JPH0560146B2 - - Google Patents
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- JPH0560146B2 JPH0560146B2 JP60015978A JP1597885A JPH0560146B2 JP H0560146 B2 JPH0560146 B2 JP H0560146B2 JP 60015978 A JP60015978 A JP 60015978A JP 1597885 A JP1597885 A JP 1597885A JP H0560146 B2 JPH0560146 B2 JP H0560146B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- threshold level
- video signal
- level
- standard
- predetermined number
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
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Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Image Input (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、被測定物をパターン認識する際、被
測定物の画像が背景の影響を受けて、場所的或い
は時間的に変化しても、安定画像にする回路に関
するものである。
測定物の画像が背景の影響を受けて、場所的或い
は時間的に変化しても、安定画像にする回路に関
するものである。
従来の技術
例えば、半導体装置製造において、多数の半導
体ペレツトを一括処理して形成した半導体ウエー
ハは、各半導体ペレツトの良、不良を試験検査し
た後、第４図に示すように半導体ウエーハ１（以
下、単にウエーハと称す。）の表面に格子状の溝
２，２……を形成して多数の半導体ペレツト区画
３′，３′……を形成し、接着シート４上に貼着さ
れる。次に、ウエーハ１の貼着された接着シート
４を放射状に引き伸ばすことにより、ウエーハ１
は溝２，２……に沿つてブレイキングされ、第５
図に示すように各ペレツト３，３……が、格子状
配置に分割される。その後、第５図及び第６図に
示すように、接着シート４を外方に引き延ばした
状態のままで、リング状の保持枠５に固定して張
設することにより、ウエーハリング６を形成す
る。このようにして分離されたペレツト３，３…
…は、ウエーハリング６からパターン認識によつ
て良品のもののみ選別されて取り出され、次のペ
レツトマウント工程に送られる。
体ペレツトを一括処理して形成した半導体ウエー
ハは、各半導体ペレツトの良、不良を試験検査し
た後、第４図に示すように半導体ウエーハ１（以
下、単にウエーハと称す。）の表面に格子状の溝
２，２……を形成して多数の半導体ペレツト区画
３′，３′……を形成し、接着シート４上に貼着さ
れる。次に、ウエーハ１の貼着された接着シート
４を放射状に引き伸ばすことにより、ウエーハ１
は溝２，２……に沿つてブレイキングされ、第５
図に示すように各ペレツト３，３……が、格子状
配置に分割される。その後、第５図及び第６図に
示すように、接着シート４を外方に引き延ばした
状態のままで、リング状の保持枠５に固定して張
設することにより、ウエーハリング６を形成す
る。このようにして分離されたペレツト３，３…
…は、ウエーハリング６からパターン認識によつ
て良品のもののみ選別されて取り出され、次のペ
レツトマウント工程に送られる。
上記パターン認識は、TVカメラで撮像した画
像信号を、第７図に示す回路７のように、アナロ
グ量から２値化されたテレビカメラのビデオ信号
をコンピユータで処理することにより行われる。
即ち、回路７に入力されたビデオ信号V1は、ア
ンプ８によつて増幅された後、コンパレータ９に
入力され、コンピユータによつて決められたスレ
ツシヨルドレベルVTHとの比較により２値化され
る。ここで、スレツシヨルドレベルVTHは、図示
しないが、CPUからＤ／Ａコンバータを介しコ
ンパレータ９に入力される。
像信号を、第７図に示す回路７のように、アナロ
グ量から２値化されたテレビカメラのビデオ信号
をコンピユータで処理することにより行われる。
即ち、回路７に入力されたビデオ信号V1は、ア
ンプ８によつて増幅された後、コンパレータ９に
