JPH055785B2 - - Google Patents

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JPH055785B2
JPH055785B2 JP23245884A JP23245884A JPH055785B2 JP H055785 B2 JPH055785 B2 JP H055785B2 JP 23245884 A JP23245884 A JP 23245884A JP 23245884 A JP23245884 A JP 23245884A JP H055785 B2 JPH055785 B2 JP H055785B2
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inorganic fibers
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inorganic
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Taketami Yamamura
Masahiro Tokuse
Teruhisa Furushima
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Ube Industries Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】
本発明は主としてSi、Ti又はZr、Ｎ及びＯか
らなる無機繊維強化耐熱セラミツクス複合材料に
関するものである。 耐熱性セラミツクスは、超高温下、超高圧下あ
るいは腐蝕性環境下などの苛酷条件下で使用され
ている。しかしながら、これらの耐熱性セラミツ
クスは通常機械的衝撃に弱く、高温になると機械
的強度や耐蝕性が低下する欠点を有している。こ
れらの欠点を補うため、金属とセラミツクスを複
合させたサーメツト複合材料、あるいは溶融石
英、アルミナ、炭素などからなる連続繊維もしく
は炭化ケイ素などからなる短繊維やウイスカーと
セラミツクスとを複合させた複合材料が開発され
ている。 しかしながら、サーメツト複合材料は、それを
構成する金属が高温において酸化されやすく、ま
た軟化温度がセラミツクスに較べて低いので、十
分な高温強度が得られないため、寿命が短かい上
にその使用範囲が著しく制限されている。一方、
溶融石英、アルミナなどからなる連続繊維との複
合材料は、これら繊維の製造コストが非常に高い
のが最大の欠点である上に、溶融石英にあつては
弾性率が低く、アルミナにあつては耐熱衝撃性に
劣るため材料としてその用途が制限されている。
また、大量に生産でき、経済的にも比較的使用し
易い炭素繊維複合材料は高温酸化性環境では使用
することができない欠点が依然として残つてい
る。また炭化ケイ素などの炭化物や窒化物よりな
る短繊維およびウイスカーとの複合材料は、高温
酸化性環境においても、最も耐久性があるが、こ
れらの繊維やウイスカーは均一な太さのものが得
られずまた均質性に欠けるため、これらを用いた
複合材料は強度などの特性に均等性がない上に、
これらの繊維やウイスカーは大量生産できないた
め製造コストが高い等、経済的にも末だ多くの欠
点がある。 前記した従来のセラミツクス複合材料を改善し
た複合材料を製造する方法として、炭化物セラミ
ツクス又は窒化物セラミツクスを基材とし、有機
ケイ素高分子化合物から得られる炭化ケイ素繊維
をもつて補強してなる耐熱性セラミツクス複合材
料の製造方法が特開昭52−81309号公報に開示さ
れており、又種々のガラスあるいはアルミノシリ
ケート類を基材とし、上記の炭化ケイ素繊維をも
つて補強してなるセラミツクス複合材料の製造方
法が特開昭56−169152号公報、特開昭56−169186
号公報等に開示されている。しかしながらこの有
機ケイ素高分子化合物から得られる炭化ケイ素繊
維では、第１図に示す如く有機ケイ素高分子化合
物を紡糸、不融化処理した後、不活性ガス中は真
空中で焼成して炭化ケイ素繊維とする温度が、
