JPH0563493A - 幅縦水晶振動子 - Google Patents
幅縦水晶振動子Info
- Publication number
- JPH0563493A JPH0563493A JP22172591A JP22172591A JPH0563493A JP H0563493 A JPH0563493 A JP H0563493A JP 22172591 A JP22172591 A JP 22172591A JP 22172591 A JP22172591 A JP 22172591A JP H0563493 A JPH0563493 A JP H0563493A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- width
- crystal oscillator
- mount
- oscillation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 等価直列抵抗Ｒ1の小さい、小型幅縦水晶振
動子を提供することにある。 【構成】 幅ｘ0方向に大きく変位する幅縦水晶振動子
で、振動部と支持部から成り、幅ｘ0の垂直面に励振電
極を配置する。
動子を提供することにある。 【構成】 幅ｘ0方向に大きく変位する幅縦水晶振動子
で、振動部と支持部から成り、幅ｘ0の垂直面に励振電
極を配置する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は幅縦水晶振動子の形状と
励振電極に関する。特に、小型化、高精度化、耐衝撃
性、低廉化の要求の強いポケットベル、ＩＣカードや移
動体無線等の基準信号源として最適な幅縦水晶振動子に
関する。
励振電極に関する。特に、小型化、高精度化、耐衝撃
性、低廉化の要求の強いポケットベル、ＩＣカードや移
動体無線等の基準信号源として最適な幅縦水晶振動子に
関する。
【０００２】
【従来の技術】周波数が４ＭＨｚ以上の水晶振動子は、
板厚によって大略周波数が決定される厚みすべり水晶振
動子が用いられてきた。特に、周波数温度特性に優れた
ＡＴカットが多用されてきた。又、これらの振動子は機
械加工にて振動子を形成する方法が採られていた。
板厚によって大略周波数が決定される厚みすべり水晶振
動子が用いられてきた。特に、周波数温度特性に優れた
ＡＴカットが多用されてきた。又、これらの振動子は機
械加工にて振動子を形成する方法が採られていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来か
ら多用されているＡＴカット水晶振動子は、機械加工に
より形成するために、小型化した場合、振動子の支持方
法が難しく、振動漏れによる等価直列抵抗Ｒ1 の増加や
スプリアス振動の発生が多くなり、小型化には限界があ
った。
ら多用されているＡＴカット水晶振動子は、機械加工に
より形成するために、小型化した場合、振動子の支持方
法が難しく、振動漏れによる等価直列抵抗Ｒ1 の増加や
スプリアス振動の発生が多くなり、小型化には限界があ
った。
【０００４】又、衝撃に弱く、更には振動子を１個づつ
機械的に加工するため低廉化には限界があるなど、超小
型の携帯機器用水晶振動子としては、極めて重要な課題
が残されていた。このことから、周波数が４ＭＨｚ以上
で、しかも超小型で等価直列抵抗Ｒ1 の小さい、零温度
係数を有する、エッチング加工が容易な新しい水晶振動
子が所望されていた。
機械的に加工するため低廉化には限界があるなど、超小
型の携帯機器用水晶振動子としては、極めて重要な課題
が残されていた。このことから、周波数が４ＭＨｚ以上
で、しかも超小型で等価直列抵抗Ｒ1 の小さい、零温度
係数を有する、エッチング加工が容易な新しい水晶振動
子が所望されていた。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は以下の方法で従
来の課題を解決するものである。すなわち、振動部と支
持部をエッチング法によって形成する幅縦水晶振動子
で、振動部を囲む第１のフレームと該第１のフレームと
接続される第２のフレームがマウント部まで延在し、該
振動部の幅方向に対して垂直となるエッチング面に励振
電極を配置することにより課題を解決している。
来の課題を解決するものである。すなわち、振動部と支
持部をエッチング法によって形成する幅縦水晶振動子
