JPH0568910A - 微粒子の荷電・捕集ユニツト装置及び荷電・捕集方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 微粒子の荷電・捕集を効果的に行うことので
きるユニット装置を得る。 【構成】 光電子による空間中の微粒子の荷電・捕集装
置において、紫外線源１１と光電子放出材１３及び電極
１４からなり、該紫外線源１１を光電子放出材１３及び
電極１４で囲み一体化してユニット化し、微粒子の荷電
・捕集ユニット装置とした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、空間清浄化のための清
浄装置と方法に係り、特に空間中に存在する微粒子を光
電子を用いて荷電・捕集する荷電・捕集ユニット装置と
それを用いた荷電・捕集方法に関する。本発明の荷電・
捕集ユニット装置と、それを用いた方法は、微粒子を荷
電・捕集（除去）して、清浄化気体あるいは清浄化空間
を得る分野に利用できる。例えば、家庭、事務所、病
院、あるいは半導体工業、薬品工業、食品工業、農林産
業、医薬、精密機械工業等各種産業におけるクリーンル
ーム、無菌室等における空間や、安全キャビネット、ク
リーンボックス、貴重品の保管庫、ウェハ保管庫、貴重
品の密閉搬送空間等におけるクリーンな密閉空間（各種
気体の存在下あるいは真空中）、各種ＣＶＤ装置、各種
成膜装置関連における空間の清浄化等である。

【０００２】

【従来の技術】光電子放出材に、紫外線を照射すること
により発生する光電子による微粒子の荷電・捕集につい
ては、先に本発明者の多数の提案がある。本発明者が空
間の浄化関係において提案したものの内、本発明と特に
関連性を有するものには次のものがある。（１）特公告
平３−５８５９号公報（Us patent 4,７５0,９１７
号）、（２）特開昭６３−７７５５７号公報、（３）特
開昭６３−１００９５５号公報、（４）特開平２−１０
０３４号公報、（５）特願平２−２９５４２２号、
（６）特願平３−２２６８５号。さらに、荷電条件関係
において提案したものには、（１）特開平２−８６３９
号公報、（２）特願平１−１２０５６３号。さらに、光
電子放出材関係において提案したものに、（１）特開平
２−８６３８号公報、（２）特願平１−１５５８５７
号、（３）特願平１−１５３３３５号、（４）特願平２
−２７８１２３号、（５）特願平２−２９５４２３号が
ある。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の光電子によ
る微粒子の荷電・捕集は、紫外線源、光電子放出材、電
極を個別に設置して用いていた。すなわち、紫外線源、
光電子放出材、電極が離れて設置されていたので、利用
分野によっては改善の余地があった。また、清浄化装置
の設計において、紫外線源、光電子放出材、電極が一体
化していれば、取扱いが容易となり、清浄化がコンパク
トにできるなど、実用上有利となる。

【０００４】上記課題を以下に例をあげて説明する。図
４は、半導体産業におけるウェハ保管庫における微粒子
除去の作用を示す構成図である。ウェハ保管庫１は、紫
外線ランプ２、光電子放出材３、電場設定用電極材４、
紫外線ランプ２からの紫外線の反射面５から構成されて
いる。ウェハ保管庫１中の微粒子６は、紫外線ランプ２
の照射を受けた光電子放出材３から放出される光電子７
により荷電され、荷電微粒子８となる。該荷電微粒子８
は、電場設定用電極材４にて捕集される。ここで、ウェ
ハ保管庫１は密閉空間であるので、、電場設定用電極材
４は荷電微粒子の捕集材の役目をしている。９はウェハ
キャリャー、１０はウェハを示す。ここでの光電子放出
材は本発明者がすでに提案した（特願平２−２９５４２
３号）紫外線透過性物質の表面に光電子を放出する物質
を薄膜状に付加したものであり、図４ではガラス材の表
面に５０ÅＡｕを付加したものである。

