JPH0569066B2 - - Google Patents
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Description
〔産業上の利用分野〕
本発明はポンプ、冷凍機等の軸封装置として用
いられるメカニカルシールに関し、更に詳しくは
特定の気孔を有する炭化珪素焼結体を用いて摺動
特性を改良したメカニカルシールに関する。 〔従来の技術〕 メカニカルシールの摺動材として用いられる材
料としてはカーボン材、超硬合金、炭化珪素焼結
体、アルミナ焼結体が主として用いられるが、炭
化珪素とカーボン材との組合せや、炭化珪素と炭
化珪素との組合せで使用されることが増えてい
る。これは炭化珪素を用いると摺動面圧と回転の
周速度との積であるPV値が高い限界値まで使用
でき、機器の高性能化、小型化が可能になる。ス
ラリー状液体の様に、粒子摩耗が問題になる場合
には炭化珪素と炭化珪素との組合せを用いる場合
が多い。炭化珪素は、高硬度、高耐食性を有する
材料で、カーボンや六方晶窒化硼素の様な自己潤
滑性はないが、その結晶組織は、ガラス質の結晶
粒界をほとんど含まず、平滑性が優れているた
め、摺動時の摩擦係数が小さいという特長があ
る。 しかし、鏡面であるがために炭化珪素と炭化珪
素との組合せに於ては、始動時の鳴きやリンキン
グ(固着)の問題を起こし易い。自己潤滑性を有
するカーボン材と炭化珪素との組合せに於ては鳴
きや固着の問題はないが、カーボンブリスターと
いう厄介な問題を起こす場合がある。 この現象は、カーボン材の摺動面でブリスター
(斑点)に始まり、微少クラツクから虫食い状の
欠損に至る現象で、液漏れにつながるものだけに
メカニカルシールでは重要な問題となつている。 この現象は、カーボン材と炭化珪素との組合せ
だけに発生するものではないが、始動時に発生す
る摩擦熱に起因しているものだけに高い摺動面圧
で使用することの多いカーボン材と炭化珪素との
組合せの場合には特に解決を求められている重要
な問題が発生している。即ち、始動時発生する摩
擦熱に起因して、カーボン表面に生ずる膨脹、収
縮の繰り返しや熱応力によつて起こる疲労破壊等
が考えられている。カーボン材中の含浸樹脂の熱
分解とかカーボン材の気孔中に残留している油分
の摩擦熱による爆裂反応とか様々の現象が考えら
れ解決を求められている。 この対策としてカーボンの材質を高強度にした
り、メカニカルシールの取付け精度を改良し、面
当りを均一にしたり、ダブルシールを採用し、低
粘度液のフラツシングをしたり、スチームクエン
チを行つて摺動面の温度を上げて密封液の低粘度
化を計る方法等がとられているが、完全なものと
はなつていない。また、カーボン材を使わずに例
えば炭化珪素と炭化珪素の様な硬質材同志の組合
せに変える方法もあるが、この場合には高硬度の
ために、接触の馴染が少いため、カーボン材使用
と比べ機器精度、部品精度、取付精度等を厳しく
することが要求される。 いずれにせよ始動時の摩擦熱を少なくすること
が問題解決の本質であり、そのために金属シリコ
ンを残留する反応焼結炭化珪素を用いる方法や特
開昭62−148384、同62−270481、同63−79775に
開示されている様に多孔質炭化珪素の気孔中に
種々の固体潤滑材を含浸させる方法が考案されて
いる。 また特開昭62−176970には、メカニカルシール
の摺動面に於て潤滑油膜切れを生じ、一般に鳴き
と称される異音を全く発生することがないメカニ
カルシール材として、気孔率が8%以上13%未満
の範囲に於ては気孔の平均径が50〜500μmであ
り、気孔率13〜16%の範囲に於ては気孔の平均径
が25〜500μmであるメカニカルシール用窒化珪
素焼結体環が開示されている。 〔発明が解決しようとする課題〕 カーボン材と炭化珪素および炭化珪素と炭化珪
素の摺動材料の組合せにおいて、シール性を落と
すことなく、始動時の固着やかじり、異音の発
生、カーボン材のブリスター現象を抑えるため
に、上記した様な手段が講じられているが、金属
シリコンを含浸する反応焼結炭化珪素はかじりや
鳴きが常圧焼結炭化珪素より少ないが、耐食性の
点で劣り、汎用的に使用出来るものではない。ま
た、多孔質炭化珪素焼結体を製造し、それにフロ
ンオイル、二硫化モリブデン、グラフアイト、窒
