JP2010108998A - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】コンテナ部材内の汚染防止、係合手段の点検、補修、洗浄の簡素化、ドア部材の薄型化を図る。
【解決手段】ドア部材２をコンテナ部材１に係合する係合手段３を、ドア部材２及びコンテナ部材１の外面に設け、係合手段３を、シャフト部材４と、シャフト部材４をコンテナ部材１側に軸支する支持部５と、シャフト部材側の係合部６ｃを有するシャフト係合部材６及びドア部材側の係合部２ｂとを有する構成とし、シャフト部材４の軸線方向の移動に連動しシャフト部材側の係合部６ｃがドア部材側の係合部２ｂに対して係合する係合位置と解除位置とを移動する構成とし、このように係合手段３をドア部材２及びコンテナ部材１の外面に設け、係合手段をドア部材に内蔵する構成としないことで、ドア部材２内に汚染物が溜まるのを無くし且つドア部材２を分解しないで係合手段３の点検、補修、洗浄を行い且つドア部材２内に係合手段を収容する空間を不要とする。
【選択図】図２

Description

本発明は、シリコン、金属化合物、ガラス、炭化ケイ素等の半導体ウエハやマスクガラス、液晶ガラス等の基板を収納し、輸送や保管、工程内搬送に使用される基板収納容器に関する。

従来の基板収納容器は、基板を収納するコンテナ部材と、このコンテナ部材の開口を閉鎖するドア部材と、を備えている。コンテナ部材は、その底部に開口を有し、ドア部材は、当該ドア部材をコンテナ部材に係合するためのラッチ機構を内蔵して有している。ここでいうラッチ機構とは、ドア部材をコンテナ部材に対して係合によりロックし、又、ロック解除するものである。そして、基板は、水平方向に配列させるための溝部が内部に形成されたカセットに収容され、このカセットは、ドア部材に載せられてコンテナ部材内に収容される。このように、ドア部材にカセットを載せていたので、基板の重量によりドア部材が撓んでしまうことがあり、ドア部材の撓みを防止することが可能な基板収納容器が提案されている（例えば、特許文献１参照）。また、コンテナ部材の正面側に開口を設け、基板を水平方向に配列するための溝部をコンテナ部材の内面に形成して、カセットを不要とした基板収納容器も知られている（例えば、特許文献２参照）。
特表平４−５０５２３４号公報 特表２００２−５１４８２９号公報

しかしながら、従来の基板収納容器では、ドア部材をコンテナ部材に係合するためのラッチ機構がドア部材に内蔵されているため、ラッチ機構の部品同士の摺動や擦れ等によって発生したパーティクル等の汚染物がドア部材内に溜まってしまうという問題があった。これにより、ドア部材内の汚染物がコンテナ部材内に侵入して、基板収納容器内を汚染する虞があった。また、従来のドア部材は、係止爪を出没させるための小さな開口しかないため、ドア部材内の洗浄が難しく、さらに、乾燥時間が長くなるという問題があった。また、ドア部材に内蔵されたラッチ機構の点検、補修（例えば部品交換）等を行うには、複数の螺子を取り外してドア部材を分解する必要があった。これにより、点検、補修作業を省略するためにドア部材を交換することがあり、不経済であった。

本発明は、このような課題を解決するために成されたものであり、コンテナ部材内の汚染防止を図ると共に、係合手段の点検、補修、洗浄等の簡素化を図った基板収納容器を提供することを課題とする。

本発明による基板収納容器は、開口を有し基板を収容するコンテナ部材と、開口を閉鎖するドア部材と、を具備した基板収納容器において、ドア部材をコンテナ部材に係合するための係合手段を、ドア部材及びコンテナ部材の外面に備え、係合手段は、一軸方向に延びるシャフト部材と、このシャフト部材をコンテナ部材側に軸支する支持部と、シャフト部材側の係合部を有するシャフト係合部材及びシャフト部材側の係合部に係合するドア部材側の係合部と、を有し、シャフト部材の軸線方向の移動に連動してシャフト部材側の係合部が移動することを許容する空間領域が設けられ、シャフト部材の軸線方向の移動によって、シャフト部材側の係合部が、ドア部材側の係合部に対して係合する係合位置と係合を解除する係合解除位置とを移動してドアロック／ドアロック解除を行うことを特徴としている。

このような基板収納容器によれば、ドア部材をコンテナ部材に係合するための係合手段が、ドア部材及びコンテナ部材の外面に設けられ、従前のように係合手段がドア部材に内蔵されていないため、ドア部材内に汚染物が溜まってしまうことが無くなりコンテナ部材内の汚染を防止することができると共に、ドア部材を分解すること無く係合手段の点検、補修、洗浄を行うことができ、加えて、ドア部材内に係合手段を収容する空間を設ける必要が無くドア部材の薄型化を図ることができる。

ここで、シャフト部材側の係合部がドア部材側の係合部に係合するように、シャフト部材を軸線方向の一方側に押圧する付勢手段を有していると、当該付勢手段によりシャフト部材側の係合部がドアロックするように付勢されるため、意図しないドアロック解除が防止されると共に、シャフト部材側の係合部がドア部材側の係合部に対して係合する際の補助として機能することができる。

また、シャフト部材の軸線回りの回転を防止する回転防止機構を有していると、シャフト部材が軸線回りに回転してしまうことが防止されて軸線方向の移動のみが許容され、ドアロック／ドアロック解除が確実に行われる。

また、シャフト係合部材は、シャフト部材とは別部品とされシャフト部材に連結されているのが好ましい。このような構成を採用した場合、シャフト部材とシャフト係合部材とを一体とした一体成形品では、コンテナ部材側に取り付けるのが困難な場合であっても、シャフト部材とシャフト係合部材とが別部品とされていることにより、コンテナ部材側に容易に取り付けることが可能とされる。

また、両係合部は、シャフト部材の軸線方向の移動によって前記軸線方向に移動し互いに合わさることで係合する傾斜面を有する構成であると、簡易な構成でしっかりとドアロックを行うことができる。

また、シャフト部材側の係合部は、ドア部材側の係合部より低摩耗性の材質から構成されていると、確実なドアロックが長期間に亘って実現できる。

また、シャフト部材が軸線方向に移動するときに、外部からシャフト部材の外周面を伝って空間領域に向かう気流を遮蔽するための遮蔽部材が、シャフト部材の外周面に対して配設されていると、当該遮蔽部材によって、例えばシャフト部材の軸線方向の移動時にシャフト部材と支持部との間で生じたパーティクル等の汚染物が、コンテナ部材内に侵入することが防止され、コンテナ部材内の汚染防止が一層図られる。

