JPH0572063A - 圧力センサの製造方法 - Google Patents
圧力センサの製造方法Info
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- JPH0572063A JPH0572063A JP23015591A JP23015591A JPH0572063A JP H0572063 A JPH0572063 A JP H0572063A JP 23015591 A JP23015591 A JP 23015591A JP 23015591 A JP23015591 A JP 23015591A JP H0572063 A JPH0572063 A JP H0572063A
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- manufacturing
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は非晶質磁性合金を用いた圧力センサ
の製造方法に関するもので、圧力センサ作製時間を著し
く短縮する製造方法を提供することを目的とする。 【構成】 非晶質磁性合金をセンサ１に加圧下で加熱し
て接着する際、圧力容器２内にセンサ１が完全に沈む量
の伝熱液体３（沸点が接着温度より高い液体）を入れた
うえで窒素ガス等により加圧し、加熱する。伝熱液体３
の熱伝達速度は窒素ガス等の気体より速いため昇温速度
を上げることができ、センサ作製時間を短縮することが
できる。
の製造方法に関するもので、圧力センサ作製時間を著し
く短縮する製造方法を提供することを目的とする。 【構成】 非晶質磁性合金をセンサ１に加圧下で加熱し
て接着する際、圧力容器２内にセンサ１が完全に沈む量
の伝熱液体３（沸点が接着温度より高い液体）を入れた
うえで窒素ガス等により加圧し、加熱する。伝熱液体３
の熱伝達速度は窒素ガス等の気体より速いため昇温速度
を上げることができ、センサ作製時間を短縮することが
できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は非晶質磁性合金の磁歪効
果を用いた圧力センサの製造方法に関するものである。
果を用いた圧力センサの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、非晶質磁性合金の磁歪効果を用い
た圧力センサが提案されている。図２はこのような圧力
センサの一例の概略を示す断面図である。１１はチタン
製の直径１０mm、高さ５０mmの円柱状の本体、１２は直
径６mmの圧力導入口、１３は圧力を伝える圧力室であ
る。１４は圧力による円筒状の変形部分で、本体１１の
一部を肉厚２mmに加工してある。１５は圧力による歪が
生じないようにした非変形部分である。非変形部分１５
の内部は圧力室１３と同じ大きさの中空部分１６を持
つ。１７は本体１１の外周上で、変形部分１４及び非変
形部分１５をおおうように熱硬化性のイミド系接着剤で
１０気圧下で２５０℃、１時間で接着した厚さ０．０３
mmのＦｅ−Ｓｉ−Ｂ−Ｃｒ系非晶質磁性合金である。１
８は１００回コイルを巻いて形成した圧力検出コイル、
１９は圧力検出コイル１８と同構成の差動用コイルで、
これらのコイルは変形部分１４および非変形部分１５の
外周上に接着した非晶質磁性合金１７の外側にフェノー
ル樹脂製ボビン２０を介して配される。２１は４８％Ｎ
ｉ−Ｆｅ合金製のヨークで、ボビン２０の外周に装着さ
れる。２２は本体１１の固定用ネジ部分で、ＰＦ３／８
のピッチに加工してある。２３は検出回路である。
た圧力センサが提案されている。図２はこのような圧力
センサの一例の概略を示す断面図である。１１はチタン
製の直径１０mm、高さ５０mmの円柱状の本体、１２は直
径６mmの圧力導入口、１３は圧力を伝える圧力室であ
る。１４は圧力による円筒状の変形部分で、本体１１の
一部を肉厚２mmに加工してある。１５は圧力による歪が
生じないようにした非変形部分である。非変形部分１５
の内部は圧力室１３と同じ大きさの中空部分１６を持
つ。１７は本体１１の外周上で、変形部分１４及び非変
形部分１５をおおうように熱硬化性のイミド系接着剤で
１０気圧下で２５０℃、１時間で接着した厚さ０．０３
mmのＦｅ−Ｓｉ−Ｂ−Ｃｒ系非晶質磁性合金である。１
８は１００回コイルを巻いて形成した圧力検出コイル、
１９は圧力検出コイル１８と同構成の差動用コイルで、
これらのコイルは変形部分１４および非変形部分１５の
外周上に接着した非晶質磁性合金１７の外側にフェノー
ル樹脂製ボビン２０を介して配される。２１は４８％Ｎ
ｉ−Ｆｅ合金製のヨークで、ボビン２０の外周に装着さ
れる。２２は本体１１の固定用ネジ部分で、ＰＦ３／８
のピッチに加工してある。２３は検出回路である。
【０００３】以上のように構成された圧力センサについ
て、以下その動作について説明する。
て、以下その動作について説明する。
【０００４】まず、圧力は圧力導入口１２から圧力室１
３に伝わり、圧力室１３を膨らませる方向に応力をかけ
る。その結果、変形部分１４が変動し、その表面に接着
された非晶質磁性合金１７の透磁率が変化する。この透
