JPH0561606A - 座標入力装置用入力盤の製造方法 - Google Patents
座標入力装置用入力盤の製造方法Info
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- JPH0561606A JPH0561606A JP24691791A JP24691791A JPH0561606A JP H0561606 A JPH0561606 A JP H0561606A JP 24691791 A JP24691791 A JP 24691791A JP 24691791 A JP24691791 A JP 24691791A JP H0561606 A JPH0561606 A JP H0561606A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 ＣＲＴ，液晶表示装置などの表示面の上に載
置される透明な下側基板と、該透明な下側基板の表面に
座標軸に沿って配列された透明な複数の下側電極線と、
該透明な下側電極線を配列された下側基板と対応するよ
うに配置された透明な上側基板と、該透明な上側基板に
配列された下側電極線と直交する複数の透明な上側電極
線と、該上側電極線と下側電極線とを相対して配置する
誘電体層と、該上下各基板から外部へ信号を出力する引
出し電極線からなる座標入力装置用入力盤の製造方法に
おいて、基板全面に透明な導電性膜を形成する第一工程
と、前記透明導電性膜上に前記電極線のパターンマスク
を形成する第二工程と、前記パターンマスクに従って前
記透明導電性膜をエッチングする第三工程と、前記基板
を所定の形状に切断する第四工程と、前記パターンマス
クを剥離、洗浄する第五工程と、前記上下各基板を前記
誘電体層をはさみ接着する第六工程と、前記引出し電極
線を接続する第七工程からなる。 【効果】電極線に断線等の不良がなく、且つ一枚の基板
から複数個の座標入力装置の入力盤が得られる。
置される透明な下側基板と、該透明な下側基板の表面に
座標軸に沿って配列された透明な複数の下側電極線と、
該透明な下側電極線を配列された下側基板と対応するよ
うに配置された透明な上側基板と、該透明な上側基板に
配列された下側電極線と直交する複数の透明な上側電極
線と、該上側電極線と下側電極線とを相対して配置する
誘電体層と、該上下各基板から外部へ信号を出力する引
出し電極線からなる座標入力装置用入力盤の製造方法に
おいて、基板全面に透明な導電性膜を形成する第一工程
と、前記透明導電性膜上に前記電極線のパターンマスク
を形成する第二工程と、前記パターンマスクに従って前
記透明導電性膜をエッチングする第三工程と、前記基板
を所定の形状に切断する第四工程と、前記パターンマス
クを剥離、洗浄する第五工程と、前記上下各基板を前記
誘電体層をはさみ接着する第六工程と、前記引出し電極
線を接続する第七工程からなる。 【効果】電極線に断線等の不良がなく、且つ一枚の基板
から複数個の座標入力装置の入力盤が得られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は座標入力装置用入力盤の
製造方法に関し、特にＣＲＴ、液晶表示装置等の表示面
上に設置して使用する座標入力装置用入力盤の製造方法
に関するものである。
製造方法に関し、特にＣＲＴ、液晶表示装置等の表示面
上に設置して使用する座標入力装置用入力盤の製造方法
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＣＲＴ，液晶表示装置等の表示画面上に
設置して使用する座標入力装置の入力盤には、静電容量
結合タブレット、あるいはタッチパネル等がある。これ
らの製造方法としては、ガラスあるいは樹脂シートから
なる基板をあらかじめ所定の形状に切断した後、インジ
ウム酸化物（以下ＩＴＯと略称する）などの透明導電性
膜を例えばスパッタリング、あるいは蒸着等の方法によ
り形成し、その上に印刷、あるいはフォトリソグラフ等
の方法により電極線パターンのパターンマスク（レジス
ト膜）を形成する。
設置して使用する座標入力装置の入力盤には、静電容量
結合タブレット、あるいはタッチパネル等がある。これ
らの製造方法としては、ガラスあるいは樹脂シートから
なる基板をあらかじめ所定の形状に切断した後、インジ
ウム酸化物（以下ＩＴＯと略称する）などの透明導電性
膜を例えばスパッタリング、あるいは蒸着等の方法によ
り形成し、その上に印刷、あるいはフォトリソグラフ等
の方法により電極線パターンのパターンマスク（レジス