また、シャフト部材が軸線方向に移動するときに、外部から空間領域に向かう気流を遮蔽するための遮蔽部材が、空間領域への流路を塞ぐようにシャフト係合部材とコンテナ部材とに連結されていると共に、シャフト係合部材の移動に追従するように構成されていると、空間領域への流路を塞ぐようにシャフト係合部材とコンテナ部材とに連結されシャフト係合部材の移動に追従する遮蔽部材によって、例えばシャフト部材の軸線方向の移動時にシャフト部材と支持部との間で生じたパーティクル等の汚染物が、空間領域を通じてコンテナ部材内に侵入することが防止され、コンテナ部材内の汚染防止が一層図られる。

また、シャフト部材は、外方に突出する突部を有し、シャフト部材には、突部が進入し係合するカム溝及びシャフト部材側の係合部を有するカム部材がシャフト係合部材として軸線回りに回動可能に連結され、シャフト部材の軸線方向の移動による突部の軸線方向の移動によって、突部に係合するカム溝を有するカム部材が軸線回りに回動し、このカム部材が有するシャフト部材側の係合部が、ドア部材側の係合部に対して係合する係合位置と係合を解除する係合解除位置とを移動してドアロック／ドアロック解除を行う構成とすることも可能である。

さらに、係合手段が、カバーによりシール可能に覆われていると、コンテナ部材内の汚染を一層防止することができる。

ここで、本発明の基板収納容器は、正面に開口を有するコンテナ部材とドア部材から成り、コンテナ部材の内面に基板を収納する溝を備えたフロントオープンタイプや、底壁に開口を有するコンテナ部材とドア部材から成るボトムオープンタイプや、これとは逆に上壁（天壁）に開口を有し内部に基板を収納するコンテナ部材とドア部材から成るトップオープンタイプ等、種々の型式の基板収納容器として使用できる。このとき、基板は、水平状態で収納されても垂直状態で収納されていても良く、また、コンテナ部材に設けられた収納溝に収納されていても良く、また、ドア部材の内面に支持溝を固定してここに収納されていても良い。また、基板をカセットに収納しカセットごとコンテナ部材内に収納しても良い。また、コンテナ部材の開口の形状も角形だけでは無く、円形であっても良い。因みに、円形の場合には、角部でシール性能が低下するということが無いため、角形に比してシール性能を向上できる。

このように、本発明では、種々のタイプの基板収納容器が対象となるため、本発明のコンテナ部材とは、開口を有し基板を収容する内部空間を備えたものをいう。また、ドア部材とは、コンテナ部材の開口をシール可能に閉鎖すると共に、取り外し又は軸やヒンジ等の連結部によって移動可能であり、コンテナ部材を開口可能なドアやカバーをいう。このとき、基板がコンテナ部材又はドア部材の何れに支持されているかは問わない。

また、本発明の基板収納容器は、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーといった熱可塑性樹脂や、これらのアロイ、これらの樹脂に、カーボンブラック、炭素繊維、カーボンナノチューブ、金属繊維、金属酸化物、導電性ポリマー等の導電剤や、アニオン、カチオン、非イオン系等の各種帯電防止剤を添加したり、ベンゾトリアゾール系、サリシレート系、シアノアクリレート系、オキザリックアシッドアニリド系、ヒンダードアミン系等の紫外線吸収剤を添加したり、剛性を向上させるためのガラス繊維、炭素繊維等を添加したものを使用できる。また、セラミックや、ジュラルミン、チタン合金等の軽量化可能な金属材料から形成しても良い。さらに、基板収納容器の内表面や外表面、或いは、係合手段の作動部やシール面等の特定部位に、酸素や水分を透過させない気体バリアー性フィルムを貼着したり、金属コーティング、ダイヤモンドライクコーティング、ＰＥＥＫ樹脂コーティング、フッ素樹脂コーティングを行ったり、二酸化チタン等の光触媒材料をコーティングしても良い。また、導電塗料等のコーティングを行って透明性を維持して導電性を付与しても良い。

このように本発明によれば、コンテナ部材内の汚染防止が図られると共に、係合手段の点検、補修、洗浄等の簡素化が図られ、加えて、ドア部材の薄型化が図られる。

以下、本発明による基板収納容器の好適な実施形態について図１〜図２０を参照しながら説明する。なお、各図において、同一の要素には同一の記号を付し、重複する説明は省略する。

図１〜図１４は、本発明の第一実施形態を、図１５は、本発明の第二実施形態を、図１６及び図１７は、本発明の第三実施形態を、図１８〜図２０は、本発明の第四実施形態を各々示すものであり、先ず、図１〜図１４に示す第一実施形態を説明する。

図１は、本発明の第一実施形態に係る基板収納容器を示す斜視図であり、コンテナ部材の開口をドア部材により閉鎖しロックした状態の斜視図、図２は、基板収納容器の開口側の右側面図、図３は、基板収納容器の開口側をコンテナ部材及びドア部材を破断して見た斜視図、図４は、基板収納容器の開口側の縦断面図、図５は、図２から被操作手段及び支持部を取り外した図、図６は、図２からロックを解除した図、図７は、図６からドア部材を取り外した図、図８は、図７の斜視図、図９〜図１１は、コンテナ部材の各斜視図、図１２〜図１４は、被操作手段を示す各図である。

図１に示す基板収納容器１００は、半導体ウェハ等の基板Ａ（図８参照）を１枚又は複数枚収納（ここでは複数枚収納）し、輸送、搬送、保管等に使用される収納容器であり、基板Ａを収納する全体又は少なくとも一部が透明なコンテナ部材１と、このコンテナ部材１に設けられた開口１ａ（図９参照）を閉鎖するためのドア部材２と、このドア部材２をコンテナ部材１に係合するための係合手段３を、図２及び図３に示すように、コンテナ部材１の開口側の両側壁側に備えている。

この係合手段３は、詳しくは後述するが、図２、図３及び図６に示すように、上下方向（一軸方向）に延びるシャフト部材４と、このシャフト部材４をコンテナ部材側に軸支する上下一対の支持部５と、シャフト部材側の上下の係合部６ｃを有する上下のシャフト係合部材６及びシャフト部材側の上下の係合部６ｃに係合するドア部材側の上下の係合部２ｂと、を有し、シャフト部材４及びシャフト係合部材６により、他のものに操作される（実際には上方／下方に押圧される）被操作手段８が構成されている。

