JPH0562884A - Ｘ線露光装置 - Google Patents
Ｘ線露光装置Info
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- JPH0562884A JPH0562884A JP3219488A JP21948891A JPH0562884A JP H0562884 A JPH0562884 A JP H0562884A JP 3219488 A JP3219488 A JP 3219488A JP 21948891 A JP21948891 A JP 21948891A JP H0562884 A JPH0562884 A JP H0562884A
- Authority
- JP
- Japan
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- accumulated current
- scan
- exposure
- exposure time
- Prior art date
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70216—Mask projection systems
- G03F7/70358—Scanning exposure, i.e. relative movement of patterned beam and workpiece during imaging
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＳＯＲ光を利用したＸ線露光装置に関し，指
定したドーズ量となるための最適なスキャン速度とスキ
ャン回数とを自動設定，あるいは候補の中からの選択と
いう半自動設定とすることにより，露光操作を簡単化す
る。 【構成】 ドーズ量設定部１１にはレジストの感度に合
わせた必要ドーズ量が与えられる。蓄積電流設定部１２
には蓄積リングから蓄積電流値が与えられる。蓄積電流
寿命設定部１３は蓄積電流設定部１２が保持する蓄積電
流値の時間変化から蓄積電流寿命を算出して保持する。
露光時間設定部１４はドーズ量，蓄積電流値，および蓄
積電流寿命から露光時間を算出する。スキャン速度・回
数設定部１５は露光時間設定部１４が算出した露光時間
からスキャン速度およびスキャン回数を算出する。スキ
ャン制御部１６はスキャン速度・回数設定部１５が算出
したスキャン速度およびスキャン回数でスキャンステー
ジ２１を制御する。
定したドーズ量となるための最適なスキャン速度とスキ
ャン回数とを自動設定，あるいは候補の中からの選択と
いう半自動設定とすることにより，露光操作を簡単化す
る。 【構成】 ドーズ量設定部１１にはレジストの感度に合
わせた必要ドーズ量が与えられる。蓄積電流設定部１２
には蓄積リングから蓄積電流値が与えられる。蓄積電流
寿命設定部１３は蓄積電流設定部１２が保持する蓄積電
流値の時間変化から蓄積電流寿命を算出して保持する。
露光時間設定部１４はドーズ量，蓄積電流値，および蓄
積電流寿命から露光時間を算出する。スキャン速度・回
数設定部１５は露光時間設定部１４が算出した露光時間
からスキャン速度およびスキャン回数を算出する。スキ
ャン制御部１６はスキャン速度・回数設定部１５が算出
したスキャン速度およびスキャン回数でスキャンステー
ジ２１を制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，Ｘ線露光装置，特にＳ
ＯＲ光を利用したＸ線露光装置に関する。ＳＯＲ光（Sy
nchrotron Obital Radiation；シンクロトロン放射光）
とは，高度の真空状態にある電子蓄積リング中を光速に
近い速度で走る電子が，電磁石によって軌道を曲げられ
る時に発生する電磁波（Ｘ線）のことである。このＳＯ
Ｒ光によるＸ線露光方式は，従来の紫外線露光方式に比
べて波長が短いので，より微細なパターンの露光転写が
可能である。このため，ＳＯＲ光によるＸ線露光は，次
世代の露光方式として注目されている。
ＯＲ光を利用したＸ線露光装置に関する。ＳＯＲ光（Sy
nchrotron Obital Radiation；シンクロトロン放射光）
とは，高度の真空状態にある電子蓄積リング中を光速に
近い速度で走る電子が，電磁石によって軌道を曲げられ
る時に発生する電磁波（Ｘ線）のことである。このＳＯ
Ｒ光によるＸ線露光方式は，従来の紫外線露光方式に比
べて波長が短いので，より微細なパターンの露光転写が
可能である。このため，ＳＯＲ光によるＸ線露光は，次
世代の露光方式として注目されている。
【０００２】
【従来の技術】図１３は，ＳＯＲ光を利用したＸ線露光
装置の例を示す図である。同図に示すように，ＳＯＲ光
は，光の進行方向まわりに非常に狭い拡がり角で放射さ
れるので，ＳＯＲ光を露光用の光として使用する場合に
は，マスクとウェハを一体にし，ＳＯＲ光に対してスキ
ャンする必要がある。そのために，マスクとウェハを搭
載したスキャンステージを鉛直方向に一定の速度で移動
させる。
装置の例を示す図である。同図に示すように，ＳＯＲ光
は，光の進行方向まわりに非常に狭い拡がり角で放射さ
れるので，ＳＯＲ光を露光用の光として使用する場合に
は，マスクとウェハを一体にし，ＳＯＲ光に対してスキ
ャンする必要がある。そのために，マスクとウェハを搭
載したスキャンステージを鉛直方向に一定の速度で移動
させる。
【０００３】スキャン速度は，レジストの感度とＳＯＲ
光の光量（光のエネルギー量）とから決まり，レジスト
の感度が高いほど，あるいはＳＯＲ光の光量が多いほど
スキャン速度を速くする必要がある。
光の光量（光のエネルギー量）とから決まり，レジスト
の感度が高いほど，あるいはＳＯＲ光の光量が多いほど
スキャン速度を速くする必要がある。
【０００４】一方，レジストの感度が非常に低い場合，
あるいはＳＯＲ光の光量が非常に少ない場合，スキャン
速度を非常に遅くする必要がある。しかし，スキャンス
テージのスキャン速度の可変範囲には限界がある。そこ
で，複数回スキャンすることで，スキャン速度を等価的
に遅くする方法が採られている。すなわち，速度ＶでＮ
回スキャンするのは，速度Ｖ／Ｎで１回スキャンするの
と等価であることを利用する。
あるいはＳＯＲ光の光量が非常に少ない場合，スキャン
速度を非常に遅くする必要がある。しかし，スキャンス
テージのスキャン速度の可変範囲には限界がある。そこ
で，複数回スキャンすることで，スキャン速度を等価的
に遅くする方法が採られている。すなわち，速度ＶでＮ
回スキャンするのは，速度Ｖ／Ｎで１回スキャンするの
と等価であることを利用する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ＳＯＲ光を利用したＸ
線露光装置は，比較的新しい技術であるために，露光シ
ーケンスが確立していない。このため，従来の露光実験
では，レジストの感度とＳＯＲ光の光量とから，適当な
スキャン速度とスキャン回数とを人手で露光装置に設定
していたが，その手間は煩雑である，という問題があっ
た。
線露光装置は，比較的新しい技術であるために，露光シ
