JPH056934A

JPH056934A - 真空ウエハキヤリア

Info

Publication number: JPH056934A
Application number: JP3094891A
Authority: JP
Inventors: Yoshinobu Ono; 義暢小野
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1991-02-26
Filing date: 1991-02-26
Publication date: 1993-01-14

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は発塵が少なく、且つ扉開閉機構の信
頼度を向上した真空ウエハキャリアを実現することを目
的とする。【構成】複数個のウエハ21を収容でき、且つ一方の面
が開口し、その開口面にロードロック室22に接続できる
フランジ23が形成されたキャリア本体20と、該キャリア
本体の開口部を密閉できる扉25と、該扉25を支持する軸
26に取付けられたレバー27を介して該扉25を開閉できる
シリンダー28と、キャリア内の圧力とロードロック室22
内の圧力差によって作動する差動圧力スイッチ32とが設
けられて成り、ロードロック室22装着され該ロードロッ
ク室22内の圧力とキャリア内に圧力が等しくなったとき
に、前記差動圧力スイッチから送出される信号により、
該ロードロック室22に設けられた電磁弁38が開いて前記
シリンダー28に圧力ガスを供給することにより扉25を開
くように構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は真空ウエハキャリアに関
する。詳しくは複数枚のウエハを収容し持ち運び可能
で、且つ他の真空装置に接続を可能とした真空ウエハキ
ャリアに関する。

【０００２】近時、半導体技術の進歩に伴って半導体装
置のパターンは超微細化してきている。このパターンの
微細化はリソグラフィ工程などの製造工程における歩留
りに空気中の塵埃が大きく影響する。このため製造工程
におけるクリーンルームの清浄度は高くなって来てお
り、その建設価格は略対数関数で増大している。

【０００３】ところで、次世代の16Ｍ，64Ｍメモリ製造
でのクリーンルームはクラス１以下の清浄度が要求さ
れ、その建設資金は今迄以上に上昇することが予想され
る。また従来のクリーンルームの清浄度では新商品の生
産が不可能に近い。従ってクリーンルームの建設資金を
低減させる為に局所クリーンエリア方式が必要となり、
また旧設備のクリーン度に対しても開発品の生産を可能
にする必要がある。

【０００４】

【従来の技術】局所クリーン方式を得るためにウエハ搬
送用の真空ウエハキャリアが考案されている。図３はこ
の従来の真空ウエハキャリアを示す図である。これは複
数枚のウエハ１を間隔をあけて収容できるキャリア本体
２と、その一方の開放された面にＯリング３で気密保持
でき、且つロック用突起４を有する開閉自在な扉５が設
けられ、該扉５をキャリア本体２に設けられたロックレ
バー６でロックして内部を気密に保持できるようになっ
ている。

【０００５】そして、ＣＶＤ装置等の真空装置にウエハ
を供給又は取出すときは、図４に示すようにロードロッ
ク室７を用い、該ロードロック室７に前記ウエハキャリ
ア８を装着し、扉５を開き、モータ９により駆動される
ウエハ取出しハンド10によりウエハ１を矢印方向に送り
出し、又は反対に取り込むことができるようになってい
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の真空ウエハ
キャリアでは、ウエハ搬送時には、キャリア本体２及び
扉５の外壁に塵埃や水分が付着するため、ロードロック
室７にそのまま塵埃、水分を持ち込む事になり、ロード
ロック室を汚したり、脱ガスが多くロードロック室７の
真空引きを遅くするという問題があった。

【０００７】また、キャリア内の圧力検知が不可能なた
め（リークにより圧力が高くなる）、ロードロック室７
がキャリア８内より真空度が大（又は逆）の時にキャリ
ア８の扉５を開閉した場合、ガスの流れが生じ、周りの
塵埃を巻き上げたり、ウエハ１を振動させ、キャリア８
を擦り発塵させることがある。また、扉５の開閉機構11
をロードロック室７内に取り付ける必要があり、真空中
に複雑な機構（図示せず）を導入する事により、真空引
きが悪くなったり、扉開閉機構の信頼度も低くなる。

【０００８】従って、従来の真空ウエハキャリアでは、
発塵を無くす事ができず、歩留りを落すという問題が生
じていた。また、脱ガス面積を小さくできない為に真空
引きが遅くなったり、ロードロック室７の扉開閉機構の
信頼度を落としたりして、処理能力が大幅にダウンする
という問題が生じていた。