コンテナ部材１は、図１〜図３及び図９に示すように、箱型を成して矩形の正面開口１ａを備えると共に、開口１ａの周縁に沿って、外側に張り出すリム部１ｂを備え、このリム部１ｂの内側にドア部材２を収納する構成とされている。

ドア部材２は、図１及び図８に示すように、開口１ａに対応して矩形とされ、その表面には、把持用の凹部２ａが設けられている。このドア部材２には、コンテナ部材１の開口１ａを密封するためのシールガスケット２ｇ（図７参照）が全周に亘って装着され、コンテナ部材１の開口１ａをドア部材２により閉鎖すると、ドア部材２とコンテナ部材１の内面との間にシールガスケット２ｇが挟持される構成とされている。

ここで、特に本実施形態のドア部材２にあっては、その両側面（外面）に、図２及び図３に示すドアロック時に上下のシャフト部材側の係合部６ｃが係合する上下のドア部材側の係合部２ｂ（図５及び図６参照）を各々有すると共に、図６に示すドアロック解除時にシャフト部材側の係合部６ｃの移動を許容する（係合部６ｃが進入してくる）上下の空間領域２ｅ（図２、図３及び図５参照）を各々有している。

具体的には、図５、図７及び図８に示すように、ドア部材側の係合部２ｂは、ドア部材２の側面に上下方向（シャフト部材４の軸線方向）に延びる凹部（切欠）２ｃを形成することにより、その隣に形成された凸部であり、上方に行くに従いコンテナ部材１側に傾斜する凹部２ｃの側面により、凸部２ｂの幅が上方に行くに従い狭くなる傾斜面２ｄを有する構成とされている。そして、この凹部２ｃは、図２に示すドアロック時にシャフト部材側の係合部６ｃの移動を許容する（係合部６ｃが進入してくる）空間領域としても機能し、この空間領域である凹部２ｃを上方に連続して延在させることにより、前述した凹部である空間領域２ｅが形成されている。

また、特に本実施形態のコンテナ部材１にあっては、図５に示すように、ドア部材側の係合部である凸部２ｂ、凹部である空間領域２ｃ，２ｅに対応する両側面の上下位置に、図５、図８〜図１１に示すように、コンテナ部材１の側壁の内外を連通する長方形状の開口（貫通孔；切欠）１ｃを有し、この開口１ｃを通して、図５に示すように、ドア部材２の凸部２ｂ、凹部である空間領域２ｃ，２ｅが覗ける構成とされている。また、コンテナ部材１は、図５及び図９〜図１１に示すように、この開口１ｃの反リム部側（コンテナ部材１の背面側）に隣接し上下方向に延びる凹部１ｄを、シャフト部材４及び支持部５を収容するものとして有している。また、この凹部１ｄには、シャフト部材４の軸線回りの回転を防止するための回転防止機構の一方を構成する長溝１ｅが上下方向に延びるように設けられている。

また、凹部１ｄの上下位置には、図２、図３及び図６に示すように、シャフト部材４を軸支し芯ずれを防止して軸線方向に摺動させるための支持部５が各々軽圧入されてセットされている。この支持部５としては、ガイドブッシュ等の軸受部材を用いることができ、また、ベアリングを内蔵しても良い。

被操作手段８（係合手段３から支持部５及びドア部材側の係合部２ｂを除いたもの）は、図２に示すように、コンテナ部材１の側壁とほぼ同じ長さで円柱形状のシャフト部材４及びシャフト係合部材６を備え、シャフト部材４は、支持部５に通されて軸支されコンテナ部材１の凹部１ｄの設置位置に配置されている。

このシャフト部材４（後述する中央シャフト４ａ及び端部シャフト４ｂ，４ｂ）は、ＳＵＳやアルミ等の金属材料や、ポリエーテルエーテルケトンやポリカーボネート等の剛性を有する合成樹脂や、炭素繊維やガラス繊維等で補強された合成樹脂から形成できる。

シャフト部材４の両端部側は、上下方向の外方に各々突出し、両端部はこれを除く部分よりも太く形成されて両端面が各々平坦面４ｘ，４ｙとされている。この平坦面４ｘ，４ｙは、別途用意されるドア部材開閉機構の駆動部（不図示）に当接する部位であり、上側の平坦面４ｘはドアロック時に上方から押圧され、下側の平坦面４ｙはドアロック解除時に下方から押圧される。なお、シャフト部材４の下端部をくわえ込んでドアロック時に下方に引き下げ、シャフト部材４の上端部をくわえ込んでドアロック解除時に上方に引き上げるようにしても良い。

また、シャフト部材４は、図２及び図１２〜図１４に示すように、その軸線方向の途中に拡径されたフランジ部４ｇを備え、図２に示すように、このフランジ部４ｇと、これより上方に位置しシャフト部材４に外挿されると共にコンテナ部材１に当接する座金１１との間に、シャフト部材４を囲繞するように圧縮スプリングであるコイルスプリング（付勢手段）１０が配置されている。このコイルスプリング１０は、シャフト部材側の係合部６ｃがドア部材側の係合部２ｂに係合するようにシャフト部材４を軸線方向の一方側に押圧するためのものであり、ここでは、その付勢力によってシャフト部材４を下方に押圧する。

また、シャフト部材４には、図１２〜図１４に示すように、当該シャフト部材４の軸線回りの回転を防止するための回転防止機構の他方を構成するピン４ｈが突設されており、このシャフト部材４のピン４ｈが、前述したコンテナ部材１の上下方向に延びる長溝１ｅ（図５及び図１１参照）に進入することで、シャフト部材４が軸線回りに回転することが防止されていると共に、シャフト部材４が軸線方向に移動することが可能とされている。

そして、シャフト部材４は、図１２〜図１４に示すように、ここでは、中央部分を構成する中央シャフト４ａと、この中央シャフト４ａとは別部材とされて中央シャフト４ａの両端部を構成する端部シャフト４ｂ，４ｂと、を備える構成とされている。

中央シャフト４ａの両端部は、図１２及び図１４に示すように、段差を介して中央部分より小径の小径部４ｆとされ、この小径部４ｆの端面に、軸線方向に沿って突出し小径部４ｆより小径の凸部４ｄが設けられると共に、この凸部４ｄの外周面に雄螺子が形成されている。一方、端部シャフト４ｂの中央シャフト４ａ側の端部には、軸線方向に沿って凹む凹部４ｅが設けられ、この凹部４ｅの内周面に、凸部４ｄの雄螺子に螺合する雌螺子が形成されている。