ーケンスが確立していない。このため，従来の露光実験
では，レジストの感度とＳＯＲ光の光量とから，適当な
スキャン速度とスキャン回数とを人手で露光装置に設定
していたが，その手間は煩雑である，という問題があっ
た。
【０００６】また，蓄積リング内の電子の量を示す蓄積
電流は，時間と共に徐々に減少していくので，ＳＯＲ光
の光量も減少する。このため，蓄積電流の減少に合わせ
てスキャン速度を遅くする必要があるが，このスキャン
速度の補正も人手で行っており，その手間は非常に煩雑
である，という問題もあった。
電流は，時間と共に徐々に減少していくので，ＳＯＲ光
の光量も減少する。このため，蓄積電流の減少に合わせ
てスキャン速度を遅くする必要があるが，このスキャン
速度の補正も人手で行っており，その手間は非常に煩雑
である，という問題もあった。
【０００７】さらに，実際のスキャンステージには，そ
のスキャン速度に一定の分解能があり，その分解能単位
でしかスキャン速度を調整できないものがある。その場
合，指定したスキャン速度が分解能単位に丸められるた
め，露光時間に誤差が生じ，レジストの感度に最適な条
件で露光が行われない，という問題もあった。
のスキャン速度に一定の分解能があり，その分解能単位
でしかスキャン速度を調整できないものがある。その場
合，指定したスキャン速度が分解能単位に丸められるた
め，露光時間に誤差が生じ，レジストの感度に最適な条
件で露光が行われない，という問題もあった。
【０００８】本発明は，上記の問題点を解決して，指定
したＳＯＲ光の受光量（ドーズ量）となるための最適な
スキャン速度とスキャン回数とを自動設定，あるいは候
補の中からの選択という半自動設定とすることにより，
露光操作を簡単化したＸ線露光装置，特にＳＯＲ光を利
用したＸ線露光装置を提供することを目的とする。
したＳＯＲ光の受光量（ドーズ量）となるための最適な
スキャン速度とスキャン回数とを自動設定，あるいは候
補の中からの選択という半自動設定とすることにより，
露光操作を簡単化したＸ線露光装置，特にＳＯＲ光を利
用したＸ線露光装置を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】図１は，本発明の基本構
成を示す図である。同図において，１０は露光制御部
は，１１はドーズ量設定部，１２は蓄積電流設定部，１
３は蓄積電流寿命設定部，１４は露光時間設定部，１５
はスキャン速度・回数設定部，１６はスキャン制御部，
２０は露光機構部，２１はスキャンステージである。
成を示す図である。同図において，１０は露光制御部
は，１１はドーズ量設定部，１２は蓄積電流設定部，１
３は蓄積電流寿命設定部，１４は露光時間設定部，１５
はスキャン速度・回数設定部，１６はスキャン制御部，
２０は露光機構部，２１はスキャンステージである。
【００１０】露光制御部１０は，ドーズ量設定部１１，
蓄積電流設定部１２，および蓄積電流寿命設定部１３，
露光時間設定部１４，スキャン速度・回数設定部１５，
およびスキャン制御部１６から構成される。
蓄積電流設定部１２，および蓄積電流寿命設定部１３，
露光時間設定部１４，スキャン速度・回数設定部１５，
およびスキャン制御部１６から構成される。
【００１１】露光機構部２０は，スキャンステージ２１
から構成される。ドーズ量設定部１１には，レジストの
感度に合わせた必要なドーズ量が与えられる。
から構成される。ドーズ量設定部１１には，レジストの
感度に合わせた必要なドーズ量が与えられる。
【００１２】蓄積電流設定部１２には，蓄積リングから
蓄積電流値が与えられる。蓄積電流寿命設定部１３は，
蓄積電流設定部１２が保持する蓄積電流値の時間変化か
ら蓄積電流寿命を算出して保持する。
蓄積電流値が与えられる。蓄積電流寿命設定部１３は，
蓄積電流設定部１２が保持する蓄積電流値の時間変化か
ら蓄積電流寿命を算出して保持する。
【００１３】露光時間設定部１４は，ドーズ量設定部１
１が保持するドーズ量，蓄積電流設定部１２が保持する
蓄積電流値，および蓄積電流寿命設定部１３が保持する
蓄積電流寿命から露光時間を算出する。
１が保持するドーズ量，蓄積電流設定部１２が保持する
蓄積電流値，および蓄積電流寿命設定部１３が保持する
蓄積電流寿命から露光時間を算出する。
【００１４】スキャン速度・回数設定部１５は，露光時
間設定部１４が算出した露光時間からスキャン速度とス
キャン回数を算出する。スキャン制御部１６は，スキャ
ン速度・回数設定部１５が算出したスキャン速度および
スキャン回数でスキャンステージ２１のスキャンを制御
する。
間設定部１４が算出した露光時間からスキャン速度とス
キャン回数を算出する。スキャン制御部１６は，スキャ
ン速度・回数設定部１５が算出したスキャン速度および
スキャン回数でスキャンステージ２１のスキャンを制御
する。
【００１５】
【作用】露光中の蓄積電流をＩ，露光開始時の蓄積電流
をＩ0 ，露光開始時の蓄積電流寿命をτ，必要ドーズ量
をＤ，露光時間をＴ，定数をＣとすると， Ｉ＝Ｉ0 ｅｘｐ（−ｔ／τ） （１） Ｄ＝Ｃ∫0 T Ｉｄｔ （２） という関係があるから，露光時間Ｔは， Ｔ＝−τｌｎ（１−τＤ／ＣＩ0 ） （３） となる。
をＩ0 ，露光開始時の蓄積電流寿命をτ，必要ドーズ量
をＤ，露光時間をＴ，定数をＣとすると， Ｉ＝Ｉ0 ｅｘｐ（−ｔ／τ） （１） Ｄ＝Ｃ∫0 T Ｉｄｔ （２） という関係があるから，露光時間Ｔは， Ｔ＝−τｌｎ（１−τＤ／ＣＩ0 ） （３） となる。
【００１６】露光時間設定部１４は，この（３）式を用
いて，ドーズ量設定部１１が保持するドーズ量Ｄ，蓄積
電流設定部１２が保持する蓄積電流値Ｉ0 ，および蓄積
電流寿命設定部１３が保持する蓄積電流寿命τから露光
時間Ｔを算出する。
いて，ドーズ量設定部１１が保持するドーズ量Ｄ，蓄積
電流設定部１２が保持する蓄積電流値Ｉ0 ，および蓄積
電流寿命設定部１３が保持する蓄積電流寿命τから露光
時間Ｔを算出する。
【００１７】一方，スキャン速度Ｖ，スキャン回数Ｎ，
スキャン距離Ｌ，および露光時間Ｔの間には， Ｔ＝ＮＬ／Ｖ （４） という関係がある。この（４）式から， Ｖ＝ＮＬ／Ｔ （５） Ｎ＝ＴＶ／Ｌ （６） が得られる。
スキャン距離Ｌ，および露光時間Ｔの間には， Ｔ＝ＮＬ／Ｖ （４） という関係がある。この（４）式から， Ｖ＝ＮＬ／Ｔ （５） Ｎ＝ＴＶ／Ｌ （６） が得られる。
【００１８】スキャン速度・回数設定部１５は，（５）
式および（６）式を用いて，露光時間設定部１４が算出
した露光時間Ｔからスキャン速度Ｖとスキャン回数Ｎを
算出する。
式および（６）式を用いて，露光時間設定部１４が算出
した露光時間Ｔからスキャン速度Ｖとスキャン回数Ｎを
算出する。
【００１９】また，（１）式から， ｌｎＩ＝ｌｎＩ0 −ｔ／τ （７） が得られる。τが一定であるとすると，電流Ｉの自然対
数ｌｎＩと時間ｔとは線型の関係にある。そこで，蓄積
電流寿命設定部１３では，蓄積電流設定部１２が取り込
んだ電流Ｉと，その時刻ｔ（＝０，ｔ1 ，２ｔ1 ，３ｔ
1 ，・・・）の組をｎ個収集して，（７）式に従ってそ
れらの値を最小二乗法で直線近似し，直線の傾きから蓄