入力され、コンピユータによつて決められたスレ
ツシヨルドレベルVTHとの比較により２値化され
る。ここで、スレツシヨルドレベルVTHは、図示
しないが、CPUからＤ／Ａコンバータを介しコ
ンパレータ９に入力される。
ところで、テレビカメラのビデオ信号は、映像
信号と同期信号とが合成されたコンポジツトビデ
オ信号である。従つて、第８図に示すテレビカメ
ラ視野１１の１水平走査期間のビデオ信号を示す
と、第９図のように映像信号VPと水平同期信号
VSとが合成されたものである。この時、水平同
期信号VSのレベル高さ及び幅は規格にて一定に
決められており、又、peak to peakの高さVPPも
一定に固定されている。しかも、上記コンポジツ
トビデオ信号V1′は、回路７のコンデンサ１０に
てカツプリングされ、直流分をカツトしたもので
あり、第９図に示すようにＯレベルを境界とし、
プラス側の映像信号分の積算値とマイナス側の水
平同期信号分の積算値とは等しくなつている。
信号と同期信号とが合成されたコンポジツトビデ
オ信号である。従つて、第８図に示すテレビカメ
ラ視野１１の１水平走査期間のビデオ信号を示す
と、第９図のように映像信号VPと水平同期信号
VSとが合成されたものである。この時、水平同
期信号VSのレベル高さ及び幅は規格にて一定に
決められており、又、peak to peakの高さVPPも
一定に固定されている。しかも、上記コンポジツ
トビデオ信号V1′は、回路７のコンデンサ１０に
てカツプリングされ、直流分をカツトしたもので
あり、第９図に示すようにＯレベルを境界とし、
プラス側の映像信号分の積算値とマイナス側の水
平同期信号分の積算値とは等しくなつている。
発明が解決しようとする問題点
ところで、ウエーハリング６上のペレツト３，
３……をパターン認識する際、認識可能領域は第
８図の点線内であるとすると、テレビカメラ視野
１１内に収まり、撮像されるペレツト３の個数
は、ウエーハリング６の中央部と周辺部とでそれ
ぞれ異なり、前者は第８図、後者は第１０図のよ
うになる。従つてウエーハリング６の中央部の１
水平走査期間のコンポジツトビデオ信号は、第９
図の信号V1′に示すようになり、ウエーハリング
６の周辺部の１水平走査期間のコンポジツトビデ
オ信号は、第１１図の信号V1″に示すようになつ
て、信号V1″の映像信号分の積算値は、信号V1′
の映像信号分の積算値よりも減少する。ところ
が、水平同期信号VSは規格にて決められており、
そのレベル高さ及び幅は一定である。従つて、コ
ンポジツトビデオ信号をコンデンサ１０にてカツ
プリングすると、peak to peakの高さVPPは固定
されているため第１１図のコンポジツトビデオ信
号V1″は、第９図のコンポジツトビデオ信号V1′
に比べ、映像信号分の積算値の減少分だけ映像信
号部がＯレベルに対し上昇する。即ち、映像信号
部がテレビカメラ視野１１内に含まれるペレツト
３の個数によつて変動することになり、スレツシ
ヨルドレベルVTHを固定しておいた場合、スレツ
シヨルドレベルVTHが映像信号部の変動により見
かけ上変動することになる。そのため、テレビカ
メラ視野１１内の認識可能領域に含まれる被測定
ペレツトの２値化画像がウエーハリング６の中央
部と周辺部とで変わり、誤認識の原因となつてい
る。
３……をパターン認識する際、認識可能領域は第
８図の点線内であるとすると、テレビカメラ視野
１１内に収まり、撮像されるペレツト３の個数
は、ウエーハリング６の中央部と周辺部とでそれ
ぞれ異なり、前者は第８図、後者は第１０図のよ
うになる。従つてウエーハリング６の中央部の１
水平走査期間のコンポジツトビデオ信号は、第９
図の信号V1′に示すようになり、ウエーハリング
６の周辺部の１水平走査期間のコンポジツトビデ
オ信号は、第１１図の信号V1″に示すようになつ
て、信号V1″の映像信号分の積算値は、信号V1′
の映像信号分の積算値よりも減少する。ところ
が、水平同期信号VSは規格にて決められており、
そのレベル高さ及び幅は一定である。従つて、コ
ンポジツトビデオ信号をコンデンサ１０にてカツ
プリングすると、peak to peakの高さVPPは固定
されているため第１１図のコンポジツトビデオ信
号V1″は、第９図のコンポジツトビデオ信号V1′
に比べ、映像信号分の積算値の減少分だけ映像信
号部がＯレベルに対し上昇する。即ち、映像信号
部がテレビカメラ視野１１内に含まれるペレツト
３の個数によつて変動することになり、スレツシ
ヨルドレベルVTHを固定しておいた場合、スレツ
シヨルドレベルVTHが映像信号部の変動により見