化硼素等の固体あるいは液体の潤滑剤を後含浸さ
せる方法は真空引き含浸の工程を数回繰り返す必
要があり、生産のコストアツプとなる。また50μ
m以上の気孔径でないと短時間内には含浸され
ず、この様に気孔の大きいものでは母材の強度が
低下し、耐摩耗性の点で汎用的に使用できない。 本発明は、耐摩耗性、耐食性に優れ、強度をあ
る程度維持し、固着、かじり、異音の発生、ブリ
スター現象を抑えた炭化珪素焼結体を用いたメカ
ニカルシールを目的としたものである。 〔課題を解決するための手段〕 緻密質炭化珪素焼結体の製造工程中で各種の方
法によつて気孔を生成させ、それを油溜りとして
利用し、摺動時のかじり、鳴きを防止するととも
にカーボン材にブリスター現象が起こらないため
に要求される気孔の特性をいろいろ検討した結
果、本発明に至つたもので、その要旨は平均気孔
径10〜40μmの独立気孔を気孔率として3〜13vol
%含有することを特徴とするメカニカルシール用
炭化珪素焼結体であり、および、それを固定環や
回転環等の摺動材として用いるメカニカルシール
であり、更に他方にカーボン材、緻密質炭化珪素
焼結体、鋳鉄、アルミナ焼結体または超硬合金の
摺動材を用いるものである。 炭化珪素焼結体の原料はα型でもβ型でも本発
明には使用できる。 また、上記の緻密質炭化珪素焼結体とは、理論
密度の95%以上の焼結体をいう。 本発明について更に詳しく述べると、気孔径に
関しては油溜りとして作用し得る範囲、すなわち
浸透した液が起動時の摩擦熱で容易に滲み出て油
膜を形成する径以上であり、液が短時間で流出せ
ず油溜りとして継続的に作用し、相手材の摩耗、
いわゆる下し金現象を引き起こさない範囲の気孔
径である必要があり、平均気孔径が10〜40μmが
好ましいことを見出した。平均気孔径が10μm未
満では、起動時に気孔中に浸透した液が短時間で
は表面に現れず、また40μmを越えるとシール漏
れがある上に、相手材がカーボンの場合にはその
摩耗を極度に促進してしまう。 なお、気孔径の測定は破断面の走査電顕観察に
より平均気孔径値を求めた。 次に、気孔率に関しては、油溜りとしての作用
が認められる程度の大きく、連続気孔になつてな
い独立気孔として存在する範囲であることが必要
で、全気孔率は3〜13vol%が好ましい範囲であ
り、3vol%未満では油溜りの潤滑効果が見られ
ず、13vol%を越えると強度の大幅な低下を来た
すとともに液漏れの原因となる連続気孔になる可
能性が強くなる。 全気孔率は炭化珪素の真比重より求めた全開気
孔および全閉気孔の和である。 前述の特開昭62−176970に開示されている窒化
珪素焼結体の場合の最適な気孔径と気孔率の範囲
が炭化珪素焼結体の場合と異なることになる。ま
た、気孔の形状に関しては、母材の炭化珪素焼結
体が典型的な硬質材料であり、応力集中を避ける
ために丸みを持つものであることが必要である。
ここでいう丸みとは応力が一ケ所に集中する様な
エツジを持たず、滑らかな曲率を持つた気孔の形
状をいう。 炭化珪素焼結体中に気孔を導入する方法として
は大別して焼結原料配合物中に球状有機物を添加
し、仮焼工程中で、分解、昇華により気孔を生成
させる方法と、焼結の諸条件の変更により緻密化
を阻害して気孔を残存させる方法とがある。後者
の方法としては、例えば、粗粒の焼結原料の混
入、焼結助剤の減量、昇温速度の増減、最高保持
温度の低下、最高保持時間の減少等があるが、こ
の方法により造られる気孔の形状は、一般に丸み
が少なく、連続気孔になり易く適切な方法とは言
えない。 前者の方法の方が丸みができ易く、その場合に
用いる有機物としては、初期の形状が丸みを持つ
たものであれば良い。炭化珪素質メカニカルシー
ル摺動材の製造方法として最も汎用性がある工
程、即ち、水媒体による原料配合物のボールミル
混合、噴霧乾燥による顆粒化、冷間静水圧プレス
あるいは金型プレスの工程を考慮すれば、添加す
る有機物は水に溶解せず、噴霧乾燥時に軟化流動
しない程度の耐熱性が必要であり、合成あるいは
天然の高分子量化合物が適当であり、例を挙げれ
ば乳化重合によるポリスチレンビーズ、球状澱粉
粒、パルプ質球体が好ましい。 〔実施例〕 以下、本発明を実施例にて詳細に説明する。 実施例 1〜2 平均粒子径が0.45μmのα型炭化珪素粉末100重
量部に対し、炭化硼素粉末0.8重量部、カーボン