積電流寿命τを算出する。
数ｌｎＩと時間ｔとは線型の関係にある。そこで，蓄積
電流寿命設定部１３では，蓄積電流設定部１２が取り込
んだ電流Ｉと，その時刻ｔ（＝０，ｔ1 ，２ｔ1 ，３ｔ
1 ，・・・）の組をｎ個収集して，（７）式に従ってそ
れらの値を最小二乗法で直線近似し，直線の傾きから蓄
積電流寿命τを算出する。
【００２０】実際的には，蓄積電流寿命τは，時間ｔと
共に変化しているが，その変化量は少ないので，ｎ×ｔ
1 の間は一定であるとして，蓄積電流寿命設定部１３
は，上記の計算をｎ×ｔ1 時間ごとに繰り返し，ｎ×ｔ
1 時間ごとに蓄積電流寿命τを更新して保持する。
共に変化しているが，その変化量は少ないので，ｎ×ｔ
1 の間は一定であるとして，蓄積電流寿命設定部１３
は，上記の計算をｎ×ｔ1 時間ごとに繰り返し，ｎ×ｔ
1 時間ごとに蓄積電流寿命τを更新して保持する。
【００２１】
【実施例】（実施例１）図２は，実施例１を示す図であ
る。
る。
【００２２】同図において，１１０は蓄積リング，１２
０は蓄積リング制御部，１３０は作業計画管理部，１４
０露光制御部，１４１はＬＡＮ制御部，１４２はドーズ
量保持部，１４３は蓄積電流値保持部，１４４は蓄積電
流寿命保持部，１４５は露光時間設定部，１４６はスキ
ャン速度・回数設定部，１４７はスキャン制御部，１４
８はスキャン回数保持部，１５０は露光機構部，１５１
はスキャンステージである。
０は蓄積リング制御部，１３０は作業計画管理部，１４
０露光制御部，１４１はＬＡＮ制御部，１４２はドーズ
量保持部，１４３は蓄積電流値保持部，１４４は蓄積電
流寿命保持部，１４５は露光時間設定部，１４６はスキ
ャン速度・回数設定部，１４７はスキャン制御部，１４
８はスキャン回数保持部，１５０は露光機構部，１５１
はスキャンステージである。
【００２３】以下，図３に示す動作フローを用いて，本
実施例の動作を説明する。 ｓ１）露光制御部１４０は，作業計画管理部１３０か
ら，ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）経由で，ド
ーズ量Ｄを受け取り，ドーズ量保持部１４２に格納す
る。
実施例の動作を説明する。 ｓ１）露光制御部１４０は，作業計画管理部１３０か
ら，ローカルエリアネットワーク（ＬＡＮ）経由で，ド
ーズ量Ｄを受け取り，ドーズ量保持部１４２に格納す
る。
【００２４】ｓ２）露光制御部１４０は，蓄積リング制
御部１２０から，ＬＡＮ経由で，蓄積電流値Ｉと蓄積電
流寿命τを受け取り，それぞれ蓄積電流値保持部１４
３，蓄積電流寿命保持部１４４に格納する。
御部１２０から，ＬＡＮ経由で，蓄積電流値Ｉと蓄積電
流寿命τを受け取り，それぞれ蓄積電流値保持部１４
３，蓄積電流寿命保持部１４４に格納する。
【００２５】ｓ３）露光時間設定部１４５は，ドーズ量
保持部１４２が保持するドーズ量Ｄ，蓄積電流値保持部
１４３が保持する蓄積電流値Ｉ0 ，および蓄積電流寿命
保持部１４４が保持する蓄積電流寿命τから，（３）式
により露光時間Ｔを算出する。 ｓ４）スキャン速度・
回数設定部１４６は，スキャン回数保持部１４８が保持
するスキャン回数Ｎ（本実施例では，Ｎ＝２に固定）
と，露光時間設定部１４５が算出した露光時間Ｔとか
ら，（５）式によりスキャン速度Ｖを算出する。
保持部１４２が保持するドーズ量Ｄ，蓄積電流値保持部
１４３が保持する蓄積電流値Ｉ0 ，および蓄積電流寿命
保持部１４４が保持する蓄積電流寿命τから，（３）式
により露光時間Ｔを算出する。 ｓ４）スキャン速度・
回数設定部１４６は，スキャン回数保持部１４８が保持
するスキャン回数Ｎ（本実施例では，Ｎ＝２に固定）
と，露光時間設定部１４５が算出した露光時間Ｔとか
ら，（５）式によりスキャン速度Ｖを算出する。
【００２６】ｓ５）スキャン制御部１４７は，スキャン
速度・回数設定部１４６が算出したスキャン速度Ｖで，
スキャンステージ１５１をＮ（＝２）回スキャンする。
すなわち，スキャンステージ１５１は，Ｎ／２＝１往復
する。
速度・回数設定部１４６が算出したスキャン速度Ｖで，
スキャンステージ１５１をＮ（＝２）回スキャンする。
すなわち，スキャンステージ１５１は，Ｎ／２＝１往復
する。
【００２７】（実施例２）図４は，実施例２を示す図で
ある。同図において，２１０は蓄積リング，２２０は蓄
積リング制御部，２３０は露光制御部，２３１はＡ／Ｄ
変換器，２３２は蓄積電流値保持部，２３３は蓄積電流
寿命設定部，２３４は蓄積電流寿命保持部，２３５は露
光時間設定部，２３６はスキャン速度・回数設定部，２
３７はスキャン制御部，２３８はスキャン速度保持部，
２４０は露光機構部，２４１はスキャンステージ，２４
２はシャッタ，２５０はキーボード，２６０はＣＲＴで
ある。
ある。同図において，２１０は蓄積リング，２２０は蓄
積リング制御部，２３０は露光制御部，２３１はＡ／Ｄ
変換器，２３２は蓄積電流値保持部，２３３は蓄積電流
寿命設定部，２３４は蓄積電流寿命保持部，２３５は露
光時間設定部，２３６はスキャン速度・回数設定部，２
３７はスキャン制御部，２３８はスキャン速度保持部，
２４０は露光機構部，２４１はスキャンステージ，２４
２はシャッタ，２５０はキーボード，２６０はＣＲＴで
ある。
【００２８】以下，図５および図６に示す動作フローを
用いて，本実施例の動作を説明する。まず，図５に示す
実施例２の動作フロー（その１）を用いて，蓄積電流寿
命の算出について説明する。
用いて，本実施例の動作を説明する。まず，図５に示す
実施例２の動作フロー（その１）を用いて，蓄積電流寿
命の算出について説明する。
【００２９】ｓ１）蓄積電流値Ｉは，それに比例したア
ナログ電圧として蓄積リング制御部２２０から常時出力
されているので，この電圧を一定時間ｔ1 間隔でＡ／Ｄ
変換器２３１によってディジタル値に変換した後，蓄積
電流値保持部２３２に格納する。
ナログ電圧として蓄積リング制御部２２０から常時出力
されているので，この電圧を一定時間ｔ1 間隔でＡ／Ｄ
変換器２３１によってディジタル値に変換した後，蓄積
電流値保持部２３２に格納する。
【００３０】ｓ２）蓄積電流値Ｉをｎ回取り込んだか否
かを判定する。Ｎｏならばｓ１の処理に戻り，Ｙｅｓな
らばｓ３の処理に進む。 ｓ３）蓄積電流寿命設定部２３３は，蓄積電流値保持部
２３２が取り込んだ，ｎ個の蓄積電流Ｉと，その時刻ｔ
（＝０，ｔ1 ，２ｔ1 ，３ｔ1 ，・・・）の組から，
（７）式に従ってそれらの値を最小二乗法で直線近似
し，直線の傾きから蓄積電流寿命τを算出する。算出さ
れた蓄積電流寿命τは，蓄積電流寿命保持部２３４に格
納される。
かを判定する。Ｎｏならばｓ１の処理に戻り，Ｙｅｓな
らばｓ３の処理に進む。 ｓ３）蓄積電流寿命設定部２３３は，蓄積電流値保持部
２３２が取り込んだ，ｎ個の蓄積電流Ｉと，その時刻ｔ
（＝０，ｔ1 ，２ｔ1 ，３ｔ1 ，・・・）の組から，
（７）式に従ってそれらの値を最小二乗法で直線近似
し，直線の傾きから蓄積電流寿命τを算出する。算出さ
れた蓄積電流寿命τは，蓄積電流寿命保持部２３４に格
納される。
【００３１】実際的には，蓄積電流寿命τは，時間ｔと
