JPH0563555B2

JPH0563555B2 -

Info

Publication number: JPH0563555B2
Application number: JP59187941A
Authority: JP
Inventors: Nobuyuki Iizuka; Fumyuki Hirose; Naotatsu Asahi; Yoshuki Kojima
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1984-09-10
Filing date: 1984-09-10
Publication date: 1993-09-10
Also published as: EP0236520A1; JPS61174385A

Description

【発明の詳細な説明】

〔発明の利用分野〕本発明は高温あるいは高温腐蝕環境下で用いら
れる耐熱部材及びその製造方法に関する。〔発明の背景〕たとえば発電用ガスタービンプラントなどにお
いては発電効率を向上することを目的として、ガ
スタービンの高温化技術が検討されている。この
ような高温化に伴つて、ガスタービン部材の耐熱
温度の向上が望まれている。Ni基板あるいはCo
基等の合金材料の開発により、これら耐熱合金の
耐熱温度が向上してきているが、現状では850℃
程度で飽和している。一方、セラミツク材料は耐
熱性の点では金属材料に比べて優れているが、構
造材として用いるには靭性等の問題がある。従つ
て、このような部材の高温化に対処するために、
部材が高温にならないような方法の検討が盛んに
行われている。このような方法として、部材の冷
却方法が各種検討されている。又、もう一つの方
法として熱伝導率の小さいセラミツクを、金属部
材の表面にコーテイングする方法がある。このよ
うなコーテイングは熱遮蔽コーテイング
（Thermal Barrier Coating以下TBCと略す）と
呼ばれる。TBCは各種の冷却方法と組み合わせ
て用いることにより、その効果は大きくなる。こ
のTBCを施したものは一例として、基材である
金属部材の温度をTBCを施さないものに比べて
50〜100℃低減できるという報告もある。このよ
うな方法を用いることによつて、高温ガスタービ
ン等の構成部材の信頼性を向上させることができ
る。ところで、このTBCの技術的課題としては、
TBCは基材を構成する耐熱合金と物性値が異な
るセラミツク被覆層を組み合したものであるた
め、基材とセラミツク被覆層と密着機構及びその
信頼性の問題がある。特に、ガスタービン等では
起動停止等の熱サイクルにより、セラミツク被覆
層の剥離、脱落等の損傷が生じる。そこで、この
ような点を解決する方法として各種の手段が用い
られている。主な方法としては、例えば、特開昭
55−112804号公報に見られる如くセラミツク被覆
層と基材との間に、金属合金材料からなる結合層
を設けるものがある。その結合層は基材とセラミ
ツク被覆層の物性値の相異を緩和することを目的
としている。しかるに、この場合、セラミツク被
覆層と結合層との密着機構は機械的な結合にすぎ
ずその強度は２〜５Kg／mm²である。更に、結合層
の他に、結合層とセラミツク被覆層の間に、結合
層を構成する合金材とセラミツク被覆層を構成す
る材料との混合物からなる中間層及びその中間層
を合金材とセラミツク材の混合比を数種類変えた
ものを多層にして用いるもの、あるいは中間層自
体を合金材からセラミツク材へその混合比を連続
的に変化したものがある。これらの方法はセラミ
ツク被覆層と結合層との物性値の相異を緩和する
ことを目的としたものであるが、いずれの場合
も、セラミツクと合金材料との結合状態は機械的
