３、及び
Ｓ１を経由して出力に接続された負荷に流れる。そし
て、電流測定は、Ｒｍ２及びＲｍ３両端の電位差を引算
回路４で検出し、Ａ／Ｄ変換器６でデジタルに変換され
る。
【０００５】電流レンジを小電流とするときは、開閉器
Ｓ１、Ｓ２及びＳｂをＯＮとし、Ｓ３、Ｓ４及びＳａを
ＯＦＦとする。この場合、出力電流は、演算増幅器１よ
りＲｍ１、Ｒｍ３及びＳ１を経由して出力に接続された
負荷に流れる。そして、電流測定は、Ｒｍ３両端の電位
差を引算回路４で検出し、Ａ／Ｄ変換器６でデジタルに
変換される。
Ｓ１、Ｓ２及びＳｂをＯＮとし、Ｓ３、Ｓ４及びＳａを
ＯＦＦとする。この場合、出力電流は、演算増幅器１よ
りＲｍ１、Ｒｍ３及びＳ１を経由して出力に接続された
負荷に流れる。そして、電流測定は、Ｒｍ３両端の電位
差を引算回路４で検出し、Ａ／Ｄ変換器６でデジタルに
変換される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】以上説明した従来の回
路において、電流レンジを大電流に設定したとき、電流
は開閉器Ｓ１及びＳ４を流れる。このため、この２つの
開閉器については大電流用のものを使用する必要があ
り、装置が大きくなる要因になっている。本発明は、開
閉器の数、特に大電流用開閉器の数を少なくし、装置を
小型化することを目的としている。
路において、電流レンジを大電流に設定したとき、電流
は開閉器Ｓ１及びＳ４を流れる。このため、この２つの
開閉器については大電流用のものを使用する必要があ
り、装置が大きくなる要因になっている。本発明は、開
閉器の数、特に大電流用開閉器の数を少なくし、装置を
小型化することを目的としている。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の電圧印加電流測定装置においては、中電流
用及び小電流用の電流検出用抵抗器Ｒｍ２及びＲｍ３
を、回路のフォースとセンス間に接続している。演算増
幅器は、出力に所定の電圧を印加するため反転増幅器ま
たは非反転増幅器を構成する。また、引算回路は、大電
流用の電流検出用抵抗器の両端の電位差を検出するもの
と、中電流用及び小電流用の電流検出用抵抗器の両端の
電位差を検出するものとがある。
に、本発明の電圧印加電流測定装置においては、中電流
用及び小電流用の電流検出用抵抗器Ｒｍ２及びＲｍ３
を、回路のフォースとセンス間に接続している。演算増
幅器は、出力に所定の電圧を印加するため反転増幅器ま
たは非反転増幅器を構成する。また、引算回路は、大電
流用の電流検出用抵抗器の両端の電位差を検出するもの
と、中電流用及び小電流用の電流検出用抵抗器の両端の
電位差を検出するものとがある。
【０００８】
【作用】上記のように構成された電圧印加電流測定装置
においては、従来２個使用していた大電流用開閉器がＳ
１のみの１個となり、装置を小型化することが可能とな
った。
においては、従来２個使用していた大電流用開閉器がＳ
１のみの１個となり、装置を小型化することが可能とな
った。
【０００９】
（実施例１）図１に本発明の一実施例を示す。図中１は
演算増幅器、２は出力電圧Ｖｏに所望の電圧を設定する
Ｄ／Ａ変換器、Ｒｍ１、Ｒｍ２及びＲｍ３は出力に負荷
を接続し、所定の電圧を与えたときに流れる電流を検出
する電流検出用抵抗器、３は出力電圧Ｖｏを演算増幅器
１の反転入力端子に抵抗器Ｒｆを通して負帰還し、Ｄ／
Ａ変換器２の出力電圧Ｖｉに対して、Ｖｏ＝−Ｖｉ・Ｒ
ｆ／Ｒｉの出力電圧を発生させる電圧帰還回路、Ｒｓｃ
及びＲｆｃはケーブル抵抗、４及び５は電流検出用抵抗
器の両端の電位差を検出する引算回路、６は測定した電
流値をデジタルに変換するＡ／Ｄ変換器である。
演算増幅器、２は出力電圧Ｖｏに所望の電圧を設定する
Ｄ／Ａ変換器、Ｒｍ１、Ｒｍ２及びＲｍ３は出力に負荷
を接続し、所定の電圧を与えたときに流れる電流を検出