【０００５】この様な場合、紫外線ランプ、光電子放出
材、電極材が個別に設置されるため、 紫外線ランプ
２は、ウェハ保管庫１の外側に設置されるので、放出紫
外線が有効に光電子放出材３に照射されない（例、光電
子放出材３に対し、反射面方向の紫外線はロスが大き
い）。また、 電場（電界）は光電子放出材３と電極
材４の間に設定されるため、（ａ）ウェハが電場中に設
置されるので、ウェハの状態によっては（例、表面が活
性化されている場合）電場の作用に影響を受ける場合が
ある。また、（ｂ）光電子放出材３と電極材４の距離が
長いので、電場設定のための印加電圧が高くなる課題が
あり、改善の余地があった。そこで、本発明は、上記課
題を解決し、微粒子の荷電・捕集を効果的に行うことの
できる微粒子の荷電・捕集ユニット装置及び該荷電・捕
集ユニットを用いる微粒子の荷電・捕集方法を提供する
ことを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を解決するため
に、本発明では、電場において、光電子放出材に紫外線
を照射することによる光電子による空間中の微粒子の荷
電・捕集装置において、紫外線源と光電子放出材及び電
極からなり、該紫外線源を光電子放出材及び電極で囲み
一体化してユニット化したことを特徴とする、微粒子の
荷電・捕集ユニット装置としたものである。また、本発
明では、上記荷電・捕集ユニットを微粒子が存在する空
間中に設置することを特徴とした空間中の微粒子の荷電
・捕集方法としたものである。上記における一体化で
は、紫外線源を光電子放出材で囲み、 更にその近
傍に（電場用）電極を設置し、 光電子放出材又は電
極の少なくともいずれか一方の形状を、清浄化空間部に
存在する微粒子が光電子放出部から放出された光電子に
より荷電されるように、該光電子放出部に移動できるよ
うにしたものである。

【０００７】本発明の光電子による空間中微粒子の荷電
・捕集ユニットの例を図１及び図２に示す。図１におい
て、本発明の微粒子の荷電・捕集ユニットは、紫外線源
として紫外線ランプ（棒状）１１、該ランプを囲む形状
（筒状）のガラス母材１２上の光電子放出材１３、該光
電子放出材１３を囲む形状（筒状）の金網電極１４より
なる。光電子放出材１３は、紫外線透過性物質である石
英ガラス１２の表面に薄膜状に付加されており、紫外線
ランプ１１からの紫外線照射により、光電子１５を円周
方向に放射状に放出する。該光電子の放出は、後述のご
とく、電場での紫外線照射で効果的となるため、光電子
放出材１３（−極）と電極１４（＋極）間に電場を形成
している（光電子放出部）。

【０００８】電極１４は、上述のごとく電場形成のため
と同時に、荷電微粒子の捕集材としての役目をする。す
なわち、光電子放出部から放出された光電子１５により
後述のごとく近傍に浮遊する微粒子は荷電され、荷電微
粒子となり、電極１４に捕集され、近傍の空間は清浄化
される。図２に、別の形状の荷電・捕集ユニットを示
す。図２の荷電・捕集ユニットは、紫外線ランプ（棒
状）２１、該ランプを囲む形状（筒状）の金網電極２
２、該金網電極２２を囲む形状（筒状）の金網状光電子
放出材２３よりなる。光電子放出材２３と電極２２間に
電場を形成しており、光電子放出材２３へ紫外線照射す
ることにより光電子２４が放出される。

