JPH01244840A - ラッピング／ポリッシング用積層板 - Google Patents
ラッピング／ポリッシング用積層板Info
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- JPH01244840A JPH01244840A JP7371188A JP7371188A JPH01244840A JP H01244840 A JPH01244840 A JP H01244840A JP 7371188 A JP7371188 A JP 7371188A JP 7371188 A JP7371188 A JP 7371188A JP H01244840 A JPH01244840 A JP H01244840A
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Landscapes
- Laminated Bodies (AREA)
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、シリコンウェハー、ガリウム砒素、薄物ガラ
ス、セラミック、金属板等被加工物の両面または片面を
ラッピング／ポリリング機械によりラッピング／ポリリ
ング加工する場合に、キャリヤーやテンプレートとして
使用されるラッピング／ポリッシング用積層板に関する
。
ス、セラミック、金属板等被加工物の両面または片面を
ラッピング／ポリリング機械によりラッピング／ポリリ
ング加工する場合に、キャリヤーやテンプレートとして
使用されるラッピング／ポリッシング用積層板に関する
。
〈従来の技術〉
積層円板面に被加工物嵌挿孔を穿設している従来のキャ
リヤーやテンプレートにおいては、ガラス繊維の織布又
は不織布にエポキシ樹脂を含浸したプリプレグの積層板
が使われている。補強材としてガラス繊維を用い、これ
によって硬度、曲げ強度、寸法安定性に優れたものなら
しめることができた点においては満足されるものといえ
る。しかし、ガラス繊維自体が耐摩耗性に弱いという欠
点はそのまま有していた。
リヤーやテンプレートにおいては、ガラス繊維の織布又
は不織布にエポキシ樹脂を含浸したプリプレグの積層板
が使われている。補強材としてガラス繊維を用い、これ
によって硬度、曲げ強度、寸法安定性に優れたものなら
しめることができた点においては満足されるものといえ
る。しかし、ガラス繊維自体が耐摩耗性に弱いという欠
点はそのまま有していた。
〈発明が解決しようとする課題〉
上述した理由から、積層板円周部に歯を形成し、インタ
ーナルギヤ−と太陽ギヤーに噛合させてキャリヤーとし
て使用する場合、歯は比較的短時間に摩耗し、砥液中に
混入した破片で被加工物の表面に傷を付けたり、更には
歯の欠損で回転不能になったキャリヤーが他のキャリヤ
ーと衝突してキャリヤーや被加工物を破壊させたりした
。かかる不都合を生じないように、キャリヤーを比較的
短い時間しか使用せず、頻繁に新品と交換していたから
、作業能率が悪いものであった。
ーナルギヤ−と太陽ギヤーに噛合させてキャリヤーとし
て使用する場合、歯は比較的短時間に摩耗し、砥液中に
混入した破片で被加工物の表面に傷を付けたり、更には
歯の欠損で回転不能になったキャリヤーが他のキャリヤ
ーと衝突してキャリヤーや被加工物を破壊させたりした
。かかる不都合を生じないように、キャリヤーを比較的
短い時間しか使用せず、頻繁に新品と交換していたから
、作業能率が悪いものであった。
同じことはテンプレートとして使用する場合についても
言えた。すなわち、この場合は積層板円周部に歯を切る
必要はないが、板面に穿設した被加工物嵌挿孔の内面、
特にその上端部分が早く摩耗して径が拡大するため、種
々のトラブルの元となっており、かかる不都合を起こさ
ないようにするには早期取替を行うしかなかった。
言えた。すなわち、この場合は積層板円周部に歯を切る
必要はないが、板面に穿設した被加工物嵌挿孔の内面、
特にその上端部分が早く摩耗して径が拡大するため、種
々のトラブルの元となっており、かかる不都合を起こさ
ないようにするには早期取替を行うしかなかった。
本発明は上述した複数枚のプリプレグの積層円板面に被
加工物嵌挿孔を穿設したラッピング／ポリッシング用積
層板における欠点を解決することを目的としている。
加工物嵌挿孔を穿設したラッピング／ポリッシング用積
層板における欠点を解決することを目的としている。
く課題を解決するための手段〉
上記の目的を達成するため、本発明は、中央の層部分の