共に変化しているが，その変化量は少ないので，ｎ×ｔ
1 の間は一定であるとして，蓄積電流寿命設定部２３３
は，上記の計算をｎ×ｔ1 時間ごとに繰り返し，ｎ×ｔ
1 時間ごとに蓄積電流寿命τを更新する。
共に変化しているが，その変化量は少ないので，ｎ×ｔ
1 の間は一定であるとして，蓄積電流寿命設定部２３３
は，上記の計算をｎ×ｔ1 時間ごとに繰り返し，ｎ×ｔ
1 時間ごとに蓄積電流寿命τを更新する。
【００３２】次に，図６に示す実施例２の動作フロー
（その２）を用いて，本実施例全体の動作を説明する。 ｓ１）露光装置の使用者が，レジストの感度に合わせた
必要ドーズ量Ｄをキーボード２５０から入力する。
（その２）を用いて，本実施例全体の動作を説明する。 ｓ１）露光装置の使用者が，レジストの感度に合わせた
必要ドーズ量Ｄをキーボード２５０から入力する。
【００３３】ｓ２）露光時間設定部２３５は，蓄積電流
値保持部２３２が保持する蓄積電流値Ｉ，蓄積電流寿命
保持部２３４が保持する蓄積電流寿命τ，およびキーボ
ード２５０から入力されたドーズ量Ｄを受け取る。
値保持部２３２が保持する蓄積電流値Ｉ，蓄積電流寿命
保持部２３４が保持する蓄積電流寿命τ，およびキーボ
ード２５０から入力されたドーズ量Ｄを受け取る。
【００３４】ｓ３）露光時間設定部２３５は，受け取っ
た蓄積電流値Ｉ，蓄積電流寿命τ，およびドーズ量Ｄか
ら，（３）式により露光時間Ｔを算出する。 ｓ４）スキャン速度があまり速いと，スキャン時に振動
が発生し，マスクとウェハとが相対的に位置ずれを起こ
して露光パターンがずれる，という問題が生じる。ま
た，スキャン速度は，スキャンステージの位置センサの
分解能に依存して，あまり小さい値にすることはできな
い。
た蓄積電流値Ｉ，蓄積電流寿命τ，およびドーズ量Ｄか
ら，（３）式により露光時間Ｔを算出する。 ｓ４）スキャン速度があまり速いと，スキャン時に振動
が発生し，マスクとウェハとが相対的に位置ずれを起こ
して露光パターンがずれる，という問題が生じる。ま
た，スキャン速度は，スキャンステージの位置センサの
分解能に依存して，あまり小さい値にすることはできな
い。
【００３５】そこで，本実施例では，スキャン速度保持
部２３８にスキャン速度範囲Ｖmin 〜Ｖmax を設定して
いる。したがって，スキャン回数Ｎは，（６）式から，
ＴＶmin ／Ｌを超える整数Ｎ 1 からＴＶmax ／Ｌを超え
ない整数ＮM の範囲でＭ個許される。
部２３８にスキャン速度範囲Ｖmin 〜Ｖmax を設定して
いる。したがって，スキャン回数Ｎは，（６）式から，
ＴＶmin ／Ｌを超える整数Ｎ 1 からＴＶmax ／Ｌを超え
ない整数ＮM の範囲でＭ個許される。
【００３６】ｓ５）スキャン回数がＮ1 のときスキャン
速度はＶ1 ＝Ｎ1 Ｌ／Ｔとなり，スキャン回数がＮ1 ＋
１のときスキャン速度はＶ2 ＝（Ｎ1 ＋１）Ｌ／Ｔとな
り，・・・・，スキャン回数がＮM のとのにはＶM ＝Ｎ
M Ｌ／Ｔとなる。
速度はＶ1 ＝Ｎ1 Ｌ／Ｔとなり，スキャン回数がＮ1 ＋
１のときスキャン速度はＶ2 ＝（Ｎ1 ＋１）Ｌ／Ｔとな
り，・・・・，スキャン回数がＮM のとのにはＶM ＝Ｎ
M Ｌ／Ｔとなる。
【００３７】さらに，実際のスキャン速度は刻みＶk 単
位でしか設定できないので，スキャン速度Ｖ1 ＝Ｎ1 Ｌ
／Ｔは［Ｎ1 Ｌ／ＴＶk ］Ｖk となる。（但し，［ ］
は，［ ］内を整数値に四捨五入することを表す。）同
様に，Ｖ2 ＝［（Ｎ1 ＋１）Ｌ／ＴＶk ］Ｖk ，・・・
・・，ＶM ＝［ＮM Ｌ／ＴＶk ］Ｖk となる。
位でしか設定できないので，スキャン速度Ｖ1 ＝Ｎ1 Ｌ
／Ｔは［Ｎ1 Ｌ／ＴＶk ］Ｖk となる。（但し，［ ］
は，［ ］内を整数値に四捨五入することを表す。）同
様に，Ｖ2 ＝［（Ｎ1 ＋１）Ｌ／ＴＶk ］Ｖk ，・・・
・・，ＶM ＝［ＮM Ｌ／ＴＶk ］Ｖk となる。
【００３８】ｓ６）Ｍ個のスキャン回数およびｓ５で算
出したＭ個のスキャン速度から，（４）式を用いて次の
ように露光時間が算出される。 Ｔ1 ＝Ｎ1 Ｌ／［Ｎ1 Ｌ／ＴＶk ］Ｖk Ｔ2 ＝（Ｎ1 ＋１）Ｌ／［（Ｎ1 ＋１）Ｌ／ＴＶk ］Ｖk ・・・・・ ＴM ＝ＮM Ｌ／［ＮM Ｌ／ＴＶk ］Ｖk ｓ７）Ｔ1 〜ＴM を露光時間Ｔに近い順に並べ替えて，
スキャン速度Ｖとスキャン回数Ｎの組を候補としてＣＲ
Ｔ２６０に表示する。
出したＭ個のスキャン速度から，（４）式を用いて次の
ように露光時間が算出される。 Ｔ1 ＝Ｎ1 Ｌ／［Ｎ1 Ｌ／ＴＶk ］Ｖk Ｔ2 ＝（Ｎ1 ＋１）Ｌ／［（Ｎ1 ＋１）Ｌ／ＴＶk ］Ｖk ・・・・・ ＴM ＝ＮM Ｌ／［ＮM Ｌ／ＴＶk ］Ｖk ｓ７）Ｔ1 〜ＴM を露光時間Ｔに近い順に並べ替えて，
スキャン速度Ｖとスキャン回数Ｎの組を候補としてＣＲ
Ｔ２６０に表示する。
【００３９】ｓ８）露光装置の使用者は，ＣＲＴ２６０
に表示されたＴ1 〜ＴM の中から適当なＶi を選択して
キーボード２５０から入力する。この選択は，スキャン
速度Ｖi とスキャン回数Ｎi の組の選択をも意味してい
る。
に表示されたＴ1 〜ＴM の中から適当なＶi を選択して
キーボード２５０から入力する。この選択は，スキャン
速度Ｖi とスキャン回数Ｎi の組の選択をも意味してい
る。
【００４０】ｓ９）スキャン制御部２３７は，露光機構
部２４０を制御してシャッタ２４２を開く。 ｓ１０）スキャン制御部２３７は，露光機構部２４０を
制御して，スキャンステージ２４１を速度Ｖi で上方の
移動させる。
部２４０を制御してシャッタ２４２を開く。 ｓ１０）スキャン制御部２３７は，露光機構部２４０を
制御して，スキャンステージ２４１を速度Ｖi で上方の
移動させる。
【００４１】ｓ１１）スキャン制御部２３７は，露光機
構部２４０を制御してシャッタ２４２を閉じる。 ｓ１２）スキャン制御部２３７は，露光機構部２４０を
制御して，スキャンステージ２４１を開始位置に戻す。
構部２４０を制御してシャッタ２４２を閉じる。 ｓ１２）スキャン制御部２３７は，露光機構部２４０を
制御して，スキャンステージ２４１を開始位置に戻す。
【００４２】ｓ１３）上記ｓ９〜ｓ１２の動作をＮi 回
繰り返した否かを判定する。Ｎｏならばｓ９の処理に戻
り，Ｙｅｓならば動作を終了する。 （実施例３）図７は，実施例３を示す図である。
繰り返した否かを判定する。Ｎｏならばｓ９の処理に戻
り，Ｙｅｓならば動作を終了する。 （実施例３）図７は，実施例３を示す図である。
【００４３】同図において，３１０は蓄積リング，３２
０は蓄積リング制御部，３３０は露光制御部，３３１は
Ａ／Ｄ変換器，３３２は蓄積電流値保持部，３３３は蓄
積電流寿命設定部，３３４は蓄積電流寿命保持部，３３
５は露光時間設定部，３３６はスキャン速度・回数設定
部，３３７はスキャン制御部，３３８はスキャン速度保
持部，３３９はスキャン速度・回数選択部，３４０は露
光機構部，３４１はスキャンステージ，３４２はシャッ
タ，３５０はキーボードである。
０は蓄積リング制御部，３３０は露光制御部，３３１は
Ａ／Ｄ変換器，３３２は蓄積電流値保持部，３３３は蓄
積電流寿命設定部，３３４は蓄積電流寿命保持部，３３