で、振動部を囲む第１のフレームと該第１のフレームと
接続される第２のフレームがマウント部まで延在し、該
振動部の幅方向に対して垂直となるエッチング面に励振
電極を配置することにより課題を解決している。
【０００６】
【作用】このように、本発明は幅縦水晶振動子で、しか
も、振動部と支持部から成る形状を有し、更に、振動部
の幅方向の垂直面に励振電極を配置するので、小型で、
Ｒ1 の小さい幅縦水晶振動子が得られる。
も、振動部と支持部から成る形状を有し、更に、振動部
の幅方向の垂直面に励振電極を配置するので、小型で、
Ｒ1 の小さい幅縦水晶振動子が得られる。
【０００７】
【実施例】次に、本発明を実施例に基づいて具体的に述
べる。図１は本発明の幅縦水晶振動子１とその座標系を
示す。座標系は原点ｏ、電気軸ｘ、機械軸ｙ、光軸ｚか
ら成り、ｏ−ｘｙｚを構成している。まず、幅ｘ0 、厚
みｚ0 と長さｙ0 から成り、幅ｘ0 方向に伸縮の振動を
する幅縦水晶振動子１はｚ軸と垂直となるＺ板水晶に一
致するように置く。次に、ｘ軸を回転軸として反時計方
向に角度φ＝２０°〜３５°回転される、いわゆるＫＴ
カット水晶板から本振動子は形成される。この様子は図
１の破線で示され、座標回転後の幅縦水晶振動子１' で
示される。この角度φによって、弾性スチフネス定数の
温度係数と膨張係数が変化するため、常温で零温度係数
が得られる。次に、本発明の幅縦水晶振動子形状と励振
電極配置の実施例について述べる。
べる。図１は本発明の幅縦水晶振動子１とその座標系を
示す。座標系は原点ｏ、電気軸ｘ、機械軸ｙ、光軸ｚか
ら成り、ｏ−ｘｙｚを構成している。まず、幅ｘ0 、厚
みｚ0 と長さｙ0 から成り、幅ｘ0 方向に伸縮の振動を
する幅縦水晶振動子１はｚ軸と垂直となるＺ板水晶に一
致するように置く。次に、ｘ軸を回転軸として反時計方
向に角度φ＝２０°〜３５°回転される、いわゆるＫＴ
カット水晶板から本振動子は形成される。この様子は図
１の破線で示され、座標回転後の幅縦水晶振動子１' で
示される。この角度φによって、弾性スチフネス定数の
温度係数と膨張係数が変化するため、常温で零温度係数
が得られる。次に、本発明の幅縦水晶振動子形状と励振
電極配置の実施例について述べる。
【０００８】図２は本発明の幅縦水晶振動子形状と励振
電極配置の平面図を示す。幅縦水晶振動子１は振動部２
と第１のフレーム４、第２のフレーム５、マウント部７
と接続部３、６から成る支持部から構成され、エッチン
グ法によって一体に形成されている。構成を更に詳述す
ると、振動部２はその長手方向（長さｙ0 、図示されて
ない）の両端部に設けられた接続部３を介して第１のフ
レーム４に接続されている。更に、第１のフレームはそ
の中央部付近に設けられた接続部６を介し、第２のフレ
ーム５に接続され、第２のフレーム５はマウント部７ま
で延在している。このとき、第１のフレーム４は振動部
２を囲むように形成されている。又、振動部２の長さｙ
0 方向と垂直となる幅方向の面（幅方向に対して垂直な
面）には励振電極８、９が互いに異極になるように配置
されている。そして、励振電極８は接続部３、第１のフ
レーム４、接続部６と第２のフレーム５を介してマウン
ト部７に配置された端子電極１０に接続されている。全
く同様に、励振電極９も他方の接続部３、第１のフレー
ム４、他方の接続部６と第２のフレーム５を介してマウ
ント部７に配置された端子電極１１に接続される。この
ように、マウント部７で２端子電極構造を成している。
電極配置の平面図を示す。幅縦水晶振動子１は振動部２
と第１のフレーム４、第２のフレーム５、マウント部７
と接続部３、６から成る支持部から構成され、エッチン
グ法によって一体に形成されている。構成を更に詳述す
ると、振動部２はその長手方向（長さｙ0 、図示されて
ない）の両端部に設けられた接続部３を介して第１のフ
レーム４に接続されている。更に、第１のフレームはそ
の中央部付近に設けられた接続部６を介し、第２のフレ
ーム５に接続され、第２のフレーム５はマウント部７ま
で延在している。このとき、第１のフレーム４は振動部
２を囲むように形成されている。又、振動部２の長さｙ
0 方向と垂直となる幅方向の面（幅方向に対して垂直な
面）には励振電極８、９が互いに異極になるように配置
されている。そして、励振電極８は接続部３、第１のフ
レーム４、接続部６と第２のフレーム５を介してマウン