する電流検出用抵抗器、３は出力電圧Ｖｏを演算増幅器
１の反転入力端子に抵抗器Ｒｆを通して負帰還し、Ｄ／
Ａ変換器２の出力電圧Ｖｉに対して、Ｖｏ＝−Ｖｉ・Ｒ
ｆ／Ｒｉの出力電圧を発生させる電圧帰還回路、Ｒｓｃ
及びＲｆｃはケーブル抵抗、４及び５は電流検出用抵抗
器の両端の電位差を検出する引算回路、６は測定した電
流値をデジタルに変換するＡ／Ｄ変換器である。
【００１０】この回路において、電流レンジを大電流と
するとき、開閉器Ｓ１、Ｓ２及びＳａをＯＮとし、Ｓ３
及びＳｂをＯＦＦとする。この場合、出力電流は、演算
増幅器１よりＲｍ１、Ｓ１及びＲｆｃを経由して出力に
接続された負荷に流れる。そして、電流測定は、Ｒｍ１
両端の電位差を引算回路５で検出し、Ａ／Ｄ変換器６で
デジタルに変換される。なお、この時、大電流は１個の
開閉器Ｓ１のみを経由するため、従来回路に比べ、１個
減少している。
するとき、開閉器Ｓ１、Ｓ２及びＳａをＯＮとし、Ｓ３
及びＳｂをＯＦＦとする。この場合、出力電流は、演算
増幅器１よりＲｍ１、Ｓ１及びＲｆｃを経由して出力に
接続された負荷に流れる。そして、電流測定は、Ｒｍ１
両端の電位差を引算回路５で検出し、Ａ／Ｄ変換器６で
デジタルに変換される。なお、この時、大電流は１個の
開閉器Ｓ１のみを経由するため、従来回路に比べ、１個
減少している。
【００１１】電流レンジを中電流とするとき、開閉器Ｓ
２、Ｓ３及びＳｂをＯＮとし、Ｓ１及びＳａをＯＦＦと
する。この場合、出力電流は、演算増幅器１よりＲｍ
１、並列接続されたＲｍ２及びＲｍ３、Ｓ２及びＲｓｃ
を経由して出力に接続された負荷に流れる。そして、電
流測定は、Ｒｍ２及びＲｍ３両端の電位差を引算回路４
で検出し、Ａ／Ｄ変換器６でデジタルに変換される。な
お、この時、出力電圧Ｖｏは、出力電流をＩｏとしたと
き、Ｖｏ＝−Ｖｉ・Ｒｆ／Ｒｉ−Ｒｓｃ・Ｉｏとなり、
Ｒｓｃ・Ｉｏの誤差が発生する。しかし、Ｒｓｃが非常
に小さい値であるため、この誤差は無視できる。
２、Ｓ３及びＳｂをＯＮとし、Ｓ１及びＳａをＯＦＦと
する。この場合、出力電流は、演算増幅器１よりＲｍ
１、並列接続されたＲｍ２及びＲｍ３、Ｓ２及びＲｓｃ
を経由して出力に接続された負荷に流れる。そして、電
流測定は、Ｒｍ２及びＲｍ３両端の電位差を引算回路４
で検出し、Ａ／Ｄ変換器６でデジタルに変換される。な
お、この時、出力電圧Ｖｏは、出力電流をＩｏとしたと
き、Ｖｏ＝−Ｖｉ・Ｒｆ／Ｒｉ−Ｒｓｃ・Ｉｏとなり、
Ｒｓｃ・Ｉｏの誤差が発生する。しかし、Ｒｓｃが非常
に小さい値であるため、この誤差は無視できる。
【００１２】電流レンジを小電流とするときは、開閉器
Ｓ２及びＳｂをＯＮとし、Ｓ１、Ｓ３及びＳａをＯＦＦ
とする。この場合、出力電流は、演算増幅器１よりＲｍ
１、Ｒｍ３、Ｓ２及びＲｓｃを経由して出力に接続され
た負荷に流れる。そして、電流測定は、Ｒｍ３両端の電
位差を引算回路４で検出し、Ａ／Ｄ変換器６でデジタル
に変換される。
Ｓ２及びＳｂをＯＮとし、Ｓ１、Ｓ３及びＳａをＯＦＦ
とする。この場合、出力電流は、演算増幅器１よりＲｍ
１、Ｒｍ３、Ｓ２及びＲｓｃを経由して出力に接続され
た負荷に流れる。そして、電流測定は、Ｒｍ３両端の電
位差を引算回路４で検出し、Ａ／Ｄ変換器６でデジタル
に変換される。
【００１３】（実施例２）図２に本発明の別の実施例を
示す。図中１１は演算増幅器、２は出力電圧Ｖｏに所望
の電圧を設定するＤ／Ａ変換器、Ｒｍ１、Ｒｍ２及びＲ
ｍ３は出力に負荷を接続し、所定の電圧を与えたときに
流れる電流を検出する電流検出用抵抗器、１３は出力電
圧Ｖｏを演算増幅器１１の反転入力端子に負帰還し、Ｄ
／Ａ変換器２の出力電圧Ｖｉに対してＶｏ＝Ｖｉの出力
電圧を発生させる電圧帰還回路、Ｒｓｃ及びＲｆｃはケ
ーブル抵抗、４及び５は電流検出用抵抗器の両端の電位
差を検出する引算回路、６は測定した電流値をデジタル
