JPH057181B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 本発明は、シリコンウエアー、ガリウム砒素、
薄物ガラス、セラミツク、金属板等被加工物の両
面または片面をラツピング／ポリシング機械によ
りラツピング／ポリシング加工する場合に、キヤ
リヤーやテンプレートとして使用されるラツピン
グ／ポリツシング用積層板に関する。

〈従来の技術〉 積層円板面に被加工物嵌挿孔を穿設している従
来のキヤリヤーやテンプレートにおいては、ガラ
ス繊維の織布又は不織布にエポシキ樹脂を含浸し
たプリプレグの積層板が使われている。補強材と
してガラス繊維を用い、これによつて硬度、曲げ
強度、寸法安定性に優れたものたらしめることが
できた点においては満足されるものといえる。し
かし、ガラス繊維自体が耐摩耗性に弱いという欠
点はそのまま有していた。

〈発明が解決しようとする課題〉 上述した理由から、積層板円周部に歯を形成
し、インターナルギヤーと太陽ギヤーに噛合させ
てキヤリヤーとして使用する場合、歯は比較的短
時間に摩耗し、砥液中に混入した破片で被加工物
の表面に傷を付けたり、更には歯の欠損で回転不
能になつたキヤリヤーが他のキヤリヤーと衝突し
てキヤリヤーや被加工物を破壊させたりした。か
かる不都合を生じないように、キヤリヤーを比較
的短い時間しか使用せず、頻繁に新品と交換して
いたから、作業能率が悪いものであつた。

同じことはテンプレートとして使用する場合に
ついても言えた。すなわち、この場合は積層板円
周部に歯を切る必要はないが、板面に穿設した被
加工物嵌挿孔の内面、特にその上端部分が早く摩
耗して径が拡大するため、種々のトラブル元とな
つており、かかる不都合を起こさないようにする
には早期取替を行うしかなかつた。

本発明は上述した複数枚のプリプレグの積層円
板面に被加工物嵌挿孔を穿設したラツピング／ポ
リツシング用積層板における欠点を解決すること
を目的としている。

〈課題を解決するための手段〉 上記の目的を達成するため、本発明は、中央の
層部分のプリプレグはガラス繊維製織布に熱硬化
性樹脂を含浸硬化したものとし、その上部と下部
の層部分のプリプレグはポリエステル繊維製織布
に熱硬化性樹脂を含浸硬化したものとしてなるも
のである。

キヤリヤーとして使用するには既述の如く積層
板円周部に歯を形成する。

本発明の積層板は中央の層部分の補強材として
ガラス繊維からなる平織物その他の織物となされ
た織布を使用し、その繊度は200〜600デニール、
織布の密度は30〜50本／インチのものが補強材と
して適当な剛性を得るために好ましい。また、そ
の上部と下部の層部分の補強材としてナイロン、
ポリエステル等の合成繊維からなる織布が使用可
能であるが、ポリエステル繊維からなる平織物が
特に好ましく、その繊度は60〜300デニール、平
織物の密度は30〜80本／インチであることが熱硬
化性樹脂の含浸性及びすぐれた耐摩耗性を得るた
めに好ましい。また、平織の場合、縦糸と横糸の
密度は同じであつても、異なつていてもよい。

上記ガラス繊維からなる織布、合成繊維からな
る織布の夫々に熱硬化性樹脂を含浸し、予備硬化
してプリプレグとする。熱硬化性樹脂としてはエ
ポキシ樹脂、フエノール樹脂、不飽和ポリエステ
ル等が挙げられるが、エポキシ樹脂が最も好まし
い。これら熱硬化性樹脂を織布に含浸硬化させ、
積層板とするには既知の技術が採用される。

得られた積層板をラツピング／ポリツシング機
械に使用するために機械構造に適合した円径と、
太陽ギヤー並びにインターナルギヤーに合致した
歯形で、しかも被加工物が挿入できるような形状
の円形、四角形等の内孔を穿設して、ラツピン
グ／ポリツシング用積層板キヤリヤーとする。