プリプレグはガラス繊維製織布に熱硬化性樹脂を含浸硬
化したものとし、その上部と下部の層部分のプリプレグ
はポリエステル繊維製織布に熱硬化性樹脂を含浸硬化し
たものとしてなるものである。
プリプレグはガラス繊維製織布に熱硬化性樹脂を含浸硬
化したものとし、その上部と下部の層部分のプリプレグ
はポリエステル繊維製織布に熱硬化性樹脂を含浸硬化し
たものとしてなるものである。
キャリヤーとして使用するには既述の如く積層板円周部
に歯を形成する。
に歯を形成する。
本発明の積層板は中央の層部分の補強材としてガラス繊
維からなる平織物その他の織物となされた織布を使用し
、その繊度は２００〜６００デニール、織布の密度は３
０〜５０本／インチのものが補強材として適当な剛性を
得るために好ましい。
維からなる平織物その他の織物となされた織布を使用し
、その繊度は２００〜６００デニール、織布の密度は３
０〜５０本／インチのものが補強材として適当な剛性を
得るために好ましい。
また、その上部と下部の層部分の補強材としてナイロン
、ポリエステル等の合成繊維からなる織布が使用可能で
あるが、ポリエステル繊維からなる平織物が特に好まし
く、その繊度は６０〜３００デニール、平織物の密度は
３０〜８０本／インチであることが熱硬化性樹脂の含浸
性及びすぐれた耐摩耗性を得るために好ましい。また、
平織の場合、縦糸と横糸の密度は同じであっても、異な
っていてもよい。
、ポリエステル等の合成繊維からなる織布が使用可能で
あるが、ポリエステル繊維からなる平織物が特に好まし
く、その繊度は６０〜３００デニール、平織物の密度は
３０〜８０本／インチであることが熱硬化性樹脂の含浸
性及びすぐれた耐摩耗性を得るために好ましい。また、
平織の場合、縦糸と横糸の密度は同じであっても、異な
っていてもよい。
上記のガラス繊維からなる織布、合成繊維からなる織布
の夫々に熱硬化性樹脂を含浸し、予備硬化してプリプレ
グとする。熱硬化性樹脂としてはエポキシ樹脂、フェノ
ール樹脂、不飽和ポリエステル等が挙げられるが、エポ
キシ樹脂が最も好ましい。これら熱硬化性樹脂を織布に
含浸硬化させ、積層板とするには既知の技術が採用され
る。
の夫々に熱硬化性樹脂を含浸し、予備硬化してプリプレ
グとする。熱硬化性樹脂としてはエポキシ樹脂、フェノ
ール樹脂、不飽和ポリエステル等が挙げられるが、エポ
キシ樹脂が最も好ましい。これら熱硬化性樹脂を織布に
含浸硬化させ、積層板とするには既知の技術が採用され
る。
得られた積層板をラッピング／ポリッシング機械に使用
するために機械構造に適合した円径と、太陽ギヤー並び
にインターナルギヤ−に合致した歯形で、しかも被加工
物が挿入できるような形状の円形、四角形等の内孔を穿
設して、ラッピング／ポリッシング用積層板キャリヤー
とする。
するために機械構造に適合した円径と、太陽ギヤー並び
にインターナルギヤ−に合致した歯形で、しかも被加工
物が挿入できるような形状の円形、四角形等の内孔を穿
設して、ラッピング／ポリッシング用積層板キャリヤー
とする。
テンプレートとして使用の際には歯は不要である。
キャリヤーまたはテンプレートとしての使い方は従来ど
おりであるから、ここでは説明を省略する。
おりであるから、ここでは説明を省略する。
〈作用〉
ガラス繊維製織布を補強材とした中央の層部分は腰の強
さ、曲げ強度を保証し、ポリエステル繊維製織布を補強
材とした上部と下部の層部分は優れた耐摩耗性を保証し
、両々相俟って斜上の従来の問題点は解決される。
さ、曲げ強度を保証し、ポリエステル繊維製織布を補強
材とした上部と下部の層部分は優れた耐摩耗性を保証し
、両々相俟って斜上の従来の問題点は解決される。
〈実施例〉
エポキシ樹脂（エピコート１００１．シェル化成製）１
００重量部、硬化剤ジシアンジアミド５重量部、促進剤
ベンジルジメチルアミン０．２重量部よりなるエポキシ
樹脂ワニスを、縦糸、横糸にガラス繊維の３００デニー
ルを用いた打ち込み本数縦４１本／インチ、横３１本／
インチの平織物に含浸し１５０℃、５分間予備硬化せし
めてプリプレグ１を得た。一方、ポリエステル繊維１２
５デニールの繊維を縦糸とし、７０デニールのポリエス
テル繊維を横糸とし、打ち込み本数が縮６４本／インチ
、横３０本／インチの平織布を上述と同一のエポキシ樹
脂ワニスに含浸し、１５０’Ｃ１５分間予備硬化せしめ
てプリプレグ２を得た。プリプレグ１を２枚重ねその両
面にプリプレグ２を夫々２枚づつ重ねて１７０℃、３０
ｋｇ／−でプレスし全体の厚さが０．９ｍｍの積層板を
得た。この積層板をピッチ７ｍｍ、歯丈５ｍｍの歯３を