【０００９】次に、本発明の夫々の構成を詳細に説明す
る。光電子放出材は、紫外線照射により光電子を放出す
るものであれば何れでも良く、光電的な仕事関数が小さ
なもの程好ましい、効果や経済性の面から、Ｂａ，Ｓ
ｒ，Ｃａ，Ｙ，Ｇｄ，Ｌａ，Ｃｅ，Ｎｄ，Ｔｈ，Ｐｒ，
Ｂｅ，Ｚｒ，Ｆｅ，Ｎｉ，Ｚｎ，Ｃｕ，Ａｇ，Ｐｔ，Ｃ
ｄ，Ｐｂ，Ａｌ，Ｃ，Ｍｇ，Ａｕ，Ｉｎ，Ｂｉ，Ｎｂ，
Ｓｉ，Ｔａ，Ｔｉ，Ｕ，Ｂ，Ｅｕ，Ｓｎ，Ｐ，Ｗのいず
れか又はこれらの化合物又は合金が好ましく、これらは
単独で又は二種以上を複合して用いられる。複合材とし
ては、アマルガムの如く物理的な複合材も用いうる。例
えば、化合物としては酸化物、ほう化物、炭化物があ
り、酸化物にはＢａＯ，ＳｒＯ，ＣａＯ，Ｙ₂ Ｏ₅ ，Ｇ
ｄ₂ Ｏ₃ 、Ｎｄ₂ Ｏ₃、ＴｈＯ₂ 、ＺｒＯ₂ 、Ｆｅ₂ Ｏ
₃ 、ＺｎＯ，ＣｕＯ，Ａｇ₂ Ｏ，Ｌａ₂ Ｏ₃ ，ＰｔＯ，
ＰｂＯ，Ａｌ₂ Ｏ₃ ，ＭｇＯ，Ｉｎ₂ Ｏ₃ ，ＢｉＯ，Ｎ
ｂＯ，ＢｅＯなどがあり、またほう化物にはＹＢ₆ ，Ｃ
ｄＢ₆ ，ＬａＢ₅ ，ＮｄＢ₆ ，ＣｅＢ₆ ，ＥｕＢ₆ ，Ｐ
ｒＢ₆ ，ＺｒＢ₂ などがあり、さらに炭化物としてはＵ
Ｃ，ＺｒＣ，ＴａＣ，ＴｉＣ，ＮｂＣ，ＷＣなどがあ
る。

【００１０】また、合金としては黄銅、青銅、リン青
銅、ＡｇとＭｇとの合金（Ｍｇが２〜２０ｗｔ％）、Ｃ
ｕとＢｅとの合金（Ｂｅが１〜１０ｗｔ％）及びＢａと
Ａｌとの合金を用いることができ、上記ＡｇとＭｇとの
合金、ＣｕとＢｅとの合金及びＢａとＡｌとの合金が好
ましい。酸化物は金属表面のみを空気中で加熱したり、
或いは薬品で酸化することによっても得ることができ
る。さらに他の方法としては使用前に加熱し、表面に酸
化層を形成して長期にわたって安定な酸化層を得ること
もできる。この例としてはＭｇとＡｇとの合金を水蒸気
中で３００〜４００℃の温度の条件下でその表面に酸化
膜を形成させることができ、この酸化薄膜は長期間にわ
たって安定なものである。

【００１１】また、光電子を放出する物質を別の物質に
付加して使用することができる。この例として、紫外線
透過性物質に光電子を放出し得る物質を付加したものが
ある。図１の例では紫外線透過性物質（母材）としての
石英ガラス上に光電子を放出し得る物質として、Ａｕを
薄膜状に付加したものである（特願平２−２９５４２３
号）。図２の例では、金網状のＣｕ−ＺｎにＡｕを薄膜
状に付加したものである。光電子放出材の形状や構造は
後述のごとく、装置（ユニット）の形状、構造あるいは
希望する効果等により異なり、適宜決めることができ
る。光電子放出材からの光電子放出のための照射源は、
照射により光電子を放出するものであればいずれでも良
い。本例で述べた紫外線の他に電磁波、レーザ、放射線
が適宜に適用分野、装置規模、形状、効果等で選択し、
使用できる。この内、効果、操作性の面で、紫外線が通
常好ましい。

【００１２】紫外線の種類は、その照射により光電子放
出材が光電子を放出しうるものであれば何れでも良く、
適用分野によっては、殺菌（滅菌）作用を併せてもつも
のが好ましい。紫外線の種類は、適用分野、作業内容、
用途、経済性などにより適宜決めることができる。例え
ば、バイオロジカル分野においては、殺菌作用、効率の
面から遠紫外線を併用するのが好ましい。該紫外線源と
しては、紫外線を発するものであれば何れも使用でき、
適用分野、装置の形状、構造、効果、経済性等により適
宜選択し用いることができる。例えば、水銀灯、水素放
電管、キセノン放電管、ライマン放電管などを適宜使用
できる。バイオロジカル分野では、殺菌（滅菌）波長２
５４ｎｍを有する紫外線を用いると、殺菌（滅菌）効果
が併用でき好ましい。

【００１３】次に、本発明の特徴である紫外線源、光電
子放出材、電極の位置や形状について述べる。これら
は、紫外線源を囲み設置され、微粒子の荷電・捕集器
（ユニット）として一体化していることに特徴がある。
光電子放出材の位置や形状は、紫外線源から放出される
紫外線を囲むように（照射面積が広くできるように）設
置できるものであればいずれでも良い。通常、紫外線源
からの紫外線は円周方向に放射状に放出されるため、こ
の紫外線を囲むように円周方向に設置できるものであれ
ば良い。