５は露光時間設定部，３３６はスキャン速度・回数設定
部，３３７はスキャン制御部，３３８はスキャン速度保
持部，３３９はスキャン速度・回数選択部，３４０は露
光機構部，３４１はスキャンステージ，３４２はシャッ
タ，３５０はキーボードである。
【００４４】本実施例は，実施例２の変形例である。ス
キャン速度・回数設定部３３６が，Ｍ個のスキャン回数
およびＭ個のスキャン速度から，（４）式を用いて， Ｔ1 ＝Ｎ1 Ｌ／［Ｎ1 Ｌ／ＴＶk ］Ｖk Ｔ2 ＝（Ｎ1 ＋１）Ｌ／［（Ｎ1 ＋１）Ｌ／ＴＶk ］Ｖk ・・・・・ ＴM ＝ＮM Ｌ／［ＮM Ｌ／ＴＶk ］Ｖk のように露光時間を算出し，スキャン速度Ｖとスキャン
回数Ｎの組を候補として挙げる点までは，実施例２と全
く同じ動作をする。
キャン速度・回数設定部３３６が，Ｍ個のスキャン回数
およびＭ個のスキャン速度から，（４）式を用いて， Ｔ1 ＝Ｎ1 Ｌ／［Ｎ1 Ｌ／ＴＶk ］Ｖk Ｔ2 ＝（Ｎ1 ＋１）Ｌ／［（Ｎ1 ＋１）Ｌ／ＴＶk ］Ｖk ・・・・・ ＴM ＝ＮM Ｌ／［ＮM Ｌ／ＴＶk ］Ｖk のように露光時間を算出し，スキャン速度Ｖとスキャン
回数Ｎの組を候補として挙げる点までは，実施例２と全
く同じ動作をする。
【００４５】本実施例では，露光制御部３３０内にスキ
ャン速度・回数選択部３３９が設けられており，このス
キャン速度・回数選択部３３９が，Ｔ1 〜ＴM の中か
ら，露光時間設定部３３５が算出した露光時間Ｔに最も
近いＴi を自動的に選択する。
ャン速度・回数選択部３３９が設けられており，このス
キャン速度・回数選択部３３９が，Ｔ1 〜ＴM の中か
ら，露光時間設定部３３５が算出した露光時間Ｔに最も
近いＴi を自動的に選択する。
【００４６】スキャン制御部３３７は，スキャン速度・
回数選択部３３９が選択したＴi ，すなわちこれに相応
するスキャン速度Ｖi とスキャン回数Ｎi とで露光機構
部３４０を制御する。
回数選択部３３９が選択したＴi ，すなわちこれに相応
するスキャン速度Ｖi とスキャン回数Ｎi とで露光機構
部３４０を制御する。
【００４７】（実施例４）図８は，実施例４を示す図で
ある。同図において，４１０は蓄積リング，４２０は蓄
積リング制御部，４３０は作業計画管理部，４４０露光
制御部，４４１はＬＡＮ制御部，４４２はドーズ量保持
部，４４３は蓄積電流値保持部，４４４は蓄積電流寿命
保持部，４４５は露光時間設定部，４４６はスキャン速
度・回数設定部，４４７はスキャン制御部，４４８はス
キャン速度保持部，４５０は露光機構部，４５１はスキ
ャンステージである。
ある。同図において，４１０は蓄積リング，４２０は蓄
積リング制御部，４３０は作業計画管理部，４４０露光
制御部，４４１はＬＡＮ制御部，４４２はドーズ量保持
部，４４３は蓄積電流値保持部，４４４は蓄積電流寿命
保持部，４４５は露光時間設定部，４４６はスキャン速
度・回数設定部，４４７はスキャン制御部，４４８はス
キャン速度保持部，４５０は露光機構部，４５１はスキ
ャンステージである。
【００４８】以下，図９に示す動作フローを用いて，本
実施例の動作を説明する。 ｓ１）露光制御部４４０は，作業計画管理部４３０か
ら，ＬＡＮ経由で，ドーズ量Ｄを受け取り，ドーズ量保
持部４４２に格納する。
実施例の動作を説明する。 ｓ１）露光制御部４４０は，作業計画管理部４３０か
ら，ＬＡＮ経由で，ドーズ量Ｄを受け取り，ドーズ量保
持部４４２に格納する。
【００４９】ｓ２）露光制御部４４０は，蓄積リング制
御部４２０から，ＬＡＮ経由で，蓄積電流値Ｉと蓄積電
流寿命τを受け取り，それぞれ蓄積電流値保持部４４
３，蓄積電流寿命保持部４４４に格納する。
御部４２０から，ＬＡＮ経由で，蓄積電流値Ｉと蓄積電
流寿命τを受け取り，それぞれ蓄積電流値保持部４４
３，蓄積電流寿命保持部４４４に格納する。
【００５０】ｓ３）露光時間設定部４４５は，ドーズ量
保持部４４２が保持するドーズ量Ｄ，蓄積電流値保持部
４４３が保持する蓄積電流値Ｉ0 ，および蓄積電流寿命
保持部４４４が保持する蓄積電流寿命τから，（３）式
により露光時間Ｔを算出する。 ｓ４）スキャン速度・
回数設定部４４６は，スキャン速度保持部４４８が保持
するスキャン速度Ｖ（固定）と，露光時間設定部４４５
が算出した露光時間Ｔとから，（６）式によりスキャン
回数Ｎを算出する。
保持部４４２が保持するドーズ量Ｄ，蓄積電流値保持部
４４３が保持する蓄積電流値Ｉ0 ，および蓄積電流寿命
保持部４４４が保持する蓄積電流寿命τから，（３）式
により露光時間Ｔを算出する。 ｓ４）スキャン速度・
回数設定部４４６は，スキャン速度保持部４４８が保持
するスキャン速度Ｖ（固定）と，露光時間設定部４４５
が算出した露光時間Ｔとから，（６）式によりスキャン
回数Ｎを算出する。
【００５１】ｓ５）スキャン制御部４４７は，スキャン
速度Ｖ，スキャン速度・回数設定部４４６が算出したス
キャン回数Ｎでスキャンステージ４５１をスキャンす
る。 （実施例５）図１０は，実施例５を示す図である。
速度Ｖ，スキャン速度・回数設定部４４６が算出したス
キャン回数Ｎでスキャンステージ４５１をスキャンす
る。 （実施例５）図１０は，実施例５を示す図である。
【００５２】同図において，５１０は蓄積リング，５２
０は蓄積リング制御部，５３０は露光制御部，５３１は
Ａ／Ｄ変換器，５３２は蓄積電流値保持部，５３３は蓄
積電流寿命設定部，５３４は蓄積電流寿命保持部，５３
５は露光時間設定部，５３６はスキャン速度・回数設定
部，５３７はスキャン制御部，５３８はスキャン回数保
持部，５４０は露光機構部，５４１はスキャンステー
ジ，５４２はシャッタ，５５０はキーボード，５６０は
ＣＲＴである。
０は蓄積リング制御部，５３０は露光制御部，５３１は
Ａ／Ｄ変換器，５３２は蓄積電流値保持部，５３３は蓄
積電流寿命設定部，５３４は蓄積電流寿命保持部，５３
５は露光時間設定部，５３６はスキャン速度・回数設定
部，５３７はスキャン制御部，５３８はスキャン回数保
持部，５４０は露光機構部，５４１はスキャンステー
ジ，５４２はシャッタ，５５０はキーボード，５６０は
ＣＲＴである。
【００５３】まず，蓄積電流寿命の算出について説明す
る。 蓄積電流値Ｉは，それに比例したアナログ電圧
として蓄積リング制御部５２０から常時出力されている
ので，この電圧を一定時間ｔ1 間隔でＡ／Ｄ変換器５３
１によってディジタル値に変換した後，蓄積電流値保持
部５３２に格納する。
る。 蓄積電流値Ｉは，それに比例したアナログ電圧
として蓄積リング制御部５２０から常時出力されている
ので，この電圧を一定時間ｔ1 間隔でＡ／Ｄ変換器５３
１によってディジタル値に変換した後，蓄積電流値保持
部５３２に格納する。
【００５４】 蓄積電流寿命設定部５３３は，蓄積電
流値保持部５３２が取り込んだ，ｎ個の蓄積電流Ｉと，
その時刻ｔ（＝０，ｔ1 ，２ｔ1，３ｔ1 ，・・・）の
組から，（７）式に従ってそれらの値を最小二乗法で直
線近似し，直線の傾きから蓄積電流寿命τを算出する。
算出された蓄積電流寿命τは，蓄積電流寿命保持部５３
４に格納される。
流値保持部５３２が取り込んだ，ｎ個の蓄積電流Ｉと，