かけ上変動することになる。そのため、テレビカ
メラ視野１１内の認識可能領域に含まれる被測定
ペレツトの２値化画像がウエーハリング６の中央
部と周辺部とで変わり、誤認識の原因となつてい
る。
又、上記のようにテレビカメラ視野１１内に含
まれる被測定物の個数が場所的に変化する場合の
他、例えば、搬送コンベア上に並べられた被測定
物を搬送しつつパターン認識する際、第１２図に
示すように隣り合う被測定物の間隔が一定でなけ
れば、テレビカメラ視野１１内に含まれる被測定
物の個数が時間的に変化することになり、やは
り、同様な誤認識を生じる危険がある。
まれる被測定物の個数が場所的に変化する場合の
他、例えば、搬送コンベア上に並べられた被測定
物を搬送しつつパターン認識する際、第１２図に
示すように隣り合う被測定物の間隔が一定でなけ
れば、テレビカメラ視野１１内に含まれる被測定
物の個数が時間的に変化することになり、やは
り、同様な誤認識を生じる危険がある。
問題点を解決するための手段
本発明は、２値化画像によつて被測定物をパタ
ーン認識するに際し、映像信号を２値化する回路
において、映像信号をアナグロ量からデジタル量
に変換した後、デジタル化された映像信号の１水
平有効走査期間を所定回数に亘つて積算し、該積
算値を所定のサンプリング回数にて除算して得ら
れた値を用いることにより、上記２値化回路の標
準スレツシヨルドレベルを補正して新たなスレツ
シヨルドレベルを決定する回路と、上記映像信号
レベルの変動に追従して最適なスレツシヨルドレ
ベルに選択的に切り替えるレベル切替回路と、映
像信号レベルに応じ異なるスレツシヨルドレベル
を２値化回路に入力・保持しておき、映像信号レ
ベルの変動に追従して２値化回路の出力を選択的
に切り替える出力切替回路とを具備したものであ
る。
ーン認識するに際し、映像信号を２値化する回路
において、映像信号をアナグロ量からデジタル量
に変換した後、デジタル化された映像信号の１水
平有効走査期間を所定回数に亘つて積算し、該積
算値を所定のサンプリング回数にて除算して得ら
れた値を用いることにより、上記２値化回路の標
準スレツシヨルドレベルを補正して新たなスレツ
シヨルドレベルを決定する回路と、上記映像信号
レベルの変動に追従して最適なスレツシヨルドレ
ベルに選択的に切り替えるレベル切替回路と、映
像信号レベルに応じ異なるスレツシヨルドレベル
を２値化回路に入力・保持しておき、映像信号レ
ベルの変動に追従して２値化回路の出力を選択的
に切り替える出力切替回路とを具備したものであ
る。
作用
２値化画像によつて被測定物をパターン認識す
るに際し、映像信号レベルの変動に追従して適切
なスレツシヨルドレベルを選択できる。
るに際し、映像信号レベルの変動に追従して適切
なスレツシヨルドレベルを選択できる。
実施例
本発明の一実施例を第１図乃至第３図を参照し
て以下説明する。第１図は映像信号によつて２値
化回路の標準スレツシヨルドレベルを補正し新た
なスレツシヨルドレベルVTHを決定する回路のブ
ロツク線図を示し、アンプ８とコンパレータ９と
からなる２値化回路について、アンプ８の出力に
接続されるＡ／Ｄコンバータ１２と、Ａ／Ｄコン
バータ１２に接続される積算部１３と、積算部１
３に接続される除算部１４と、除算部１４に接続
される演算部１５と、積算部１３除算部１４演算
部を制御する演算制御部３５とからなる。
て以下説明する。第１図は映像信号によつて２値
化回路の標準スレツシヨルドレベルを補正し新た
なスレツシヨルドレベルVTHを決定する回路のブ
ロツク線図を示し、アンプ８とコンパレータ９と
からなる２値化回路について、アンプ８の出力に
接続されるＡ／Ｄコンバータ１２と、Ａ／Ｄコン
バータ１２に接続される積算部１３と、積算部１
３に接続される除算部１４と、除算部１４に接続
される演算部１５と、積算部１３除算部１４演算
部を制御する演算制御部３５とからなる。
上記構成に基づきスレツシヨルドレベルは次の
如く決定される。まず、アンプ８から出力された
アナログ量の映像信号をＡ／Ｄコンバータ１２に
よつてデジタル量に変換する。そして、積算部１
３においてデジタル化された映像信号のｍ回の水
平有効走査期間の出力を積算し、得られた値をＲ
とする。次に、除算部１４において上記積算値Ｒ
をサンプリング回数ｎにて除算し、得られた値を
スレツシヨルドレベルの補正値Ａとする。ここ
で、サンプリング回数ｎは１水平有効走査期間の
サンプリング回数npに水平有効走査期間の積算回
数ｍを乗じること、即ち、ｎ＝mnpによつて与え
られる。従つて、補正値Ａは、Ａ＝Ｒ／ｎ＝Ｒ／mnpに よつて与えられる。