ブラツク粉末2.5重量部、ポリビニルアルコール
2.5重量部、20μm径のポリスチレンビーズを7重
量部および11重量部添加し、水を加え40%濃度の
スラリーを造り、ボールミル中で10時間混合し、
スプレードライヤーにて顆粒化した。 この顆粒を成形型に充填し、1.5ton/cm2の圧力
で加圧成形し、2050℃のアルゴン雰囲気中で焼結
し、表1のテストピースを得た。嵩比重は水置換
法、全気孔率は、炭化珪素の理論密度を3.21g/
cm3として計算により求めた。外径30mmφ、内径24
mmφ、厚さ8mmに研削加工し、片面をラツプ仕上
げでRnax.=0.05μmとし、摺動試験用テストピー
スとした。 比較例 1〜4 ポリスチレンビーズを添加しないものおよび
5μm径および50μm径のポリスチレンビーズを11
重量部添加するものまた、20μm径のポリスチレ
ンビースを26重量部を添加するものをポリスチレ
ンビースの添加に関する点を除いては、実施例1
〜2と同様な方法により、表1に示す特性を持つ
テストピースを製造した。
いられるメカニカルシールに関し、更に詳しくは
特定の気孔を有する炭化珪素焼結体を用いて摺動
特性を改良したメカニカルシールに関する。 〔従来の技術〕 メカニカルシールの摺動材として用いられる材
料としてはカーボン材、超硬合金、炭化珪素焼結
体、アルミナ焼結体が主として用いられるが、炭
化珪素とカーボン材との組合せや、炭化珪素と炭
化珪素との組合せで使用されることが増えてい
る。これは炭化珪素を用いると摺動面圧と回転の
周速度との積であるPV値が高い限界値まで使用
でき、機器の高性能化、小型化が可能になる。ス
ラリー状液体の様に、粒子摩耗が問題になる場合
には炭化珪素と炭化珪素との組合せを用いる場合
が多い。炭化珪素は、高硬度、高耐食性を有する
材料で、カーボンや六方晶窒化硼素の様な自己潤
滑性はないが、その結晶組織は、ガラス質の結晶
粒界をほとんど含まず、平滑性が優れているた
め、摺動時の摩擦係数が小さいという特長があ
る。 しかし、鏡面であるがために炭化珪素と炭化珪
素との組合せに於ては、始動時の鳴きやリンキン
グ(固着)の問題を起こし易い。自己潤滑性を有
するカーボン材と炭化珪素との組合せに於ては鳴
きや固着の問題はないが、カーボンブリスターと
いう厄介な問題を起こす場合がある。 この現象は、カーボン材の摺動面でブリスター
(斑点)に始まり、微少クラツクから虫食い状の
欠損に至る現象で、液漏れにつながるものだけに
メカニカルシールでは重要な問題となつている。 この現象は、カーボン材と炭化珪素との組合せ
だけに発生するものではないが、始動時に発生す
る摩擦熱に起因しているものだけに高い摺動面圧
で使用することの多いカーボン材と炭化珪素との
組合せの場合には特に解決を求められている重要
な問題が発生している。即ち、始動時発生する摩
擦熱に起因して、カーボン表面に生ずる膨脹、収
縮の繰り返しや熱応力によつて起こる疲労破壊等
が考えられている。カーボン材中の含浸樹脂の熱
分解とかカーボン材の気孔中に残留している油分
の摩擦熱による爆裂反応とか様々の現象が考えら
れ解決を求められている。 この対策としてカーボンの材質を高強度にした
り、メカニカルシールの取付け精度を改良し、面
当りを均一にしたり、ダブルシールを採用し、低
粘度液のフラツシングをしたり、スチームクエン
チを行つて摺動面の温度を上げて密封液の低粘度
化を計る方法等がとられているが、完全なものと
はなつていない。また、カーボン材を使わずに例
えば炭化珪素と炭化珪素の様な硬質材同志の組合
せに変える方法もあるが、この場合には高硬度の
ために、接触の馴染が少いため、カーボン材使用
と比べ機器精度、部品精度、取付精度等を厳しく
することが要求される。 いずれにせよ始動時の摩擦熱を少なくすること
が問題解決の本質であり、そのために金属シリコ
ンを残留する反応焼結炭化珪素を用いる方法や特
開昭62−148384、同62−270481、同63−79775に
開示されている様に多孔質炭化珪素の気孔中に
種々の固体潤滑材を含浸させる方法が考案されて
いる。 また特開昭62−176970には、メカニカルシール
の摺動面に於て潤滑油膜切れを生じ、一般に鳴き
と称される異音を全く発生することがないメカニ
カルシール材として、気孔率が8%以上13%未満
