JPH04106444A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
- Publication number
- JPH04106444A JPH04106444A JP2227054A JP22705490A JPH04106444A JP H04106444 A JPH04106444 A JP H04106444A JP 2227054 A JP2227054 A JP 2227054A JP 22705490 A JP22705490 A JP 22705490A JP H04106444 A JPH04106444 A JP H04106444A
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- amorphous magnetic
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- pressure
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Links
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は非晶質磁性合金の磁歪効果を用いた圧力センサ
に関するものである。
に関するものである。
従来の技術
近年、非晶質磁性合金の磁歪効果を用いた圧力センサが
提案されている。第３図はこのような圧力センサの一例
の概略を示す断面図である。
提案されている。第３図はこのような圧力センサの一例
の概略を示す断面図である。
１はチタン製の直径１０ｏ、高さ７０ｍの円柱状の本体
、２は直径６ｍの圧力導入口、３は圧力を伝える圧力室
である。４は圧力による変形部分で、本体１の一部を肉
厚２ｍに加工しである。５は圧力による歪が生じないよ
うにした非変形部分である。非変形部分５の内部は圧力
室３と同じ大きさの中空部分６を持つ。７は本体１の外
周上で、変形部分４および非変形部分５を覆うようにイ
ミド系接着剤で２５０°Ｃ，１時間で固着した厚さ０．
０３ｍｍのＦｅ−５ｉ−Ｂ−Ｃｒ系非晶質磁性合金であ
る。８は１００回コイルを巻いて形成した圧力検出コイ
ル、９は圧力検出コイル８と同構成の差動用コイルで、
これらのコイルは変形部分４および非変形部分５の外周
上に接着した非晶質磁性合金７の外側にフェノール樹脂
製ボビン１０を介して配される。１１は４８％Ｎｉ−Ｆ
ｅ合金製のヨークで、ボビン１０の外周に装着される。
、２は直径６ｍの圧力導入口、３は圧力を伝える圧力室
である。４は圧力による変形部分で、本体１の一部を肉
厚２ｍに加工しである。５は圧力による歪が生じないよ
うにした非変形部分である。非変形部分５の内部は圧力
室３と同じ大きさの中空部分６を持つ。７は本体１の外
周上で、変形部分４および非変形部分５を覆うようにイ
ミド系接着剤で２５０°Ｃ，１時間で固着した厚さ０．
０３ｍｍのＦｅ−５ｉ−Ｂ−Ｃｒ系非晶質磁性合金であ
る。８は１００回コイルを巻いて形成した圧力検出コイ
ル、９は圧力検出コイル８と同構成の差動用コイルで、
これらのコイルは変形部分４および非変形部分５の外周
上に接着した非晶質磁性合金７の外側にフェノール樹脂
製ボビン１０を介して配される。１１は４８％Ｎｉ−Ｆ
ｅ合金製のヨークで、ボビン１０の外周に装着される。
１２は本体１の固定用ネジ部分で、ＰＦ３／８のピッチ
に加工しである。１３は検出回路である。
に加工しである。１３は検出回路である。
圧力は圧力導入口２から圧力質３に伝わり、圧力質３を
膨らませる方向に応力をかける。その結果、変形部分４
が変動し、その表面に接着された非晶質磁性合金７の透
磁率が変化する。この透磁率変化を圧力検出コイル８で
インダクタンスの変化として検出し、差動用コイル９と
の差動出力より圧力の変化を得ている。
膨らませる方向に応力をかける。その結果、変形部分４
が変動し、その表面に接着された非晶質磁性合金７の透
磁率が変化する。この透磁率変化を圧力検出コイル８で
インダクタンスの変化として検出し、差動用コイル９と
の差動出力より圧力の変化を得ている。
発明が解決しようとする課題
上述の構成による圧力センサの歩留まり（温度による０
点ドリフトおよび感度変化がそれぞれ±０．１％Ｆ、Ｓ
、／’Ｃ以下のものの割合）は約３０％と低かった。こ
れは非晶質磁性合金を本体に接着する工程に起因する。
点ドリフトおよび感度変化がそれぞれ±０．１％Ｆ、Ｓ
、／’Ｃ以下のものの割合）は約３０％と低かった。こ
れは非晶質磁性合金を本体に接着する工程に起因する。
非晶質磁性合金を接着する際、熱収縮チューブを使用す
るが、その収縮度合は本質的にばらつきを持つ。その様
子を第４図（ａ）〜（Ｃ）（第３図の点線部の拡大図）
に示す。
るが、その収縮度合は本質的にばらつきを持つ。その様
子を第４図（ａ）〜（Ｃ）（第３図の点線部の拡大図）
に示す。
熱収縮チューブ２１は常に均一に収縮するわけではなく
左右に偏ったり中央に山をもったりする。
左右に偏ったり中央に山をもったりする。