ト膜）を形成する。
【０００３】その後、ＩＴＯ膜の不要部分をエッチング
により除去し、さらにレジスト膜を剥離、洗浄すること
により電極線パターンを形成する。その後、例えば、シ
ート状のホットメルト接着剤を誘電体層として用いて、
上下各基板を接着し、さらに引出し電極線を接続する方
法がとられていた。
により除去し、さらにレジスト膜を剥離、洗浄すること
により電極線パターンを形成する。その後、例えば、シ
ート状のホットメルト接着剤を誘電体層として用いて、
上下各基板を接着し、さらに引出し電極線を接続する方
法がとられていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで上述した方法
では、全ての基板をあらかじめ所定の寸法に切断加工し
なければならず、また切断加工した一枚毎の基板に対
し、それぞれ後工程の処理を施さなければ成らず、特に
上側基板と下側基板で寸法が違う場合には、それぞれ後
工程の治具等を用意しなければならず、極めて生産性の
悪いものであった。
では、全ての基板をあらかじめ所定の寸法に切断加工し
なければならず、また切断加工した一枚毎の基板に対
し、それぞれ後工程の処理を施さなければ成らず、特に
上側基板と下側基板で寸法が違う場合には、それぞれ後
工程の治具等を用意しなければならず、極めて生産性の
悪いものであった。
【０００５】そこで当然の事ながら、一枚の大きな基板
にＩＴＯ膜を形成し、複数個分の電極パターンを形成
し、上下各基板の接着後、基板を所定の寸法に切断する
ことが考えられる（例えば液晶表示装置などで、通常用
いられている方法である）。しかしながら、本発明の座
標入力装置用入力盤の構成では、基板のそりなどが発生
しないように基板を引出し電極線を接続する部分以外の
全ての面で、全面接着する必要があり、この接着層が透
明且つ均一であることが必要なため、接着面積が小さく
かつ接着層自身の透明性を要求されない液晶表示装置と
は違い、生産性良く接着することは、困難な方法であっ
た。
にＩＴＯ膜を形成し、複数個分の電極パターンを形成
し、上下各基板の接着後、基板を所定の寸法に切断する
ことが考えられる（例えば液晶表示装置などで、通常用
いられている方法である）。しかしながら、本発明の座
標入力装置用入力盤の構成では、基板のそりなどが発生
しないように基板を引出し電極線を接続する部分以外の
全ての面で、全面接着する必要があり、この接着層が透
明且つ均一であることが必要なため、接着面積が小さく
かつ接着層自身の透明性を要求されない液晶表示装置と
は違い、生産性良く接着することは、困難な方法であっ
た。
【０００６】そのため、ＩＴＯ膜の形成された一枚の大
きな基板を、切断した後電極パターンを形成することが
考えられるが、ＩＴＯ膜は、厚さが数百オングストロー
ム程度であり、そのためキズ等の発生により、ＩＴＯ膜
にピンホールが発生したり、あるいは電極線が断線する
といった不良が多く発生していた。特に基板がガラス板
であるときには、該ガラス板を切断するときに、切り粉
の発生が多く、この切り子によるＩＴＯ膜のキズ発生が
激しかった。
きな基板を、切断した後電極パターンを形成することが
考えられるが、ＩＴＯ膜は、厚さが数百オングストロー
ム程度であり、そのためキズ等の発生により、ＩＴＯ膜
にピンホールが発生したり、あるいは電極線が断線する
といった不良が多く発生していた。特に基板がガラス板
であるときには、該ガラス板を切断するときに、切り粉
の発生が多く、この切り子によるＩＴＯ膜のキズ発生が
激しかった。
【課題を解決する手段】本発明は、上述した従来の課題
を解決するためになされたもので、ＣＲＴ，液晶表示装
置などの表示面の上に載置される透明な下側基板と、該
透明な下側基板の表面に座標軸に沿って配列された透明
な複数の下側電極線と、該透明な下側電極線を配列され
た下側基板と対応するように配置された透明な上側基板
と、該透明な上側基板に配列された下側電極線と直交す
る複数の透明な上側電極線と、該上側電極線と下側電極
線とを相対して配置する誘電体層と、該上下各基板から
外部へ信号を出力する引出し電極線からなる座標入力装
置用入力盤の製造方法であって、基板に透明な導電性膜
を形成する第一工程と、該透明導電性膜上に前記電極線
のパターンマスクを形成する第二工程と、該パターンマ
スクに従って前記透明導電性膜をエッチングする第三工
程と、第三工程まで施された基板を所定の形状に切断す
る第四工程と、前記パターンマスクを剥離、洗浄する第
五工程と、前記上下各基板を前記誘電体層をはさみ接着