に変換するＡ／Ｄ変換器である。
示す。図中１１は演算増幅器、２は出力電圧Ｖｏに所望
の電圧を設定するＤ／Ａ変換器、Ｒｍ１、Ｒｍ２及びＲ
ｍ３は出力に負荷を接続し、所定の電圧を与えたときに
流れる電流を検出する電流検出用抵抗器、１３は出力電
圧Ｖｏを演算増幅器１１の反転入力端子に負帰還し、Ｄ
／Ａ変換器２の出力電圧Ｖｉに対してＶｏ＝Ｖｉの出力
電圧を発生させる電圧帰還回路、Ｒｓｃ及びＲｆｃはケ
ーブル抵抗、４及び５は電流検出用抵抗器の両端の電位
差を検出する引算回路、６は測定した電流値をデジタル
に変換するＡ／Ｄ変換器である。
【００１４】この回路において、電流レンジを大電流と
するとき、開閉器Ｓ１、Ｓ２及びＳａをＯＮとし、Ｓ３
及びＳｂをＯＦＦとする。この場合、出力電流は、演算
増幅器１１よりＲｍ１、Ｓ１及びＲｆｃを経由して出力
に接続された負荷に流れる。そして、電流測定は、Ｒｍ
１両端の電位差を引算回路５で検出し、Ａ／Ｄ変換器６
でデジタルに変換される。なお、この時、大電流は１個
の開閉器Ｓ１のみを経由するため、従来回路に比べ、１
個減少している。
するとき、開閉器Ｓ１、Ｓ２及びＳａをＯＮとし、Ｓ３
及びＳｂをＯＦＦとする。この場合、出力電流は、演算
増幅器１１よりＲｍ１、Ｓ１及びＲｆｃを経由して出力
に接続された負荷に流れる。そして、電流測定は、Ｒｍ
１両端の電位差を引算回路５で検出し、Ａ／Ｄ変換器６
でデジタルに変換される。なお、この時、大電流は１個
の開閉器Ｓ１のみを経由するため、従来回路に比べ、１
個減少している。
【００１５】電流レンジを中電流とするとき、開閉器Ｓ
２、Ｓ３及びＳｂをＯＮとし、Ｓ１及びＳａをＯＦＦと
する。この場合、出力電流は、演算増幅器１１よりＲｍ
１、並列接続されたＲｍ２及びＲｍ３、Ｓ２及びＲｓｃ
を経由して出力に接続された負荷に流れる。そして、電
流測定は、Ｒｍ２及びＲｍ３両端の電位差を引算回路４
で検出し、Ａ／Ｄ変換器６でデジタルに変換される。な
お、この時、出力電圧Ｖｏは、出力電流をＩｏとしたと
き、Ｖｏ＝Ｖｉ−Ｒｓｃ・Ｉｏとなり、Ｒｓｃ・Ｉｏの
誤差が発生する。しかし、Ｒｓｃが非常に小さい値であ
るため、この誤差は無視できる。
２、Ｓ３及びＳｂをＯＮとし、Ｓ１及びＳａをＯＦＦと
する。この場合、出力電流は、演算増幅器１１よりＲｍ
１、並列接続されたＲｍ２及びＲｍ３、Ｓ２及びＲｓｃ
を経由して出力に接続された負荷に流れる。そして、電
流測定は、Ｒｍ２及びＲｍ３両端の電位差を引算回路４
で検出し、Ａ／Ｄ変換器６でデジタルに変換される。な
お、この時、出力電圧Ｖｏは、出力電流をＩｏとしたと
き、Ｖｏ＝Ｖｉ−Ｒｓｃ・Ｉｏとなり、Ｒｓｃ・Ｉｏの
誤差が発生する。しかし、Ｒｓｃが非常に小さい値であ
るため、この誤差は無視できる。
【００１６】電流レンジを小電流とするときは、開閉器
Ｓ２及びＳｂをＯＮとし、Ｓ１、Ｓ３及びＳａをＯＦＦ
とする。この場合、出力電流は、演算増幅器１１よりＲ
ｍ１、Ｒｍ３、Ｓ２及びＲｓｃを経由して出力に接続さ
れた負荷に流れる。そして、電流測定は、Ｒｍ３両端の
電位差を引算回路４で検出し、Ａ／Ｄ変換器６でデジタ
ルに変換される。
Ｓ２及びＳｂをＯＮとし、Ｓ１、Ｓ３及びＳａをＯＦＦ
とする。この場合、出力電流は、演算増幅器１１よりＲ
ｍ１、Ｒｍ３、Ｓ２及びＲｓｃを経由して出力に接続さ
れた負荷に流れる。そして、電流測定は、Ｒｍ３両端の
電位差を引算回路４で検出し、Ａ／Ｄ変換器６でデジタ
ルに変換される。
【００１７】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、開閉器の数が６個から５個に減少し、特に
大電流用開閉器の数が２個から１個になり、装置を小型
化できる効果がある。
ているので、開閉器の数が６個から５個に減少し、特に
大電流用開閉器の数が２個から１個になり、装置を小型
化できる効果がある。