1200℃の場合に引張強度、弾性率等の機械的強度
が最大となり、1300℃以上の焼成では前記機械的
強度は急激に低下してくる。この低下は1300℃以
上の温度になるとβ−SiCの微結晶が繊維全体に
わたつて出現して繊維劣化が起るといわれてい
る。 本発明者は第２図、第３図に示す如く1400℃以
上でも非結晶状態を保持でき、さらに高温領域に
おいて微結晶のゆるやかな生成により機械的強度
の緩慢な低下を示す無機繊維を用いた耐熱セラミ
ツク複合材料の開発について種々検討した結果、
本発明に到達した。すなわち本発明は (i) Si、Ｍ、Ｎ、及びＯから実質的になる非晶
質、又は (ii) 実質的にSi2N2O、Si3N4及び／又はMN1-X
の粒径が500Å以下の結晶質超微粒子、及び非
晶質のSiO2とMO2からなる集合体、又は (iii) 上記(i)の非晶質と上記(ii)の結晶質超微粒子集
合体の混合系、 （ただし、上式中のＭはTi又はZrを示し、Ｏ
＜ｘ＜１を示す） からなるケイ素、チタン又はジルコニウム、窒素
及び酸素含有無機繊維を強化材とし、炭化物、窒
化物、酸化物、ガラスセラミツクスのうちから選
ばれる少なくとも１種をマトリツクスとする無機
繊維強化耐熱セラミツク複合材料に関するもので
ある。 本発明で使用する無機繊維は下記のようにして
製造することができる。 (1) 数平均分子量が約500〜10000の、主として式
（―Si−CH2）―の構造単位からなる主鎖骨格を有
し、式中のケイ素原子は実質的に水素原子、低
級アルキル基およびフエニル基からなる群から
選ばれた側鎖基を２個有するポリカルボシラ
ン、及び (2) 数平均分子量が約500〜10000の、メタロキサ
ン結合単位（−Ｍ−Ｏ）―およびシロキサン結合単
位（―Si−Ｏ）―からなる主鎖骨格を有し、且つメ
タロキサン結合単位の全数対シロキサン結合単
位の全数の比率が30：１乃至１：30の範囲内に
あり、該シロキサン結合単位のケイ素原子の大
部分が低級アルキル基及びフエニル基からなる
群から選ばれた側鎖基を１個または２個有し、
そして該メタロキサン結合単位の金属原子の大
部分が側鎖基として低級アルコキシ基を１個ま
たは２個有するポリメタロシロキサンを、 該ポリカルボシランの（―Si−CH2）―構造単位の
全数対該ポリメタロシロキサンの（―Ｍ−Ｏ）―結合
単位の全数の比率が100：１乃至１：100の範囲内
となる量比で混合し、得られた混合物を有機溶媒
中で、且つ反応に対して不活性な雰囲気下におい
て加熱して、該ポリカルボシランのケイ素原子の
少くとも１部を、該ポリメタロシロキサンのケイ
素原子及び／又は金属原子の少くとも１部と酸素
原子を介して結合させることによつて、架橋した
ポリカルボシラン部分とポリメタロシロキサン部
分とからなる数平均分子量が約1000〜50000の有
機金属重合体を生成させる第１工程と、上記重合
体の紡糸原液を造り紡糸する第２工程と、該紡糸
繊維を張力あるいは無張力下で不融化する第３工
程と、不融化した前記紡糸繊維をアンモニア気流
中で800〜1650℃の温度範囲で焼成する第４工程
から実質的にSi、Ti、Ｎ、Ｏからなる無機繊維
又は実質的にSi、Zr、Ｎ、Ｏからなる無機繊維を
それぞれ製造することができる。 また別法として、 主として一般式 （但し、式中のＲは水素原子、低級アルキル基、
又はフエニル基を示す） で表わされる主鎖骨格を有する数平均分子量が
200〜10000のポリカルボシラン、及び一般式 MX4 （但し、式中のＭはTi又はZrを示しＸは炭素数
１〜20個を有するアルコキシ基、フエノキシ基又
はアセチルアセトキシ基を示す） で表わされる有機金属化合物を、前記ポリカルボ
シランの（―Si−CH2）―の構造単位の全数対前記有
機金属化合物の（―Ｍ−Ｏ）―の構造単位の全数の比
率が２：１乃至200：１の範囲内となる量比に加
え、反応に対して不活性な雰囲気中において加熱
反応して、前記ポリカルボシランのケイ素原子の
少なくとも１部を、前記有機金属化合物の金属原
子と酸素原子を介して結合させて、数平均分子量
が約700〜100000の有機金属重合体を生成させる