する第六工程と、前記引出し電極線を接続する第七工程
とからなることを特徴とする座標入力装置用入力盤の製
造方法を要旨とするものである。
を解決するためになされたもので、ＣＲＴ，液晶表示装
置などの表示面の上に載置される透明な下側基板と、該
透明な下側基板の表面に座標軸に沿って配列された透明
な複数の下側電極線と、該透明な下側電極線を配列され
た下側基板と対応するように配置された透明な上側基板
と、該透明な上側基板に配列された下側電極線と直交す
る複数の透明な上側電極線と、該上側電極線と下側電極
線とを相対して配置する誘電体層と、該上下各基板から
外部へ信号を出力する引出し電極線からなる座標入力装
置用入力盤の製造方法であって、基板に透明な導電性膜
を形成する第一工程と、該透明導電性膜上に前記電極線
のパターンマスクを形成する第二工程と、該パターンマ
スクに従って前記透明導電性膜をエッチングする第三工
程と、第三工程まで施された基板を所定の形状に切断す
る第四工程と、前記パターンマスクを剥離、洗浄する第
五工程と、前記上下各基板を前記誘電体層をはさみ接着
する第六工程と、前記引出し電極線を接続する第七工程
とからなることを特徴とする座標入力装置用入力盤の製
造方法を要旨とするものである。
【０００７】
【作用】本発明の座標入力装置用入力盤の製造方法で
は、パターンマスク（レジスト膜）をＩＴＯ膜上につけ
たまま基板を切断するため、ＩＴＯ膜にキズが発生せ
ず、断線等の不良が出ない。
は、パターンマスク（レジスト膜）をＩＴＯ膜上につけ
たまま基板を切断するため、ＩＴＯ膜にキズが発生せ
ず、断線等の不良が出ない。
【０００８】
【実施例】本発明の実施例を添付図面を参照して説明す
る。図１は本発明による静電容量結合方式の座標入力装
置用入力盤の要部破断図、図２は座標入力装置用入力盤
の透明電極線と信号検出ペンの信号検出説明図、図３は
図２の信号検出状態図である。座標入力装置の入力盤１
は透明なガラス、ポリエチレンテレフタレート等の絶縁
材からなる透明な基板上８上にＩＴＯ膜よりなる下側電
極線５，５，５・・・・が形成されている。更にこの下
側電極線５，５，５・・・・の上に、透明な誘電体７が
配置され、次に上側基板６の表面に、下側電極線５と同
様にＩＴＯ膜よりなる上側電極線４，４，４・・・・が
形成される。ここで、下側と上側の基板８，６と電極線
５，４を別個に作成し、これを２枚、図１の様に透明な
誘電体層７を挟んで下側電極線５と上側電極線４とが直
交するように接着している。
る。図１は本発明による静電容量結合方式の座標入力装
置用入力盤の要部破断図、図２は座標入力装置用入力盤
の透明電極線と信号検出ペンの信号検出説明図、図３は
図２の信号検出状態図である。座標入力装置の入力盤１
は透明なガラス、ポリエチレンテレフタレート等の絶縁
材からなる透明な基板上８上にＩＴＯ膜よりなる下側電
極線５，５，５・・・・が形成されている。更にこの下
側電極線５，５，５・・・・の上に、透明な誘電体７が
配置され、次に上側基板６の表面に、下側電極線５と同
様にＩＴＯ膜よりなる上側電極線４，４，４・・・・が
形成される。ここで、下側と上側の基板８，６と電極線
５，４を別個に作成し、これを２枚、図１の様に透明な
誘電体層７を挟んで下側電極線５と上側電極線４とが直
交するように接着している。
【０００９】座標入力装置の入力盤１の下側基板８の下
にはＣＲＴ９の画面が配置され、上側基板６の上面には
信号検出ペン２の検出電極３が誘電体シート（図示せ
ず）を介して当接され、この信号検出ペン２の検出電極
３と電極線４、５とが静電結合して、電極線４、５に印
加されたパルスが信号検出ペン２の検出電極３に生起さ
れる。（図２のコンデンサＣ１，Ｃ２，Ｃ３で表示）
にはＣＲＴ９の画面が配置され、上側基板６の上面には
信号検出ペン２の検出電極３が誘電体シート（図示せ
ず）を介して当接され、この信号検出ペン２の検出電極
３と電極線４、５とが静電結合して、電極線４、５に印
加されたパルスが信号検出ペン２の検出電極３に生起さ
れる。（図２のコンデンサＣ１，Ｃ２，Ｃ３で表示）
【００１０】図２の状態で、信号検出ぺン２の検出電極
３には、図３に示すように上側電極線４の第１線Ｐ１、
第２線Ｐ２、及び第３線Ｐ３から静電結合してパルスが
生起される。ここで電極線Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３からの信号
の検出電圧が、信号検出ペン２の検出電極３との距離に
比例するものとする。上側電極線４の第１線Ｐ１、第２