そして、図１２に示すように、中央シャフト４ａにコイルスプリング１０及び座金１１を通し、図１２〜図１４に示すように、シャフト係合部材６の円筒状の固定部６ａを中央シャフト４ａの小径部４ｆに外挿して段差に突き当て、中央シャフト４ａの凸部４ｄの雄螺子に端部シャフト４ｂの凹部４ｅの雌螺子を螺合し中央シャフト４ａに端部シャフト４ｂを連結することで、中央シャフト４ａと端部シャフト４ｂとの間にシャフト係合部材６の固定部６ａが挟持されて固定された被操作手段８が得られる。

従って、この被操作手段８をコンテナ部材１に組み付ける場合には、支持部５をコンテナ部材１の凹部１ｄの設置位置に組み込むと共に、被操作手段８の端部シャフト４ｂ，４ｂを除いた部分をコンテナ部材１の凹部１ｄの設置位置に配置し、端部シャフト４ｂを支持部５に外側から内挿し中央シャフト４ａの凸部４ｄの雄螺子に端部シャフト４ｂの凹部４ｅの雌螺子を螺合して中央シャフト４ａに端部シャフト４ｂを連結すれば良く、このようにシャフト部材４を分割しているため、被操作手段８をコンテナ部材側に容易に取り付けることができる。

なお、中央シャフト４ａの両端部に凹部を設けて雌螺子を形成し、端部シャフト４ｂの中央シャフト４ａ側の端面に凸部を設けて中央シャフト４ａの凹部の雌螺子に螺合する雄螺子を設けるようにしても勿論良く、この他、係止フックと係止ホックを、中央シャフト４ａ、端部シャフト４ｂに各々設けて連結するようにしても良い。

シャフト部材４に連結されたシャフト係合部材６は、図１２〜図１４に示すように、中央シャフト４と端部シャフト４ｂとの間に挟持固定された固定部６ａと、この固定部６ａから略Ｌ字状に張り出すアーム部６ｂと、このアーム部６ｂとは別部品とされ当該アーム部６ｂの先端に装着されてドア部材側の係合部２ｂに接触し係合するシャフト部材側の係合部としての接触部材６ｃと、を備える。

接触部材６ｃは、これに接触し係合するドア部材側の係合部２ｂより低摩耗性の材質から形成されており、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエチレン、ポリブチレンテレフタレート、ポリアセタール、ポリエーテルイミド等の摺動性が良好な合成樹脂、或いは、ポリカーボネート等その他の合成樹脂にＰＴＦＥ等のフッ素系樹脂やシリコン樹脂等の摺動性を改質するための添加剤を付与したもの、各種熱可塑性エラストマーから形成できる。

この接触部材６ｃの表面は、シャフト部材４の軸線方向の移動（本実施形態では下方への移動）によって、ドア部材側の係合部２ｂの傾斜面２ｄに互いに合わさり係合する傾斜面６ｄとされている。具体的には、下方に行くに従いリム部１ｂ側（前方）に傾斜する、換言すれば、接触部材６ｃを、コイルスプリング１０による付勢方向である下方側が薄く、これとは反対側である上方側が厚くなるようにする傾斜面６ｄとされている（図４参照）。そして、この接触部材６ｃは、アーム部６ｂの先端表面に突設された凸部（不図示）が、当該接触部材６ｃの裏面（傾斜面６ｄの反対側の面）に設けられた凹部６ｅ，６ｅ（図１２参照）に嵌合することで固着されている。

そして、このようなしっかりとした嵌合により、接触部材６ｃがドア部材側の係合部２ｂに対して係合する際に、当該接触部材６ｃがアーム部６ｂに対して位置ずれを起こすことが防止されている。なお、接触部材６ｃのアーム部６ｂに対する固着は、他に、螺子によるもの、熱溶着や超音波溶着によるもの等を採用できる。

因みに、接触部材６ｃを用いずに、アーム部６ｂの先端表面を、ドア部材側の係合部２ｂに接触し係合する面とし、この面に、フッ素系樹脂やポリエーテルエーテルケトン等の合成樹脂や、ダイヤモンドライクカーボン等のコーティングするようにして、当該面を、ドア部材側の係合部２ｂより低摩耗性としたシャフト部材側の係合部としても良い。

そして、このような構成を有するシャフト係合部材６は、図２及び図３に示すドアロック状態にあっては、その接触部材６ｃの傾斜面６ｄがドア部材側の係合部２ｂの傾斜面２ｄに当接した状態とされている。

また、コンテナ部材１は、図４に示すように、支持部５の軸線方向の上下方向に各々隣接して遮蔽部材１２，１２を備えている。この遮蔽部材１２は、例えばシャフト部材４の軸線方向の移動時にシャフト部材４と支持部５との摺接で生じたパーティクル等の汚染物が、シャフト部材４の外周面を伝う気流によって空間領域２ｃ，２ｅに向かうのを遮蔽する（阻止する）ためのものであり、円環状に構成され、コンテナ部材１に設けられた円環状溝１ｆにその外周側が収納保持されると共に、その内周側が、支持部５から軸線方向に離間する方向へ湾曲して（上側の遮蔽部材１２の内周側は上方へ、下側の遮蔽部材１２の内周側は下方へ反り返って）シャフト部材４の外周面に摺接するように構成されている。なお、遮蔽部材１２は、ここでは、コンテナ部材１側に設けられているが、シャフト部材４側に設けられていても良い。

この遮蔽部材１２は、ポリスチレン系、ポリオレフィン系、ポリエステル系、各種熱可塑性エラストマーや、フッ素ゴム、ＥＰＤＭ、ＳＢＲ、ＮＢＲ等のゴムから形成できる。なお、遮蔽部材１２は上記形状に限定されず、一般的に使用されるＯリングを用いることもできる。

そして、本実施形態の基板収納容器１００にあっては、係合手段３（シャフト部材４、支持部５、シャフト部材側の係合部６ｃを有するシャフト係合部材６及びドア部材側の係合部２ｂ）の大部分が、図１及び図８に示すように、コンテナ部材１の両側面に取り付けられたカバー７により各々覆われており、コンテナ部材１とカバー７との間に設けられた例えばＯリング等のシール部材により密封が図られている。

このような構成を有する基板収納容器１００によれば、図２及び図３に示すドアロック状態では、シャフト部材側の係合部である接触部材６ｃの傾斜面６ｄがドア部材側の係合部２ｂの傾斜面２ｄに密着し、しっかりと保持された状態とされている。このとき、シャフト部材４のピン４ｈがコンテナ部材１の長溝１ｅに進入し当該シャフト部材４の軸線回りの回転が防止されているため、シャフト部材側の傾斜面６ｄがドア部材側の傾斜面２ｄに対してずれること無く一層密着し一層しっかりと保持された状態とされている。