テンプレートとして使用の際には歯は不要であ
る。

キヤリヤーまたはテンプレートとしての使い方
は従来どおりであるから、ここでは説明を省略す
る。

〈作用〉 ガラス繊維製織布を補強材とした中央の層部分
は腰の強さ、曲げ強度を保証し、ポリエステル繊
維製織布を補強材とした上部と下部の層部分は優
れた耐摩耗性を保証し、両々相俟つて叙上の従来
の問題点は解決される。

〈実施例〉 エポキシ樹脂（エピコート1001，シエル化成
製）100重量部、硬化剤ジシアンジアミド５重量
部、促進剤ベンジルジメチルアミン0.2重量部よ
りエボキシ樹脂ワニスを、縦糸、横糸にガラス繊
維の300デニールを用いた打ち込み本数縦41本／
インチ、横31本／インチの平織物に含浸し150℃、
５分間予備硬化せしめてプリプレグ１を得た。一
方、ポリエステル繊維125デニールの繊維を縦糸
とし、70デニールのポリエステル繊維を横糸と
し、打ち込み本数が縦64本／インチ、横30本／イ
ンチの平織布を上述と同一のエポキシ樹脂ワニス
に含浸し、150℃、５分間予備硬化せしめてプリ
プレグ２を得た。プリプレグ１を２枚重ねその両
面にプリプレグ２を夫々２枚づつ重ねて170℃、
30Kg／cm²でプレスし全体の厚さが0.9mmの積層板
を得た。この積層板をピンチ７mm、歯丈５mmの歯
３を全周縁に有するピツチ円の直径423mmの板で
その内面に直径96mmの円形の内孔である被加工物
嵌挿孔４を８ケ穿設し、ラツピング／ポリシング
用積層板キヤリヤーを得た。

このキヤリヤー５枚をスピードフアム社製両面
研磨機（型式SFDL−16B−5P）にて、被加工物
として95mm径のアルミニユーム合金製デイスクを
８枚ずつ各キヤリヤーの内孔に装着し研磨作業を
行つた。その結果、比較としてガラス繊維平織布
を用いた厚さ0.9mmの市販のキヤリヤーは60時間
稼働で歯こぼれが生じ、キヤリヤーが太陽ギヤー
とインターナルギヤからはずれ同時に装着してあ
るキヤリヤーと接触して夫々のキヤリヤーを破壊
してしまつた。本発明のキヤリヤーは60時間稼働
で全く支障なく150時間後でやつと歯こぼれが認
められた。

〈発明の効果〉 本発明のラツピング／ポリツシング用積層板は
上述の構成となされているので、ガラス繊維織布
を補強材とした層により剛性が付与されて腰が強
く、曲げ強度にも強い。更に上部と下部のポリエ
ステル繊維の織布を補強材とした層により優れた
耐摩耗性を有する。即ち、剛性と曲げ強度と耐摩
耗性とを同時に満足することができるので、全体
が１mm以下の厚みの積層板でも充分な剛性を有
し、キヤリヤーとして使用するときに太陽ギヤー
並びにインターナルギヤーに噛合しても、ポリエ
ステル繊維平織物を基体とした層が強いのでガラ
ス繊維平織物を基体とした層のみが摩耗すること
もなく、また、ギヤー部分以外に接触し摺動する
部分も上下のポリエステル繊維平織物を基体とし
た層であるため、全体的に非常に耐摩耗性に優れ
た反り発生がないラツピング／ポリツシング用積
層板となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明になる実施例の平面図、第２図
は積層板の構成を示す断面図である。 １……ガラス繊維製織布に熱硬化性樹脂を含浸
硬化したプリプレグ、２……ポリエステル繊維製
織布に熱硬化性樹脂を含浸硬化したプリプレグ、
３……歯、４……被加工物嵌挿孔。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 複数枚のプリプレグの積層円板面に被加工物
   嵌挿孔４を穿設したラツピング／ポリツシング用
   積層板において、中央の層部分のプリプレグ１は
   ガラス繊維製織布に熱硬化性樹脂を含浸硬化した
   ものとし、その上部と下部の層部分のプリプレグ
   ２はポリエステル繊維製織布に熱硬化性樹脂を含
   浸硬化したものとしてなるラツピング／ポリツシ
   ング用積層板。