JPH0559569B2 - - Google Patents

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JPH0559569B2
JPH0559569B2 JP57171675A JP17167582A JPH0559569B2 JP H0559569 B2 JPH0559569 B2 JP H0559569B2 JP 57171675 A JP57171675 A JP 57171675A JP 17167582 A JP17167582 A JP 17167582A JP H0559569 B2 JPH0559569 B2 JP H0559569B2
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  • Magnetic Record Carriers (AREA)
  • Thin Magnetic Films (AREA)
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Description

【発明の詳細な説明】
本発明は、真空雰囲気内で強磁性材料を加熱蒸
発させて得る蒸気流を支持体に対して斜め方向か
ら入射させて強磁性結晶柱を支持体に対して斜め
に形成したいわゆる斜方蒸着型磁性層を有する磁
気記録媒体の改良に関する。 近年、情報量の増大と共に、高密度磁気記録媒
体の出現が望まれており、特に理想的な高密度磁
気記録媒体として、金属薄膜型磁気記録媒体の開
発が盛んに進められている。薄膜化技術として
は、真空蒸着法、イオンプレーテイング法、スパ
ツタリング法、湿式メツキ法等の各種方法が試み
られて来た。しかし、高密度記録に適した高保磁
力媒体を安定に得るには、特公昭41−19389号に
開示された、いわゆる斜方蒸着方法がすぐれた方
法である。斜方蒸着方法とは、真空雰囲気内で、
Co,Co−Ni等の強磁性材料を加熱蒸発せしめて
得る蒸気流を高分子等から成る非磁性支持体に対
し、蒸気流の方向と支持体上に立てた法線とのな
す角が、通常45度以上の角度でもつて、支持体に
入射させて強磁性結晶柱を支持体に対して斜めに
形成する真空蒸着方法である。Co又はCo−Ni材
料を用いて1000Oe程度の高保磁力を得るには通
常、最小斜入射角度θminは約60度以上にする必
要がある。 しかるにθminを60度以上の条件で蒸着した場
合、蒸気流をマスクでさまたげる割合が急激に増
加し、支持体に付着する蒸気流の量が著しく減少
し、蒸着効率が極めて低くなつたり、また蒸着ス
ピードが低下する等の欠点が生ずる。これらの欠
点を改良する方法として酸素中蒸着法が開示され
ている。酸素中斜方蒸着法とは、酸素雰囲気下で
斜方蒸着を行わせる方法であり、本方法により保
磁力を増大させることが可能となり、従つて、
θminを小さくすることが可能となる。即ち、酸
素中斜方蒸着法は、高保磁力化又は低入射角化の
点ですぐれた方法である。しかしながら、斜方蒸
着法或いは酸素中斜方蒸着法で作成したCo又は
Co−Ni斜蒸着膜は耐錆性がまだまだ不十分であ
り、実用化への大きな障害となつていた。磁性層
の耐錆性を改善する試みとして、Crを添加する
方法が開示されている。しかし所望の耐錆性を得
る為には多量のCr添加−例えば10原子パーセン
ト(以下at%と記す)以上−が必要となるため、
磁束密度が急激に減少し電磁変換特性が著しく低
下する等の欠点を有している。 本発明者等は耐錆性及び磁気特性に優れた磁気
記録媒体を開発すべくCr添加効果につき詳細に
検討し、実験をくり返した。その結果Crと酸素
をある特定の範囲で組み合せることにより磁気特
性、耐錆性共に優れた磁気記録媒体となり得るこ
とを見い出し本発明に到つた。 本発明の磁気記録媒体は非磁性高分子フイルム
上に斜方蒸着法により作成した少なくともCo,
Ni,Cr及び酸素を含む磁性層を有する磁気記録