な結合にすぎない。従つて、熱サイクル等によ
り、TBCに大きな熱応力が生じた場合、結合力
の弱い部分から剥離、脱落等の損傷が生じること
になる。更に、このようなTBCに用いるセラミツク被
覆層結合層及び中間層は、主にプラズマ溶融法で
形成される。その理由は被覆層形成速度が速く経
済性に優れていることの他に、セラミツク被覆層
に適用した場合溶射被膜の多孔質は構造を利用す
ることにある。すなわち、空孔や緻細なクラツク
を形成することにより、空孔やクラツクを、熱応
力の緩和作用に利用している。このような点で、
プラズマ溶射で形成したセラミツク溶射被膜は、
スパツタリング等の方法で形成した緻密なセラミ
ツク被覆層に比べ熱サイクル等の作用による熱衝
撃性に優れている反面、TBCは高温度で、燃料
中の不純物等による高温腐蝕条件下で用いられる
ため、このような多孔質構造のセラミツク被覆層
を形成したTBCでは、結合層あるいは中間層を
形成する合金材料の高温酸化、高温腐食の問題が
ある。合金材料は高温耐酸化性、耐食性に優れた
成分であるが、それらの合金被覆層の形成方法に
より、必ずしも、本来の合金材料で予想される高
温耐酸化性、耐食性を発揮するものではないと考
えられる。本発明者らの検討によればTBCを高
温酸化或いは高温腐食環境下にさらした後、熱サ
イクル試験を行つた結果、その耐久性は著しく低
下することが判明した。この場合、セラミツク材
料と合金材料との結合が本来機械的な結合でその
強度が弱いことに加え、更に、その境界部分の合
金材料の表面が酸化あるいは腐蝕されその密着力
が更に低下したためと考えられる。このように、
従来のTBCでは、セラミツクと合金材料の結合
力が低いということ、更に、高温酸化、高温腐蝕
等により合金材の表面が変化しセラミツク合金材
料の結合力が更に低下すると考えられる。このよ
うな問題点はTBCの信頼性を大幅に低下させる
ものである。一方、プラズマ溶射法においても、
大気中で溶射を行う方法の他に、プラズマアーク
の周囲の雰囲気を制御し更にその雰囲気圧力をも
制御する減圧雰囲気中溶射が行われている。この
ようは減圧雰囲気中溶射によれば、溶射中の溶射
粒子が酸素等によつて汚染されないので、非常に
良好な金属合金結合層が形成できる。このような
金属合金結合層は高温ガスタービン部材の高温酸
化、高温腐食を防止する被覆層として利用されて
いる。そこで、本発明者らは以上の点にかんがみて、
TBCの信頼性を向上させることを目的として、
セラミツクと合金材料の結合機構の強化という点
に注目し各種の検討を行つた。本発明者らは、従来用いられている各種の材料
によるTBCについて検討した。例えば、ZrO₂系
セラミツク被覆層と金属合金材料から成る結合層
とから成るTBCを用い、TBCの高温酸化試験を
実施した。この試験は高温条件下でのガスタービ
ン部品へのTBCあるいは局部的に高温になるガ
スタービン部品へのTBCの施工を考慮したもの
である。その結果、従来のTBCはZrO₂系被覆層
と結合層の界面の酸化が著しく進行することが判
つた。そして、試験前後のTBCの密着力を判定
した結果、1000℃、500時間の酸化試験で、ZrO₂
系被覆層と結合層との界面の密着力は１／２〜
１／４に低下することがわかつた。このような密
着力の低下は、ZrO₂系被覆層の厚さ、気孔率、
更にZrO₂への添加剤の種類及び量によつて若干
の相異が認められるが、いずれもその低下は著し
い。又、結合層の合金材料の成分に関しても若干
の相異があるが、いずれも低下していた。このよ
うな界面の密着力の低下は酸化試験の温度が高く
なる、或いは試験時間の増加とともに著しくな
る。そして、1100℃、100時間の試験では一部、
界面からの剥離損傷が認められるものがあつた。