第１工程と、上記有機金属重合体の紡糸原液を造
り紡糸する第２工程と、該紡糸繊維を張力あるい
は無張力下で不融化する第３工程と、不融化した
前記紡糸繊維をアンモニア気流中で800〜1650℃
の温度範囲で焼成する第４工程からなる実質的に
Si、Ti、Ｎ及びＯからなる無機繊維、又は実質
的にSi、Zr、Ｎ及びＯからなる無機繊維をそれぞ
れ製造することができる。Ti、Zrを含有する本
発明に係る無機繊維は、炭化ケイ素繊維と比較し
て、高温時において繊維の劣化の原因となる微結
晶の生成を抑制する作用がある。 上記のような無機繊維中のTi又はZr元素の含
有量は0.5〜30重量％、特に１〜10重量％が好ま
しい。 また無機繊維は繊維そのものを単軸方向、多軸
方向に配向させる方法、あるいは平織、失子織、
模紗織、綾織などの各種織物にして使用する方
法、あるいはチヨツプドフアイバーとして使用す
る方法等がある。 なお本発明において無機繊維を製造する際の前
段階のプリカーサー繊維、すなわち、数平均分子
量が700〜100000、好ましくは1000〜50000の有機
金属重合体を紡糸して得た繊維状物を使用するこ
とも可能である。 次に本発明において使用することのできる炭化
物セラミツクスとしては、炭化ケイ素、炭化チタ
ン、炭化ジルコニウム、炭化バナジウム、炭化ニ
オブ、炭化タンタル、炭化ホウ素、炭化クロム、
炭化タングステン、炭化モリブデンなど、窒化物
セラミツクスとしては、窒化ケイ素、窒化チタ
ン、窒化ジルコニウム、窒化パナジウム、窒化ニ
オブ、窒化タンタル、窒化ホウ素、窒化アルミニ
ウム、窒化ハフニウムなど、酸化物セラミツクス
としては、アルミナ、シリカ、マグネシア、ムラ
イト、コージライトなど、ガラスセラミツクスと
してはホウケイ酸塩ガラス、高シリカ含有ガラ
ス、アルミノケイ酸塩ガラスなどがあげられる。 これらのセラミツクス粉状母材は繊維との密着
性を良くするため、少なくとも300μ以下のでき
るだけ細かい粉粒体を用いるのが有利である。 本発明に係る無機繊維又は繊維状有機金属重合
体のマトリツクス中の混合割合は体積百分率で10
〜70％が好ましい。 次に本発明において複合の際に必要により添加
される結合剤としては、セラミツクス粉状母材を
高密度に焼結するための結合剤と、セラミツクス
粉状母材と無機繊維の密着性を高めるための結合
剤とがある。前者はそれぞれ炭化物、窒化物、酸
化物、ガラスセラミツクスを焼結する際に用いら
れる通常の結合剤を使用することができる。例え
ば炭化ケイ素の結合剤としてはホウ素、炭素、炭
化ホウ素等があげられる、窒化ケイ素の結合剤と
しては酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸
化イツトリウム、窒化アルミニウム等があげられ
る。後者は、ジフエニルシロキサン、ジメチルシ
ロキサン、ポリボロジフエニルシロキサン、ポリ
ボロジメチルシロキサン、ポリカルボシラン、ポ
リジメチルシラザン、ポリチタノカルボシラン、
ポリジルコノカルボシランなどの有機ケイ素ポリ
マーおよびジフエニルシランジオール、ヘキサメ
チルジシラザンなどの有機ケイ素化合物が良好に
使用することができる。 セラミツクス粉状母材と無機繊維の密着性を高
めるための結合剤は、加熱により主として、SiC
またはSi3N4に転換するがこれらはセラミツクス
粉状母材の表面で反応を起し、新らたな炭化物、
窒化物または酸化物を形成するため、セラミツク
ス粉状母材と無機繊維との密着性がきわめて優れ
たものとなる。またこれらの有機ケイ素化合物、
有機ケイ素ポリマーは前者の通常の結合剤と同様
にセラミツクス粉末母材の焼結性をも高める働き
をする。このため、これらの添加は高密度、高強
度の複合材料を製造するためには大変有利であ
る。しかしながら、セラミツクス粉状母材と無機
繊維の強固な密着を得ることが可能な場合には結
合剤を添加する必要はない。 以上述べた結合剤の添加量はその添加効果を充
分得ることのできる範囲でよく通常0.5〜20wt％
が好ましい。 本発明に係る無機繊維強化耐熱セラミツク複合