その時刻ｔ（＝０，ｔ1 ，２ｔ1，３ｔ1 ，・・・）の
組から，（７）式に従ってそれらの値を最小二乗法で直
線近似し，直線の傾きから蓄積電流寿命τを算出する。
算出された蓄積電流寿命τは，蓄積電流寿命保持部５３
４に格納される。
【００５５】実際的には，蓄積電流寿命τは，時間ｔと
共に変化しているが，その変化量は少ないので，ｎ×ｔ
1 の間は一定であるとして，蓄積電流寿命設定部５３３
は，上記の計算をｎ×ｔ1 時間ごとに繰り返し，ｎ×ｔ
1 時間ごとに蓄積電流寿命τを更新する。
共に変化しているが，その変化量は少ないので，ｎ×ｔ
1 の間は一定であるとして，蓄積電流寿命設定部５３３
は，上記の計算をｎ×ｔ1 時間ごとに繰り返し，ｎ×ｔ
1 時間ごとに蓄積電流寿命τを更新する。
【００５６】以下，図１１に示す動作フローを用いて，
本実施例全体の動作を説明する。 ｓ１）露光装置の使用者が，レジストの感度に合わせた
必要ドーズ量Ｄをキーボード５５０から入力する。
本実施例全体の動作を説明する。 ｓ１）露光装置の使用者が，レジストの感度に合わせた
必要ドーズ量Ｄをキーボード５５０から入力する。
【００５７】ｓ２）露光時間設定部５３５は，蓄積電流
値保持部５３２が保持する蓄積電流値Ｉ，蓄積電流寿命
保持部５３４が保持する蓄積電流寿命τ，およびキーボ
ード５５０から入力されたドーズ量Ｄを受け取る。
値保持部５３２が保持する蓄積電流値Ｉ，蓄積電流寿命
保持部５３４が保持する蓄積電流寿命τ，およびキーボ
ード５５０から入力されたドーズ量Ｄを受け取る。
【００５８】ｓ３）露光時間設定部５３５は，受け取っ
た蓄積電流値Ｉ，蓄積電流寿命τ，およびドーズ量Ｄか
ら，（３）式により露光時間Ｔを算出する。 ｓ４）本実施例では，スキャン回数保持部５３８にスキ
ャン回数範囲Ｎ1 〜Ｎ M を設定している。
た蓄積電流値Ｉ，蓄積電流寿命τ，およびドーズ量Ｄか
ら，（３）式により露光時間Ｔを算出する。 ｓ４）本実施例では，スキャン回数保持部５３８にスキ
ャン回数範囲Ｎ1 〜Ｎ M を設定している。
【００５９】したがって，スキャン速度Ｖは，（５）式
から，Ｎ1 Ｌ／ＴからＮM Ｌ／Ｔの範囲でＭ個許され
る。スキャン回数がＮ1 のときスキャン速度はＶ1 ＝Ｎ
1 Ｌ／Ｔとなり，スキャン回数がＮ1 ＋１のときスキャ
ン速度はＶ2 ＝（Ｎ1 ＋１）Ｌ／Ｔとなり，・・・・，
スキャン回数がＮM のとのにはＶM ＝ＮM Ｌ／Ｔとな
る。
から，Ｎ1 Ｌ／ＴからＮM Ｌ／Ｔの範囲でＭ個許され
る。スキャン回数がＮ1 のときスキャン速度はＶ1 ＝Ｎ
1 Ｌ／Ｔとなり，スキャン回数がＮ1 ＋１のときスキャ
ン速度はＶ2 ＝（Ｎ1 ＋１）Ｌ／Ｔとなり，・・・・，
スキャン回数がＮM のとのにはＶM ＝ＮM Ｌ／Ｔとな
る。
【００６０】さらに，実際のスキャン速度は刻みＶk 単
位でしか設定できないので，スキャン速度Ｖ1 ＝Ｎ1 Ｌ
／Ｔは［Ｎ1 Ｌ／ＴＶk ］Ｖk となる。（但し，［ ］
は，［ ］内を整数値に四捨五入することを表す。）同
様に，Ｖ2 ＝［（Ｎ1 ＋１）Ｌ／ＴＶk ］Ｖk ，・・・
・・，ＶM ＝［ＮM Ｌ／ＴＶk ］Ｖk となる。
位でしか設定できないので，スキャン速度Ｖ1 ＝Ｎ1 Ｌ
／Ｔは［Ｎ1 Ｌ／ＴＶk ］Ｖk となる。（但し，［ ］
は，［ ］内を整数値に四捨五入することを表す。）同
様に，Ｖ2 ＝［（Ｎ1 ＋１）Ｌ／ＴＶk ］Ｖk ，・・・
・・，ＶM ＝［ＮM Ｌ／ＴＶk ］Ｖk となる。
【００６１】ｓ５）Ｍ個のスキャン回数およびｓ４で算
出したＭ個のスキャン速度から，（４）式を用いて次の
ように露光時間が算出される。 Ｔ1 ＝Ｎ1 Ｌ／［Ｎ1 Ｌ／ＴＶk ］Ｖk Ｔ2 ＝（Ｎ1 ＋１）Ｌ／［（Ｎ1 ＋１）Ｌ／ＴＶk ］Ｖk ・・・・・ ＴM ＝ＮM Ｌ／［ＮM Ｌ／ＴＶk ］Ｖk ｓ６）Ｔ1 〜ＴM を露光時間Ｔに近い順に並べ替えて，
スキャン速度Ｖとスキャン回数Ｎの組を候補としてＣＲ
Ｔ５６０に表示する。
出したＭ個のスキャン速度から，（４）式を用いて次の
ように露光時間が算出される。 Ｔ1 ＝Ｎ1 Ｌ／［Ｎ1 Ｌ／ＴＶk ］Ｖk Ｔ2 ＝（Ｎ1 ＋１）Ｌ／［（Ｎ1 ＋１）Ｌ／ＴＶk ］Ｖk ・・・・・ ＴM ＝ＮM Ｌ／［ＮM Ｌ／ＴＶk ］Ｖk ｓ６）Ｔ1 〜ＴM を露光時間Ｔに近い順に並べ替えて，
スキャン速度Ｖとスキャン回数Ｎの組を候補としてＣＲ
Ｔ５６０に表示する。
【００６２】ｓ７）露光装置の使用者は，ＣＲＴ５６０
に表示されたＴ1 〜ＴM の中から適当なＴi を選択して
キーボード５５０から入力する。この選択は，スキャン
速度Ｖi とスキャン回数Ｎi の組の選択をも意味してい
る。
に表示されたＴ1 〜ＴM の中から適当なＴi を選択して
キーボード５５０から入力する。この選択は，スキャン
速度Ｖi とスキャン回数Ｎi の組の選択をも意味してい
る。
【００６３】ｓ８）スキャン制御部５３７は，露光機構
部５４０を制御してシャッタ５４２を開く。 ｓ９）スキャン制御部５３７は，露光機構部５４０を制
御して，スキャンステージ５４１を速度Ｖi で上方の移
動させる。
部５４０を制御してシャッタ５４２を開く。 ｓ９）スキャン制御部５３７は，露光機構部５４０を制
御して，スキャンステージ５４１を速度Ｖi で上方の移
動させる。
【００６４】ｓ１０）スキャン制御部５３７は，露光機
構部５４０を制御してシャッタ５４２を閉じる。 ｓ１１）スキャン制御部５３７は，露光機構部５４０を
制御して，スキャンステージ５４１を開始位置に戻す。
構部５４０を制御してシャッタ５４２を閉じる。 ｓ１１）スキャン制御部５３７は，露光機構部５４０を
制御して，スキャンステージ５４１を開始位置に戻す。
【００６５】ｓ１２）上記ｓ８〜ｓ１１の動作をＮi 回
繰り返した否かを判定する。Ｎｏならばｓ８の処理に戻
り，Ｙｅｓならば動作を終了する。 （実施例６）図１２は，実施例６を示す図である。
繰り返した否かを判定する。Ｎｏならばｓ８の処理に戻
り，Ｙｅｓならば動作を終了する。 （実施例６）図１２は，実施例６を示す図である。
【００６６】同図において，６１０は蓄積リング，６２
０は蓄積リング制御部，６３０は露光制御部，６３１は
Ａ／Ｄ変換器，６３２は蓄積電流値保持部，６３３は蓄
積電流寿命設定部，６３４は蓄積電流寿命保持部，６３
５は露光時間設定部，６３６はスキャン速度・回数設定
部，６３７はスキャン制御部，６３８はスキャン回数保
持部，６３９はスキャン速度・回数選択部，６４０は露
光機構部，６４１はスキャンステージ，６４２はシャッ
タ，６５０はキーボードである。
０は蓄積リング制御部，６３０は露光制御部，６３１は
Ａ／Ｄ変換器，６３２は蓄積電流値保持部，６３３は蓄
積電流寿命設定部，６３４は蓄積電流寿命保持部，６３
５は露光時間設定部，６３６はスキャン速度・回数設定
部，６３７はスキャン制御部，６３８はスキャン回数保
持部，６３９はスキャン速度・回数選択部，６４０は露
光機構部，６４１はスキャンステージ，６４２はシャッ
タ，６５０はキーボードである。
【００６７】本実施例は，実施例５の変形例である。ス
キャン速度・回数設定部６３６が，Ｍ個のスキャン回数