一方、金属合金材ZrO₂系材料との混合したもの
を中間層として用いたTBCでは、酸化試験によ
る密着力の低下は更に著しいものであつた。この
ような結果は、本発明者らが実施した高温熱サイ
クル試験の結果とも対応している。すなわち、
970℃、1020℃、1070℃、1120℃のそれぞれの温
度で30分間保持、空冷により150℃までの冷却を
繰り返す試験においても試験温度が高くなるに従
つて、TBCの損傷が生じるまでの繰り返し数は
著しく低下していた。このような従来のTBCの
問題は、ガスタービンの高温化に対処した信頼性
の優れたTBCを得る上で重大な障害となる。す
なわち、ガスタービン部品の基材温度が高くなる
のを防止し、その温度を低減化することを目的と
してTBCを実施するに際して、従来のTBCを施
した部品ではTBCの高温耐久性が低いので、部
品の基材温度の低減を十分発揮することは困難で
ある。そこで、本発明者らは従来のTBCを施工した
ガスタービン部品の代り、高温稼働条件下でもガ
スタービン部品の基材温度の低減化を十分発揮し
うる高温耐久性に優れたTBCを施工したガスタ
ービン部材について検討した。すなわち、本発者らは以上のような点を考慮し
て、ガスタービンの高温化を達成しうるに十分な
TBCを得ることを目的として各種の検討を行い、
耐久性に優れたTBCを有したガスタービン部品
を発明するに至つた。〔発明の目的〕本発明の目的は、TBCの信頼性を向上させる
ことにある。すなわち、セラミツク材料と基材と
の結合力が長期間にわたつて安定しており、クラ
ツクや剥離の起りにくいTBCを提供することに
ある。〔発明の概要〕本発明は、金属材料より成る基材上に、この基
材よりも高温耐酸化性及び高温耐蝕性に優れた合
金の結合層を形成し、前記合金結合層上にセラミ
ツク被覆層を形成した耐熱部材において、前記合
金結合層とセラミツク被覆層との境界にAl系酸
化物を主成分とする酸化物層を形成したことを特
徴とする。本発明によれば、Al系酸化物を主成分とする
酸化物層が、高温雰囲気中でも安定であり、これ
により合金結合層の酸化の進行を防止し、しかも
セラミツク被覆層との結合強度も強いため、長期
間の使用に対してもセラミツク被覆層のクラツク
の発生、剥離を防止できる。〔発明の実施例〕以下、本発明を詳細に説明する。先ず、従来の
TBCの問題点について詳細に検討し、その原因
について調べた。各種の酸化試験を実施した
TBCについて、その断面組織の観察を行つた。
その結果の一例を第６図及び第７図に示す。これ
らの、組織写真は、結合層部分の断面を100倍の
倍率で示すものであり、第６図ではセラミツク被
覆層（ZrO₂系被覆層）と結合層との界面部分に
欠陥（欠陥部として表示が生じている。第７図は
結合層とセラミツク被覆層（ZrO₂系被覆層）と
の間に合金材料とZrO₂系材料との混合層を形成
したTBCの結果である。この場合、中間層の合
金材料は著しく酸化している。これら現象は高温
熱サイクル試験でも認められる。すなわち、
TBCでは、熱応力を緩和する多孔質あるいは微
細クラツクを有した構造のZrO₂系被覆層を通じ
て結合層或いは中間層の酸化という問題が生じ
る。このような酸化は、界面の密着力を著しく低
下させ、熱応力等によつてその界面部からTBC
の剥離損傷が生じることになる。このような界面
の酸化の原因としては、高温状態でZrO₂系材料
が半導体となり、酸素の移動を容易にし、境界面
部の酸素分圧の増加を生じることも一つの重要な
要因であると考えられる。このような酸化は例え
ば中間層を形成した場合、界面の面積の増加を招
くのでより促進すると考えられる。従来のTBC
について界面の状態を分析した結果、界面には
Crを主成分とする酸化物が形成されていた。こ