如く決定される。まず、アンプ８から出力された
アナログ量の映像信号をＡ／Ｄコンバータ１２に
よつてデジタル量に変換する。そして、積算部１
３においてデジタル化された映像信号のｍ回の水
平有効走査期間の出力を積算し、得られた値をＲ
とする。次に、除算部１４において上記積算値Ｒ
をサンプリング回数ｎにて除算し、得られた値を
スレツシヨルドレベルの補正値Ａとする。ここ
で、サンプリング回数ｎは１水平有効走査期間の
サンプリング回数npに水平有効走査期間の積算回
数ｍを乗じること、即ち、ｎ＝mnpによつて与え
られる。従つて、補正値Ａは、Ａ＝Ｒ／ｎ＝Ｒ／mnpに よつて与えられる。
更に、標準画面におけるスレツシヨルドレベル
VTHOの補正値AOを予め上記と同様に算出してお
き、演算部１５において補正値AOに対する補正
値Ａのズレ分と標準スレツシヨルドレベルVTHOと
の間にてある重みを加えて新たなスレツシヨルド
レベルVTHを算出する。即ち、スレツシヨルドレ
ベルVTHは、 VTH＝Ｐ・VTHO＋Ｑ（Ａ−AO）／Ｐ＋Ｑ （但し、Ｐ，Ｗは実数）によつて決まり、Ｄ−
Ａコンバータ１６によつてアナログ量に変換され
た後、コンパレータ９に入力される。この時、標
準スレツシヨルドレベルVTHOはラツチ１７に入
力・保持されているが、CPU１８に保持してい
てもよく、又、演算部１５はTTL回路等のハー
ドウエア、或いはCPUにて構成される。
VTHOの補正値AOを予め上記と同様に算出してお
き、演算部１５において補正値AOに対する補正
値Ａのズレ分と標準スレツシヨルドレベルVTHOと
の間にてある重みを加えて新たなスレツシヨルド
レベルVTHを算出する。即ち、スレツシヨルドレ
ベルVTHは、 VTH＝Ｐ・VTHO＋Ｑ（Ａ−AO）／Ｐ＋Ｑ （但し、Ｐ，Ｗは実数）によつて決まり、Ｄ−
Ａコンバータ１６によつてアナログ量に変換され
た後、コンパレータ９に入力される。この時、標
準スレツシヨルドレベルVTHOはラツチ１７に入
力・保持されているが、CPU１８に保持してい
てもよく、又、演算部１５はTTL回路等のハー
ドウエア、或いはCPUにて構成される。
上記スレツシヨルドレベルVTHは、一つの測定
エリアについて決まるものであり、測定物が異な
ると、スレツシヨルドレベルVTHもそれぞれ異な
る値に決められる。そこで、第２図は被測定物が
変わる毎に、その測定エリアに最適のスレツシヨ
ルドレベルVTHを選択し切り替えるレベル切替回
路のブロツク線図を示す。即ち、第２図に示すレ
ベル切替回路は、テレビカメラの信号から同期信
号を分離して取り出す水平及び垂直同期分離部１
９，２０と、同期信号の遅延部２１と、同期信号
によつて例えば測定エリア毎にスレツシヨルドレ
ベルVTHを切り替えるレベル切替部２２と、第１
図の実施例によつて決まるスレツシヨルドレベル
VTHを異なる被測定物について算出して、得られ
た複数のスレツシヨルドレベルVTHを補正したス
レツシヨルドレベルとして保持すると共にこれを
測定エリアごとに切替えるレベル切替部２２に測
定エリアとして出力するCPU２３とからなる。
エリアについて決まるものであり、測定物が異な
ると、スレツシヨルドレベルVTHもそれぞれ異な
る値に決められる。そこで、第２図は被測定物が
変わる毎に、その測定エリアに最適のスレツシヨ
ルドレベルVTHを選択し切り替えるレベル切替回
路のブロツク線図を示す。即ち、第２図に示すレ
ベル切替回路は、テレビカメラの信号から同期信
号を分離して取り出す水平及び垂直同期分離部１
９，２０と、同期信号の遅延部２１と、同期信号
によつて例えば測定エリア毎にスレツシヨルドレ
ベルVTHを切り替えるレベル切替部２２と、第１
図の実施例によつて決まるスレツシヨルドレベル
VTHを異なる被測定物について算出して、得られ
た複数のスレツシヨルドレベルVTHを補正したス
レツシヨルドレベルとして保持すると共にこれを
測定エリアごとに切替えるレベル切替部２２に測
定エリアとして出力するCPU２３とからなる。
上記レベル切替回路によれば、被測定物が変わ
り、それによつてスレツシヨルドレベルVTHを補
正する毎に最適のスレツシヨルドレベルVTHをレ
ベル切替部２２によつてそのレベルに切り替える
と共にＤ／Ａコンバータ１６によつてアナログ量
に変換し、コンパレータ９に入力する。そして、
このスレツシヨルドレベルVTHによつて２値化さ
れた映像信号と同期信号とをビデオ信号生成部２
４によつて合成し、ビデオ信号として出力する。
り、それによつてスレツシヨルドレベルVTHを補