【０００９】本発明は、ロードロック室との接続を一面
のみとし、また扉開閉機構を真空外に設け、さらにロー
ドロック室との圧力差を検知する手段を設けたことによ
り、発塵が少なく且つ扉開閉機構の信頼度を向上した真
空ウエハキャリアを実現しようとする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明の真空ウエハキャ
リアに於いては、複数個のウエハを収容でき、且つ一方
の面が開口し、その開口面にロードロツク室に接続でき
るフランジが形成されたキャリア本体と、該キャリア本
体の開口部を密閉できる扉と、該扉を支持する軸に取付
けられたレバーを介して該扉を開閉できるシリンダー
と、キャリア内の圧力とロードロック室内の圧力差によ
って作動する差動圧力スイッチとが設けられて成り、ロ
ードロック室に装着され該ロードロック室内の圧力とキ
ャリア内の圧力が等しくなったときに、前記差動圧力ス
イッチから送出される信号により、該ロードロック室に
設けられた電磁弁が開いて前記シリンダーに圧力ガスを
供給することにより扉を開くようにしたことを特徴とす
る。

【００１１】また、それに加えて、上記差動圧力スイッ
チからのリード線の端子を前記キャリア本体のフランジ
に設けたことを特徴とする。また、それに加えて、前記
端子の接触面に永久磁石を用いたことを特徴とする。

【００１２】

【作用】キャリア本体の開口部を有する開口面に、ロー
ドロック室に接続するためのフランジと、該開口部を密
閉できる扉を設け、且つ該扉の開閉を真空外（キャリア
本体の外側）に設けたシリンダーで行なうことができる
ようにしたことにより、ロードロック室に装着したと
き、キャリア本体の外部に付着している塵埃、水分等を
ロードロック室に持ち込むことはない。

【００１３】また、ロードロック室とキャリア内の圧力
差を差動圧力スイッチで検出し、圧力差が無くなったと
きにシリンダーを作動させて扉を開くようにしたことに
より、圧力差によるガスの流れがなくなり、塵の巻き上
げは防止される。また差動圧力スイッチの信号をロード
ロツク室側へ接続する接点に永久磁石を用いることによ
り、接続が確実となる。

【００１４】

【実施例】図１及び図２は本発明の実施例を示す図であ
り、図１は斜視図、図２はロードロック室に装着した状
態を示す図である。両図において、20は複数枚のウエハ
21を収容できるキャリア本体である。該キャリア本体20
は一方の面が開放しており、該面には、ロードロック室
22へ接続するためのフランジ23が形成されている。

【００１５】また該フランジ23には、キャリア本体20の
開口部を密閉できるようにＯリング24を有する扉25が設
けられている。そして該扉25は、フランジ23の凹部に設
けられた軸26に固定されている。また軸26の一端にはレ
バー27が固定され、その他端はシリンダー28のピストン
ロッド29の先端とピン30により回動可能に結合されてい
る。またシリンダー28はキャリア本体20の上部に設けら
れ、且つ該シリンダー28に圧力ガスを供給するパイプ31
はフランジ23に延び、その取付面に開口している。

【００１６】またキャリア本体20の外部には、ダイアフ
ラムと該ダイアフラムで作動するスイッチとよりなる差
動圧力スイッチ32が設けられ、該圧力スイッチ32の一方
の圧力室はキャリア本体の壁に穿設された孔33を通して
キャリア内に通じ、他方の圧力室はフランジ23に穿設さ
れた孔34を通してフランジ面に開口している。さらに差
動圧力スイッチ32のリード35の端子36もフランジ面に露
出するように設けられている。なおこの端子36の接触を
確実にするために該端子の接触面に永久磁石を用い、相
手側端子に永久磁石又は軟磁性体を使用することも良
い。

【００１７】このように構成された本実施例は、キャリ
ア内にウエハ21を収容して持ち運ぶことができる。この
場合扉25はシリンダー28の戻りばねにより押し出される
ピストンロッド29によりレバー27を介して回動し、キャ
リア本体20の開口部を密閉している。