のようなCr系酸化物は高温で不安定であるため、
その酸化物を生じた部分から損傷が生じていた。
従つて、高温ガスタービン用TBCにおいては、
界面での酸化というものを十分考慮することが必
要である。本発明者らは、このような観点から、
各種の方法について検討した結果、界面部にAl
系酸化物を主成分とする緻密な構造の酸化物薄膜
を形成することが有望であることを見い出した。
Al系酸化物は高温で安定であり、かつ、ZrO₂系
材料のように高温で半導体にもならない。従つ
て、Al系酸化物の薄薬は内部酸化を防止するバ
リヤーとして有効なものである。一方、このよう
なAl系酸化物層の厚さは、厚い場合Al系酸化物
の物性値を反映した新たな中間層となる。その結
果、熱応力等によりAl系酸化物層から損傷を生
じることになる。一方、薄すぎる場合は、内部酸
化防止作用を十分満足するバリヤーとなり得な
い。従つて、その厚さは0.1μm以上、20μm以下
であることが望ましい。このような範囲のAl系
酸化物層は結合層の内部酸化を防止するバリヤー
層として十分なものになる。一方、このような
Al系酸化物の薄膜の他の重要な作用として、
ZrO₂系セラミツクと結合層との密着力を向上さ
せることを見い出した。すなわち、従来のTBC
がZrO₂系セラミツクと結合層を構成する金属合
金とが機械的に結合していたのに比べ、本発明者
らが見い出したAl系酸化物の薄膜を介しての
ZrO₂系セラミツクと結合層との密着は、Al系酸
化物とZrO₂系セラミツクという酸化物どうしの
界面と、結合層を構成する金属合金中のAl成分
から生じるAl系酸化物というものになり、その
密着機構は非常に強固なものになる。一例とし
て、このようなAl系酸化物の薄膜を有したTBC
の1000℃、500時間の酸化試験において、結合層
とZrO₂系セラミツク被覆層の密着力はほとんど
低下せず７Kg／mm²以上である。第１図は高温酸化
試験後のTBCの断面組織の一例であり、倍率は
100倍である。第１図ではZrO₂系セラミツク被覆
層と結合層との界面部には何ら欠陥が生じていな
い。又、1100℃、100時間の酸化試験でも同様で
密着力の低下、あるいは、界面部での欠陥の発生
は全く認められない。更に、1030℃、1070℃、
1120℃、1170℃のそれぞれの温度で30分間保持、
空冷による150℃までの冷却を繰り返す試験の結
果は表１のようである。ここで、表１中試料No.201〜204は、基材上に結
合層を形成する材料（Alを含有するもの）を大
気中でArガスを使用して溶射し、次いで、ZrO₂
系セラミツク被覆層を形成したものである。ま
た、試料No.205〜208は、基材上に結合層を形成す
る材料（Alを含有するもの）を200Torrの圧力の
Arガス中でプラズマ溶射し、ZrO₂系セラミツク
被覆層を形成し、さりにその後1060℃、10時間真
空中で加熱し、拡散処理を行つたものである。

【表】表１中試料No.201〜204は従来のAl系酸化物の
薄膜を有さないTBCNo.205〜208はAl系酸化物の
薄膜を有するTBCの結果である。その結果、Al
系酸化物の薄膜を有するTBCは従来のTBCに比
べTBCが損傷にいたるまでの繰り返し数は約３
〜７倍であつた。又、試験温度が高くなるに従つ
て、その効果は顕著になる。このように、本発明
者らが見い出した、Al系酸化物の薄膜を有した
TBCは、高温条件下で特に効果が顕著なもので
ある。このようなTBCを施したガスタービン部
品は高温条件下でも安定なものとなりうる。更
に、Al系酸化物の薄膜を介して接合したZrO₂系
被覆層を有したTBCでは、ZrO₂系被覆層の密着
力が７Kg／mm²以上である。この密着力は従来の
