JPH057099A

JPH057099A - チツプ部品装着装置の吸着ヘツド

Info

Publication number: JPH057099A
Application number: JP3278937A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Kato; 藤宏加; Yoshihisa Iwatsuka; 塚佳久岩
Original assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Current assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Priority date: 1991-10-01
Filing date: 1991-10-01
Publication date: 1993-01-14
Anticipated expiration: 2011-01-31
Also published as: JPH0810796B2

Abstract

(57)【要約】【目的】チップ部品装着装置の吸着ヘッド駆動機構、修
正アーム駆動機構を単純化して軽量化すると共に、吸着
ヘッドの駆動と修正アームの駆動とを単一の駆動部によ
って駆動できるようにする。【構成】駆動ピストン４５によって外側シャフト３２を
下降させて修正アーム６３ａ、６３ｂ、６４ａ、６４ｂ
を拡開させ、修正アームを拡開後外側シャフトによって
内側シャフト３３を下降させてその先端の吸着ノズル４
１にチップ１４を吸着させ、チップ吸着後上記ピストン
によって外側シャフトを内側シャフトと共に所定ストロ
ーク上昇させ、その後の外側シャフトの上昇によって修
正アームを閉じて、チップをノズル中心に対して芯合わ
せして把持させ、プリント基板上の所定位置に移動させ
る。この吸着ヘッドの先端に吸着したチップを解放する
場合は、再度上記と同様な作動を繰り返す。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、部品供給部に配列され
たチップ電子部品を自動的にプリント基板に装着するチ
ップ部品装着装置の吸着ヘッドに関するもので、チップ
部品の外、これと同様に小さな部品を供給部から所定の
他の位置に移動させる搬送装置の吸着ヘッドに適用して
有効なものである。

【０００２】

【従来の技術】プリント基板を間欠的に搬送するコンベ
ア上に、このコンベアと平行な水平面内をＸ軸、Ｙ軸方
向に高速で移動するヘッド支持部を設け、部品供給部に
配列されたチップ部品を吸着してプリント基板上の所定
位置に、所定の方向に向けて移し換える吸着ヘッドを上
記ヘッド支持部に設けたチップ部品装着装置が知られて
いる。この吸着ヘッドは、チップ部品を吸着する吸着ノ
ズルと、この吸着ノズルに吸着されたチップ部品を挾み
込んで吸着ノズルに対するチップ部品の位置決めを行う
複数本の修正アームとを備え、さらに、修正アームを互
いに連動して開閉させるためのリンク式の開閉機構が付
加されている。また、吸着ノズルの昇降動作と修正アー
ムの開閉動作とは所定の手順に従ったシーケンス動作で
あるが、この従来技術においては吸着ノズルを昇降させ
る駆動部と修正アームを開閉させる駆動部とをそれぞれ
設け、これらをマイコンのプログラム制御によって制御
して、上記のシーケンス動作を行わせている。以上の従
来技術においては、上記開閉機構がリンク式であるた
め、リンク機構が吸着ヘッドの半径方向外方に張り出す
ので、吸着ヘッドを複数個並べるについては吸着ヘッド
相互の干渉を避けるために吸着ヘッドの間隔を大きくせ
ざるを得ず、その分ヘッド支持部が大型化し、軽量化が
困難である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】ところで、ヘッド支持
部はガイドレールに沿って、Ｘ軸、Ｙ軸方向に高速で移
動して吸着ヘッドをプリント基板上の所定の位置に移動
させるものであるが、その作動速度を速め、停止位置の
精度を向上させるためには、ヘッド支持部の慣性を小さ
くすること、即ち、ヘッド支持部の軽量化が必要であ
る。吸着ヘッドの軽量化を図ることによってヘッド支持
部が著しく軽量化されるので、上記の要請に応えるため
には、吸着ヘッド駆動機構、修正アーム駆動機構を単純
化して軽量化することが効果的である。さらに、吸着ヘ
ッド駆動部と修正アーム駆動部とのシーケンス制御をよ
り単純にすることが吸着ノズルの昇降動作と修正アーム
の開閉動作とのシーケンス動作の高速化、円滑化のた
め、および両駆動部制御装置のコスト低減のために必要
である。この要請に応えるためには、吸着ヘッドの駆動
と修正アームの駆動とを単一の駆動部によって駆動でき
るようにすることが効果的である。本発明は、上記の両
要請に応えるために、吸着ヘッド駆動機構、修正アーム
駆動機構を単純化して軽量化すると共に、吸着ヘッドの
駆動と修正アームの駆動とを単一の駆動部によって駆動
できるようにすることをその課題とするものである。