【００１８】またロードロック室22に装着されるとき
は、図２に示すように装着される。装着後ロードロック
室22内は真空引きされるが、差動圧力スイッチ32はキャ
リア内の圧力とロードロック室内の圧力が等しくなった
ときに信号を発生する。この信号は、リード35、端子36
を通り、ロードロック室側の端子37を通ってガス供給用
の電磁弁38を開き圧力ガス（Ｎ₂等）をシリンダー28に
供給させる。これによりシリンダー28は作動し、レバー
27を介して扉25を開放するのである。また扉25を閉止す
るには、電磁弁38への電流を切り、該電磁弁38を閉じて
シリンダー28内の圧力ガスを放出させることにより、扉
25はシリンダー28の復帰ばねの力により閉じられる。

【００１９】以上の如く本実施例は、ロードロック室22
に装着されたとき、キャリア本体20の外側は、ロードロ
ック室内に入らないため、キャリア本体20の外側に付着
している塵埃、水分等をロードロック室に持ち込むこと
はない。また扉25の開放動作はキャリア内の圧力とロー
ドロック室内の圧力が等しくなったときに行なわれるの
で、圧力差によるガスの流れによって塵埃を巻き上げた
り、或いはウエハを振動させ、発塵させるようなことは
生じない。また扉の開閉機構をキャリア側に設けたこと
により、その信頼性は向上する。

【００２０】

【発明の効果】本発明に依れば、ロードロック室への塵
埃、水分等の持ち込みを従来に比して少なくすることが
できる。また扉の開閉機構を真空中に入れることがない
ため該機構の信頼性及びロードロック室の信頼性を上げ
ることができる。さらに扉の開閉をキャリア内とロード
ロック室内の圧力が等しくなった時に行なうようにした
ことにより、真空引きが速くなり、且つ塵埃の巻き上り
を防止することができる。この結果処理能力の向上及び
歩留りの向上が得られる。

【図画の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す斜視図である。

【図２】本発明の実施例をロードロック室に装着した状
態を示す断面図である。

【図３】従来の真空ウエハキャリアを一部開切して示し
た斜視図である。

【図４】従来のロードロック室を一部開切して示した斜
視図である。

【符号の説明】

20…キャリア本体 21…ウエハ 22…ロードロック室 23…フランジ 24…Ｏリング 25…扉 26…軸 27…レバー 28…シリンダー 29…ロッド 30…ピン 31…パイプ 32…差動圧力スイッチ 33，34…孔 35…リード 36，37…端子 38…電磁弁

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【手続補正書】

【提出日】平成４年７月１５日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】００２０

【補正方法】変更

【補正内容】

【００２０】

【手続補正２】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図面の簡単な説明

【補正方法】追加

【補正内容】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す斜視図である。

【符号の説明】２０…キャリア本体２１…ウエハ２２…ロードロック室２３…フランジ２４…Ｏリング２５…扉２６…軸２７…レバー２８…シリンダー２９…ロッド３０…ピン３１…パイプ３２…差動圧力スイッチ３３，３４…孔３５…リード３６，３７…端子３８…電磁弁

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数個のウエハ（21）を収容でき、且つ
一方の面が開口し、その開口面にロードロック室（22）
に接続できるフランジ（23）が形成されたキャリア本体
（20）と、該キャリア本体の開口部を密閉できる扉（2
5）と、該扉（25）を支持する軸（26）に取付けられた
レバー（27）を介して該扉（25）を開閉できるシリンダ
ー（28）と、キャリア内の圧力とロードロック室（22）
内の圧力差によって作動する差動圧力スイッチ（32）と
が設けられて成り、ロードロック室（22）に装着され該
ロードロック室（22）内の圧力とキャリア内の圧力が等
しくなったときに、前記差動圧力スイッチ（32）から送
出される信号により該ロードロック室（22）に設けられ
た電磁弁（38）が開いて前記シリンダー（28）に圧力ガ
スを供給することにより扉（25）を開くようにしたこと
を特徴とする真空ウエハキャリア。
【請求項２】上記差動圧力スイッチ（32）からのリー
ド（35）の端子（36）を前記キャリア本体（20）のフラ
ンジ（23）に設けたことを特徴とする請求項１の真空ウ
エハキャリア。
【請求項３】前記端子（36）の接触面に永久磁石を用
いたことを特徴とする請求項２の真空ウエハキャリア。