JPH0565645A - ダイアモンド成形体 - Google Patents

ダイアモンド成形体

Info

Publication number
JPH0565645A
JPH0565645A JP3224180A JP22418091A JPH0565645A JP H0565645 A JPH0565645 A JP H0565645A JP 3224180 A JP3224180 A JP 3224180A JP 22418091 A JP22418091 A JP 22418091A JP H0565645 A JPH0565645 A JP H0565645A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diamond
pipe
formed body
diamond film
film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3224180A
Other languages
English (en)
Inventor
Seiichi Iwamatsu
誠一 岩松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP3224180A priority Critical patent/JPH0565645A/ja
Publication of JPH0565645A publication Critical patent/JPH0565645A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)
  • Chemical Vapour Deposition (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ダイアモンドの持つ、高硬度、耐薬品性等の
特性を最大限に産業上に活用すべく、ダイアモンドの成
形体を提供する。 【構成】 ダイアモンド成形体に関し、（１） 母型表
面又は内面にダイアモンド膜を形成し、前記母型を除去
してダイアモンド膜から成る成形品と成す事、および
（２） 管の内面にダイアモンド膜を被覆する事、等で
ある。 【効果】 ダイアモンド成形体が容易に製作する事がで
きる効果が有り、この様にして製作されたダイアモンド
成形体は、硬度の高いところから切削治具として用いら
れたり、耐薬品性の高いところから化学反応用の容器や
パイプとして用いられたり、物理反応用容器やパイプと
しても用いられたりする事ができたり、輸送パイプの寿
命を長くできる効果等もある。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はダイアモンドの成形体
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、ダイアモンドは結晶体として工業
用や装飾用に用いられているに過ぎなかった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来技術
によると用途が切削工具の先端や、レコード針の先端あ
るいは観賞用装飾品として用いられるにすぎなかった。
【０００４】この発明は、ダイアモンドの持つ、高硬
度、耐薬品性等の特性を最大限に産業上に活用すべく、
ダイアモンドの成形体を提供する事を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決し、上記
目的を達成するために、この発明は、ダイアモンド成形
体に関し、（１） 母型表面又は内面にダイアモンド膜
を形成し、前記母型を除去してダイアモンド膜から成る
成形品と成す手段を取る事、および（２） 管の内面に
ダイアモンド膜を被覆する手段を取る事、等の手段を取
る。
【０００６】
【実施例】以下、実施例によりこの発明を詳述する。
【０００７】最近、Ｂ．Ｖ．ＳＰＩＴＳＹＮ ｅｔ．ａ
ｌ．，Ｊ．ｏｆ ＣｒｙｓｔａｌＧｒｏｗｔｈ，５２，
２１９（１９８１）．やＳ．ＭＡＴＳＵＭＯＴＯｅｔ．
ａｌ．，Ｊａｐ．Ｊ．ｏｆ Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．，２
１，Ｌ１８３（１９８２）．およびＹ．ＭＯＲＩ ｅ
ｔ．ａｌ．，Ａｐｐｌ．Ｐｈｙｓ．Ｌｅｔｔ．，５８，
９４０（１９９１）．等によると、メタンガス等の炭化
水素ガスをソースとしてプラズマＣＶＤにより金属、半
導体、プラスチック等の固体表面にダイアモンド膜が形
成できるようになっている。
【０００８】いま、円形のシリコンウエーハ表面にプラ
ズマＣＶＤ法によりダイアモンド膜を形成し、その後弗
酸と硝酸の混液に浸漬する事によりシリコンをエッチン
グ除去すると、円形のダイアモンドカッターのダイアモ
ンド刃ができる。該ダイアモンド刃の厚さが１ミクロン
の場合には切削幅が１ミクロンの切削が可能となり、１
０ミクロンの場合には切削幅が１０ミクロンの切削が可
能となる。尚、シリコンウエーハに代え金属円盤やプラ
スチック円盤を用いても良く、金属円盤の除去には通常
の酸類によるエッチング除去を、プラスチック円盤の除
去には有機溶剤による除去や酸化処理による除去を行う
事ができる。
【０００９】つぎに、円筒形の母材の内面あるいは外面
にプラズマＣＶＤ法によりダイアモンド膜を形成し、前
記母材を除去する事によりダイアモンドパイプを製作す
る事ができる。
【００１０】上記の如く、母材型の表面にダイアモンド
膜を形成後、母材を除去する事によりダイアモンド容器
や一層複雑な形のダイアモンド成形体を製作する事がで
きる。
【００１１】この様にして製作されたダイアモンド成形
体は、硬度の高いところから切削治具として用いられた
り、耐薬品性の高いところから化学反応用の容器やパイ
プとして用いられたり、物理反応用容器やパイプとして
も用いられたりする事ができる。尚、母材は必ずしも除
去する必要は無い。
【００１２】つぎに、河川のしゅんせつや、石炭のパイ
プ輸送に用いられているパイプの内面にダイアモンド膜
を形成する事により、パイプが砂利や石炭により摩耗す
るのを防ぐ事ができ、輸送パイプの寿命を長くできる作
用がある。
【００１３】
【発明の効果】この発明により、ダイアモンド成形体が
容易に製作する事ができる効果が有り、この様にして製
作されたダイアモンド成形体は、硬度の高いところから
切削治具として用いられたり、耐薬品性の高いところか
ら化学反応用の容器やパイプとして用いられたり、物理
反応用容器やパイプとしても用いられたりする事ができ
たり、輸送パイプの寿命を長くできる効果等もある。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 母型表面又は内面にはダイアモンド膜を
    形成し、前記母型を除去してダイアモンド膜から成る成
    形品と成す事を特徴とするダイアモンド成形体。
  2. 【請求項２】 管の内面にはダイアモンド膜が被覆され
    て成る事を特徴とするダイアモンド成形体。
JP3224180A 1991-09-04 1991-09-04 ダイアモンド成形体 Pending JPH0565645A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3224180A JPH0565645A (ja) 1991-09-04 1991-09-04 ダイアモンド成形体