【００１４】次に、電極の位置や形状は、光電子放出材
との間に電場（電界）が形成できるものであれば何れも
使用できる。電極材料とその構造は、周知の荷電装置に
おいて使用されているもので良い。電極材料は導体であ
れば何れも使用でき、この例としてタングステンの線、
棒、網、板がある。これらを１種類又は２種類以上組合
わせて光電子放出材の近傍に電場が形成できるよう設置
する。電極の位置に対する光電子放出材の位置は、図１
のように紫外線ランプの近傍側、あるいは図２のように
紫外線ランプの対向側（処理空間側）にと、適宜の位置
に光電子放出材の種類や形状、利用分野、装置形状、規
模、効果、経済性などにより決めることができる。

【００１５】光電子放出材の種類は、本発明者がすでに
提案したように板状のもの、プリーツ状のもの、金網状
のもの（特開昭６１−１７８０５０号公報）、母材上に
保護膜を付加したもの（特願平１−１５５８５７号）、
薄膜の形状のもの（特願平２−２７８１２３号）、紫外
線透過性物質に付加したもの（特願平２−２９５４２３
号）を上述電場用電極材と適宜に組合わせて使用でき
る。この内本発明に好適な光電子放出材の種類は、一般
に少なくとも１部分が金網状のもの（特開昭６１−１７
８０５０号公報）、紫外線透過性物質例えばガラス材上
に光電子を放出し得る物質を薄膜状に付加したもの（特
願平２−２９５４２３号）、板あるいは曲面状のものを
１種又は２種類以上適宜組合わせて、光電子放出部に設
置したものである。光電子放出材と電極材の組合わせ
は、利用分野、装置規模、形状、構造などにより適宜決
めることができ、空間部に設置した場合に、後述の清浄
化空間部に存在する微粒子が光電子放出部に迅速に移動
できるものであれば何れでも良い。

【００１６】すなわち、光電子放出材又は電極の形状
は、清浄化空間部に存在する微粒子が、光電子放出部か
ら放出された光電子により荷電されるように、どちらか
一方が清浄化空間部に存在する微粒子が光電子放出部に
迅速に移動できるものであれば何れでも良い。このよう
な形状としては、通常金網状、線状、棒状、格子状、板
状、プリーツ状、曲面状等があり、これらを１種類ある
いは２種類以上適宜組合わせて用いることができる。こ
の内、金網状、棒状、線状、板状、格子状の形状のもの
を曲面で用いることが上記目的から好ましい。

【００１７】光電子放出材と電極の位置と形状は、紫外
線源を囲み、紫外線源、光電子放出材、電極が一体化で
き、紫外線源から放出された紫外線が有効利用され、か
つ光電子の放出と該光電子による微粒子の荷電が効果的
に行えるように利用分野、装置規模、形状、効果、経済
性等を考慮して予備試験等により、決めることができ
る。例えば、棒（円筒）状の紫外線ランプを用いる場合
は、紫外線が円周方向に放射状に放出されるため、この
円周方向の放射状の紫外線を光電子放出材に出来るだけ
多く照射するほど光電子放出量が多くなる。

【００１８】このため、図１の例では、紫外線ランプ１
１を先ず紫外線ランプ１１の直径より大きい直径の円筒
状の石英ガラス（母材）１２で囲み、該石英ガラス表面
に光電子放出材１３として薄膜状のＡｕを付加した。更
に、その廻りに直径の更に大きい円筒状の金網１４を電
極として囲み、紫外線ランプ１１、光電子放出材１３、
電極１４を一体化している。図２の例では、紫外線ラン
プ２１を先ず円筒状の目の粗い金網状の電極２２で囲
み、更にその廻りに円筒状の金網２３を囲み電子放出材
として用い、これらを一体化している。尚、ここでの金
網状光電子放出材２３は、Ｃｕ−ＺｎにＡｕを薄膜状に
付加したものである。