【０００４】

【課題を解決するために講じた手段】上記課題を解決す
るために講じた手段は次の要素（イ）〜（ニ）によって
構成されるものである。（イ）下端に吸着ノズルを有す
る内側シャフトと修正アームを開閉操作するカム面を下
端に有する外側シャフトとを同心状にし、両シャフトを
互いに上下動自在かつ吸着ヘッド本体に対して上下動自
在に吸着ヘッド本体の支持孔に嵌合保持させたこと、
（ロ）外側シャフトに固定された駆動ピストンを吸着ヘ
ッド本体のシリンダに上下動自在に嵌合させたこと、
（ハ）外側シャフトの内側シャフトに対する下降動を規
制するストッパを内側シャフト下端に設け、内側シャフ
トの上下ストロークを規制するストッパを吸着ヘッド本
体と内側シャフト上端間に設けたこと、（ニ）内側シャ
フトを上方に付勢するリターンばねを外側シャフト上端
と内側シャフト上端間に設けたこと。

【０００５】

【作用】駆動ピストンによって外側シャフトが下降す
るとき、その初期動作によってその下端のカム面で修正
アームが拡開され、その後外側シャフトの下端面が内側
シャフト下端のストッパに当接して内側シャフトを降下
させる。この内側シャフトは、吸着ヘッド本体と内側シ
ャフト上端間に設けたストッパによる規制位置まで下降
するが、この降下によってその先端の吸着ノズルがチッ
プ部品に当接し、チップ部品が吸着ノズルに吸着され
る。チップ部品を吸着ノズルに吸着させて後、駆動ピス
トンが上昇され、外側シャフトが上昇を開始する。この
上昇動作の前半において、内側シャフトは上記リターン
ばねによって上方に付勢されているので、吸着ヘッド本
体と内側シャフト上端間に設けたストッパによる規制位
置まで外側シャフトと共に上昇する。その後は、外側シ
ャフトのみが上記リターンばねを圧縮しながら上昇し続
け、その下端のカム面が修正アームから外れる。これに
よって、修正アームが閉じて吸着ノズルに吸着されたチ
ップ部品をノズル中心に移動させ、その位置においてし
っかりと把持する。ヘッド支持部を所定の位置に移動さ
せてから、再び上記駆動ピストンを下降させる。この場
合に動作は前記の場合と同様である。即ち、外側シャフ
トの下降動作の初期において、外側シャフトのみが下降
して修正アームによるチップ部品に対する把持を解放
し、外側シャフトの先端によって内側シャフト下端のス
トッパを介して内側シャフトを下降させてその先端の吸
着ノズルに吸着されたチップ部品をプリント基板上に載
せ、その後ノズルからチップ部品を解放する。以上のと
おり、吸着ヘッド本体内に組み込まれた単一のピストン
によって、外側シャフトと内側シャフトとを機械的に連
動させて順次作動させることができるので、駆動ピスト
ンの運動を外側シャフト、内側シャフトに伝達するため
の伝達機構が一切不要であり、駆動ピストンも一つです
む。したがって、吸着ノズルを昇降させるための駆動機
構、修正アームを開閉させるための駆動機構が極めて単
純化、コンパクト化、軽量化され、上記の一連の動作を
制御する制御が一つのピストンの上下動を制御するだけ
の極めて単純なものであるので、その制御装置の製作コ
ストは著しく低減される。