材料は下記の方法により製造することができる。 先づ、セラミツクス粉末母材と無機繊維との集
合体を得る方法は種々あり、特にセラミツクス粉
末母材またはセラミツクスと結合剤よりなる混和
体に繊維や埋設する方法や、繊維と上記セラミツ
クス粉末母材または上記混和体を交互に配設する
方法や、あらかじめ繊維を設置しておき、その間
隙に上記セラミツクス粉末母材または上記混和体
を充填する方法などによれば比較的容易に集合体
を得ることができ、本発明においても使用するこ
とができる。次に、これらの集合体を焼結する方
法としてはラバープレス、金型プレスなどを用い
て前記集合体を50〜5000Kg／cm2の圧力で加圧成形
した後、加熱炉で800℃〜2400℃の温度範囲で焼
結する方法や、50〜500Kg／cm2の圧力で加圧した
ままで800℃〜2400℃の温度範囲でホツトプレス
焼結する方法などがあり、本発明においても使用
することができる。上記焼結方法における雰囲気
としては、真空中、あるいは、窒素、アルゴン、
一酸化炭素、水素などの不活性ガスのうちから選
ばれる少なくとも１種以上からなる雰囲気とす
る。 このようにして得られた複合材料焼結体は以下
に述べる一連の処理を少なくとも１回以上施すこ
とにより、さらにより高密度な焼結体を得ること
ができる。すなわち焼結体を減圧下で有機ケイ素
化合物又は有機ケイ素ポリマーを必要により有機
溶媒に溶解させた溶液に浸して、該溶液を焼結体
の粒界および気孔に含浸させ、前記含浸後の焼結
体を加熱する一連の処理により、より高密度な焼
結体を得ることができる。含浸した有機ケイ素化
合物又は有機ケイ素ポリマーは、加熱により主と
してSiO2またはSi3N4に転換する。これらは複合
焼結体の粒界および気孔に存在し、気孔を減少さ
せると同時にセラミツクス母材中に強固な結合を
形成するため機械的強度を向上させる。 また上記の有機ケイ素化合物又は有機ケイ素ポ
リマーはそのまま、必要により有機溶媒に溶解さ
せた溶液を塗布して、開気孔を無くしたり表面コ
ーテングをすることによつても機械的強度を向上
させることができる。 必要に応じて用いられる有機溶媒としては上記
の化合物を可溶する溶媒、たとえばベンゼン、ト
ルエン、キシレン、ヘキサン、エーテル、テトラ
ヒドロフラン、ジオキサン、クロロホルム、メチ
レンクロリド、リグロイン、石油エーテル、石油
ベンヂン、DMSO、DMFなどを用いて溶解し、
より粘性の少ない溶液として使用することができ
る。加熱処理は800〜2500℃の温度範囲で実施す
るか、真空中あるいは窒素、アルゴン、一酸化炭
素、水素素などの不活性ガスのうちから選らばれ
る少なくとも１種からなる雰囲気で行なう。また
上記一連の含浸あるいは塗布はこの操作が可能な
限り何回でもくり返し実施することができる。こ
の無機繊維を複合材の補強に使用するとより機械
的強度のむらの少ない品質の安定したセラミツク
ス複合材料を得ることができるようになつた。更
に従来焼成温度として利用できなかつた焼結温度
領域を使用することができるため広範囲のセラミ
ツクス複合材料強化用材料として使用できること
が可能となつた。 以下実施例によつて本発明を説明する。 無機繊維（）の製法 ５の三口フラスコに無水キシレン2.5と
ナトリウム400ｇとを入れ、窒素ガス気流下で
キシレンの沸点まで加熱し、ジメチルジクロロ
シラン１を１時間で滴下した。滴下終了後、
10時間加熱還流し沈殿物を生成させた。この沈
殿を過し、まずメタノールで洗浄した後、水
で洗浄して、白色粉末のポリジメチルシラン
420ｇを得た。 他方、ジフエニルジクロロシラン759ｇとホ
ウ酸124ｇを窒素ガス雰囲気下、ｎ−ブチルエ
ーテル中、100〜120℃の温度で加熱し、生成し
た白色樹脂状物を、さらに真空中400℃で１時
間加熱することによつて530ｇのポリポロジフ
エニルシロキサンを得た。 前記のポリジメチルシラン250ｇに上記のポ
リボロジフエニルシロキサン8.27ｇを添加混合
し、還流管を備えた２の石英管中で窒素気流
下で350℃まで加熱し10時間重合し、ポリカル