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP3224180A JPH0565645A (ja) 1991-09-04 1991-09-04 ダイアモンド成形体

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0565645A true JPH0565645A (ja) 1993-03-19

Family

ID=16809781

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP3224180A Pending JPH0565645A (ja) 1991-09-04 1991-09-04 ダイアモンド成形体

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0565645A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10046973A1 (de) * 2000-09-19 2002-04-25 Kinik Company Taipei CVD-Diamantprodukt und Verfahren zu seiner Herstellung
CN108559971A (zh) * 2018-03-13 2018-09-21 同济大学 一种金刚石厚膜切削齿的制备方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62136569A (ja) * 1985-12-09 1987-06-19 Showa Denko Kk ダイヤモンドのコ−テイング方法
JPS6242029B2 (ja) * 1985-09-24 1987-09-05 Sumitomo Electric Industries
JPS6326371A (ja) * 1986-07-17 1988-02-03 Toshiba Corp 熱伝導性管状部材の製造方法
JPH03141110A (ja) * 1989-10-24 1991-06-17 Showa Denko Kk ダイヤモンド製立体形状製品の製造方法
JPH03146665A (ja) * 1989-10-31 1991-06-21 Shimadzu Corp 硬質カーボン膜製造方法
JPH03149140A (ja) * 1989-11-02 1991-06-25 Asahi Daiyamondo Kogyo Kk 気相合成ダイヤモンド工具の製造方法
JPH04136172A (ja) * 1990-09-26 1992-05-11 Showa Denko Kk ダイヤモンド内面コーティング法
JPH05117854A (ja) * 1991-05-01 1993-05-14 General Electric Co <Ge> 化学蒸着による物品製造方法および該製造方法で使用される支持部材

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6242029B2 (ja) * 1985-09-24 1987-09-05 Sumitomo Electric Industries
JPS62136569A (ja) * 1985-12-09 1987-06-19 Showa Denko Kk ダイヤモンドのコ−テイング方法
JPS6326371A (ja) * 1986-07-17 1988-02-03 Toshiba Corp 熱伝導性管状部材の製造方法
JPH03141110A (ja) * 1989-10-24 1991-06-17 Showa Denko Kk ダイヤモンド製立体形状製品の製造方法
JPH03146665A (ja) * 1989-10-31 1991-06-21 Shimadzu Corp 硬質カーボン膜製造方法
JPH03149140A (ja) * 1989-11-02 1991-06-25 Asahi Daiyamondo Kogyo Kk 気相合成ダイヤモンド工具の製造方法
JPH04136172A (ja) * 1990-09-26 1992-05-11 Showa Denko Kk ダイヤモンド内面コーティング法
JPH05117854A (ja) * 1991-05-01 1993-05-14 General Electric Co <Ge> 化学蒸着による物品製造方法および該製造方法で使用される支持部材

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10046973A1 (de) * 2000-09-19 2002-04-25 Kinik Company Taipei CVD-Diamantprodukt und Verfahren zu seiner Herstellung
DE10046973B4 (de) * 2000-09-19 2005-09-15 Kinik Company Verfahren zur Herstellung eines CVD-Diamantwerkzeugs und Verwendung
CN108559971A (zh) * 2018-03-13 2018-09-21 同济大学 一种金刚石厚膜切削齿的制备方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5571616A (en) Ultrasmooth adherent diamond film coated article and method for making same
US5869133A (en) Method of producing articles by chemical vapor deposition and the support mandrels used therein
US4978567A (en) Wafer holding fixture for chemical reaction processes in rapid thermal processing equipment and method for making same
EP0442303B1 (en) CVD Diamond workpieces and their fabrication
KR950030220A (ko) 다이아몬드 웨이퍼 및 그 제조 방법
JPH03232796A (ja) 合成ダイヤモンド製品ならびにその製造法
DE60017968D1 (de) Verfahren zur Herstellung von Kohlenstoffnanoröhre
ATE528421T1 (de) Verfahren zur herstellung von gruppe-iii- metallnitrid-materialien
DE60329576D1 (de) Nitrid-halbleiterbauelement mit einem trägersubstrat und verfahren zu seiner herstellung
JPH0565645A (ja) ダイアモンド成形体
JPH05169131A (ja) 線引きダイ
US5374414A (en) Self-supporting diamond filaments
JPH01162770A (ja) ダイヤモンド被覆部材
KR20210008713A (ko) Ｃｍｐ 패드 컨디셔너 제조방법 및 이를 이용한 ｃｍｐ 패드 컨디셔너
JPS6294263A (ja) カツタ−ブレ−ドおよびその製造方法
US5571615A (en) Ultrasmooth adherent diamond film coated article and method for making same
JPS62241898A (ja) ダイヤモンド薄膜の形成方法
JPH0354180A (ja) ダイヤモンド被覆焼結体の製造法
JPH01317111A (ja) 多結晶質ダイヤモンド砥粒及びその製法
JP2831396B2 (ja) ダイヤモンド被覆切削工具
JP2736771B2 (ja) 金 型
JPH02239192A (ja) ダイヤモンドの合成方法
JPH06100398A (ja) 鏡面を有するダイヤモンド膜の製造方法
JPH0834684A (ja) 熱分解窒化ほう素成形体の製造方法
JPH05271941A (ja) ダイヤモンドの合成方法