線Ｐ２、及び第３線Ｐ３の間隔をＬとし、図３に示すＬ
１、Ｌ２を当接された信号検出ペン２の検出電極３に最
も近い電極線Ｐ１から見てＬ１／Ｌ２＝Ａ（（Ｌ／２）
−Ｌｐ）／（Ｌ／２）（Ａは定数である。）が成立す
る。故にＬｐはＰ１、Ｐ２、Ｐ３からの検出信号Ｖ１、
Ｖ２、Ｖ３を演算することで求めることができる。
３には、図３に示すように上側電極線４の第１線Ｐ１、
第２線Ｐ２、及び第３線Ｐ３から静電結合してパルスが
生起される。ここで電極線Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３からの信号
の検出電圧が、信号検出ペン２の検出電極３との距離に
比例するものとする。上側電極線４の第１線Ｐ１、第２
線Ｐ２、及び第３線Ｐ３の間隔をＬとし、図３に示すＬ
１、Ｌ２を当接された信号検出ペン２の検出電極３に最
も近い電極線Ｐ１から見てＬ１／Ｌ２＝Ａ（（Ｌ／２）
−Ｌｐ）／（Ｌ／２）（Ａは定数である。）が成立す
る。故にＬｐはＰ１、Ｐ２、Ｐ３からの検出信号Ｖ１、
Ｖ２、Ｖ３を演算することで求めることができる。
【００１１】本実施例に於いては、基板８として厚さ
０．７ｍｍ、外形３００ｍｍ角のガラス板の片面に、ス
パッタリング法によりＩＴＯからなる導電性膜を形成し
た（第一工程）。このＩＴＯからなる導電性膜上に、ス
クリーン印刷法により、上側電極線及び下側電極線の２
種類の電極線パターンマスクを各２個一度に印刷した
（第二工程）（図４参照）。このときの印刷面積は、上
側電極線部分の一個分が１４８ｍｍ×１４１ｍｍ、下側
電極線部分の一個分が１４１ｍｍ×１４８ｍｍであっ
た。このパターンマスクを８０℃で３０分間乾燥した
後、５０℃の塩化第２鉄溶液に１０分間ディッピング
し、不要部分のＩＴＯからなる導電性膜をエッチングし
た（第三工程）。その後充分に水洗、乾燥した後、切断
線Ｘ1、Ｘ2、Ｘ3、Ｙ1、Ｙ2、Ｙ3に従って前記印刷部分
の寸法に切断した（第四工程）。
０．７ｍｍ、外形３００ｍｍ角のガラス板の片面に、ス
パッタリング法によりＩＴＯからなる導電性膜を形成し
た（第一工程）。このＩＴＯからなる導電性膜上に、ス
クリーン印刷法により、上側電極線及び下側電極線の２
種類の電極線パターンマスクを各２個一度に印刷した
（第二工程）（図４参照）。このときの印刷面積は、上
側電極線部分の一個分が１４８ｍｍ×１４１ｍｍ、下側
電極線部分の一個分が１４１ｍｍ×１４８ｍｍであっ
た。このパターンマスクを８０℃で３０分間乾燥した
後、５０℃の塩化第２鉄溶液に１０分間ディッピング
し、不要部分のＩＴＯからなる導電性膜をエッチングし
た（第三工程）。その後充分に水洗、乾燥した後、切断
線Ｘ1、Ｘ2、Ｘ3、Ｙ1、Ｙ2、Ｙ3に従って前記印刷部分
の寸法に切断した（第四工程）。
【００１２】切断後、２枚の基板上のパターンマスクを
レジスト剥離液で剥離し（第五工程）、更に洗浄を行っ
た後、誘電体層７となるシート状のホットメルト接着剤
（例えば、武田薬品（株）製のデュミラン）により、上
下各々の電極線部分が内側になるように（図１参照）接
着し（第六工程）、更に、引出し電極線１０として、ヒ
ートシール型フレキシブル基板（例えば、日本黒鉛
（株）製ヒートシールコネクター）を接続した（第七工
程）。
レジスト剥離液で剥離し（第五工程）、更に洗浄を行っ
た後、誘電体層７となるシート状のホットメルト接着剤
（例えば、武田薬品（株）製のデュミラン）により、上
下各々の電極線部分が内側になるように（図１参照）接
着し（第六工程）、更に、引出し電極線１０として、ヒ
ートシール型フレキシブル基板（例えば、日本黒鉛
（株）製ヒートシールコネクター）を接続した（第七工
程）。
【００１３】
【効果】以上の製造方法を実施した結果、電極線に断線
等の不良が全く無く、且つ一枚の基板から、複数個の座
標入力装置用入力盤が得られ、きわめて生産性の良いも
のであった。
等の不良が全く無く、且つ一枚の基板から、複数個の座
標入力装置用入力盤が得られ、きわめて生産性の良いも
のであった。
【図１】座標入力装置用入力盤の要部破断図
【図２】入力盤の電極線と信号検出ペンとの信号検出説
明図
明図
【図３】電極線の信号状態図
【図４】電極パターンマスク印刷図
１ タブレット ２ 信号検出ペン ３ 検出電極 ４ 上側電極線 ５ 下側電極線 ６ 上側基板 ７ 誘電体層 ８ 下側基板 ９ ＣＲＴ １０ 引出し電極線
Claims (1)
- 【請求項１】 ＣＲＴ，液晶表示装置などの表示面の上
に載置される透明な下側基板と、該透明な下側基板の表