【図１】本発明の電圧印加電流測定装置の回路ブロック
図である。
図である。
【図２】本発明の別の電圧印加電流測定装置の回路ブロ
ック図である。
ック図である。
【図３】従来の電圧印加電流測定装置の回路ブロック図
である。
である。
１、１１ 演算増幅器 ２ Ｄ／Ａ変換器 ３、１３ 帰還回路 ４、５ 引算回路 ６ Ａ／Ｄ変換器 ２０ フォース ２１ センス
フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ０１Ｒ 19/00 Ｂ
Claims (2)
- 【請求項１】 出力に所定の電圧を印加する反転増幅器
を構成する演算増幅器（１）と、 上記演算増幅器（１）の出力端子と出力間に接続した電
流検出用抵抗器Ｒｍ１と、 回路のフォース（２０）とセンス（２１）間にスイッチ
Ｓ３を通して接続した電流検出用抵抗器Ｒｍ２と、 回路のフォース（２０）とセンス（２１）間に接続した
電流検出用抵抗器Ｒｍ３と、 各電流検出用抵抗器の両端の電位差を検出する引算回路
（４、５）と、 以上を具備することを特徴とする電圧印加電流測定装
置。 - 【請求項２】 出力に所定の電圧を印加する演算増幅器
（１）を非反転増幅器として構成した、請求項１記載の
電圧印加電流測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6230668A JPH0875817A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 電圧印加電流測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6230668A JPH0875817A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 電圧印加電流測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0875817A true JPH0875817A (ja) | 1996-03-22 |
Family
ID=16911433
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6230668A Withdrawn JPH0875817A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 電圧印加電流測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0875817A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008503751A (ja) * | 2004-06-22 | 2008-02-07 | 株式会社アドバンテスト | Ｍｏｓｆｅｔ駆動回路、プログラマブル電源及び半導体試験装置 |
| WO2023149082A1 (ja) * | 2022-02-04 | 2023-08-10 | アルプスアルパイン株式会社 | 電流センサ |
-
1994
- 1994-08-31 JP JP6230668A patent/JPH0875817A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008503751A (ja) * | 2004-06-22 | 2008-02-07 | 株式会社アドバンテスト | Ｍｏｓｆｅｔ駆動回路、プログラマブル電源及び半導体試験装置 |
| WO2023149082A1 (ja) * | 2022-02-04 | 2023-08-10 | アルプスアルパイン株式会社 | 電流センサ |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20011106 |