磁率変化を圧力検出コイル１８でインダクタンスの変化
として検出し、差動用コイル１９との差動出力より圧力
の変化を得ている。
３に伝わり、圧力室１３を膨らませる方向に応力をかけ
る。その結果、変形部分１４が変動し、その表面に接着
された非晶質磁性合金１７の透磁率が変化する。この透
磁率変化を圧力検出コイル１８でインダクタンスの変化
として検出し、差動用コイル１９との差動出力より圧力
の変化を得ている。
【０００５】次に、上述の構成による圧力センサにおい
て、非晶質磁性合金１７を本体１１に接着する際の接着
方法を図３に示す。接着剤硬化のためには１０気圧で２
５０℃、１時間の条件が必要であるので、センサ３１を
入れて窒素ガスで１０気圧に加圧した圧力容器３２を２
５０℃まで昇温する方法を用いている。
て、非晶質磁性合金１７を本体１１に接着する際の接着
方法を図３に示す。接着剤硬化のためには１０気圧で２
５０℃、１時間の条件が必要であるので、センサ３１を
入れて窒素ガスで１０気圧に加圧した圧力容器３２を２
５０℃まで昇温する方法を用いている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の方法では２５０℃まで昇温するのに約１５分以上か
かり、センサ作製に長時間を要し、また、あらかじめ圧
力容器３２を２５０℃にした状態で、窒素ガスで１０気
圧に加圧する方法も考えられるが、加圧作業中に接着剤
の硬化反応が開始し、十分な接着強度が得られないとい
う問題点を有していた。
来の方法では２５０℃まで昇温するのに約１５分以上か
かり、センサ作製に長時間を要し、また、あらかじめ圧
力容器３２を２５０℃にした状態で、窒素ガスで１０気
圧に加圧する方法も考えられるが、加圧作業中に接着剤
の硬化反応が開始し、十分な接着強度が得られないとい
う問題点を有していた。
【０００７】本発明は上記従来の問題点を解決するもの
で、非晶質磁性合金をセンサ本体に接着する時間の短縮
化を図り、十分な接着強度を得ることのできる圧力セン
サの製造方法を提供することを目的とする。
で、非晶質磁性合金をセンサ本体に接着する時間の短縮
化を図り、十分な接着強度を得ることのできる圧力セン
サの製造方法を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の圧力センサの製造方法は、非晶質磁性合金を
センサ本体に接着する際、沸点が接着温度より高い液体
（以下、伝熱液体という）中で接着する方法をとるもの
である。
に本発明の圧力センサの製造方法は、非晶質磁性合金を
センサ本体に接着する際、沸点が接着温度より高い液体
（以下、伝熱液体という）中で接着する方法をとるもの
である。
【０００９】
【作用】この製造方法によれば、非晶質磁性合金を窒素
ガス等の気体中で接着するよりも熱伝達速度が速いため
短時間で昇温が終了し、センサ作製時間を大幅に短縮す
ることができる。
ガス等の気体中で接着するよりも熱伝達速度が速いため
短時間で昇温が終了し、センサ作製時間を大幅に短縮す
ることができる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の第１の実施例について図面を
参照しながら説明する。なお、本実施例の構成は従来例
と同一であるため、詳細な説明を省略し、本実施例の特
徴となる部分についてのみ説明する。
参照しながら説明する。なお、本実施例の構成は従来例
と同一であるため、詳細な説明を省略し、本実施例の特
徴となる部分についてのみ説明する。
【００１１】すなわち本実施例の特徴は、図１における
圧力容器２の中にセンサ１が完全に沈む量の伝熱液体３
を入れたことである。ここでは、伝熱液体３として高沸
点のオイルを用いた。この状態で外部から窒素ガスで１
０気圧の圧力を印加した。このようにして圧力容器２を
加熱すると、センサ１への熱伝達速度が速まるため、従
来の窒素ガス中に比べ約半分の時間で昇温することがで
きた。
圧力容器２の中にセンサ１が完全に沈む量の伝熱液体３
を入れたことである。ここでは、伝熱液体３として高沸
点のオイルを用いた。この状態で外部から窒素ガスで１
０気圧の圧力を印加した。このようにして圧力容器２を
加熱すると、センサ１への熱伝達速度が速まるため、従
来の窒素ガス中に比べ約半分の時間で昇温することがで
きた。
【００１２】以上の第１の実施例による製造方法によ
り、従来に比べてセンサ作製時間を大幅に短縮すること
ができる。
り、従来に比べてセンサ作製時間を大幅に短縮すること
ができる。
【００１３】次に、本発明の第２の実施例について図１
を参照しながら説明する。なお、第２の実施例の基本的
な製造方法は第１の実施例と同一であるため、詳細な説
明を省略し、特徴となる部分についてのみ説明する。
を参照しながら説明する。なお、第２の実施例の基本的
な製造方法は第１の実施例と同一であるため、詳細な説
明を省略し、特徴となる部分についてのみ説明する。
【００１４】すなわち第２の実施例の特徴は、図１にお
ける伝熱液体３として融点が１６０℃の低融点半田を用
いたことである。半田は室温では固体のためセンサ１を