TBCのZrO₂系被覆層の密着力が３〜５Kg／mm²程
度であつたのに比べ非常に大きい。従つて、燃焼
器部品等で生じる燃焼振動によるTBCの損傷或
いは動翼等の高速度で回転する部品でのTBCの
損傷等を防止することも可能である。そこで、こ
のようなTBCを施したことによる効果について
検討した。ガスタービン部品において低NOx燃
焼器部品等のように基材温度が高くなる部品にお
いては、高温の燃焼ガスにさらされる部分に上記
のような高温耐久性に優れたTBCを施工するこ
とにより、基材の温度低減を安定して得ることが
可能になる。一例として、円筒形状の低NOx燃
焼器部品に対して、高温ガスにさらされる円筒の
内面に上記のようなAl系酸化物の薄膜を有した
TBCを施した燃焼器部品は、従来のTBCを施し
た部品に比べ、TBCが損傷に至るまでの稼働時
間は約３倍になつていた。これは、Al系酸化物
の薄膜を有したTBCが耐久性特に高温条件下で
の耐久性に優れているためである。従つて、
TBCを施すことによつて得られる燃焼器部品の
基材温度の低減効果は安定して維持される。一
方、従来のTBCを施した燃焼器部品では、短時
間でTBCが損傷し、特に基材温度の高い部品の
TBCの損傷が著しくなつてしまう。その結果、
TBCによる基材の温度低減の効果は消去し、基
材の温度が高くなり、部品の損傷に至つてしま
う。更に、燃焼器部品において、部品の強度、あ
るいは燃焼器部品の固定等の構造上から圧縮空気
等による冷却が十分に行えない部分は、特に基材
の温度上昇が生じ易くなつている。このような部
分ではTBCの役割は特に重要で、TBCの熱遮蔽
効果による基材の温度低減の他に、熱伝導率の小
さいセラミツク被覆層を有したTBCは、局部的
な基材の温度上昇を防止し、基材の温度を均一化
させる作用も有している。その結果、TBCは、
構造上或いは燃焼条件等のため部品の局部的な温
度上昇を防止し、基材の局部的な温度上昇による
部品の変形或いは損傷を防止する上で非常に重要
なものになる。しかるに、従来のTBCは、特に
高温での耐久性に問題があり、このような基材の
温度が局部的に高くなる部品においては、その部
分のTBCは短時間で損傷し易い。燃焼器部品で
は燃焼振動により基材が振動するので高温条件下
でセラミツク被覆層の密着力の低下したTBCは
更に損傷を生じ易くなる。そのため、最もTBC
の効果が必要である部分に対して、十分な効果を
発揮することができなくなる。そして、TBCの
損傷した部分では他のTBCが健全である部分に
比べ基材の温度はむしろ高くなる可能性もありう
る。例えば燃焼器部品のように火炎に接している
部品ではTBCはセラミツク被覆層のふく射の効
果による火炎から基材への入熱量を低減する作用
もある。従つて、TBCの損傷した部分の基材温
度は、TBCを施工しない場合に比べて高くなつ
てしまうこともありうる。その結果、従来の
TBCを施工した燃焼器部品等のガスタービン部
品では、TBCの効果は十分に発揮しうることは
困難であり、むしろ、基材の温度が高い部分に対
しては、従来のTBCの施工した部品では、部品
の信頼性を損なうこともありうる。一方、Al系
酸化物の薄膜を有したTBCを施工した本発明の
ガスタービン部品では、例えばNOx燃焼器部品
では、構造上或いは燃焼条件等により、基材の温
度が局部的に高くなる部品であつても、TBCは
耐久性、特に高温での耐久性に優れたものである
ため、基材の温度が高くなる部分でのTBCの損
傷は生じ難い。従つて、Al系酸化物の薄膜を有
した本発明のガスタービン部品は、基材の温度が
局部的に高くなつても、TBCによる熱遮蔽効果
が十分維持され、かつ、TBCによる局部的な温
度上昇を緩和する作用も発揮される。その結果、