【００１９】図１で円筒状の電極１４、図２で円筒状の
光電子放出材２３は、いずれも金網状であり、これより
清浄化空間部の微粒子が容易に（拡散により）光電子放
出部に移動できる。また、光電子放出材への紫外線の照
射は電場において行うと、光電子放出材からの光電子発
生が効果的に起こる。電場の形成方法としては、荷電部
の形状、構造、適用分野或いは期待する効果（精度）等
によって適宜選択することが出来る。電場の強さは、共
存水分濃度や光電子放出材の種類等で適宜決めることが
出来、このことについては本発明者の別の発明がある。
電場の強さは、一般に０．１Ｖ／ｃｍ〜２ＫＶ／ｃｍで
ある。

【００２０】光電子放出材と電極の間の距離は、これら
の間に電場が形成でき、光電子放出材への紫外線照射に
より光電子放出材からの光電子が微粒子に荷電を与える
ことができれば良く、近いほど印加電圧が低くて良いの
で好ましい。一般に２０ｃｍ以内、好ましくは５ｃｍ以
内であるが装置規模、形状、利用分野などにより適宜に
決めることができる。

【００２１】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
るが、本発明はこれに限定されるものではない。 実施例１ 半導体工場のウェハ保管庫（図３）における空気清浄
を、図１に示した本発明の基本構成図の微粒子の荷電・
捕集ユニットを用い実施する場合を図１と図３を用い説
明する。図３の密閉空間（気体が流動せず、静止状態と
みなせる空間）であるウェハ保管庫の空気清浄は、ウェ
ハ保管庫の内側に設置された紫外線ランプ１１、該ラン
プを囲む形状（円筒状）のガラス母材１２上の光電子放
出材１３、該光電子放出材１３を囲む形状（円筒状）の
金網電極１４より成る図１の微粒子の荷電・捕集ユニッ
トＢにて実施される。

【００２２】すなわち、ウェハ保管庫中の微粒子（微粒
子状物質）１６は図１の紫外線ランプ１１が照射された
光電子放出材１３から放出される光電子１５により荷電
され、荷電微粒子となり、該荷電微粒子は荷電微粒子の
捕集材１４に捕集され、ウェハの存在する清浄化空間部
（Ａ）は高清浄化される。Ｂは、空間中微粒子の荷電・
捕集部であり、光電子放出部から光電子を放出させ、微
粒子を荷電させ、捕集（除去）する図１の微粒子の荷電
・捕集ユニットより成る。ここでの光電子放出材１３
は、ガラス材表面に５０ÅＡｕを薄膜状に付加したもの
である。このようにして、ウェハ保管庫中の微粒子（粒
子状物質）は捕集・除去され、ウェハ保管庫は清浄空気
となる。

【００２３】電極１４は、光電子放出材１３からの光電
子放出を電場で行うために設置している。すなわち、光
電子放出材１３と電極１４の間に電場を形成している
（光電子放出部）。微粒子の荷電は、電場において光電
子放出材１３に紫外線照射することにより発生する光電
子１５により効率よく実施される。ここでの電場の電圧
は、５０Ｖ／ｃｍである。また、荷電微粒子の捕集は、
電極１４を用いて行っている。電極材は金網状のＣｕ−
Ｚｎ材を金メッキして用い、光電子放出材より１ｃｍの
位置に設置している。９，１０は、夫々ウェハキャリャ
ー、ウェハを示す。本例において、ウェハ保管庫内の１
部に気流の攪拌を行うと微粒子除去速度が早くなること
から好ましい。その方法として、加温して温度差をつけ
る、機械的な攪拌等があり、適宜に使用できる。

【００２４】実施例２ 図３に示したウェハ保管庫（清浄器）内部に図１に示し
た微粒子の荷電・捕集ユニットを設置し、下記試料ガス
を入れ紫外線照射並びに電圧の印加（荷電・捕集）を行
い、粒子測定器（パーティクルカウンター）を用い、微
粒子の残存率を調べた。 清浄器大きさ：１０リットル 紫外線源：殺菌ランプ（棒状），６Ｗ 光電子放出材：円筒状石英ガラス表面に、薄膜状Ａｕ
（５０Å）を付加したもの。 電極材：光電子放出材よりも２ｃｍ直径の長い円筒状の
金網（Ｃｕ−ＺｎをＡｕメッキしたもの）。 荷電微粒子の捕集材：電極材で兼用。 電場電圧：５０Ｖ／ｃｍ