ボシラン200ｇを得た。 上記のポリカルボシラン80ｇとチタンテトラ
イソプロポキシド８ｇとを秤取し、この混合物
を窒素ガス雰囲気下で340℃で３時間撹拌しな
がら重合を行ないケイ素およびチタンを含有す
るポリチタノカルボシランを得た。得られたポ
リマーは330℃１時間窒素気流下で凝縮してブ
ロツク状の固体を得た。 上記で得られたポリチタノカルボシランを紡
糸装置を用いて270℃に加熱溶融して300μｍの
口金より、400ｍ／minの巻取り速度で溶融紡
糸して繊維を得た。この繊維を無張力下で空気
中で室温から15℃／時の昇温速度で昇温し、
170℃で１時間保持して不融化処理した。次に、
この不融化糸を、アンモニア気流中で無張力下
で1300℃まで6.5時間で昇温し1300℃で１時間
保持して焼成した。主としてSi、Ti、Ｎおよ
びＯを含む無機繊維（）を得た。この無機繊
維のチタン含有量は３重量％であつた。 無機繊維（）の製法 前述のようにして得たポリカルボシラン80ｇ
ｒにジルコニウムエトキシド10ｇを添加した以
外は全く同様の方法でポリジルコノカルボシラ
ンを得た。このポリマーを紡糸、不融化、焼成
を行なうことにより主として、Si、Zr、Ｎ及び
Ｏを含む無機繊維（）を得た。この無機繊維
のジルコニウムの含有量は６重量％であつた。 実施例 １ 平均粒径0.2μｍのβ−炭化ケイ素粉末に約３重
量％の炭化ホウ素および約10重量％のポリチタノ
カルボシラン粉末を添加しよく混合したものと、
約40重量％の長さ50mm太さ10〜15μｍの一方向に
均一に配列させた本発明に用いられる無機繊維
（）とを交互に積層させ、金型プレスで500Kg／
cm2でプレス成形した。この成形体をアルゴン雰囲
気中で200℃／hrの昇温速度で1550℃に加熱し、
１時間保持して無機繊維強化炭化ケイ素複合焼結
体を得た。上記と同様な方法でポリカルボシラン
のみから得られる炭化ケイ素繊維を用いて製造し
た炭化ケイ素繊維強化炭化ケイ素複合焼結体およ
び無機繊維とポリチタノカルボシラン粉末を含ま
ない炭化ケイ素単味焼結体との機械的強度の比較
を第１表に示した。ただし表中の抗折力は繊維に
直角な方向で測定した値である。 この表からも明らかなように、本発明に用いら
れる無機繊維（）で強化された炭化ケイ素焼結
体はポリカルボシランのみから得られた炭化ケイ
素繊維を用いた焼結体よりも抗折強度が室温で約
1.5倍の強度を示し、1400℃の抗折強度において
は約２倍の強度となつた。炭化ケイ素単味の抗折
強度に対しても室温、および1400℃でも約３倍の
抗折強度を示し、高温で優れた特徴をもつことが
明らかである。
【表】 実施例 ２ 平均粒径0.5μｍのα−窒化ケイ素粉末に約２重
量％のアルミナ、約３重量％のイツトリア、約３
重量％の窒化アルミニウムをよく混合した粉末
を、約10重量％の長さ50mm、太さ10−15μｍの一
方向に均一配列させた無機繊維（）と交互に積
層させた。この時無機繊維を0゜／90゜の多軸方向
に積層させて、ホツトプレス装置により1750℃、
300Kg／cm2で30分間保持して、無機繊維強化窒化
ケイ素複合焼結体を得た。同様な方法で、無機繊
維を含まない窒化ケイ素単味焼結体を得た。これ
らの焼結体の室温および1300℃の抗折強度を比較
した。
【表】 室温では約20％の強度の向上を示したが、1300
℃では窒化ケイ素単味焼結体では急激な強度低下
を示すが、本発明の無機繊維強化窒化ケイ素複合
焼結体は高温構造材料として充分な強度を保持し
た。 実施例 ３ 平均粒径0.2μｍの窒化アルミニウム粉末に、約
10重量％の酸化カルシウムを添加したものに、約
15重量％のポリジルコノカルボシランのキシレン
溶液〔（ポリジルコノキサン／キシレン＝１（重
量）〕を加えてよく混和し、キシレンを蒸発させ
てフレーク状とし、325メツシユフルイを通して
粒をそろえた混和体と、この混合体に対して約30
重量％の無機繊維（）を平織（折込み、経糸６
本、緯糸６本／cm2、ヤーン500本）したものを交
互に積層してホツトプレス装置により1800℃、
200Kg／cm2で１時間保持して無機繊維強化窒化ア