およびＭ個のスキャン速度から，（４）式を用いて， Ｔ1 ＝Ｎ1 Ｌ／［Ｎ1 Ｌ／ＴＶk ］Ｖk Ｔ2 ＝（Ｎ1 ＋１）Ｌ／［（Ｎ1 ＋１）Ｌ／ＴＶk ］Ｖk ・・・・・ ＴM ＝ＮM Ｌ／［ＮM Ｌ／ＴＶk ］Ｖk のように露光時間を算出し，スキャン速度Ｖとスキャン
回数Ｎの組を候補として挙げる点までは，実施例５と全
く同じ動作をする。
キャン速度・回数設定部６３６が，Ｍ個のスキャン回数
およびＭ個のスキャン速度から，（４）式を用いて， Ｔ1 ＝Ｎ1 Ｌ／［Ｎ1 Ｌ／ＴＶk ］Ｖk Ｔ2 ＝（Ｎ1 ＋１）Ｌ／［（Ｎ1 ＋１）Ｌ／ＴＶk ］Ｖk ・・・・・ ＴM ＝ＮM Ｌ／［ＮM Ｌ／ＴＶk ］Ｖk のように露光時間を算出し，スキャン速度Ｖとスキャン
回数Ｎの組を候補として挙げる点までは，実施例５と全
く同じ動作をする。
【００６８】本実施例では，露光制御部６３０内にスキ
ャン速度・回数選択部６３９が設けられており，このス
キャン速度・回数選択部６３９が，Ｔ1 〜ＴM の中か
ら，露光時間設定部６３５が算出した露光時間Ｔに最も
近いＴi を自動的に選択する。
ャン速度・回数選択部６３９が設けられており，このス
キャン速度・回数選択部６３９が，Ｔ1 〜ＴM の中か
ら，露光時間設定部６３５が算出した露光時間Ｔに最も
近いＴi を自動的に選択する。
【００６９】スキャン制御部６３７は，スキャン速度・
回数選択部６３９が選択したＴi ，すなわちこれに相応
するスキャン速度Ｖi とスキャン回数Ｎi とで露光機構
部６４０を制御する。
回数選択部６３９が選択したＴi ，すなわちこれに相応
するスキャン速度Ｖi とスキャン回数Ｎi とで露光機構
部６４０を制御する。
【００７０】
【発明の効果】本発明によれば，指定したドーズ量とな
るための最適なスキャン速度とスキャン回数とが自動設
定，あるいはスキャン速度とスキャン回数とから成る組
を候補として表示し，その中から選択するという半自動
設定となるので，露光装置の操作が非常に簡単化され
る。また，スキャンステージの速度分解能に起因する誤
差を最小限に抑えることも可能になる。
るための最適なスキャン速度とスキャン回数とが自動設
定，あるいはスキャン速度とスキャン回数とから成る組
を候補として表示し，その中から選択するという半自動
設定となるので，露光装置の操作が非常に簡単化され
る。また，スキャンステージの速度分解能に起因する誤
差を最小限に抑えることも可能になる。
【図１】本発明の基本構成を示す図である。
【図２】実施例１を示す図である。
【図３】実施例１の動作フローを示す図である。
【図４】実施例２を示す図である。
【図５】実施例２の動作フロー（その１）を示す図であ
る。
る。
【図６】実施例２の動作フロー（その２）を示す図であ
る。
る。
【図７】実施例３を示す図である。
【図８】実施例４を示す図である。
【図９】実施例４の動作フローを示す図である。
【図１０】実施例５を示す図である。
【図１１】実施例５の動作フローを示す図である。
【図１２】実施例６を示す図である。
【図１３】ＳＯＲ光を利用したＸ線露光装置の例を示す
図である。
図である。
１０ 露光制御部 １１ ドーズ量設定部 １２ 蓄積電流設定部 １３ 蓄積電流寿命設定部 １４ 露光時間設定部 １５ スキャン速度・回数設定部 １６ スキャン制御部 ２０ 露光機構部 ２１ スキャンステージ
フロントページの続き (72)発明者 田畑 文夫 神奈川県川崎市中原区上小田中1015番地 富士通株式会社内
Claims (6)
- 【請求項１】 ＳＯＲ光を利用したＸ線露光装置であっ
て， 露光制御部(10)および露光機構部(20)から構成され， 露光制御部(10)は，ドーズ量設定部(11)，蓄積電流設定
部(12)，蓄積電流寿命設定部(13)，露光時間設定部(1
4)，スキャン速度・回数設定部(15)，およびスキャン制
御部(16)を備え， 露光機構部(20)は，スキャンステージ(21)を備え， ドーズ量設定部(11)には，レジストの感度に合わせた必
要ドーズ量が与えられ， 蓄積電流設定部(12)には，蓄積リングから蓄積電流値が
与えられ， 蓄積電流寿命設定部(13)は，蓄積電流設定部(12)が保持
する蓄積電流値の時間変化から蓄積電流寿命を算出して
保持し， 露光時間設定部(14)は，ドーズ量設定部(11)が保持する
ドーズ量，蓄積電流設定部(12)が保持する蓄積電流値，
および蓄積電流寿命設定部(13)が保持する蓄積電流寿命
から露光時間を算出し， スキャン速度・回数設定部(15)は，露光時間設定部(14)
が算出した露光時間と予め定められたスキャン回数とか
らスキャン速度を算出し， スキャン制御部(16)は，スキャン速度・回数設定部(15)
が算出したスキャン速度，および予め定められたスキャ
ン回数でスキャンステージ(21)のスキャンを制御するこ
とを特徴とするＸ線露光装置。 - 【請求項２】 ＳＯＲ光を利用したＸ線露光装置であっ
て， 露光制御部(10)および露光機構部(20)から構成され， 露光制御部(10)は，ドーズ量設定部(11)，蓄積電流設定
部(12)，蓄積電流寿命設定部(13)，露光時間設定部(1
4)，スキャン速度・回数設定部(15)，およびスキャン制
御部(16)を備え， 露光機構部(20)は，スキャンステージ(21)を備え， ドーズ量設定部(11)には，レジストの感度に合わせた必
要ドーズ量が与えられ， 蓄積電流設定部(12)には，蓄積リングから蓄積電流値が
与えられ， 蓄積電流寿命設定部(13)は，蓄積電流設定部(12)が保持
する蓄積電流値の時間変化から蓄積電流寿命を算出して
保持し， 露光時間設定部(14)は，ドーズ量設定部(11)が保持する
ドーズ量，蓄積電流設定部(12)が保持する蓄積電流値，
および蓄積電流寿命設定部(13)が保持する蓄積電流寿命
から露光時間を算出し， スキャン速度・回数設定部(15)は，露光時間設定部(14)
が算出した露光時間と予め定められた範囲のスキャン速
度とから複数のスキャン回数の候補を算出し，スキャン
速度とスキャン回数とから成る組の複数の候補を表示
し， Ｘ線露光装置の使用者は，スキャン速度とスキャン回数
とから成る組の複数の候補の中から適当なものを選択
し， スキャン制御部(16)は，選択されたスキャン速度および
スキャン回数でスキャンステージ(21)のスキャンを制御
することを特徴とするＸ線露光装置。 - 【請求項３】 ＳＯＲ光を利用したＸ線露光装置であっ
て， 露光制御部(10)および露光機構部(20)から構成され， 露光制御部(10)は，ドーズ量設定部(11)，蓄積電流設定
部(12)，蓄積電流寿命設定部(13)，露光時間設定部(1
4)，スキャン速度・回数設定部(15)，およびスキャン制
御部(16)を備え， 露光機構部(20)は，スキャンステージ(21)を備え， ドーズ量設定部(11)には，レジストの感度に合わせた必
要ドーズ量が与えられ， 蓄積電流設定部(12)には，蓄積リングから蓄積電流値が
与えられ， 蓄積電流寿命設定部(13)は，蓄積電流設定部(12)が保持
する蓄積電流値の時間変化から蓄積電流寿命を算出して
保持し， 露光時間設定部(14)は，ドーズ量設定部(11)が保持する