の範囲に於ては気孔の平均径が50〜500μmであ
り、気孔率13〜16%の範囲に於ては気孔の平均径
が25〜500μmであるメカニカルシール用窒化珪
素焼結体環が開示されている。 〔発明が解決しようとする課題〕 カーボン材と炭化珪素および炭化珪素と炭化珪
素の摺動材料の組合せにおいて、シール性を落と
すことなく、始動時の固着やかじり、異音の発
生、カーボン材のブリスター現象を抑えるため
に、上記した様な手段が講じられているが、金属
シリコンを含浸する反応焼結炭化珪素はかじりや
鳴きが常圧焼結炭化珪素より少ないが、耐食性の
点で劣り、汎用的に使用出来るものではない。ま
た、多孔質炭化珪素焼結体を製造し、それにフロ
ンオイル、二硫化モリブデン、グラフアイト、窒
化硼素等の固体あるいは液体の潤滑剤を後含浸さ
せる方法は真空引き含浸の工程を数回繰り返す必
要があり、生産のコストアツプとなる。また50μ
m以上の気孔径でないと短時間内には含浸され
ず、この様に気孔の大きいものでは母材の強度が
低下し、耐摩耗性の点で汎用的に使用できない。 本発明は、耐摩耗性、耐食性に優れ、強度をあ
る程度維持し、固着、かじり、異音の発生、ブリ
スター現象を抑えた炭化珪素焼結体を用いたメカ
ニカルシールを目的としたものである。 〔課題を解決するための手段〕 緻密質炭化珪素焼結体の製造工程中で各種の方
法によつて気孔を生成させ、それを油溜りとして
利用し、摺動時のかじり、鳴きを防止するととも
にカーボン材にブリスター現象が起こらないため
に要求される気孔の特性をいろいろ検討した結
果、本発明に至つたもので、その要旨は平均気孔
径10〜40μmの独立気孔を気孔率として3〜13vol
%含有することを特徴とするメカニカルシール用
炭化珪素焼結体であり、および、それを固定環や
回転環等の摺動材として用いるメカニカルシール
であり、更に他方にカーボン材、緻密質炭化珪素
焼結体、鋳鉄、アルミナ焼結体または超硬合金の
摺動材を用いるものである。 炭化珪素焼結体の原料はα型でもβ型でも本発
明には使用できる。 また、上記の緻密質炭化珪素焼結体とは、理論
密度の95%以上の焼結体をいう。 本発明について更に詳しく述べると、気孔径に
関しては油溜りとして作用し得る範囲、すなわち
浸透した液が起動時の摩擦熱で容易に滲み出て油
膜を形成する径以上であり、液が短時間で流出せ
ず油溜りとして継続的に作用し、相手材の摩耗、
いわゆる下し金現象を引き起こさない範囲の気孔
径である必要があり、平均気孔径が10〜40μmが
好ましいことを見出した。平均気孔径が10μm未
満では、起動時に気孔中に浸透した液が短時間で
は表面に現れず、また40μmを越えるとシール漏
れがある上に、相手材がカーボンの場合にはその
摩耗を極度に促進してしまう。 なお、気孔径の測定は破断面の走査電顕観察に
より平均気孔径値を求めた。 次に、気孔率に関しては、油溜りとしての作用
が認められる程度の大きく、連続気孔になつてな
い独立気孔として存在する範囲であることが必要
で、全気孔率は3〜13vol%が好ましい範囲であ
り、3vol%未満では油溜りの潤滑効果が見られ
ず、13vol%を越えると強度の大幅な低下を来た
すとともに液漏れの原因となる連続気孔になる可
能性が強くなる。 全気孔率は炭化珪素の真比重より求めた全開気
孔および全閉気孔の和である。 前述の特開昭62−176970に開示されている窒化
珪素焼結体の場合の最適な気孔径と気孔率の範囲
が炭化珪素焼結体の場合と異なることになる。ま
た、気孔の形状に関しては、母材の炭化珪素焼結
体が典型的な硬質材料であり、応力集中を避ける
ために丸みを持つものであることが必要である。
ここでいう丸みとは応力が一ケ所に集中する様な
エツジを持たず、滑らかな曲率を持つた気孔の形
状をいう。 炭化珪素焼結体中に気孔を導入する方法として
は大別して焼結原料配合物中に球状有機物を添加
し、仮焼工程中で、分解、昇華により気孔を生成
させる方法と、焼結の諸条件の変更により緻密化
を阻害して気孔を残存させる方法とがある。後者
の方法としては、例えば、粗粒の焼結原料の混
入、焼結助剤の減量、昇温速度の増減、最高保持
温度の低下、最高保持時間の減少等があるが、こ
の方法により造られる気孔の形状は、一般に丸み
が少なく、連続気孔になり易く適切な方法とは言
えない。 前者の方法の方が丸みができ易く、その場合に