そのためチューブ下の接着剤２２の厚みはチューブの縮
み方によってばらつきを生じ、センサ出力の歩留まりが
悪化する。
み方によってばらつきを生じ、センサ出力の歩留まりが
悪化する。
また、本構成の圧力センサを８０°Ｃの温水中に浸した
ところ、約１日で非晶質磁性合金表面にさびが発生し、
耐食性が悪かった。
ところ、約１日で非晶質磁性合金表面にさびが発生し、
耐食性が悪かった。
以上のことから、前記圧力センサの構成では歩留まりが
低く耐食性が悪いという課題があった。
低く耐食性が悪いという課題があった。
課題を解決するための手段
本発明は上述の課題を解決するため、非晶質磁性合金の
表面に緩衝材を設けたものである。
表面に緩衝材を設けたものである。
作用
上述の構成によれば、非晶質磁性合金接着時に熱収縮チ
ューブの収縮度合が不均一であっても、非晶質磁性合金
表面に設けた緩衝材が不均一性を吸収するため均一な厚
さで接着でき、歩留まりを向上することが可能である。
ューブの収縮度合が不均一であっても、非晶質磁性合金
表面に設けた緩衝材が不均一性を吸収するため均一な厚
さで接着でき、歩留まりを向上することが可能である。
また、非晶質磁性合金表面を緩衝材が覆うため、腐食の
進行を抑えることができる。
進行を抑えることができる。
実施例
以下、本発明の一実施例について第１図および第２［ｇ
（ａ）〜（Ｃ）を参照しながら、第３図および第４図（
ａ）〜（Ｃ）の従来例と同一部分には同一番号を付して
説明を省略し、本発明の特徴となる部分について説明す
る。
（ａ）〜（Ｃ）を参照しながら、第３図および第４図（
ａ）〜（Ｃ）の従来例と同一部分には同一番号を付して
説明を省略し、本発明の特徴となる部分について説明す
る。
すなわち本発明の特徴は、第１図において非晶質磁性合
金７を本体ｌに接着する際に使用したイミド系接着剤を
緩衝材１４として非晶質磁性合金７の表面にも塗布した
ことである。この緩衝材１４により熱収縮チューブの不
均一性は吸収される。その時の様子を第２図（ａ）〜（
Ｃ）（第１図の点線部の拡大図）に示す。熱収縮チュー
ブ２１がどのように収縮しても非晶質磁性合金７の下の
接着層の厚みは一定となり、均一な接着が実現できるこ
とがわかる。
金７を本体ｌに接着する際に使用したイミド系接着剤を
緩衝材１４として非晶質磁性合金７の表面にも塗布した
ことである。この緩衝材１４により熱収縮チューブの不
均一性は吸収される。その時の様子を第２図（ａ）〜（
Ｃ）（第１図の点線部の拡大図）に示す。熱収縮チュー
ブ２１がどのように収縮しても非晶質磁性合金７の下の
接着層の厚みは一定となり、均一な接着が実現できるこ
とがわかる。
その結果、本構成における圧力センサにおいて歩留まり
は１００％を達成した。
は１００％を達成した。
また、本構成の圧力センサを８０°Ｃの温水中に約１週
間浸しても、非晶質磁性合金表面に腐食は認められなか
った。
間浸しても、非晶質磁性合金表面に腐食は認められなか
った。
以上の構成、動作により従来に比べて歩留まりがよく、
耐食性の高い圧力センサを得ることができた。
耐食性の高い圧力センサを得ることができた。
発明の効果
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、非晶
質磁性合金の表面に緩衝材を設けることによって、非晶
質磁性合金を本体に接着する際に接着層の厚みが一定と
なり歩留まりが向上し、また、非晶質磁性合金表面を緩
衝材が覆うことによって耐食性のよい圧力センサを提供
することができる。
質磁性合金の表面に緩衝材を設けることによって、非晶
質磁性合金を本体に接着する際に接着層の厚みが一定と
なり歩留まりが向上し、また、非晶質磁性合金表面を緩
衝材が覆うことによって耐食性のよい圧力センサを提供
することができる。
第１ｔ！ｌは本発明の一実施例の圧力センサの断面図、
第２図は本発明の一実施例の熱収縮チューブの収縮の様
子を示す断面図、第３図は従来例の圧力センサの断面図
、第４図は従来例の熱収縮チューブの収縮の様子を示す
断面図である。 １・・・・・・本体、２・・・・・・圧力導入口、３・
・・・・・圧力室、４・・・・・・変形部分、５・・・
・・・非変形部分、６・・・・・・中空部分、７・・・
・・・非晶質磁性合金、８・・・・・・圧力検出コイル
、９・・・・・・差動用コイル、１０・・・・・・ボビ
ン、１１・・・・・・ヨーク、１２・・・・・・固定用
ネジ、１３・・・・・・検出回路、１４・・・・・・緩
衝材、２１・・・・・・熱収縮チューブ、２２・・・・
・・接着剤。 第 図 第 図 第 図 第 図
第２図は本発明の一実施例の熱収縮チューブの収縮の様
子を示す断面図、第３図は従来例の圧力センサの断面図
、第４図は従来例の熱収縮チューブの収縮の様子を示す
断面図である。 １・・・・・・本体、２・・・・・・圧力導入口、３・
・・・・・圧力室、４・・・・・・変形部分、５・・・
・・・非変形部分、６・・・・・・中空部分、７・・・
・・・非晶質磁性合金、８・・・・・・圧力検出コイル