正する毎に最適のスレツシヨルドレベルVTHをレ
ベル切替部２２によつてそのレベルに切り替える
と共にＤ／Ａコンバータ１６によつてアナログ量
に変換し、コンパレータ９に入力する。そして、
このスレツシヨルドレベルVTHによつて２値化さ
れた映像信号と同期信号とをビデオ信号生成部２
４によつて合成し、ビデオ信号として出力する。
又、第３図は、複数の標準スレツシヨルドレベ
ルVTHを２値化回路に入力しておき、被測定物が
変わる毎に、その被測定物に最適のスレツシヨル
ドレベルVTHに第１図の回路にて補正２値化され
た出力を選択し切り替える出力切替回路のブロツ
ク線図を示す。即ち、第３図に示す出力切替回路
は、テレビカメラの信号から同期信号を分離して
取り出す水平及び垂直同期分離部２５，２６と、
同期信号の遅延部２７と、第１図の実施例によつ
て決まるスレツシヨルドレベルVTHを異なる測定
エリアについて算出して、得られた複数のスレツ
シヨルドレベルVTHを補正された最適のスレツシ
ヨルドレベルとしてそれぞれ入力してアナログ量
に変換する第１、第２のコンバータ２９，３０
と、第１、第２のコンバータ２９，３０の出力を
それぞれスレツシヨルドレベルVTHとして入力す
る第１、第２のコンパレータ３１，３２と、第１
のコンパレータ３１の出力又は第２のコンパレー
タ３２の出力に切り替えるアナログスイツチ３３
と、CPU２８によつて制御されると共に同期信
号によつて例えばカメラ視野エリア毎にアナログ
スイツチ３３を動作させて第１又は第２のコンパ
レータ３１，３２の出力に切り替えるセレクト信
号発生器３４とからなる。
ルVTHを２値化回路に入力しておき、被測定物が
変わる毎に、その被測定物に最適のスレツシヨル
ドレベルVTHに第１図の回路にて補正２値化され
た出力を選択し切り替える出力切替回路のブロツ
ク線図を示す。即ち、第３図に示す出力切替回路
は、テレビカメラの信号から同期信号を分離して
取り出す水平及び垂直同期分離部２５，２６と、
同期信号の遅延部２７と、第１図の実施例によつ
て決まるスレツシヨルドレベルVTHを異なる測定
エリアについて算出して、得られた複数のスレツ
シヨルドレベルVTHを補正された最適のスレツシ
ヨルドレベルとしてそれぞれ入力してアナログ量
に変換する第１、第２のコンバータ２９，３０
と、第１、第２のコンバータ２９，３０の出力を
それぞれスレツシヨルドレベルVTHとして入力す
る第１、第２のコンパレータ３１，３２と、第１
のコンパレータ３１の出力又は第２のコンパレー
タ３２の出力に切り替えるアナログスイツチ３３
と、CPU２８によつて制御されると共に同期信
号によつて例えばカメラ視野エリア毎にアナログ
スイツチ３３を動作させて第１又は第２のコンパ
レータ３１，３２の出力に切り替えるセレクト信
号発生器３４とからなる。
上記出力切替回路によれば、被測定物が測定エ
リアによつて変わり、それによつて測定物それぞ
れの最適のスレツシヨルドレベルVTHを算出して
２値化された出力を第１又は第２のコンパレータ
３１，３２値化の出力から選択しアナログスイツ
チ３３によつてその出力に切り替える。そして、
第１又は第２のコンパレータ３１，３２によつて
２値化された映像信号と同期信号とをビデオ信号
生成部２４によつて合成し、ビデオ信号として出
力する。
リアによつて変わり、それによつて測定物それぞ
れの最適のスレツシヨルドレベルVTHを算出して
２値化された出力を第１又は第２のコンパレータ
３１，３２値化の出力から選択しアナログスイツ
チ３３によつてその出力に切り替える。そして、
第１又は第２のコンパレータ３１，３２によつて
２値化された映像信号と同期信号とをビデオ信号
生成部２４によつて合成し、ビデオ信号として出
力する。
上記第２図及び第３図に示す実施例によれば、
異なる複数の被測定物を同時にパターン認識する
ことができる。
異なる複数の被測定物を同時にパターン認識する
ことができる。
発明の効果
本発明によれば、２値化画像によつて被測定物
をパターン認識するに際し、被測定物の映像信号
レベルに応じスレツシヨルドレベルを決めるよう
にしたから、映像信号レベルが変動してもその変
動に追従して適切なスレツシヨルドレベルを決め
ることができ、被測定物の場所的、時間的変化、
照明環境の変化に追従して常に鮮明な２値化画像
が得られる。又、標準スレツシヨルドレベルを複
数個用意し、被測定物が変わる毎に標準スレツシ
ヨルドレベルを補正した最適のスレツシヨルドレ
ベルに切り替えるようにしたから、異なつた複数
の被測定物の鮮明な２値化画像を同時に得られ
る。