本発明のガスタービン部品は信頼性の高いものに
なる。ここで、基材の温度が局部的に高くなる部
品においては、その部分に、Al系酸化物の薄膜
を有したTBCを施工することも有効である。す
なわち、TBCの熱遮蔽効果により、局部的な温
度上昇を防止することができるからである。更
に、他の部分にTBCが無い場合、TBCのセラミ
ツク被覆層のふく射の効果により、TBCを施工
した部分の基材への入熱量を低くすることがで
き、他のTBCの無い部分との入熱量のバランス
をとり、基材の局部的な温度上昇を防止すること
も期待できうる。このように、Al系酸化物の薄
膜を有したTBCはガスタービン部品の高温にさ
らされる部分の全面あるいは一部分に施工するこ
とによつて、いずれの場合もその効果を十分発揮
しうるものである。このような基材の温度の局部
的な温度上昇の一例として、燃焼器部品で説明し
たが、他のガスタービン部品においても同じよう
なことがある。例えば、静翼、動翼等において
は、翼の冷却構造上の制約のため、翼を構成する
基材の温度を均一化することは困難である。更
に、ガスタービンが高温化するに伴つて、そのよ
うな温度分布の相異は大きくなる傾向がある。従
つて、Al系酸化物の薄膜を有した耐久性に優れ
たTBCを有したガスタービン部品は信頼性の高
いものとなり、ガスタービンの高温化を可能にす
るものになりうる。以下、本発明について実施例
により詳細に説明する。実施例１基材としてNi基合金であるハステロイーＸ
（22wt％Cr−1.5wt％Co−9wt％Mo−19wt％Fe
−0.1wt％Ｃ−残部Ni）を用い、その表面を脱脂
洗浄後、スチール製のグリツドを用いてプラスチ
ングし、しかる後、プラズマ溶射を行い、10wt
％Ni−25wt％Cr−7wt％Al−0.6wt％Ｙ−5wt％
Ta−残部Coからなる合金材料の結合層を形成し
た。プラズマ溶射は200Torrの圧力のArガス中
で行つた。この場合プラズマ溶射を行う雰囲気中
の酸素分圧は酸素センサーで測定した結果10^-3気
圧以下であつた。プラズマの出力は40kWであ
る。このような条件で厚さ0.01mmのCo−Ni−Cr
−Al−Ｙ合金を形成し、TBCの結合層とした。
しかる後、直ちに前述の結合層の上にZrO₂−８
％Y₂O₃被覆層を形成した。溶射条件はプラズマ
出力50KWで、大気中溶射である。ZrO₂−８％
Y₂O₃被覆層の厚さは0.3mmである。その後、1060
℃、10時間真空中で加熱し結合層と被覆層との拡
散処理を行つた。ここで、結合層と被覆層との拡
散処理は、この間にAl系酸化物の薄膜（0.2μm程
度）を析出させるために行つた。なお、比較のた
め、従来法によつて本発明のTBCと同じ材料を
用いて、同じ厚さの被覆層からなるTBCを作成
した。従来法として前述の合金材料を大気中で
Arガスを使用して溶射し、次いで前述と同様に
ZrO₂−８％Y₂O₃（被覆層）を被覆した。次に、
本発明のTBCの効果を確認するため、以下に述
べる各種の試験を実施した。先ず、各種の温度で
酸化試験を行い、試験後の外観観察及び断面組織
観察更に密着力試験を実施した。表２は外観観察
及び密着力試験の結果である。

【表】

【表】表２中No.１〜No.６は従来のTBCの結果、No.７
〜No.11は本実施例で作成した本発明のTBCの結
果である。すなわち、従来のTBCでは1070℃以
上の温度（100時間保持）で、ZrO₂−８％Y₂O₃
被覆層が剥離しTBCは損傷した。一方、本発明
のNo.７〜No.11のTBCは外観的に何ら損傷は認め
られない。一方、酸化試験後のTBCの密着力試
験の結果も、TBCが損傷していないNo.１〜No.６
の従来のTBCは、その密着力は２〜５Kg／mm²で、
酸化試験温度の増加とともに密着力は低下してい