用いる有機物としては、初期の形状が丸みを持つ
たものであれば良い。炭化珪素質メカニカルシー
ル摺動材の製造方法として最も汎用性がある工
程、即ち、水媒体による原料配合物のボールミル
混合、噴霧乾燥による顆粒化、冷間静水圧プレス
あるいは金型プレスの工程を考慮すれば、添加す
る有機物は水に溶解せず、噴霧乾燥時に軟化流動
しない程度の耐熱性が必要であり、合成あるいは
天然の高分子量化合物が適当であり、例を挙げれ
ば乳化重合によるポリスチレンビーズ、球状澱粉
粒、パルプ質球体が好ましい。 〔実施例〕 以下、本発明を実施例にて詳細に説明する。 実施例 1〜2 平均粒子径が0.45μmのα型炭化珪素粉末100重
量部に対し、炭化硼素粉末0.8重量部、カーボン
ブラツク粉末2.5重量部、ポリビニルアルコール
2.5重量部、20μm径のポリスチレンビーズを7重
量部および11重量部添加し、水を加え40%濃度の
スラリーを造り、ボールミル中で10時間混合し、
スプレードライヤーにて顆粒化した。 この顆粒を成形型に充填し、1.5ton/cm2の圧力
で加圧成形し、2050℃のアルゴン雰囲気中で焼結
し、表1のテストピースを得た。嵩比重は水置換
法、全気孔率は、炭化珪素の理論密度を3.21g/
cm3として計算により求めた。外径30mmφ、内径24
mmφ、厚さ8mmに研削加工し、片面をラツプ仕上
げでRnax.=0.05μmとし、摺動試験用テストピー
スとした。 比較例 1〜4 ポリスチレンビーズを添加しないものおよび
5μm径および50μm径のポリスチレンビーズを11
重量部添加するものまた、20μm径のポリスチレ
ンビースを26重量部を添加するものをポリスチレ
ンビースの添加に関する点を除いては、実施例1
〜2と同様な方法により、表1に示す特性を持つ
テストピースを製造した。
【表】
【表】
実施例 3
実施例1〜2および比較例1〜4のテストピー
スを第1図に示す湿式摩擦係数測定装置の上部試
料1に設置し、下部試料2にカーボン材(フラン
樹脂含浸)、緻密質炭化珪素焼結体(比較例1)
および多孔質炭化珪素焼結体(実施例2)にそれ
ぞれを設置し、摺動面圧6Kg/cm2、周速度5cm/
sec、水中17℃にて摺動試験を行ない、5トルク
検出器の読みから摩擦係数を算出し、表2の結果
を得た。 実施例 4 メカニカルシールの摺動材として、フラン樹脂
含浸カーボン材と実施例1の炭化珪素焼結体とを
使用した場合と、フラン樹脂含浸カーボン材と比
較例1の炭化珪素焼結体とを使用した場合とで、
ブリスターの発生の有無の試験を行なつた。試験
条件としては、C重油を圧力10Kg/cm2にて循環す
るポンプ式の試験機に於て、軸径40mmφ、摺動回
転数N=3000r.p.mで15分稼動し、5分停止する
断続運転にて試験した。 ブリスターは、高粘度流体で稼動、停止の断続
回数が多い運転で、PV値が高いものでは、比較
的短い時間に発生するのが普通であるが、実施例
1の焼結体を使用したものでは、100時間、即ち
300回の断続回数でもブリスターは発生しなかつ
た。 一方、比較例1の焼結体を使用したものでは、
5時間後、即ち15回の断続回数で漏れが発生した
ので、試験機の摺動材部を解体してみると、カー
ボン材の摺動面に5個のブリスターが発生してい
た。 すなわち、本発明品は、ブリスターの発生防止
効果が優れていることがわかる。
スを第1図に示す湿式摩擦係数測定装置の上部試
料1に設置し、下部試料2にカーボン材(フラン
樹脂含浸)、緻密質炭化珪素焼結体(比較例1)
および多孔質炭化珪素焼結体(実施例2)にそれ
ぞれを設置し、摺動面圧6Kg/cm2、周速度5cm/
sec、水中17℃にて摺動試験を行ない、5トルク
検出器の読みから摩擦係数を算出し、表2の結果
を得た。 実施例 4 メカニカルシールの摺動材として、フラン樹脂
含浸カーボン材と実施例1の炭化珪素焼結体とを
使用した場合と、フラン樹脂含浸カーボン材と比
較例1の炭化珪素焼結体とを使用した場合とで、
ブリスターの発生の有無の試験を行なつた。試験
条件としては、C重油を圧力10Kg/cm2にて循環す
るポンプ式の試験機に於て、軸径40mmφ、摺動回
転数N=3000r.p.mで15分稼動し、5分停止する
断続運転にて試験した。 ブリスターは、高粘度流体で稼動、停止の断続
回数が多い運転で、PV値が高いものでは、比較