ト部７に配置された端子電極１０に接続されている。全
く同様に、励振電極９も他方の接続部３、第１のフレー
ム４、他方の接続部６と第２のフレーム５を介してマウ
ント部７に配置された端子電極１１に接続される。この
ように、マウント部７で２端子電極構造を成している。
【０００９】尚、図２では励振電極８、９は振動部２の
一部分に配置されているが、勿論、振動部２のエッチン
グ面の全面に配置してもよいし、更には、厚み方向に対
して垂直な面にも多少の電極が配置されても十分な電気
的諸特性が得られる。又、本発明のＫＴカットの幅縦水
晶振動子では周波数定数が大略２７０ｋＨｚ・ｃｍであ
るので、周波数ｆ＝４．０ＭＨｚ以上の振動子を実現す
るには、幅ｘ0 は大略ｘ0 ＝６７５μｍより小さくすれ
ばよいことになる。それ故、小型の幅縦水晶振動子が４
ＭＨｚ以上の周波数で得られる。
一部分に配置されているが、勿論、振動部２のエッチン
グ面の全面に配置してもよいし、更には、厚み方向に対
して垂直な面にも多少の電極が配置されても十分な電気
的諸特性が得られる。又、本発明のＫＴカットの幅縦水
晶振動子では周波数定数が大略２７０ｋＨｚ・ｃｍであ
るので、周波数ｆ＝４．０ＭＨｚ以上の振動子を実現す
るには、幅ｘ0 は大略ｘ0 ＝６７５μｍより小さくすれ
ばよいことになる。それ故、小型の幅縦水晶振動子が４
ＭＨｚ以上の周波数で得られる。
【００１０】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の幅縦水晶振
動子は形状とその励振電極配置の工夫により、次の著し
い効果を有する。 （１）振動部と支持部の新形状により、振動を自由にさ
せることができるので、振動によるエネルギー損失が小
さくなる。その結果、等価直列抵抗Ｒ1 が小さくなる。 （２）エッチング法によって振動部と支持部を一体に形
成するので、小型化ができる。同時に、耐衝撃性に優れ
る。 （３）周波数が幅ｘ0 によって大略決まり、その周波数
定数が大略２７０ｋＨｚ・ｃｍであるので、周波数が４
ＭＨｚ以上で特に超小型化が可能である。 （４）ＫＴカット水晶板から振動子は形成されるので、
周波数温度特性に優れる。 （５）一枚のウエハ上に多数個の振動子を一度にバッチ
処理できるので、低廉化が可能である。 （６）励振電極を幅方向と垂直なエッチング面に配置す
るので、電界効率がよく、Ｒ1 が小さくなる。 （７）振動に影響しないマウント部でリード線等に支持
固定されるので、振動漏れが小さくなる。
動子は形状とその励振電極配置の工夫により、次の著し
い効果を有する。 （１）振動部と支持部の新形状により、振動を自由にさ
せることができるので、振動によるエネルギー損失が小
さくなる。その結果、等価直列抵抗Ｒ1 が小さくなる。 （２）エッチング法によって振動部と支持部を一体に形
成するので、小型化ができる。同時に、耐衝撃性に優れ
る。 （３）周波数が幅ｘ0 によって大略決まり、その周波数
定数が大略２７０ｋＨｚ・ｃｍであるので、周波数が４
ＭＨｚ以上で特に超小型化が可能である。 （４）ＫＴカット水晶板から振動子は形成されるので、
周波数温度特性に優れる。 （５）一枚のウエハ上に多数個の振動子を一度にバッチ
処理できるので、低廉化が可能である。 （６）励振電極を幅方向と垂直なエッチング面に配置す
るので、電界効率がよく、Ｒ1 が小さくなる。 （７）振動に影響しないマウント部でリード線等に支持
固定されるので、振動漏れが小さくなる。
【図１】本発明の幅縦水晶振動子とその座標系である。
【図２】本発明の幅縦水晶振動子形状と励振電極配置の
平面図である。
平面図である。
１ 幅縦水晶振動子 １' 座標回転後の幅縦水晶振動子 ２ 振動部 ３、６ 接続部 ４ 第１のフレーム ５ 第２のフレーム ７ マウント部 ８、９ 励振電極 １０、１１ 端子電極 ｘ0 振動部の幅 ｙ0 振動部の長さ ｚ0 振動部の厚み ｘ、ｙ、ｚ 電気軸、機械軸、光軸 φ カット角
Claims (1)
- 【請求項１】 振動部と支持部をエッチング法によって
形成する幅縦水晶振動子で、振動部を囲む第１のフレー
ムと該第１のフレームと接続される第２のフレームがマ
ウント部まで延在し、該振動部の幅方向に対して垂直と
なるエッチング面に励振電極を配置したことを特徴とす
る幅縦水晶振動子。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22172591A JPH0563493A (ja) | 1991-09-02 | 1991-09-02 | 幅縦水晶振動子 |