半田中に沈めることができないので、イミド系接着剤が
硬化しない１７０℃にあらかじめ加熱して半田を溶かし
ておき、その中にセンサ１を入れ、この状態で外部から
窒素ガスで１０気圧の圧力を印加した。その後、圧力容
器２を２５０℃まで加熱することによって接着を行っ
た。この場合、センサ１はすでに１７０℃に加熱されて
いる上、実施例１で用いたオイルよりも熱伝達速度が速
いため、約５分以下で昇温することができた。
ける伝熱液体３として融点が１６０℃の低融点半田を用
いたことである。半田は室温では固体のためセンサ１を
半田中に沈めることができないので、イミド系接着剤が
硬化しない１７０℃にあらかじめ加熱して半田を溶かし
ておき、その中にセンサ１を入れ、この状態で外部から
窒素ガスで１０気圧の圧力を印加した。その後、圧力容
器２を２５０℃まで加熱することによって接着を行っ
た。この場合、センサ１はすでに１７０℃に加熱されて
いる上、実施例１で用いたオイルよりも熱伝達速度が速
いため、約５分以下で昇温することができた。
【００１５】なお、第２の実施例によれば、第１の実施
例のようにオイルを使用しないので、作製後のセンサの
脱脂処理が不用であるという利点を持つ。
例のようにオイルを使用しないので、作製後のセンサの
脱脂処理が不用であるという利点を持つ。
【００１６】以上の第２の実施例による製造方法によ
り、従来に比べてセンサ作製時間を著しく短縮すること
ができる。
り、従来に比べてセンサ作製時間を著しく短縮すること
ができる。
【００１７】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、非晶質磁性合金をセンサ本体に接着する際
に、伝熱液体中にセンサを入れることによってセンサ昇
温速度を上げることができ、センサ作製時間を著しく短
縮することができる。
によれば、非晶質磁性合金をセンサ本体に接着する際
に、伝熱液体中にセンサを入れることによってセンサ昇
温速度を上げることができ、センサ作製時間を著しく短
縮することができる。
【図１】本発明の実施例における圧力センサ製造方法の
概略図
概略図
【図２】圧力センサの構成を示す断面図
【図３】従来の圧力センサ製造方法の概略図
１ センサ ２ 圧力容器 ３ 伝熱液体 １１ 本体 １２ 圧力導入口 １３ 圧力室 １４ 変形部分 １５ 非変形部分 １６ 中空部分 １７ 非晶質磁性合金 １８ 圧力検出コイル １９ 差動用コイル ２０ ボビン ２１ ヨーク ２２ 固定用ネジ ２３ 検出回路
Claims (3)
- 【請求項１】 圧力導入口と、前記圧力導入口から導入
される圧力によってひずむ円筒状の変形部分を有し、前
記変形部分に磁歪を有する非晶質磁性合金を接着した構
成を持つ圧力センサにおいて、前記非晶質磁性合金を沸
点が接着温度より高い液体中で接着することを特徴とす
る圧力センサの製造方法。 - 【請求項２】 液体が半田であることを特徴とする請求
項１記載の圧力センサの製造方法。 - 【請求項３】 接着工程中に半田の温度を２段階に変更
することを特徴とする請求項２記載の圧力センサの製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23015591A JPH0572063A (ja) | 1991-09-10 | 1991-09-10 | 圧力センサの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23015591A JPH0572063A (ja) | 1991-09-10 | 1991-09-10 | 圧力センサの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0572063A true JPH0572063A (ja) | 1993-03-23 |
Family
ID=16903460
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23015591A Pending JPH0572063A (ja) | 1991-09-10 | 1991-09-10 | 圧力センサの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0572063A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5597325A (en) * | 1995-01-31 | 1997-01-28 | Yazaki Corporation | Double-lock connector |
-
1991
- 1991-09-10 JP JP23015591A patent/JPH0572063A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5597325A (en) * | 1995-01-31 | 1997-01-28 | Yazaki Corporation | Double-lock connector |
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