ドーズ量，蓄積電流設定部(12)が保持する蓄積電流値，
および蓄積電流寿命設定部(13)が保持する蓄積電流寿命
から露光時間を算出し， スキャン速度・回数設定部(15)は，露光時間設定部(14)
が算出した露光時間と予め定められた範囲のスキャン速
度とから複数のスキャン回数の候補を算出し，露光時間
設定部(14)が算出した露光時間に最も近いスキャン速度
とスキャン回数とから成る組を選択し， スキャン制御部(16)は，選択されたスキャン速度および
スキャン回数でスキャンステージ(21)のスキャンを制御
することを特徴とするＸ線露光装置。 - 【請求項４】 ＳＯＲ光を利用したＸ線露光装置であっ
て， 露光制御部(10)および露光機構部(20)から構成され， 露光制御部(10)は，ドーズ量設定部(11)，蓄積電流設定
部(12)，蓄積電流寿命設定部(13)，露光時間設定部(1
4)，スキャン速度・回数設定部(15)，およびスキャン制
御部(16)を備え， 露光機構部(20)は，スキャンステージ(21)を備え， ドーズ量設定部(11)には，レジストの感度に合わせた必
要ドーズ量が与えられ， 蓄積電流設定部(12)には，蓄積リングから蓄積電流値が
与えられ， 蓄積電流寿命設定部(13)は，蓄積電流設定部(12)が保持
する蓄積電流値の時間変化から蓄積電流寿命を算出して
保持し， 露光時間設定部(14)は，ドーズ量設定部(11)が保持する
ドーズ量，蓄積電流設定部(12)が保持する蓄積電流値，
および蓄積電流寿命設定部(13)が保持する蓄積電流寿命
から露光時間を算出し， スキャン速度・回数設定部(15)は，露光時間設定部(14)
が算出した露光時間と予め定められたスキャン速度とか
らスキャン回数を算出し， スキャン制御部(16)は，スキャン速度・回数設定部(15)
が算出したスキャン回数，および予め定められたスキャ
ン速度でスキャンステージ(21)のスキャンを制御するこ
とを特徴とするＸ線露光装置。 - 【請求項５】 ＳＯＲ光を利用したＸ線露光装置であっ
て， 露光制御部(10)および露光機構部(20)から構成され， 露光制御部(10)は，ドーズ量設定部(11)，蓄積電流設定
部(12)，蓄積電流寿命設定部(13)，露光時間設定部(1
4)，スキャン速度・回数設定部(15)，およびスキャン制
御部(16)を備え， 露光機構部(20)は，スキャンステージ(21)を備え， ドーズ量設定部(11)には，レジストの感度に合わせた必
要ドーズ量が与えられ， 蓄積電流設定部(12)には，蓄積リングから蓄積電流値が
与えられ， 蓄積電流寿命設定部(13)は，蓄積電流設定部(12)が保持
する蓄積電流値の時間変化から蓄積電流寿命を算出して
保持し， 露光時間設定部(14)は，ドーズ量設定部(11)が保持する
ドーズ量，蓄積電流設定部(12)が保持する蓄積電流値，
および蓄積電流寿命設定部(13)が保持する蓄積電流寿命
から露光時間を算出し， スキャン速度・回数設定部(15)は，露光時間設定部(14)
が算出した露光時間と予め定められた範囲のスキャン回
数とから複数のスキャン速度の候補を算出し，スキャン
速度とスキャン回数とから成る組の複数の候補を表示
し， Ｘ線露光装置の使用者は，スキャン速度とスキャン回数
とから成る組の複数の候補の中から適当なものを選択
し， スキャン制御部(16)は，選択されたスキャン速度および
スキャン回数でスキャンステージのスキャンを制御する
ことを特徴とするＸ線露光装置。 - 【請求項６】 ＳＯＲ光を利用したＸ線露光装置であっ
て， 露光制御部(10)および露光機構部(20)から構成され， 露光制御部(10)は，ドーズ量設定部(11)，蓄積電流設定
部(12)，蓄積電流寿命設定部(13)，露光時間設定部(1
4)，スキャン速度・回数設定部(15)，およびスキャン制
御部(16)を備え, 露光機構部(20)は，スキャンステージ(21)を備え, ドーズ量設定部(11)には，レジストの感度に合わせた必
要ドーズ量が与えられ， 蓄積電流設定部(12)には，蓄積リングから蓄積電流値が
与えられ， 蓄積電流寿命設定部(13)は，蓄積電流設定部(12)が保持
する蓄積電流値の時間変化から蓄積電流寿命を算出して
保持し， 露光時間設定部(14)は，ドーズ量設定部(11)が保持する
ドーズ量，蓄積電流設定部(12)が保持する蓄積電流値，
および蓄積電流寿命設定部(13)が保持する蓄積電流寿命
から露光時間を算出し， スキャン速度・回数設定部(15)は，露光時間設定部(14)
が算出した露光時間と予め定められた範囲のスキャン回
数とから複数のスキャン速度の候補を算出し，露光時間
設定部(14)が算出した露光時間に最も近いスキャン速度
とスキャン回数とから成る組を選択し， スキャン制御部(16)は，選択されたスキャン速度および
スキャン回数でスキャンステージ(21)のスキャンを制御
することを特徴とするＸ線露光装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3219488A JPH0562884A (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | Ｘ線露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3219488A JPH0562884A (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | Ｘ線露光装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0562884A true JPH0562884A (ja) | 1993-03-12 |
Family
ID=16736234
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3219488A Withdrawn JPH0562884A (ja) | 1991-08-30 | 1991-08-30 | Ｘ線露光装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0562884A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7317663B2 (en) | 2006-04-10 | 2008-01-08 | Denso Corporation | Ultrasonic sensor |
-
1991
- 1991-08-30 JP JP3219488A patent/JPH0562884A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7317663B2 (en) | 2006-04-10 | 2008-01-08 | Denso Corporation | Ultrasonic sensor |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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