ルミニウム複合焼結体を得た。 ポリジルコノカルボシランおよび無機繊維
（）を含まない、窒化アルミニウム単味の焼結
体を同様な方法により得た。 本発明で得られた無機繊維強化窒化アルミニウ
ム複合焼結体の室温抗折強度は50Kg／mm2であつた
が、窒化アルミニウム単味焼結体のそれは28Kg／
mm2であり無機繊維強化窒化アルミニウム複合焼結
体が高い抗折強度を示した。 実施例 ４ 平均粒径44μｍのコーニングガラス製のホウケ
イ酸塩ガラス（7740）粉末に、約45重量％の無機
繊維（）を約10mmの長さに切断したチヨツプド
フアイパーを添加し、イソプロパノール中によく
分散させ混合したスラリーを、前記無機繊維を一
方向に均一に配列させたものと交互に積層させ
て、乾燥後、ホツトプレス装置により1300℃、
750Kg／cm2で約10分間アルゴン雰囲気下に処理す
ることにより無機繊維強化ガラス複合材を得た。
この無機繊維強化ガラス複合材の抗折強度を測定
したところ18.5Kg／mm2となり、同じ条件でポリカ
ルボシランのみから得られる炭化ケイ素繊維を用
いて得られた複合ガラスセラミツクスの抗折強度
は14.2Kg／mm2であつた。 実施例 ５ 平均粒径0.5μｍのアルミナに酸化チタン２重量
％を混合し、これに焼成して無機繊維（）のプ
レカーサーである有機金属重合体繊維を15重量％
アルミナ製ボールミル中でよく混合した。プレカ
ーサー繊維の平均長さは約0.5mmであつた。この
ものをホツトプレス装置により2000℃で焼結させ
た。同じ方法でプレカーサー繊維を入れないで得
られた焼結体と本発明で得られた無機繊維強化ア
ルミナ焼結体のスポーリング試験を平板（40×10
×３mm）を用いて1500℃に保持した炉内に入れ20
分間急熱後取り出して20分間強制空冷を行なつて
亀裂の発生を調べた。その結果本発明の無機繊維
強化アルミナ焼結体は亀裂発生回数９であり、強
化されていないアルミナ焼結体は２回であり、本
発明の耐スポーリング性は４倍以上の値を示し
た。 実施例 ６ 実施例１で得られた本発明の無機繊維強化炭化
ケイ素複合焼結体を、ポリチタノカルボシラン１
重量部をキシレン0.3重量部に溶解した溶液中に
約１×10-1mmHgの減圧下で浸し、ついで100Kg／
cm2の圧力をかけて、含浸を行なつた。この含浸後
の焼結体をアルゴン雰囲気中で1550℃、１時間加
熱処理した。この操作を合計３回行ない、得られ
た焼結体の見かけ密度は含浸前の2.88ｇ／cm3から
3.10ｇ／cm3まで上つた。この焼結体の室温での抗
折強度は62Kg／mm2まで上つた。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に係る無機繊維（）（実線）
とポリカルボシランのみから得られた炭化ケイ素
繊維（点線）との耐熱試験結果を示す。第２図
は、本発明に係る無機繊維（）の1000℃、1300
℃、1400℃、1650℃焼成におけるＸ線回折図であ
る。第３図は本発明に係る無機繊維（）の1000
℃、1300℃、1400℃、1650℃焼成におけるＸ線回
折図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ (i) Si、Ｍ、Ｎ、及びＯから実質的になる非
    晶質、又は (ii) 実質的にSi2N2O、MN、Si3N4及び／又は
    MN1-Xの粒径が500Å以下の各結晶質超微粒
    子、及び非晶質のSiO2とMO2からなる集合体、
    又は (iii) 上記(i)の非晶質と上記(ii)の結晶質超微粒子集
    合体の混合体、 （ただし、上式中のＭはTi又はZrを示し、Ｏ
    ＜ｘ＜１を示す） からなるケイ素、チタン又はジルコニウム、窒素
    及び酸素含有無機繊維を強化材とし、炭化物、窒
    化物、酸化物、ガラスセラミツクスのうちから選
    ばれる少なくとも１種をマトリツクスとする無機
    繊維強化耐熱セラミツク複合材料。
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