的短い時間に発生するのが普通であるが、実施例
1の焼結体を使用したものでは、100時間、即ち
300回の断続回数でもブリスターは発生しなかつ
た。 一方、比較例1の焼結体を使用したものでは、
5時間後、即ち15回の断続回数で漏れが発生した
ので、試験機の摺動材部を解体してみると、カー
ボン材の摺動面に5個のブリスターが発生してい
た。 すなわち、本発明品は、ブリスターの発生防止
効果が優れていることがわかる。
【表】
〔発明の効果)
本発明によれば、炭化珪素とカーボン材、炭化
珪素と炭化珪素との組合せによるメカニカルシー
ルに於て高いPV値で使用でき、鳴き、固着、か
じりおよびブリスター現象を起こすことなく使用
できる効果を奏する。
珪素と炭化珪素との組合せによるメカニカルシー
ルに於て高いPV値で使用でき、鳴き、固着、か
じりおよびブリスター現象を起こすことなく使用
できる効果を奏する。
第1図は湿式摩擦係数測定装置の概略図であ
る。 1……上部試料、2……下部試料、3……回転
軸、4……固定軸、5……トルク検出器、8……
駆動モーター。
る。 1……上部試料、2……下部試料、3……回転
軸、4……固定軸、5……トルク検出器、8……
駆動モーター。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 平均気孔径10〜40μmの独立気孔を、気孔率
として3〜13vol%含有することを特徴とするメ
カニカルシール用炭化珪素焼結体。 2 第1項記載の焼結体を固定環および回転環と
して用いることを特徴とするメカニカルシール。 3 第1項記載の焼結体を一方の固定環あるいは
回転環とし、他方にカーボン材のものを用いるこ
とを特徴とするメカニカルシール。 4 第1項記載の焼結体を一方の固定環あるいは
回転環とし、他方に緻密質炭化珪素焼結体を用い
ることを特徴とするメカニカルシール。 5 第1項記載の焼結体を一方の固定環あるいは
回転環とし、他方に鋳鉄、アルミナ焼結体、超硬
合金の摺動材を用いることを特徴とするメカニカ
ルシール。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63205856A JPH0255273A (ja) | 1988-08-18 | 1988-08-18 | メカニカルシール用炭化珪素焼結体およびそれを用いたメカニカルシール |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63205856A JPH0255273A (ja) | 1988-08-18 | 1988-08-18 | メカニカルシール用炭化珪素焼結体およびそれを用いたメカニカルシール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0255273A JPH0255273A (ja) | 1990-02-23 |
JPH0569066B2 true JPH0569066B2 (ja) | 1993-09-30 |
Family
ID=16513845
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP63205856A Granted JPH0255273A (ja) | 1988-08-18 | 1988-08-18 | メカニカルシール用炭化珪素焼結体およびそれを用いたメカニカルシール |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5080378A (ja) |
JP (1) | JPH0255273A (ja) |
DE (1) | DE3927300A1 (ja) |
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1989
- 1989-08-18 US US07/395,611 patent/US5080378A/en not_active Expired - Lifetime
- 1989-08-18 DE DE3927300A patent/DE3927300A1/de active Granted
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