、９・・・・・・差動用コイル、１０・・・・・・ボビ
ン、１１・・・・・・ヨーク、１２・・・・・・固定用
ネジ、１３・・・・・・検出回路、１４・・・・・・緩
衝材、２１・・・・・・熱収縮チューブ、２２・・・・
・・接着剤。 第 図 第 図 第 図 第 図
Claims (1)
- 圧力導入口と、前記圧力導入口から導入される圧力に
よってひずむ圧力室を持つ変形部分と、圧力によって歪
が生じない非変形部分とを有し、前記変形部分および非
変形部分に磁歪を有する非晶質磁性合金を有する圧力セ
ンサにおいて、前記非晶質磁性合金の表面に緩衝材を設
けることを特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2227054A JPH04106444A (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | 圧力センサ |
| US07/678,160 US5165284A (en) | 1990-04-05 | 1991-04-01 | Pressure sensor utilizing a magnetostriction effect |
| DE69104255T DE69104255T2 (de) | 1990-04-05 | 1991-04-03 | Magnetoresistiver Druckaufnehmer. |
| EP91302919A EP0450933B1 (en) | 1990-04-05 | 1991-04-03 | Pressure sensor utilizing a magnetostriction effect |
| KR1019910005450A KR930005167B1 (ko) | 1990-04-05 | 1991-04-04 | 압력센서 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2227054A JPH04106444A (ja) | 1990-08-28 | 1990-08-28 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04106444A true JPH04106444A (ja) | 1992-04-08 |
Family
ID=16854808
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2227054A Pending JPH04106444A (ja) | 1990-04-05 | 1990-08-28 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04106444A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6619122B1 (en) | 1999-10-18 | 2003-09-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular speed sensor |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6436601A (en) * | 1987-07-18 | 1989-02-07 | Akzo Nv | Cellulose derivative, manufacture and fiber and membrane therefrom |
| JPH02176439A (ja) * | 1988-12-27 | 1990-07-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧力センサ |
-
1990
- 1990-08-28 JP JP2227054A patent/JPH04106444A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6436601A (en) * | 1987-07-18 | 1989-02-07 | Akzo Nv | Cellulose derivative, manufacture and fiber and membrane therefrom |
| JPH02176439A (ja) * | 1988-12-27 | 1990-07-09 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧力センサ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6619122B1 (en) | 1999-10-18 | 2003-09-16 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Angular speed sensor |
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