そして、ドアロック解除時にあっては、ドア部材開閉機構の駆動部により下方の平坦面４ｙをコイルスプリング１０の付勢力に抗して上方に押圧する。すると、シャフト部材４及びシャフト係合部材６より成る被操作手段８が軸線方向に沿って上方に移動し、この移動によってシャフト部材側の係合部６ｃは、ドア部材側の傾斜面２ｄに密着し係合する係合位置から上方に移動して空間領域２ｅに進入し、図６に示すように、係合を解除する係合解除位置まで移動することで、ドアロックが解除される。

そして、ドア部材２の把持用の凹部２ａを把持して、図７及び図８に示すように、手前側に引き出せば、ドア部材２をコンテナ部材１から取り外すことができる。

一方、ドア部材２をコンテナ部材１に取り付けてドアロック状態とする場合には、ドア部材２の把持用の凹部２ａを把持して、図６に示すように、コンテナ部材１内の所定位置に押し込み、次いで、ドア部材開閉機構の駆動部により上方の平坦面４ｘを下方に押圧する。すると、シャフト部材４及びシャフト係合部材６より成る被操作手段８が軸線方向に沿って下方に移動し、このとき、コイルスプリング１０の付勢力が補助とされながら移動し、この移動によってシャフト部材側の係合部６ｃは、係合解除位置から凹部の空間領域２ｃに進入し、図２及び図３に示すように、ドア部材側の傾斜面２ｄに密着し係合する係合位置まで移動することで、ドアロック状態とされる。

このように、本実施形態においては、ドア部材２をコンテナ部材１に係合するための係合手段３（シャフト部材４、支持部５、シャフト部材側の係合部６ｃを有するシャフト係合部材６及びドア部材側の係合部２ｂ）が、ドア部材２及びコンテナ部材１の外面に設けられ、従前のように係合手段がドア部材に内蔵されていないため、ドア部材２内に汚染物が溜まってしまうことが無くなりコンテナ部材１内の汚染が防止されると共に、ドア部材２を分解すること無く係合手段３の点検、補修、洗浄を行うことができ、加えて、ドア部材２内に係合手段を収容する空間を設ける必要が無くドア部材２の薄型化が図られている。

また、シャフト部材側の係合部６ｃがドア部材側の係合部２ｂに係合するように、シャフト部材４を軸線方向の一方側に押圧する付勢手段であるコイルスプリング１０を有し、当該コイルスプリング１０によりシャフト部材側の係合部６ｃがドアロックするように付勢されているため、ドア部材開閉機構によるものではない意図しないドアロック解除が防止されると共に、シャフト部材側の係合部６ｃがドア部材側の係合部２ｂに対して係合する際の補助として機能させることができる。

また、回転防止機構１ｅ，４ｈを有しているため、シャフト部材４が軸線回りに回転してしまうことが防止されて軸線方向の移動のみが許容され、ドアロック／ドアロック解除が確実に行うことが可能となっている。

また、シャフト係合部材６は、シャフト部材４とは別部品とされシャフト部材４に連結されているため、シャフト部材とシャフト係合部材とを一体とした一体成形品に比して、そのコンテナ部材側への取り付けが容易とされている。

また、両係合部２ｂ，６ｃは、シャフト部材４の軸線方向の移動によって軸線方向に移動し互いに合わさることで係合する傾斜面２ｄ，６ｄを有する構成のため、簡易な構成でしっかりとドアロックを行うことができる。

また、シャフト部材側の係合部６ｃは、ドア部材側の係合部２ｂより低摩耗性の材質から構成されているため、確実なドアロックが長期間に亘って実現できる。

また、シャフト部材４が軸線方向に移動するとき（特にドアロック解除時）に、外部からシャフト部材４の外周面を伝って空間領域２ｃ，２ｅに向かう気流を遮蔽するための遮蔽部材１２が、シャフト部材４の外周面に対して配設されているため、当該遮蔽部材１２によって、シャフト部材４の軸線方向の移動時にシャフト部材４と支持部５との間で生じたパーティクル等の汚染物が、コンテナ部材１内に侵入することが防止され、コンテナ部材１内の汚染防止が一層図られている。

さらに、係合手段３が、カバー７によりシール可能に覆われているため、コンテナ部材１内の汚染が一層防止されている。

なお、この第一実施形態及び以降の第二実施形態〜第四実施形態にあって、コンテナ部材１内にエアーを供給するようにすると、ドアロック解除時に、パーティクル等の汚染物がコンテナ部材１内に侵入することを一層防止できる。

図１５は、本発明の第二実施形態に係る基板収納容器の要部を示す斜視図であり、図３に対応する図である。

この第二実施形態の基板収納容器２００が第一実施形態の基板収納容器１００と違う点は、シャフト部材４が軸線方向に沿って上下方向に移動するときに、外部から空間領域２ｃ，２ｅ（空間領域２ｃは、凹部であり図２に示すドアロック時にシャフト部材側の係合部６ｃの移動（進入）を許容するもの、空間領域２ｅは、凹部であり図６に示すドアロック解除時にシャフト部材側の係合部６ｃの移動（進入）を許容するもの）に向かう気流を遮蔽するための遮蔽部材１３を、空間領域２ｃ，２ｅへの流路を塞ぐように設けた点である。

この遮蔽部材１３は、ここでは、伸縮自在なベローズとされて、シャフト係合部材６を挟んで上側と下側に各々配設されており、上側の遮蔽部材１３は、シャフト係合部材６（具体的にはアーム部６ｂ）の上端面とコンテナ部材１の開口１ｃを形成する上側の面とに連結され、下側の遮蔽部材１３は、シャフト係合部材６（具体的にはアーム部６ｂ）の下端面とコンテナ部材１の開口１ｃを形成する下側の面とに連結されている。

このような第二実施形態によれば、シャフト部材４が軸線方向に移動するとき（特にドアロック解除時）に、シャフト係合部材６の移動に追従する遮蔽部材１３によって、例えばシャフト部材４が上方に移動する場合には上側の遮蔽部材１３が縮むと共に下側の遮蔽部材１３が伸び、例えばシャフト部材４が下方に移動する場合には上側の遮蔽部材１３が伸びると共に下側の遮蔽部材１３が縮むことで遮蔽し、シャフト部材４の軸線方向の移動時にシャフト部材４と支持部５との間で生じたパーティクル等の汚染物が、空間領域２ｃ，２ｅを通じてコンテナ部材１内に侵入することが防止され、コンテナ部材１内の汚染防止が一層図られている。