全周縁に有するピッチ円の直径４２３…ｍの板でその内
面に直径９６ｍｍの円形の内孔である被加工物嵌挿孔４
を８ケ穿設し、ラッピング／ポリシング用積層板キャリ
ヤーを得た。
００重量部、硬化剤ジシアンジアミド５重量部、促進剤
ベンジルジメチルアミン０．２重量部よりなるエポキシ
樹脂ワニスを、縦糸、横糸にガラス繊維の３００デニー
ルを用いた打ち込み本数縦４１本／インチ、横３１本／
インチの平織物に含浸し１５０℃、５分間予備硬化せし
めてプリプレグ１を得た。一方、ポリエステル繊維１２
５デニールの繊維を縦糸とし、７０デニールのポリエス
テル繊維を横糸とし、打ち込み本数が縮６４本／インチ
、横３０本／インチの平織布を上述と同一のエポキシ樹
脂ワニスに含浸し、１５０’Ｃ１５分間予備硬化せしめ
てプリプレグ２を得た。プリプレグ１を２枚重ねその両
面にプリプレグ２を夫々２枚づつ重ねて１７０℃、３０
ｋｇ／−でプレスし全体の厚さが０．９ｍｍの積層板を
得た。この積層板をピッチ７ｍｍ、歯丈５ｍｍの歯３を
全周縁に有するピッチ円の直径４２３…ｍの板でその内
面に直径９６ｍｍの円形の内孔である被加工物嵌挿孔４
を８ケ穿設し、ラッピング／ポリシング用積層板キャリ
ヤーを得た。
このキャリヤー５枚をスピードファム社製両面研磨機（
型式５ＦＤＬ−１６Ｂ−５Ｐ）にて、被加工物として９
５ｍｍ径のアルミニューム合金製ディスクを８枚ずつ各
キャリヤーの内孔に装着し研磨作業を行った。その結果
、比較としてガラス繊維平織布を用いた厚さ０．９ｍｍ
の市販のキャリヤーは６０時間稼動で歯こぼれが生じ、
キャリヤーが太陽ギヤーとインターナルギヤからはずれ
同時に装着しであるキャリヤーと接触して夫々のキャリ
ヤーを破壊してしまった。本発明のキャリヤーは６０時
間稼動で全く支障なく１５０時間後でやつと歯こぼれが
認められた。
型式５ＦＤＬ−１６Ｂ−５Ｐ）にて、被加工物として９
５ｍｍ径のアルミニューム合金製ディスクを８枚ずつ各
キャリヤーの内孔に装着し研磨作業を行った。その結果
、比較としてガラス繊維平織布を用いた厚さ０．９ｍｍ
の市販のキャリヤーは６０時間稼動で歯こぼれが生じ、
キャリヤーが太陽ギヤーとインターナルギヤからはずれ
同時に装着しであるキャリヤーと接触して夫々のキャリ
ヤーを破壊してしまった。本発明のキャリヤーは６０時
間稼動で全く支障なく１５０時間後でやつと歯こぼれが
認められた。
〈発明の効果〉
本発明のラッピング／ポリッシング用積層板は上述の構
成となされているので、ガラス繊維織布を補強材とした
層により剛性が付与されて腰が強く、曲げ強度にも強い
。更に上部と下部のポリエステル繊維の織布を補強材と
した層により優れた耐摩耗性を有する。即ち、剛性と曲
げ強度と耐摩耗性とを同時に満足することができるので
、全体が１ｍｍ以下の厚みの積層板でも充分な剛性を有
し、キャリヤーとして使用するときに太陽ギヤー並びに
インターナルギヤ−に噛合しても、ポリエステル繊維平
織物を基体とした層が強いのでガラス繊維平織物を基体
とした層のみが摩耗することもなく、また、ギヤ一部分
以外に接触し摺動する部分も上下゛のポリエステル繊維
平織物を基体とした層であるため、全体的に非常に耐摩
耗性に優れた反りの発生がないラッピング／ポリッシン
グ用積層板となる。
成となされているので、ガラス繊維織布を補強材とした
層により剛性が付与されて腰が強く、曲げ強度にも強い
。更に上部と下部のポリエステル繊維の織布を補強材と
した層により優れた耐摩耗性を有する。即ち、剛性と曲
げ強度と耐摩耗性とを同時に満足することができるので
、全体が１ｍｍ以下の厚みの積層板でも充分な剛性を有
し、キャリヤーとして使用するときに太陽ギヤー並びに
インターナルギヤ−に噛合しても、ポリエステル繊維平
織物を基体とした層が強いのでガラス繊維平織物を基体
とした層のみが摩耗することもなく、また、ギヤ一部分
以外に接触し摺動する部分も上下゛のポリエステル繊維
平織物を基体とした層であるため、全体的に非常に耐摩
耗性に優れた反りの発生がないラッピング／ポリッシン
グ用積層板となる。
第１図は本発明になる実施例の平面図、第２図は積層板
の構成を示す断面図である。 １・・・ガラス繊維製織布に熱硬化性樹脂を含浸硬化し
たプリプレグ、２・・・ポリエステル繊維製織布に熱硬
化性樹脂を含浸硬化したプリプレグ、３・・・歯、４・
・・被加工物嵌挿孔、 １・・・ガラス繊維製織布に熱硬化性樹脂を含浸硬化し
たプリプレグ ２−・・ポリエステル繊維製織布に熱硬化性樹脂を含浸
硬化したプリプレグ ３・・・歯 ４・・・被加工物嵌挿孔 第 １ 図 ＩＫ２図