面に座標軸に沿って配列された透明な複数の下側電極線
と、該透明な下側電極線を配列された下側基板と対応す
るように配置された透明な上側基板と、該透明な上側基
板に配列された下側電極線と直交する複数の透明な上側
電極線と、該上側電極線と下側電極線とを相対して配置
する誘電体層と、該上下各基板から外部へ信号を出力す
る引出し電極線からなる座標入力装置用入力盤の製造方
法であって、基板に透明な導電性膜を形成する第一工程
と、該透明導電性膜上に前記電極線のパターンマスクを
形成する第二工程と、該パターンマスクに従って前記透
明導電性膜をエッチングする第三工程と、第三工程まで
施された基板を所定の形状に切断する第四工程と、前記
パターンマスクを剥離、洗浄する第五工程と、前記上下
各基板を前記誘電体層をはさみ接着する第六工程と、前
記引出し電極線を接続する第七工程とからなることを特
徴とする座標入力装置用入力盤の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24691791A JPH0561606A (ja) | 1991-08-31 | 1991-08-31 | 座標入力装置用入力盤の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24691791A JPH0561606A (ja) | 1991-08-31 | 1991-08-31 | 座標入力装置用入力盤の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0561606A true JPH0561606A (ja) | 1993-03-12 |
Family
ID=17155678
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24691791A Pending JPH0561606A (ja) | 1991-08-31 | 1991-08-31 | 座標入力装置用入力盤の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0561606A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100920253B1 (ko) * | 2009-04-28 | 2009-10-08 | 김태연 | 전기력선 변화를 이용한 정전용량식 입력장치 |
| WO2013042674A1 (ja) * | 2011-09-21 | 2013-03-28 | 日本写真印刷株式会社 | 静電容量式タッチセンサ及びこれを備えた表示装置 |
| JP2019071138A (ja) * | 2019-02-07 | 2019-05-09 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 静電容量結合方式のタッチパネルの製造方法 |
-
1991
- 1991-08-31 JP JP24691791A patent/JPH0561606A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100920253B1 (ko) * | 2009-04-28 | 2009-10-08 | 김태연 | 전기력선 변화를 이용한 정전용량식 입력장치 |
| WO2013042674A1 (ja) * | 2011-09-21 | 2013-03-28 | 日本写真印刷株式会社 | 静電容量式タッチセンサ及びこれを備えた表示装置 |
| KR101450512B1 (ko) * | 2011-09-21 | 2014-10-13 | 니폰샤신인사츠가부시키가이샤 | 정전 용량식 터치 센서 및 이것을 구비한 표시 장치 |
| US9063628B2 (en) | 2011-09-21 | 2015-06-23 | Nissha Printing Co., Ltd. | Capacitance-type touch sensor and display device equipped therewith |
| JP2019071138A (ja) * | 2019-02-07 | 2019-05-09 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 静電容量結合方式のタッチパネルの製造方法 |
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