| US07/822,532 US5311096A (en) | 1991-01-25 | 1992-01-17 | KT cut width-extensional mode quartz crystal resonator |
| DE69225250T DE69225250T2 (de) | 1991-01-25 | 1992-01-21 | Quarzkristall-Resonator im Breitenausdehnungsmodus mit KT-Schnitt |
| EP92300508A EP0496583B1 (en) | 1991-01-25 | 1992-01-21 | KT cut width-extensional mode quartz crystal resonator |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22172591A JPH0563493A (ja) | 1991-09-02 | 1991-09-02 | 幅縦水晶振動子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0563493A true JPH0563493A (ja) | 1993-03-12 |
Family
ID=16771283
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22172591A Pending JPH0563493A (ja) | 1991-01-25 | 1991-09-02 | 幅縦水晶振動子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0563493A (ja) |
-
1991
- 1991-09-02 JP JP22172591A patent/JPH0563493A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5311096A (en) | KT cut width-extensional mode quartz crystal resonator | |
| KR20020038462A (ko) | 라메 모드 수정 진동자 | |
| JPS58220515A (ja) | 伸長モ−ド圧電形マイクロ共振器 | |
| JPH0563493A (ja) | 幅縦水晶振動子 | |
| JPH0124368B2 (ja) | ||
| JP2002299991A (ja) | 圧電振動子 | |
| JP2005026843A (ja) | 圧電デバイス | |
| JP2003273703A (ja) | 水晶振動子と水晶振動子の製造方法 | |
| JPH0563492A (ja) | 幅縦水晶振動子 | |
| JPH0388509A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPH0590878A (ja) | 幅縦水晶振動子 | |
| JP2929107B2 (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
| JP3176642B2 (ja) | Ｋｔカット水晶振動子 | |
| JP3363457B2 (ja) | 捩り水晶振動子 | |
| JPH05129873A (ja) | 幅縦水晶振動子 | |
| JP2001237670A (ja) | 圧電振動子 | |
| JPH07254839A (ja) | 水晶振動子 | |
| JPH0482314A (ja) | 厚みすべり水晶振動子 | |
| JP2709315B2 (ja) | 両端自由型屈曲水晶振動子 | |
| JP2003046360A (ja) | 二種類周波発振器及びその製造方法 | |
| JPH01126009A (ja) | 小型水晶振動子 | |
| JPH0541628A (ja) | Ｋｔカツト水晶振動子 | |
| JP2001185987A (ja) | 音叉型圧電振動子 | |
| JP2003115747A (ja) | ラーメモード水晶振動子 | |
| JPH0621744A (ja) | 厚みすべり水晶振動子 |