JPH056263U - ゲートバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 チャンバ１０等の内部を容易に観察すること
ができるゲートバルブ１を提供することを目的とする。 【構成】 開閉駆動機構６によってゲート３の開閉を行
う弁体５の全部又は一部が透明板５ｂによって構成され
た。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えば高真空度の真空蒸着装置のチャンバに設けられたポート等に 装着するゲートバルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】

一般にＭＢＥ装置等の高真空度の真空蒸着装置のチャンバは、メインテナンス 等のために内部の状態を目視検査しなければならない場合がある。ところが、こ のチャンバには、ワークの出し入れ口や真空ポンプへの連結口、又は蒸着物質の 気化を行うためのセルを取り付けるポート等が多数設けられているため、チャン バ内を作業者が外側から観察するための窓を設けるスペースが極めて限定される 。従って、このような窓から観察できる範囲も限られたものとなり、充分な検査 を行うことができない場合がある。また、この窓には、蒸着物質が付着するため 、長期間使用すると極めて見づらいものになるという欠点もある。

【０００３】 そこで、従来からメインテナンス等で必要な場合には、この窓の他に、セル等 の機器を取り付けるためのポートを利用して、ここからもチャンバ内を観察する ことが行われていた。即ち、図７に示すように、まずチャンバ１１０のポート１ １１に取り付けられたゲートバルブ１０１のゲート１０３を弁体１０５によって 閉じる。次に、図８に示すように、セル１１２を取り外して、代わりにビューポ ート１１５をゲートバルブ１０１に取り付ける。そして、再びゲートバルブ１０ １のゲート１０３を開くと、このビューポート１１５に設けられた透明窓１１５ ａを通してチャンバ１１０内を観察することができるようになる。

【０００４】

【考案が解決しようとする課題】

ところが、上記従来の方法では、セル１１２を取り外す以外にビューポート１ １５を取り付け、さらにゲートバルブ１０１との間の真空引きを行った後にゲー トバルブ１０１のゲート１０３を再び開くという作業が必要となり、このゲート バルブ操作が煩わしいものになるという問題があった。また、ビューポート１１ ５の透明窓１１５ａは、間にゲートバルブ１０１を介してポート１１１から少し 後退した位置に取り付けるられるため、その分チャンバ１１０内の視野が狭くな り見難くなるという問題も発生していた。

【０００５】

【課題を解決するための手段】

上記課題を解決するために、本考案は、開閉駆動機構によってゲートの開閉を 行う弁体を備えたゲートバルブにおいて、弁体の全部又は一部が透明部材によっ て構成されたことを特徴としている。

【０００６】

【作用】

ゲートバルブは、開閉駆動機構によって弁体を移動させゲートの開閉を行うこ とができる。そして、この弁体は、少なくとも一部が透明部材によって構成され ているので、ゲートの閉鎖時にも、この弁体の透明部分を介して透視することが できる。

【０００７】 この結果、チャンバのポート等に本考案のゲートバルブを装着しておけば、こ のゲートバルブに取り付けられた機器を取り外すだけで、ゲートを閉じたまま弁 体の透明部分を介してチャンバ等の内部を観察することができるようになる。ま た、このゲートバルブの弁体は、チャンバ等の使用時には通常ゲートを開放して いるので、透明部分に蒸着物質等が付着して見難くなるというおそれもなくなる 。

【０００８】 なお、ゲートバルブの弁体が透明部材による透明部分とその他の部材による不 透明部分とを有し、それぞれ透明部分又は不透明部分の２箇所の位置でゲートを 閉じることができるようにしておけば、チャンバ等の内部を観察可能な場合と観 察ができない場合との任意の状態でゲートバルブのゲートを閉じることができる ようになる。

【０００９】

【実施例】

以下、図面を参照しながら、本考案の実施例を詳述する。

【００１０】 図１乃至図４は本考案の一実施例を示すものであって、図１はゲートバルブの 斜視図、図２はゲートバルブの縦断面側面図、図３はチャンバのポートにゲート バルブを介してセルを取り付けた状態の縦断面図、図４は図３においてセルを取 り外した状態の断面図である。

【００１１】 本実施例のゲートバルブ１は、薄膜形成用の真空蒸着装置のチャンバに設けら れたポートに装着して使用するものである。このゲートバルブ１は、図１に示す ように、密閉された本体２の表裏面にそれぞれゲート３が開口されると共に、こ の本体２の端部にエアシリンダ等による駆動部４を設けたものである。

【００１２】 上記ゲートバルブ１の本体２内には、図２に示すように、弁体５とこの弁体５ を駆動するための開閉駆動機構６が収納されている。開閉駆動機構６は、弁体５ の一端に取り付けられ、かつ、上記駆動部４に連接された駆動軸７と、この弁体 ５の四隅に回転自在に取り付けられた車輪８と、この車輪８を案内するガイド９ とからなる。駆動軸７は、駆動部４の駆動によって弁体５を図示矢印Ａ方向に押 し出し、又は、逆方向に引き戻すようになっている。また、ガイド９は、この駆 動軸７による弁体５の押し出し又は引き戻しの際に車輪８を案内するためのもの であり、弁体５が押し出された場合に車輪８が移動して来る位置に湾曲部９ａが 設けられている。