【０００６】

【実施例】以下本発明を、図面に示す一実施例にも
とづいて説明する。図１１は装置の側面を示し、そのキ
ャビネット１の上面には、搬送路としてのコンベア２が
水平に設置されている。コンベア２上にはその一方側か
らプリント基板３が搬送され、このコンベア２の送りは
プリント基板３がチップ部品装着ポジションＰ₁に至っ
た時点で一時的に停止される。コンベア２の上方にはフ
レーム４が配置されており、このフレーム４はコンベア
２と直交するガイドレール５、５に案内されて、コンベ
ア２と平行な水平面内をコンベア２と直交する方向、つ
まりＹ方向に往復動される。そして、このフレーム４の
一端部には、ガイドレール５、５と平行な親ねじ６が噛
み合っており、この親ねじ６をモータ７で回転させるこ
とにより、フレーム４にＹ方向への送りが与えられる。
また、フレーム４にはヘッド支持部８が支持されてお
り、このヘッド支持部８はコンベア２に沿うガイドレー
ル９に案内されて、コンベア２の送り方向に沿うＸ方向
に往復動される。このヘッド支持部８にはガイドレール
９と平行な親ねじ１０が噛み合っており、この親ねじ１
０をモータ１１で回転させることにより、ヘッド支持部
８にＸ方向への送りが与えられる。従って、ヘッド支持
部８は上記フレーム４のＹ方向への送りと相まって、コ
ンベア２と平行な水平面内を任意な位置に移動される。
一方、上記キャビネット１上には、コンベア２を挾んだ
両側に位置して、部品供給部１２が設けられている。本
実施例の部品供給部１２は、リールに巻回された粘着テ
ープ１３に例えば直方体形状をなすチップ部品１４・・
・を等間隔に配置したもので、この粘着テープ１３の繰
り出し端には、図２に示すように粘着テープ１３を間欠
的に送り出すラチェット式の送り機構１６が組み込まれ
ている。送り機構１６はつめ車１７及びこのつめ車１７
に引掛かるつめ１８を有した入力車１９を備え、上記つ
め車１７は粘着テープ１３の送り孔に噛み合う送り車
（図示せず）と一体に回転される。そして、入力車１９
は押圧ロッド２０が下方に押し込まれることによって矢
印Ａ方向に一定角度回転されると共に、その後、ばね２
１によって引き戻され、この際、つめ１８がつめ車１７
を矢印Ｂ方向に一定角度回転させる。このつめ車１７の
回転により、粘着テープ１３が一定のピッチで繰り出さ
れ、その先端部のチップ部品１４が吸着ポジションＰ₂
に位置されるようになっている。ところで、上記ヘッド
支持部８には、３個の吸着ヘッド２２・・が並設されて
いる。この吸着ヘッド２２は上記吸着ポジションＰ₂に
位置されたチップ部品１４を、チップ部品装着ポジショ
ンＰ₁にあるプリント基板３の所定位置に移し換えるも
のであり、以下この吸着ヘッド２２の詳細について、図
１ないし図６を参照しつつ説明する。即ち、図中符号２
３はヘッド本体であり、上記ヘッド支持部８に支持され
ている。ヘッド本体２３内にはシリンダ２４及びこのシ
リンダ２４よりも大径な装着孔２５が上下方向に沿って
同軸的に形成されており、ヘッド本体２３の上面にはシ
リンダ２４の上端開口部を閉塞する蓋部材２６が被着さ
れていると共に、装着孔２５内にはシリンダ２４の下端
開口部を塞ぐ中間部材２７が嵌合されている。装着孔２
５の内側にはスリーブ２８及び軸受２９を介して円筒状
のガイド３０が同軸状に軸支されており、このガイド３
０の下端部は装着孔２５の下方に導出されている。そし
て、シリンダ２４及びガイド３０内には中空のシャフト
部品３１が同軸状に挿通されている。このシャフト部品
３１は、外側シャフト３２と内側シャフト３３とを軸方
向に摺動可能に嵌合した二重構造をなし、内側シャフト
３３の内部には軸方向に沿って真空通路３４が形成され
ている。このシャフト部品３１の上端部は端部材２６を
貫通して上方に導出されていると共に、内側シャフト３
３の上端部は外側シャフト３２よりも上方に突出されて
おり、この内側シャフト３３の上端部には軸受３５を介
して端部キャップ３６が嵌合されている。そして、内側
シャフト３３内の真空通路３４は、端部キャップ３６に
連なるホース３７及びヘッド本体２３内の連通路３８を
介して真空ポンプ３９に連なっている。また、内側シャ