媒体において、前記CoとNiとの原子数比が75:
25〜95:5であつて、前記Crの含有率が2〜8at
%、前記酸素の含有率が5〜25at%且つ前記Cr
に対する酸素の原子数比が2〜10であることを特
徴とする。 本発明の磁性層におけるCoとNiとの原子数比
が上記範囲から外れて、Coの原子数比率が75未
満でNiの原子数比率が25を越えると磁気特性が
低下し、逆にCoの原子数比率が95を越えてNiの
原子数比率が5未満であると耐錆性が低下し、と
もに本発明の目的を充分に達成できなくなるので
好ましくない。 本発明における磁性層のCrの含有率が2at%未
満であると耐錆性が不十分となり、また、8at%
を超えるようになると磁束密度等の磁気特性が低
下するので好ましくない。またその酸素の含有率
が5at%未満であると耐錆性が不十分となり、
25at%を超えるようになると磁束密度等の磁気特
性が低下するので好ましくない。さらに、Crに
対する酸素の原子数比が2未満であると特に耐錆
性が不十分となり、10を超えるようになると磁束
密度等の磁気特性が低下するので好ましくない。
すなわち、磁性層のCrの含有率、酸素の含有率
およびCrに対する酸素の含有比がともに上記の
特定範囲にある場合にのみ、耐錆性および磁気特
性がともに優れた磁気記録媒体を得ることができ
るのである。 本発明における磁性層は耐錆性および磁気特性
を損わぬ範囲でCo,Ni,Cr、酸素以外の他の元
素を微量含有していてもよい。 また、本発明における磁性層としては単層、2
層以上の重層、あるいは中間層、下地層とを組合
わせた多層構成であつても良い。 さらに、実用上の諸特性を改良するための所望
の各種処理を磁性層側又は非磁性高分子フイルム
側に施してもよい。 以下、本発明を図面及び実施例により説明す
る。 図面は、本発明の磁気記録媒体を製造するため
の好ましい蒸着装置の概略断面図である。 図に示された蒸着装置は真空ポンプ9によりそ
の内部が真空にされる真空室10、この真空室1
0内部に設けられたテープ送出ロール6から送り
出されたテープ状の非磁性高分子フイルム8をテ
ープ巻取ロール7まで案内、支持するクーリング
キヤン5、加熱蒸発することにより磁性層を非磁
性高分子フイルム8に形成する蒸発材料がチヤー
ジされる2つの蒸発源1,2、およびこの蒸発源
1,2とクーリングキヤンの5の間に設けられた
マスク4からなる。ここでマスク4は非磁性高分
子フイルム8の表面に立てた法線の方向と蒸発源
からの蒸気流の方向とのなす角度θの内、最小斜
入射角θminを規定する。さらに、真空室10内
へ酸素を供給する酸素の吹き出し口3が真空室1
0内部へ開口している。また真空室10中央付近
には搬送系と蒸着部の分離を兼ねた防着板11が
設けられている。 以上のように構成された装置において、真空室
10は、真空ポンプ9によりその内部が真空にさ
れる。蒸発源1,2には蒸発材料例えば蒸発源
1,2にそれぞれCr,Co−Niがチヤージされ
る。チヤージされた蒸発材料は従来公知の加熱手
段により加熱される。この加熱手段としては例え
ば電子ビーム加熱を用いることができる。加熱さ
れた蒸発材料は融解気化し、蒸気流となつて真空
室10内部上方へ上昇し非磁性高分子フイルム8
上に蒸着する。この際酸素の吹き出し口3からは
酸素が真空室10内に導入され適度な酸素雰囲気
中で蒸着が行なわれるようになつており、形成さ
れる磁性層に所望の含有率で酸素原子が含有せし
められる。テープ送出ロール6から送り出された
非磁性高分子フイルム8はクーリングキヤン5に
案内される際に斜入射角度θが高角度(ほぼ90
度)から低角度へと変化しながらいわゆる斜方蒸
着が行なわれ最小斜入射角θminをすぎると蒸着
を終了し、テープ巻取ロール7に巻き取られる。 なお、上述の蒸着装置においては2つの独立し
た蒸発源を有する2元同時蒸着方法が採用された
が、本発明の磁気記録媒体を得るためには、この
方法に限定される必要はなく要するに所定の組成