なお、遮蔽部材１３を、ベローズに代えて、伸縮自在でシャフト係合部材６の移動に追従する薄膜やフィルムとしても良く、また、例えば邪魔板としても良い。この邪魔板とする場合には、伸縮自在に変形しないため、上側の邪魔板は、シャフト係合部材６の上端面に固着し、これに対応するコンテナ部材１の開口１ｃを形成する上側の面に、上昇してくる邪魔板の収納を可能とする溝を設けると共に、下側の邪魔板は、シャフト係合部材６の下端面に固着し、これに対応するコンテナ部材１の開口１ｃを形成する下側の面に、下降してくる邪魔板の収納を可能とする溝を設けるようにし、このようにシャフト係合部材６の上下移動に対応できるように構成すれば良い。

因みに、遮蔽部材１３は、第一実施形態で説明した遮蔽部材１２と併用しても良いし、この遮蔽部材１３で十分に効果が発揮できれば、遮蔽部材１２は無くても良い。

図１６は、本発明の第三実施形態に係る基板収納容器の開口側を示す右側面図であり、図２に対応するドアロック状態を示す図、図１７は、図１６に示す状態からロック解除した状態を示す図である。

この第三実施形態の基板収納容器３００にあっては、コンテナ部材２１の両側壁の上下位置の各々に支持部２５が設けられ、この支持部２５，２５に上下方向に延びるシャフト部材２４が軸支されている。このシャフト部材２４の支持部２５に対応する位置には、上下方向に延びる長孔（不図示）が回転防止機構の一方を構成するものとして設けられており、この長孔に、支持部２５に水平となるように設けられた回転防止機構の他方を構成するピン２５ａが遊嵌配置されることで、シャフト部材２４は軸線方向（上下方向）に移動可能且つ軸線回りに回転不能とされている。そして、シャフト部材２４は、その軸線方向中央部が、コンテナ部材２１の側壁に一端が回転自在に連結されたＶ字状のバネ部材（付勢手段）２０のその他端に回転自在に連結され、下方に付勢された状態とされている。

シャフト部材２４の上下部には、各々ピン２４ａが突設されており、シャフト部材２４の開口側（図示左側）には、ピン２４ａを遊嵌配置することでシャフト部材２４の軸線方向に沿う上下動を許容する長孔２６ａを一端に有すると共に、他端に、回転可能な回転ローラ２６ｃをシャフト部材側の係合部として有し、中央部が、コンテナ部材２１の側壁の立設ピン２７に回転可能に支持されたシャフト係合部材２６が配置されている。

このシャフト係合部材２６の他端の回転ローラ２６は、ポリアセタール、ポリエーテルエーテルケトン、ポリブチレンテレフタレート等の摺動性が良好な合成樹脂、或いは、合成樹脂にＰＴＦＥ等のフッ素系樹脂やシリコン樹脂等の摺動性を改質するための添加剤を付与したものから形成できる。

一方、本実施形態のドア部材２２にあっては、その両側面（外面）に、図１６に示すドアロック時に上下のシャフト部材側の係合部である回転ローラ２６ｃが係合する上下のドア部材側の係合部２２ｂを各々有すると共に、図１７に示すドアロック解除時にシャフト部材側の係合部である回転ローラ２６ｃの移動を許容する（回転ローラ２６ｃが進入してくる）上下の空間領域２２ｅを各々有している。

具体的には、ドア部材側の係合部２２ｂは、ドア部材２２の側面に上下方向に延びる凹部（切欠）２２ｃを形成することにより、その隣に形成された凸部である。そして、この凹部２２ｃは、図１６に示すドアロック時にシャフト部材側の係合部である回転ローラ２６ｃの移動を許容する（回転ローラ２６ｃが進入してくる）空間領域としても機能し、この空間領域である凹部２２ｃを下方に連続して延在させることにより、前述した凹部である空間領域２２ｅが形成されている。

これに対応してコンテナ部材２１は、ドア部材側の係合部である凸部２２ｂ、凹部である空間領域２２ｃ，２２ｅに対応する両側面の上下位置に、これらを覗ける長方形状の開口（貫通孔；切欠）２１ｃを有する構成とされている。

そして、上記シャフト部材側の係合部である回転ローラ２６ｃは、開口２１ｃを通してドア部材２２の空間領域２２ｃに進入し、ドア部材側の係合部２２ｂに当接した状態とされている。

なお、シャフト部材２４と、支持部２５と、シャフト部材側の係合部である回転ローラ２６ｃを有するシャフト係合部材２６及びドア部材側の係合部２２ｂにより、ドア部材２２をコンテナ部材２１に係合するための係合手段２３が構成されている。

このような構成を有する基板収納容器３００によれば、図１６に示すドアロック状態では、シャフト部材側の係合部である回転ローラ２６ｃがドア部材側の係合部２２ｂに密着し、しっかりと保持された状態とされている。このとき、シャフト部材２４の長孔と支持部２５のピン２５ａにより構成された回転防止機構によりシャフト部材２４の軸線回りの回転が防止されているため、シャフト部材側の係合部である回転ローラ２６ｃがドア部材側の係合部２２ｄに対してずれること無く一層密着し一層しっかりと保持された状態とされている。

そして、ドアロック解除時にあっては、ドア部材開閉機構の駆動部によりシャフト部材２４の下部が、Ｖ字状バネ部材２０の付勢力に抗して上方に押圧されて当該シャフト部材２４が上方に移動し、この移動によって、シャフト係合部材２６が立設ピン２７を軸心として反時計回りに回転し、シャフト部材側の係合部である回転ローラ２６ｃは、ドア部材側の係合部２２ｄに密着し係合する係合位置から反時計回りに移動して空間領域２２ｅに進入し、図１７に示すように、係合を解除する係合解除位置まで移動することで、ドアロックが解除される。これにより、ドア部材２２を取り外すことができる。

一方、ドアロック時にあっては、ドア部材開閉機構の駆動部によりシャフト部材２４の上部が下方に押圧されて当該シャフト部材２４が下方に移動し、このとき、Ｖ字状バネ部材２０の付勢力が補助とされながら移動し、この移動によって、シャフト係合部材２６が立設ピン２７を軸心として時計回りに回転し、シャフト部材側の係合部である回転ローラ２６ｃは、係合解除位置から空間領域２２ｃに進入し、図１６に示すように、ドア部材側の係合部２２ｄに密着し係合する係合位置まで移動することで、ドアロック状態とされる。