をパターン認識するに際し、被測定物の映像信号
レベルに応じスレツシヨルドレベルを決めるよう
にしたから、映像信号レベルが変動してもその変
動に追従して適切なスレツシヨルドレベルを決め
ることができ、被測定物の場所的、時間的変化、
照明環境の変化に追従して常に鮮明な２値化画像
が得られる。又、標準スレツシヨルドレベルを複
数個用意し、被測定物が変わる毎に標準スレツシ
ヨルドレベルを補正した最適のスレツシヨルドレ
ベルに切り替えるようにしたから、異なつた複数
の被測定物の鮮明な２値化画像を同時に得られ
る。
以上示した作用で価格的に安価であり且つ回路
規模的に簡単な回路付加にて映像信号の処理を行
うことで価格的に安価な回路を構成するなど実用
的効果がある。
規模的に簡単な回路付加にて映像信号の処理を行
うことで価格的に安価な回路を構成するなど実用
的効果がある。
第１図と第２図と第３図は本発明に係る画像安
定化回路の各実施例のブロツク線図、第４図は接
着シートに貼り付けられたウエーハの斜視図、第
５図はウエーハリングの斜視図で、第６図はその
Ａ−Ａ線断面図、第７図はコンポジツトビデオ信
号を２値化する回路のブロツク線図、第８図はウ
エーハリング中央部のテレビカメラ視野の平面図
で、第９図はそのコンポジツトビデオ信号の波形
図、第１０図はウエーハリング周辺部のテレビカ
メラ視野の平面図で、第１１図はそのコンポジツ
トビデオ信号の波形図、第１２図は搬送コンベア
によつて搬送される被測定物の部分概略図であ
る。 ３……被測定物、７……２値化回路、１２……
Ａ／Ｄコンバータ、１３……積算部、１４……除
算部、１５……演算部、２２……レベル切替部、
２３，２８……CPU、２９……第１のＤ／Ａコ
ンバータ、３０……第２のＤ／Ａコンバータ、３
１……第１のコンパレータ、３２……第２のコン
パレータ、３３……アナログスイツチ、３４……
セレクト信号発生器、VTH……スレツシヨルドレ
ベル、３５……演算制御部。
定化回路の各実施例のブロツク線図、第４図は接
着シートに貼り付けられたウエーハの斜視図、第
５図はウエーハリングの斜視図で、第６図はその
Ａ−Ａ線断面図、第７図はコンポジツトビデオ信
号を２値化する回路のブロツク線図、第８図はウ
エーハリング中央部のテレビカメラ視野の平面図
で、第９図はそのコンポジツトビデオ信号の波形
図、第１０図はウエーハリング周辺部のテレビカ
メラ視野の平面図で、第１１図はそのコンポジツ
トビデオ信号の波形図、第１２図は搬送コンベア
によつて搬送される被測定物の部分概略図であ
る。 ３……被測定物、７……２値化回路、１２……
Ａ／Ｄコンバータ、１３……積算部、１４……除
算部、１５……演算部、２２……レベル切替部、
２３，２８……CPU、２９……第１のＤ／Ａコ
ンバータ、３０……第２のＤ／Ａコンバータ、３
１……第１のコンパレータ、３２……第２のコン
パレータ、３３……アナログスイツチ、３４……
セレクト信号発生器、VTH……スレツシヨルドレ
ベル、３５……演算制御部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ２値化画像によつて被測定物をパターン認識
するに際し映像信号を２値化する回路において、 映像信号をアナグロ量からデジタル量に変換し
た後、デジタル化された映像信号の一水平有効走
査期間を所定回数に亘つて積算し、この積算値を
所定のサンプリング回数にて除算して得られた値
を用いることにより、上記２値化回路の標準スレ
ツシヨルドレベルを補正して新たなスレツシヨル
ドレベルを決定するスレツシヨルドレベル補正部
と、測定エリアによつて異なる測定物に対して
個々のスレツシヨルドレベルをそれに対応して切
り替えることで複数の異なつた測定物に対してレ
ベル切替えするスレツシヨルドレベル切替え部を
具備し、 前記スレツシヨルドレベル補正部は、標準画像
における標準スレツシユホルドレベルと標準スレ
ツシヨルドレベルにおける補正値を予め設定して
あり、１水平有効走査期間を所定回数を亘つて積
算し、この積算値を所定のサンプリング回数にて
除算して得られた平均値と前記標準スレツシヨル
ドレベルにおける補正値との差と前記標準スレツ
シユホルドレベルを所定の重み加重により演算し
て切替後の新たなスレツシヨルドレベルを決める