フト３３の下端部は、外側シャフト３２よりも下方に導
出されており、この導出部分の外周には、外側シャフト
３２の下端面から軸方向に距離Ｌ₁隔てた位置に、外側
シャフト３２の下端が当接するゴム製のダンパ（ストッ
パ）４０が固定されている。内側シャフト３３の下端面
に開口する真空通路３４の下端開口部内には、チップ部
品１４を吸着する吸着ノズル４１が装着されており、こ
の吸着ノズル４１はコイルばね４２を介して軸方向に上
下動可能に嵌合されて、チップ部品１４の大きさや形状
が変わった場合に、その高さ変化分を吸収し得るように
なっている。上記外側シャフト３２の外周には、シリン
ダ２４内を上部室４３と下部室４４とに区画するピスト
ン４５が取付けられている。これら上部室４３及び下部
室４４は夫々エアー供給路４７、４７を介してエアーポ
ンプ４６、４６に連なっており、この上部室４３又は下
部室４４への空気の供給を切換えることにより、ピスト
ン４５と共に外側シャフト３２が昇降動される。また、
端部キャップ３６に設けたブラケット５０には、内側シ
ャフト３３の昇降動をガイドする二本のガイドシャフト
５１、５１が連結されている。ガイドシャフト５１、５
１はヘッド本体２３を摺動自在に貫通してシャフト部品
３１よりも下方に延びており、その一方の下端部は、吸
着ヘッド２２が吸着ポジションＰ₂に位置された際に、
送り機構１６の押圧ロッド２０と対抗される。なお、内
側シャフト３３及びガイドシャフト５１、５１は、リタ
ーンばね５２を介して上方に付勢されている。シャフト
部品３１が貫通する端部材２６には、ストローク調整用
の調整ねじ５３がねじ込まれている。この調整ねじ５３
の上部はブラケット５０を上下方向に貫通しており、こ
の調整ねじ５３にはブラケット５０の上面及び下面に当
接して内側シャフト３３とガイドシャフト５１、５１の
ストローク量を規制するストッパ５４、５５が取付けら
れている。ブラケット５０の下面に当接するストッパ５
５は、この下面から距離Ｌ₂隔てた位置に設けられてい
る。従って、内側シャフト３３は、そのダンパ（ストッ
パ）４０に外側シャフト３２の下端部が当接すること
で、外側シャフト３２と一体的に降下を開始し、この外
側シャフト３２及びピストン４５のストローク量Ｌは、
Ｌ₁＋Ｌ₂となる。また、外側シャフト３２及び内側シャ
フト３３の外周面は、ガイド３０を貫通する部分におい
て、平坦に切欠かれており、これら両シャフト３２、３
３の平坦面３２ａ、３３ａは図６に示すように同一平坦
面となっている。そして、ガイド３０には上記平坦面３
２ａ、３３ａに転接する回り止めピン５７が軸支されて
おり、この回り止めピン５７によって、ガイド３０、外
側シャフト３２及び内側シャフト３３の三者が軸方向に
相対的に摺動自在でありながら、軸回り方向には一体的
に回動可能に連結されている。このガイド３０の外周部
にはジョイント６０を介してエアーシリンダ６２のピス
トンロッド６３が連結されており、このピストンロッド
６３の突没より、ガイド３０、外側シャフト３２及び内
側シャフト３３が軸回り方向に例えば９０°の範囲内で
一体に回動される。ところで、上記ガイド３０の下端部
には、吸着ノズル４１に吸着されたチップ部品１４の位
置決めを行う四本の修正アーム６３ａ、６３ｂ及び６４
ａ、６４ｂが周方向に等間隔を存して配置されている。
これら修正アーム６３ａ、６３ｂ及び６４ａ、６４ｂは
径方向に対向する二本を一組としたもので、その上端部
はガイド３０の下端部に形成したスリット６５・・・内
に入り込むと共に、枢軸６６を介してガイド３０の径方
向に回動可能に支持されている。そして、修正アーム６
３ａ、６３ｂ、６４ａ、６４ｂの下端部には、チップ部
品１４の相対向する二面を挾み込む挟持片６７が固定さ
れていると共に、上端部には上記ガイド３０よりも径方
向外側に突出するレバー部６８が一体に形成されてい
る。このような修正アーム６３ａ、６３ｂ、６４ａ、６
４ｂは、シャフト部品３１の外側を囲んで位置されてお
り、そのシャフト部品３１を挾んで対向し合う面には、
外側シャフト３２が降下した際に、この外側シャフト３
２の下端部外周面に接するカム６９が突設されている。