このように、本実施形態においても、ドア部材２２をコンテナ部材２１に係合するための係合手段２３が、ドア部材２２及びコンテナ部材２１の外面に設けられているため、コンテナ部材２１内の汚染が防止されると共に、ドア部材２２を分解すること無く係合手段２３の点検、補修、洗浄を行うことができ、加えて、ドア部材２２内に係合手段を収容する空間を設ける必要が無くドア部材２２の薄型化が図られている。

また、シャフト部材側の係合部である回転ローラ２６ｃがドア部材側の係合部２２ｂに係合するように、シャフト部材４を軸線方向の一方側に押圧する付勢手段であるＶ字状バネ部材２０を有しているため、ドア部材開閉機構によるものではない意図しないドアロック解除が防止されると共に、シャフト部材側の係合部である回転ローラ２６ｃがドア部材側の係合部２２ｂに対して係合する際の補助として機能させることができる。

また、回転防止機構２５ａを有しているため、シャフト部材２４が軸線回りに回転してしまうことが防止されて軸線方向の移動のみが許容され、ドアロック／ドアロック解除が確実に行うことが可能となっている。

加えて、シャフト部材側の係合部として回転ローラ２６ｃを用い、この回転ローラ２６ｃを立設ピン２７を軸心として回転させドア部材側の係合部２２ｂに当接させることで係合するようにしているため、第一実施形態に比して、擦れが少なくパーティクル等の汚染物の発生をより低減できる。

図１８は、本発明の第四実施形態に係る基板収納容器の被操作手段及び支持部を示す斜視図であり、ドアロック状態を示す図、図１９は、図１８に示す状態からロック解除した状態を示す斜視図、図２０は、図１８のドアロック状態、図１９のロック解除状態を説明するための模式平面図である。

この第四実施形態の基板収納容器４００にあっては、円柱形状のシャフト部材３４が、コンテナ部材３１側の複数の支持部３５に支持されると共に、上下位置に、外方に突出する突部（ピン）３４ａを各々有し、当該シャフト部材３４を囲繞するように配設されたコイルスプリング３０により、下方に付勢される構成とされている。なお、このシャフト部材３４は、図示を省略した回転防止機構により軸線回りの回転が防止されている。

また、シャフト部材３４の突部３４ａが進入し係合するカム溝３６ｂと、円筒状に構成され周壁に上記カム溝３６ｂを有することでシャフト部材３４に軸線回りに回動可能に連結された円筒部３６ａと、この円筒部３６ａから湾曲して張り出したアーム部３６ｄと、このアーム部３６ｄの先端に回転可能に支持されシャフト部材側の係合部を構成する回転ローラ３６ｃと、を有するカム部材が、シャフト係合部材３６として設けられている。

そして、ドア部材３２にあっては、その両側面（外面）に、図２０に示すように、実線で示すドアロック時に上下のシャフト部材側の係合部である回転ローラ３６ｃが係合する上下のドア部材側の係合部３２ｂを各々有すると共に、回転ローラ３６ｃの移動を許容する（回転ローラ３６ｃが進入してくる）空間領域３２ｃを有し、仮想線で示すドアロック解除時に回転ローラ３６ｃの移動を許容する上下の空間領域３２ｅを各々有している。

そして、上記シャフト部材側の係合部である回転ローラ３６ｃは、ドア部材３２の空間領域３２ｃに進入し、ドア部材側の係合部３２ｂに当接した状態とされている。

なお、シャフト部材３４と、支持部３５と、シャフト部材側の係合部である回転ローラ３６ｃを有するシャフト係合部材３６及びドア部材側の係合部３２ｂとにより、ドア部材３２をコンテナ部材３１に係合するための係合手段３３が構成されている。また、シャフト部材３４及びシャフト係合部材３６により被操作手段が構成されている。

このような構成を有する基板収納容器４００によれば、図１８に示すドアロック状態では、シャフト部材側の係合部である回転ローラ３６ｃがドア部材側の係合部３２ｂに密着し、しっかりと保持された状態とされている。このとき、回転防止機構によりシャフト部材３４の軸線回りの回転が防止されているため、シャフト部材側の係合部である回転ローラ３６ｃがドア部材側の係合部３２ｂに対してずれること無く一層密着し一層しっかりと保持された状態とされている。

そして、ドアロック解除時にあっては、ドア部材開閉機構の駆動部によりシャフト部材３４の下部が、コイルスプリング（付勢手段）３０の付勢力に抗して上方に押圧されて当該シャフト部材３４が上方に移動し、この移動によって、突部３４ａが進入するカム溝３６ｂを備えた円筒部３６ａが図２０の反時計回りに回転し、シャフト部材側の係合部である回転ローラ３６ｃは、ドア部材側の係合部３２ｂに密着し係合する係合位置から反時計回りに移動して空間領域３２ｅに移動し、係合を解除する係合解除位置まで移動することで、ドアロックが解除される。これにより、ドア部材３２を取り外すことができる。

一方、ドアロック時にあっては、ドア部材開閉機構の駆動部によりシャフト部材３４の上部が下方に押圧されて当該シャフト部材３４が下方に移動し、このとき、コイルスプリング３０の付勢力が補助とされながら移動し、この移動によって、突部３４ａが進入するカム溝３６ｂを備えた円筒部３６ａが図２０の時計回りに回転し、シャフト部材側の係合部である回転ローラ３６ｃは、係合解除位置から空間領域３２ｃに進入し、ドア部材側の係合部３２ｂに密着し係合する係合位置まで移動することで、ドアロック状態とされる。

このような第四実施形態にあっても、第三実施形態とほぼ同様な効果を得ることができるというのはいうまでもない。

以上、本発明をその実施形態に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、例えば、上記実施形態においては、係合手段３，２３，３３をコンテナ部材１，２１，３１の両側壁側に各々設けているが、上壁側と底壁側に各々設けるようにしても良い。また、１本のシャフト部材４，２４，３４により複数の係合部（上下の係合部）を係合させるようにしているが、シャフト部材を係合部ごとに設ける（一対一に対応させる）ようにしても良い。また、第一実施形態〜第三実施形態のシャフト部材４，２４は円柱に限定されるものではなく、角柱であっても良い。なお、角柱の場合には、軸支する支持部の筒孔も角形状とされて回転が防止されるため、回転防止機構を別途設けなくても良い。