ことを特徴とする画像２値化回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60015978A JPS61175788A (ja) | 1985-01-29 | 1985-01-29 | 画像２値化回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60015978A JPS61175788A (ja) | 1985-01-29 | 1985-01-29 | 画像２値化回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61175788A JPS61175788A (ja) | 1986-08-07 |
| JPH0560146B2 true JPH0560146B2 (ja) | 1993-09-01 |
Family
ID=11903777
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60015978A Granted JPS61175788A (ja) | 1985-01-29 | 1985-01-29 | 画像２値化回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61175788A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2564310B2 (ja) * | 1987-06-26 | 1996-12-18 | 株式会社日立製作所 | 外観検査装置 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4894537A (ja) * | 1972-03-16 | 1973-12-05 | ||
| JPS4993133A (ja) * | 1972-09-15 | 1974-09-05 | ||
| JPS50123316A (ja) * | 1974-03-13 | 1975-09-27 | ||
| US4012979A (en) * | 1975-03-03 | 1977-03-22 | Computeacher Limited | Music teaching apparatus |
| JPS52156029A (en) * | 1976-06-21 | 1977-12-26 | Sony Corp | Music teaching device |
| JPS58189783A (ja) * | 1982-04-30 | 1983-11-05 | Fuji Electric Co Ltd | パタ−ン判別装置 |
| JPS5953465B2 (ja) * | 1977-07-21 | 1984-12-25 | 株式会社 サタケ | 穀物乾燥機の熱風温度自動調節装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5953465U (ja) * | 1982-09-29 | 1984-04-07 | 富士通株式会社 | ２値化回路 |
-
1985
- 1985-01-29 JP JP60015978A patent/JPS61175788A/ja active Granted
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4894537A (ja) * | 1972-03-16 | 1973-12-05 | ||
| JPS4993133A (ja) * | 1972-09-15 | 1974-09-05 | ||
| JPS50123316A (ja) * | 1974-03-13 | 1975-09-27 | ||
| US4012979A (en) * | 1975-03-03 | 1977-03-22 | Computeacher Limited | Music teaching apparatus |
| JPS52156029A (en) * | 1976-06-21 | 1977-12-26 | Sony Corp | Music teaching device |
| JPS5953465B2 (ja) * | 1977-07-21 | 1984-12-25 | 株式会社 サタケ | 穀物乾燥機の熱風温度自動調節装置 |
| JPS58189783A (ja) * | 1982-04-30 | 1983-11-05 | Fuji Electric Co Ltd | パタ−ン判別装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61175788A (ja) | 1986-08-07 |
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