の磁性層が形成されればよく、例えば一つの蒸発
源に所定の組成のCo−Ni−Cr合金材料を一度に
チヤージして蒸着を行なつてもよいことは言うま
でもない。 次に実施例により本発明を説明する。 〔実施例〕 非磁性高分子フイルムとして10μm厚のポリエ
チレンテレフタレート(PET)、蒸発材料として
Co90Ni10及びCrまたはCo80Ni20及びCrを用い
θminを42°に設定して加熱手段として16kwの電子
ビームを用い図面に示される蒸着装置により斜方
蒸着を行つた。非磁性高分子フイルムの搬送速度
は10m/min、真空度は10-5torr台であつた。Cr
の加熱パワーと酸素の吹き出し量を変えることに
より磁性層中のCrと酸素の含有率が異なる磁性
層を作成した。作成された磁性層の組成はオージ
ユ分析で求めた。また、膜厚は触針型膜厚計で測
定した。本実施例により得られた磁性層の膜厚は
ほぼ1500Åであつた。耐錆性は温度60℃、相対湿
度90%の恒温恒湿雰囲気中で200日間放置試験を
行い、光学ケンビ鏡で磁性膜の表面を観察しサビ
(局所的腐蝕)の有無で判定を下した。 再生出力は磁性膜の磁束密度に依存することが
知られており本発明者等の研究では良好な記録再
生特性を有する為には、斜方蒸着法による磁気記
録媒体は4000Gauss以上の磁束密度が必要である
との結果が得られている。 なお、ここでいう磁束密度とは飽和磁束密度の
ことであり、以下に記載された磁束密度の値は飽
和磁束密度の値である。 従つて、本実施例においては磁束密度を磁束と
膜厚から求め、その値が4000Gauss以上あるかど
うかで判定を下した。磁束の測定は試料振動型磁
化測定装置を用いた。 結果を下記表1及び表2に示す。 表1はCoとNiの原子数の比が90:10の場合で
あり、表2はCoとNiの原子数の比が80:20の場
合である。
【表】
【表】
【表】 サビ及び磁束密度の判定は表1と同じ
上記結果から耐錆性と磁気特性が共に優れた磁
気記録媒体はCrの含有率が2〜8at%、酸素の含
有率が5〜25at%であり、かつCrに対する酸素
の原子数比が2〜10である少なくともCo,Ni,
Cr及び酸素からなる磁性層を有する磁気記録媒
体であることがわかる。しかしながらCrと酸素
がなぜ耐錆性と磁気特性へこのような影響を与え
るのかの明確な理由は現時点では明らかではな
い。なお、上記実施例においてはCoとNiの原子
数比が80:20及び90:10のものについて記したが
CoとNiの原子数比が75:25及び95:5の場合に
おいても同様な結果が得られた。 以上、詳細に述べたように本発明の磁気記録媒
体は耐錆性及び磁気特性が共に優れ、実用上の利
用価値は極めて高い。
【図面の簡単な説明】
図面は、本発明の磁気記録媒体を製造するため
の好ましい蒸着装置の概略断面図である。 1,2……蒸発源、3……酸素吹き出し口、4
……マスク、5……クーリングキヤン、6……テ
ープ送出ロール、7……テープ巻取ロール、8…
…非磁性高分子フイルム、9……真空ポンプ、1
0……真空室。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 非磁性高分子フイルムと、該フイルム上に該
    フイルムに対して斜めに形成された強磁性結晶柱
    を有する少なくともCo,Ni,Crおよび酸素から
    なる磁性層とを有する磁気記録媒体において、 前記CoとNiとの原子数比が75:25〜95:5で
    あつて、前記Crの含有率が2〜8原子パーセン
    ト、前記酸素の含有率が5〜25原子パーセントか
    つ前記Crに対する前記酸素の原子数比が2〜10
    であることを特徴とする磁気記録媒体。
JP57171675A 1982-09-30 1982-09-30 磁気記録媒体 Granted JPS5961105A (ja)

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