【００１３】 上記弁体５は、駆動軸７や車輪８を取り付けるための周縁部のみがステンレス 製の枠体５ａからなり、中央部は、耐熱ガラス又は石英ガラス等の透明板５ｂに よって構成されている。

【００１４】 上記構成のゲートバルブ１の使用例を図３及び図４に基づいて説明する。

【００１５】 このゲートバルブ１は、図３に示すように、チャンバ１０のポート１１とセル １２との間に装着されている。そして、真空蒸着時には、セル１２内の蒸着物質 をチャンバ１０内に蒸散させるために、開閉駆動機構６によって弁体５を引き戻 しゲート３を開放するようになっている。

【００１６】 ここで、メインテナンス等のためにチャンバ１０内を観察しようとする場合に は、まずこの図３に示すように、開閉駆動機構６によって弁体５を押し出しゲー ト３を閉じる。この際、開閉駆動機構６の駆動軸７によって弁体５が押し出され ると、車輪８がガイド９に沿って回転移動し、前記図２に示した湾曲部９ａで弁 体５を一方のゲート３側に付勢することになる。従って、この弁体５は、Ｏリン グ１３を介して一方のゲート３に押圧されて、このゲート３を閉じることができ る。

【００１７】 上記のようにしてゲートバルブ１のゲート３が閉鎖されると、図４に示すよう に、セル１２を取り外す。すると、このゲートバルブ１の弁体５の透明板５ｂを 通して、目視によりチャンバ１０内を観察することができるようになる。

【００１８】 この結果、本実施例のゲートバルブ１によれば、このゲートバルブ１に取り付 けられたセル１２等の機器を取り外すだけで、弁体５の透明板５ｂを介してチャ ンバ１０の観察を行うことができるようになる。

【００１９】 図５及び図６は本考案の他の実施例を示すものであって、図５はゲートバルブ の斜視図、図６はゲートバルブの縦断面側面図である。なお、上記実施例と同様 の機能を有する構成部材には同じ番号を付記して説明を省略する。

【００２０】 本実施例のゲートバルブ１は、弁体５の前方側が透明板５ｂで構成され、後方 側がステンレス板５ｃで構成されている。また、図５に示すように、本体２の他 端側には、ガイド９を押し出し又は引き戻すためのガイド駆動部１４が設けられ ている。

【００２１】 上記構成のゲートバルブ１は、図６に示すように、ガイド駆動部１４によって ガイド９を押し出した状態のまま、駆動部４で弁体５を押し出すことにより、こ の弁体５の前方側の透明板５ｂによってゲート３を閉じることができるので、上 記実施例の場合と同様に、この透明板５ｂを介してチャンバ１０内を観察するこ とができる。しかし、ガイド駆動部１４によってガイド９を引き戻した状態で、 駆動部４により弁体５を押し出すと、この弁体５の後方側のステンレス板５ｃに よってゲート３が閉じられ、チャンバ１０内を観察することができない状態とな る。ただし、この場合には、チャンバ１０のポート１１を強固なステンレス板５ ｃによって閉鎖することができるようになる。

【００２２】

【考案の効果】

以上の説明から明らかなように、本考案は、ゲートバルブの弁体を透明部材に よって構成することにより、このゲートバルブを装着したチャンバ等の内部を容 易に観察することができるようになるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示すものであって、ゲート
バルブの斜視図である。

【図２】本考案の一実施例を示すものであって、ゲート
バルブの縦断面側面図である。

【図３】本考案の一実施例を示すものであって、チャン
バのポートにゲートバルブを介してセルを取り付けた状
態の縦断面図である。

【図４】本考案の一実施例を示すものであって、図３に
おいてセルを取り外した状態の縦断面図である。

【図５】本考案の他の実施例を示すものであって、ゲー
トバルブの斜視図である。

【図６】本考案の他の実施例を示すものであって、ゲー
トバルブの縦断面側面図である。

【図７】従来例を示すものであって、チャンバのポート
にゲートバルブを介してセルを取り付けた状態の縦断面
図である。

【図８】従来例を示すものであって、図７においてセル
に代えてビューポートを取り付けた状態の縦断面図であ
る。

【符号の説明】

１ ゲートバルブ ３ ゲート ５ 弁体 ６ 開閉駆動機構 ５ｂ 透明板

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 【請求項１】開閉駆動機構によってゲートの開閉を行う
   弁体を備えたゲートバルブにおいて、 弁体の全部又は一部が透明部材によって構成されたこと
   を特徴とするゲートバルブ。