【００２５】微粒子の荷電・捕集ユニット：図１のごと
く、紫外線ランプ（殺菌ランプ）を円筒状の光電子放出
材で囲み、更にその廻りを円筒状の金網電極で囲んだも
の。試料ガス（入口ガス）：表１のとおり

【表１】

【００２６】結果 ０．１μｍ以上の微粒子濃度を測定器で測定した。結果
を表２に示す。

【表２】 尚、ブランクとして紫外線照射と電圧の印加なしの場
合の３０分放置後の清浄器内の微粒子濃度を調べたとこ
ろ、初期濃度（入口濃度）に対し９０％が認められた
（測定された）。

【００２７】実施例１では、微粒子の荷電・捕集ユニッ
トを清浄化空間に一台設置した場合であるが、適用分
野、装置規模、形状、効果等によっては複数台設置して
実施し得ることは言うまでもない。また、上述の例で
は、光電子放出材を紫外線源を囲む位置に設置した場合
を示したが、本発明者がすでに提案した紫外線源（紫外
線ランプ）の表面に薄膜状光電子放出材を付加した光電
子放出装置（特願平３−２２６８５号）も同様に使用で
きる。この光電子放出装置を用いる場合は、該光電子放
出装置の廻りに上述の電極を設置し、一体化すれば良
い。

【００２８】

【発明の効果】本発明によれば、紫外線源を光電子放出
材及び電極で囲み一体化したことにより、 コンパクトな微粒子の荷電・捕集ユニット装置とな
った。 一体化において紫外線源を光電子放出材で囲み設置
したことにより、紫外線源からの放出紫外線がロスする
ことなく有効利用できるようになった。例えば、円周方
向に放射状に放出される紫外線に対し、該放出紫外線を
囲むように、光電子放出材を設置することで全ての方向
に放出される紫外線を光電子放出材に照射できた。 一体化において、光電子放出材の近傍に電極を設置
したことにより光電子放出材と電極間が近傍になったの
で、電場のための印加電圧が低くなった。又、電場は光
電子放出材と電極間という小空間であるので、清浄化空
間への電場の影響は無視し得た。

【００２９】 全ての方向に放出される紫外線が有効
利用されたので、紫外線源として紫外線ランプを用いる
場合、従来式に比べランプの使用本数が相当減少でき
た。これにより、使用電力が減少した。また、微粒子の
荷電・捕集器としての性能が向上した。 空間中の任意の場所に設置できるので、清浄化能力
が向上した。 従来式では、清浄化装置としての装置構造を制限す
るが、本荷電・捕集ユニットを用いればによりその制
限はない。すなわち、清浄化装置の設計の自由度が大と
なった。 清浄化装置において、初期設計値よりも清浄能力
（清浄速度）を改善したい場合、従来式では困難である
が、本法では本荷電・捕集ユニットを任意の場所に増設
できるので、清浄能力の改善が簡易にできる。 適用分野が広がり、実用性が向上した。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は本発明の微粒子の荷電・捕集ユニット
装置を示す概略構成図であり、（ｂ）はその断面図であ
る。

【図２】本発明の他の微粒子の荷電・捕集ユニット装置
を示す概略構成図である。

【図３】本発明のユニットをウェハ保管庫の空気清浄に
用いた基本構成図である。

【図４】公知のウェハ保管庫の空気清浄装置の基本構成
図である。

【符号の説明】

２，１１，２１：紫外線ランプ、３，１３，２３：光電
子放出材、４，１４，２２：電極、７，１５，２４：光
電子、６，１６：微粒子、９：ウェハキャリャー、１
０：ウェハ、１２：石英ガラス

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光電子による空間中の微粒子の荷電・捕
   集装置において、紫外線源と光電子放出材及び電極から
   なり、該紫外線源を光電子放出材及び電極で囲み一体化
   してユニット化したことを特徴とする微粒子の荷電・捕
   集ユニット装置。
2. 【請求項２】 光電子による空間中の微粒子の荷電・捕
   集方法において、紫外線源を光電子放出材及び電極で囲
   み一体化して形成した微粒子の荷電・捕集ユニットを、
   微粒子が存在する空間中に設置することを特徴とする微
   粒子の荷電・捕集方法。