の構成を示す断面図である。 １・・・ガラス繊維製織布に熱硬化性樹脂を含浸硬化し
たプリプレグ、２・・・ポリエステル繊維製織布に熱硬
化性樹脂を含浸硬化したプリプレグ、３・・・歯、４・
・・被加工物嵌挿孔、 １・・・ガラス繊維製織布に熱硬化性樹脂を含浸硬化し
たプリプレグ ２−・・ポリエステル繊維製織布に熱硬化性樹脂を含浸
硬化したプリプレグ ３・・・歯 ４・・・被加工物嵌挿孔 第 １ 図 ＩＫ２図
Claims (1)
- １、複数枚のプリプレグの積層円板面に被加工物嵌挿孔
（４）を穿設したラッピング／ポリッシング用積層板に
おいて、中央の層部分のプリプレグ（１）はガラス繊維
製織布に熱硬化性樹脂を含浸硬化したものとし、その上
部と下部の層部分のプリプレグ（２）はポリエステル繊
維製織布に熱硬化性樹脂を含浸硬化したものとしてなる
ラッピング／ポリッシング用積層板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7371188A JPH01244840A (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 | ラッピング／ポリッシング用積層板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7371188A JPH01244840A (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 | ラッピング／ポリッシング用積層板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01244840A true JPH01244840A (ja) | 1989-09-29 |
| JPH057181B2 JPH057181B2 (ja) | 1993-01-28 |
Family
ID=13526076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7371188A Granted JPH01244840A (ja) | 1988-03-28 | 1988-03-28 | ラッピング／ポリッシング用積層板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01244840A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6566286B1 (en) * | 1997-10-20 | 2003-05-20 | Shin-Kobe Electric Machinery Co., Ltd. | Polished-piece holder |
| US8066786B2 (en) | 2006-12-20 | 2011-11-29 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive disc and method of making the same |
| CN106366570A (zh) * | 2016-08-29 | 2017-02-01 | 上海国纪电子材料有限公司 | 一种游星轮专用玻纤板胶液 |
-
1988
- 1988-03-28 JP JP7371188A patent/JPH01244840A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6566286B1 (en) * | 1997-10-20 | 2003-05-20 | Shin-Kobe Electric Machinery Co., Ltd. | Polished-piece holder |
| US8066786B2 (en) | 2006-12-20 | 2011-11-29 | 3M Innovative Properties Company | Coated abrasive disc and method of making the same |
| CN106366570A (zh) * | 2016-08-29 | 2017-02-01 | 上海国纪电子材料有限公司 | 一种游星轮专用玻纤板胶液 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH057181B2 (ja) | 1993-01-28 |
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