カム６９は下方に進むにしたがって内側に張出してお
り、このカム６９の形状に応じて修正アーム６３ａ、６
３ｂ、６４ａ、６４ｂの下端部が径方向外側に向かって
拡開される。また、上記ガイド３０の下端部外周面に
は、修正アーム６３ａ、６３ｂ、６４ａ、６４ｂを閉じ
方向に付勢するスリーブ７０が軸方向に摺動可能に嵌合
されている。本実施例のスリーブ７０は、一方の組の修
正アーム６３ａ、６３ｂを連動させる内側スリーブ７１
と、他方の組の修正アーム６４ａ、６４ｂを連動させる
外側スリーブ７２との二重構造をなし、各スリーブ７
１、７２はリターンばね７３によって下向きに付勢され
て、その下端部が上記レバー部６８に当接されている。
この場合、内側スリーブ７１の下端部には、他方の組の
修正アーム６４ａ、６４ｂのレバー部６８との干渉を避
けるための凹部７４が形成されていると共に、外側スリ
ーブ７２の下端部には、一方の組の修正アーム６３ａ、
６３ｂのレバー部６８との干渉を避けるための凹部７５
が形成されており、このため、修正アーム６３ａ、６３
ｂ及び６４ａ、６４ｂは、組毎に独立して閉じ方向に付
勢されている。なお、各修正アーム６３ａ、６３ｂ、６
４ａ、６４ｂには、これらが閉じる際に内側シャフト３
３の下端部外周に当接するダンパ８０が付設されてい
る。このダンパ８０はコイルばね８１を介して修正アー
ム６３ａ、６３ｂ、６４ａ、６４ｂの開閉方向にスライ
ド可能に装着されており、このダンパ８０によって挟持
片６７がチップ部品１４を挾み込む際の衝撃が吸収緩和
される。このような構成において、ヘッド支持部８のＸ
Ｙ方向への移動により、吸着ヘッド２２が吸着ポジショ
ンＰ₂で停止すると、エアーポンプ４６を通じて上部室
４３に空気が供給され、外側シャフト３２及びガイドシ
ャフト５１、５１が降下を開始する。この降下により外
側シャフト３２の外周面がカム６９に接触し、図８に示
すように修正アーム６３ａ、６３ｂ、６４ａ、６４ｂが
スリーブ７１、７２の付勢力に抗して開き始める。そし
て、外側シャフト３２がダンパ（ストッパ）４０に当接
すると、内側シャフト３３も一体に降下を開始し、吸着
ノズル４１が挟持片６７間から下方に突出すると共に、
一方のガイドシャフト５１が押圧ロッド２０を押し込
み、ガイドシャフト５１の上昇に伴ってチップ１４を吸
着ポジションＰ₂に送り出すように送り機構１６を作動
する。内側シャフト３３が最下位にまでストロークされ
て、吸着ノズル４１がチップ部品１４の上面を吸着する
と、上部室４３内の排気が行われると同時に、下部室４
４内にエアーポンプ４６から空気が供給される。このこ
とにより、外側シャフト３２が上昇を開始すると共に、
内側シャフト３３もリターンばね５２により上昇し、粘
着テープ１３からチップ部品１４がピックアップされ
る。そして、この場合、修正アーム６３ａ、６３ｂ、６
４ａ、６４ｂはスリーブ７１、７２によって常時閉じ方
向の付勢力を受けて、そのカム６９が外側シャフト３２
に接しているから、外側シャフト３２が上昇すると、修
正アーム６３ａ、６３ｂ、６４ａ、６４ｂはカム６９の
形状に応じて徐々に閉じ始める。挟持片６７がチップ部
品１４の側面を互いに直交する方向から挾み込んだ時点
で吸着ノズル４１に対するチップ部品１４の幅及び長手
方向の位置合わせ、つまり心出しがなされる。次に、上
記ヘッド支持部８が再びＸＹ方向に移動し、チップ部品
１４を吸着した吸着ヘッド２２がチップ部品装着ポジシ
ョンＰ₁にあるプリント基板３上の所定位置で停止され
ると、エアーシリンダ６２によって吸着ノズル４１と修
正アーム６３ａ、６３ｂ、６４ａ、６４ｂが９０°の範
囲内で一体に回動され、チップ部品１４の装着方向の選
択がなされる。引き続いて下部室４４内の排気と同時
に、上部室４３に空気が供給され、シャフト部品３１が
降下を開始すると、修正アーム６３ａ、６３ｂ、６４
ａ、６４ｂが再び開き始め、図７に示すように吸着ノズ
ル４１に吸着されたチップ部品１４がプリント基板３の
所定位置に載置される。そして、この後、チップ部品１
４の吸着が解除され、プリント基板３上への装着が完了
する。なお、図７中符号Ｂはチップ部品１４を固着する
接着剤を示す。