また、付勢手段は、例示したようなコイルスプリング１０，３０やＶ字状バネ部材２０の他、各種形状のバネ部材、板バネ、ゴム等の弾性部材、或いは、エアバックや熱等によって膨張可能な袋状部材としても良い。また、付勢手段は一箇所に複数個設けても良い。

また、第三、第四実施形態においても、係合手段２３，３３を、カバーによりシール可能に覆うようにし、コンテナ部材２１，３１内の汚染を一層防止するのが好ましい。

本発明の第一実施形態に係る基板収納容器を示す斜視図であり、コンテナ部材の開口をドア部材により閉鎖しロックした状態を右上方から見た斜視図である。 図１に示す基板収納容器の開口側を示す右側面図である。 図１に示す基板収納容器の開口側を、コンテナ部材及びドア部材を破断し左上方から見た斜視図である。 図３に示す基板収納容器の開口側の縦断面図である。 図２に示す状態から被操作手段及び支持部を取り外した状態を示す図である。 図２に示す状態からロック解除した状態を示す図である。 図６に示す状態からドア部材を取り外した状態を示す図である。 図７の状態を左上方から見た斜視図である。 図１〜図８中のコンテナ部材を示す斜視図である。 図９に示すコンテナ部材を右下方から見た斜視図である。 図９及び図１０に示すコンテナ部材の開口側の上部を示す斜視図である。 図１〜図４及び図６〜図８中の被操作手段及び支持部の分解斜視図である。 図１〜図４及び図６〜図８中の被操作手段を示す斜視図である。 図１３に示す被操作手段の縦断斜視図である。 本発明の第二実施形態に係る基板収納容器の要部を示す斜視図であり、図３に対応する図である。 本発明の第三実施形態に係る基板収納容器の開口側を示す右側面図であり、図２に対応するドアロック状態を示す図である。 図１６に示す状態からロック解除した状態を示す図である。 本発明の第四実施形態に係る基板収納容器の被操作手段及び支持部を示す斜視図であり、ドアロック状態を示す図である。 図１８に示す状態からロック解除した状態を示す斜視図である。 図１８のドアロック状態、図１９のロック解除状態を説明するための模式平面図である。

符号の説明

１，２１，３１…コンテナ部材、１ａ…コンテナ部材の開口、１ｅ…長溝（回転防止機構）、２，２２，３２…ドア部材、２ｂ，２２ｂ，３２ｂ…ドア部材側の係合部、２ｃ，２ｅ，２２ｃ，２２ｅ，３２ｃ，３２ｅ…空間領域、２ｄ，６ｄ…傾斜面、３，２３，３３…係合手段、４，２４，３４…シャフト部材、４ｈ，２５ａ…ピン（回転防止機構）、５，２５，３５…支持部、６，２６…シャフト係合部材、６ａ…固定部（シャフト係合部材からシャフト部材側の係合部を除いた部分）、６ｂ…アーム部（シャフト係合部材からシャフト部材側の係合部を除いた部分）、６ｃ…接触部材（シャフト部材側の係合部）、７…カバー、１０，３０…コイルスプリング（付勢手段）、１２…遮蔽部材、１３…ベローズ（遮蔽部材）、２０…Ｖ字状バネ部材（付勢手段）、２６ｃ，３６ｃ…回転ローラ（シャフト部材側の係合部）、３４ａ…シャフト部材の突部、３６ｂ…カム溝、３６…カム部材（シャフト係合部材）、１００，２００，３００，４００…基板収納容器、Ａ…基板。

Claims (10)

1. 開口を有し基板を収容するコンテナ部材と、前記開口を閉鎖するドア部材と、を具備した基板収納容器において、
   前記ドア部材を前記コンテナ部材に係合するための係合手段を、前記ドア部材及び前記コンテナ部材の外面に備え、
   前記係合手段は、一軸方向に延びるシャフト部材と、このシャフト部材を前記コンテナ部材側に軸支する支持部と、シャフト部材側の係合部を有するシャフト係合部材及び前記シャフト部材側の係合部に係合するドア部材側の係合部と、を有し、
   前記シャフト部材の軸線方向の移動に連動して前記シャフト部材側の係合部が移動することを許容する空間領域が設けられ、
   前記シャフト部材の軸線方向の移動によって、前記シャフト部材側の係合部が、前記ドア部材側の係合部に対して係合する係合位置と係合を解除する係合解除位置とを移動してドアロック／ドアロック解除を行うことを特徴とする基板収納容器。
2. 前記シャフト部材側の係合部が前記ドア部材側の係合部に係合するように、前記シャフト部材を軸線方向の一方側に押圧する付勢手段を有することを特徴とする請求項１記載の基板収納容器。
3. 前記シャフト部材の軸線回りの回転を防止する回転防止機構を有することを特徴とする請求項１又は２記載の基板収納容器。
4. 前記シャフト係合部材は、前記シャフト部材とは別部品とされ前記シャフト部材に連結されていることを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の基板収納容器。
5. 前記両係合部は、前記シャフト部材の軸線方向の移動によって前記軸線方向に移動し互いに合わさることで係合する傾斜面を有することを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の基板収納容器。
6. 前記シャフト部材側の係合部は、前記ドア部材側の係合部より低摩耗性の材質から構成されていることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の基板収納容器。
7. 前記シャフト部材が軸線方向に移動するときに、外部から前記シャフト部材の外周面を伝って前記空間領域に向かう気流を遮蔽するための遮蔽部材が、前記シャフト部材の外周面に対して配設されていることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の基板収納容器。
8. 前記シャフト部材が軸線方向に移動するときに、外部から前記空間領域に向かう気流を遮蔽するための遮蔽部材が、前記空間領域への流路を塞ぐように前記シャフト係合部材と前記コンテナ部材とに連結されていると共に、前記シャフト係合部材の移動に追従するように構成されていることを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の基板収納容器。
9. 前記シャフト部材は、外方に突出する突部を有し、
   前記シャフト部材には、前記突部が進入し係合するカム溝及び前記シャフト部材側の係合部を有するカム部材が前記シャフト係合部材として軸線回りに回動可能に連結され、
   前記シャフト部材の軸線方向の移動による前記突部の軸線方向の移動によって、前記突部に係合する前記カム溝を有する前記カム部材が軸線回りに回動し、このカム部材が有する前記シャフト部材側の係合部が、前記ドア部材側の係合部に対して係合する係合位置と係合を解除する係合解除位置とを移動してドアロック／ドアロック解除を行うことを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の基板収納容器。
10. 前記係合手段が、カバーによりシール可能に覆われていることを特徴とする請求項１〜９の何れか一項に記載の基板収納容器。

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