る。又、密着力試験での破断部分は結合層と
ZrO₂−８％Y₂O₃被覆層との境界部である。一
方、No.７〜No.11に示した本発明のTBCではいず
れの酸化試験条件下でもTBCの密着力の低下は
認められず、接着剤（接着剤の密着強度７Kg／
mm²）を用いた密着力試験法の限界値である７Kg／
mm²以上の値であつた。従つて、試験後の破断部は
いずれも接着剤の部分である。次に、上記酸化試
験後の試験片を用いて熱サイクル試験を実施し
た。試験条件は750℃、15分間保持、20〜25℃水
中、15秒間保持の繰り返しである。表３はその結
果である。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、結合層の
酸化腐蝕の進行を防止できるので、セラミツク被
覆層の結合強度を長期間にわたり、安定的に維持
することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明を実施したTBCの断面組織
写真、第２図は、TBCを施すガスタービン燃焼
器の外観図、第３図は第２図Ｘ−Ｘ線に沿う断面
図、第４図は、TBCを施した別のタイプの燃焼
器の外観図、第５図は、ガスタービン動翼の外観
図、第６図、及び第７図は、従来のTBCの高温
酸化後の断面組織写真である。

Claims

【特許請求の範囲】１ Ni、Co、Feの少なくとも１種を主成分とす
る基材上に、前記基材よりも高温耐酸化性及び高
温耐食性に優れた合金からなる結合層を形成し、
前記結合層上にセラミツクから成る被覆層を形成
したセラミツク被覆耐熱部材において、前記合金
の結合層とセラミツク被覆層との境界にAl系酸
化物を主成分とする酸化物層を形成したことを特
徴とするセラミツク被覆耐熱部材。２特許請求の範囲第１項において、前記セラミ
ツク被覆層を構成する材料が、ZrO₂を主成分と
し、CaO、MgO、Y₂O₃のいずれか１つもしくは
それらの組み合せたものを含むものであることを
特徴とするセラミツク被覆耐熱部材。３特許請求の範囲第１項において、前記合金の
結合層を構成する材料は、CoあるいはNiのいず
れか１つもしくはそれらの組み合せに、Cr、Al
を含み、更にHf、Ta、Ｙ、Si、Zrのいずれか１
つもしくはそれらの組み合せからなるものを含む
ものであることを特徴とするセラミツク被覆耐熱
部材。４特許請求の範囲第１項において、前記酸化物
層の厚さが0.1μm〜20μmであることを特徴とす
るセラミツク被覆耐熱部材。５特許請求の範囲第４項において、前記合金の
結合層の厚さが0.03mm〜0.5mm、前記セラミツク
被覆層の厚さが0.05mm〜0.8mmであることを特徴
とするセラミツク被覆耐熱部材。６ Ni、Co、Feの少なくとも１つを主成分とし
て構成された基材の表面に、Ni、Coのいずれか
一方もしくはそれらの組み合せにCr、Alを含み
前記基材よりも高温耐酸化性及び高温耐食性に優
れた合金からなる結合層を形成する工程と、前記
結合層の表面にセラミツクからなる被覆層を形成
する工程と、前記合金の結合層とセラミツク被覆
層との境界にAl系酸化物を主成分とする酸化物
層を形成する工程とを含けセラミツク被覆耐熱部
材の製造方法。７特許請求の範囲第６項において、前記合金の
結合層を形成する工程は、酸素分圧10^-3気圧以下
の雰囲気中でプラズマ溶射にて形成することを特
徴とするセラミツク被覆耐熱部材の製造方法。８特許請求の範囲第６項において、前記酸化物
層を形成する工程は、合金の被覆層上にセラミツ
ク結合層を形成した後、600℃〜1200℃の温度範
囲で１時間〜200時間、大気中で加熱処理する工
程を含むことを特徴とするセラミツク被覆耐熱部
材の製造方法。