【０００７】

【効果】本発明の前記課題は新規である。したがっ
て、この課題を解決して、吸着ヘッド駆動機構、修正ア
ーム駆動機構を単純化して軽量化すると共に、吸着ヘッ
ドの駆動と修正アームの駆動とを単一の駆動部によって
駆動でき、これによって、ヘッド支持部の起動、停止動
作を迅速、円滑にすることができること、および停止位
置の精度を向上させることができ、さらに吸着ヘッド駆
動部と修正アーム駆動部とのシーケンス制御を、１つの
駆動ピストンの上昇下降制御というプログラム制御を要
しない簡単な制御によって行うことができるので、ヘッ
ド支持部の移動速度を速くしてその稼働能率を著しく向
上できることが、本発明の最大の特有の効果である。ま
た、ヘッド支持部が軽量化されることに伴って、ヘッド
支持部をＸ軸、Ｙ軸方向に駆動する駆動機構、制動機構
を小形化することができ、さらに、吸着ヘッド駆動機
構、修正アーム駆動機構の駆動部を単一の駆動ピストン
とし、これを吸着ヘッド本体に組み込んだことによっ
て、これらの駆動機構が簡略化され、その製作コストが
著しく低減されるという、利点を有する。さらに、吸着
ヘッド駆動機構、修正アーム駆動機構がリンク等の機構
を介することなく、駆動ピストンによって直接駆動され
るものであるので、使用期間中に摩耗してガタを生じる
ことがない。したがって、これらの駆動機構の耐久性が
向上し、作動の正確性、信頼性が長期間保証される。

【図面の簡単な説明】

【図１】吸着ヘッドの断面図である。

【図２】吸着ヘッドの側面図である。

【図３】吸着ノズル及び修正アーム回りを拡大して示す
断面図である。

【図４】図３中Ｕ線方向から見た矢視図である。

【図５】修正アーム回りの斜視図である。

【図６】図２中Ｖ−Ｖ線に沿う断面図である。

【図７】吸着ノズルが最も降下した状態の断面図であ
る。

【図８】チップ部品の位置決め状態を示す断面図であ
る。

【図９】図８中Ｗ線方向から見た矢視図である

【図１０】装置全体の平面図である。

【図１１】装置全体の側面図である。

【符号の説明】

２・・・搬送路（コンベア）３・・・基板（プリント基板）８・・・ヘッド支持部１２・・・部品供給部１４・・・チップ部品２２・・・吸着ヘッド３０・・・ガイド３１・・・シャフト部品４１・・・吸着ノズル６３ａ、６３ｂ、６４ａ、６４ｂ・・・修正アーム６８・・・レバー部６９・・・カム７０・・・スリーブ

Claims

【特許請求の範囲】【請求項１】下端に吸着ノズルを有する内側シャフトと
修正アームを開閉操作するカム面を下端に有する外側シ
ャフトとを同心状にし、両シャフトを互いに上下動自在
かつ吸着ヘッド本体に対して上下動自在に吸着ヘッド本
体の支持孔に嵌合保持させ、外側シャフトに固定された
駆動ピストンを吸着ヘッド本体のシリンダに上下動自在
に嵌合させ、外側シャフトの内側シャフトに対する下降
動を規制するストッパを内側シャフト下端に設け、内側
シャフトの上下ストロークを規制するストッパを吸着ヘ
ッド本体と内側シャフト上端間に設け、内側シャフトを
上方に付勢するリターンばねを外側シャフト上端と内側
シャフト上端間に設けて、上記ピストンによって外側シ
ャフトを下降させて修正アームを拡開させ、修正アーム
を拡開後外側シャフトによって内側シャフトを下降させ
てその先端の吸着ノズルにチップを吸着させ、チップ吸
着後上記ピストンによって外側シャフトを内側シャフト
と共に所定ストローク上昇させ、その後の外側シャフト
の上昇によって修正アームを閉じて、チップをノズル中
心に対して芯合わせして把持させ、プリント基板上の所
定位置に移動後、再度上記ピストンによって外側シャフ
トを下降させて修正アームを拡開させ、修正アーム拡開
後外側シャフトによって内側シャフトを下降させ、その
先端の吸着ノズルに吸着させたチップを解放し、チップ
解放後上記ピストンによって外側シャフトを内側シャフ
トと共に所定ストローク上昇させ、その後の外側シャフ
トの上昇によって修正アームを閉じさせる、チップ部品
装着装置の吸着ヘッド。