JPH0556490B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 Ａ 産業上の利用分野 本発明は、封止された包囲体内に液体と接触す
る表示電極を有する電気光学表示セル及びその製
造方法に係る。

Ｂ 従来技術 封止された包囲体内に液体と接触する表示電極
を有する電気光学表示セルは、概して、表示効果
を生ぜしめるために、液晶又はエレクトロクロミ
ツク材料のいずれかを用いている。いずれの場合
に於ても、表示セルをその動作寿命に亘つて適切
に動作させるためには、溶液の純度が極めて重要
である。不純物は、溶液の構成成分と化学的に反
応したり、セルの動作を電気化学的に防害したり
することがある。

不純物の制御に於ては、溶液の初めの構成成分
が純粋であるだけでなく、セルの容器が組立ての
前に完全に清浄であつて、溶液の充填後に密閉さ
れることが重要である。セルを充填しそして封止
させる各工程は、例えば、封止体又は雰囲気の構
成成分により、溶液を汚染させることがある。多
くの封止工程に於けるもう１つの欠点は、硬化、
ガラス・フリツトの再溶融、又はろう付けに用い
られる熱が構成成分の熱分解又は他の熱損傷をも
生じることである。充填工程中に周囲雰囲気にさ
らされた場合には、気体が溶液中に溶解し、後に
セル内に気泡が形成されることもある。

従来技術に於て、表示セルを充填しそして封止
するための極めて多くの代替的方法が開示されて
いる。例えば、英国特許第1531479号明細書は、
エレクトロクロミツク・セルの鋼の裏面プレート
中に形成された充填用開孔を示している。充填
後、上記開孔は、該開孔の上及び周囲に於て上記
裏面プレート上に接着剤により結合される上面プ
レートによつて封止される。米国特許第4135789
号明細書は、液晶セルのガラスの前面プレート中
の充填用開孔を示しており、該開孔は、溶融ガラ
ス・フリツトを用いて然るべき位置に融着され
る、キヤツプを有するガラスのプラグによつて封
止される。米国特許第4239350号明細書は、エポ
キシ樹脂を用いて然るべき位置に結合されたガラ
スのプラグとプレートとの組合せを示している。
仏国特許公開第2505069号明細書は、液体で充填
された表示装置のガラスのカバー・プレート中の
充填用開孔の上に樹脂により結合されている、ポ
リテン及び金属の円板の組合せを示している。

又は、セルをそれらの側壁を経て充填すること
もでき、例えば、米国特許第4199228号明細書は、
幅の狭いガラスの側壁中の充填用ガラス管によつ
て充填されるエレクトロクロミツク・セルを示し
ている。上記充填用の管は、その外方端部を溶融
させることによつて、封止される。米国特許第
4188095号明細書は、エポキシ樹脂より成る側壁
中の充填口が後にろうで封止される表示セルを示
している。

上述の封止材料の他に、充填用開孔を直接封止
するために樹脂材料を用いることも知られてい
る。英国特許公開第2046935A号明細書に於ては、
エレクトロクロミツク・セルの側壁が２重のエポ
キシ樹脂のスペーサ及び封止材料により形成さ
れ、その内方部分が電解液との反応によつて硬化
される。充填用開孔を封止するために、同一の樹
脂の封止材料が用いられる。特開昭55−138723号
明細書に於ては、エレクトロクロミツク・セル
が、樹脂で被覆された金属の裏面プレート及びガ
ラスのカバーによつて形成されている。上記プレ
ートは、流体をセル中に注入させるための開孔を
有している。該開孔の端部も樹脂で被覆されてお
り、充填後、上記樹脂を該開孔の周囲に溶融さ
せ、更に樹脂を付着することによつて封止され
る。

又、純粋に機械的な動作を用いたエラストマに
よる閉鎖により表示セルを設けることも知られて
いる。欧州特許公開第0003145−A1号明細書は、
各前面プレートに１つ宛の２つの充填用開孔を設
けられているサンドイツチ構造より成る、液体を
含む表示装置を示している。共通のエラストマの
プラグが両方の開孔中に通されて、それらを封止
する。単一の充填用開孔を有する代替的配置も記
載されており、その場合には、封止を行うプラグ
が、充填用開孔を覆うように、前面プレートの外
側のチヤネル状の締め金中に通される。

欧州特許公開第0112945−A1号明細書に於て
は、エラストマによる閉鎖を用いたもう１つのエ
レクトロクロミツク表示装置が開示されている。
その場合には、セルが満たされたとき、充填用開
孔の上にエラストマの膜が配置され、膨張を吸収
するために可撓性を維持するように然るべき位置
に締付けられる。

Ｃ 発明が解決しようとする問題点 上述の如き従来技術に於ては、セルを封止する
ことによりセルの溶液の汚染を最小限にする試み
が成されているが、それらの方法に於ては、溶液
が封止材料又は熱サイクルにしばしばさらされ
て、有害な場合がある。純粋に機械的な不活性の
閉鎖が用いられている場合でも、溶液が、少くと
も充填口に於て、周囲雰囲気にさらされる期間が
常に存在する。そのときに溶液中に何らかの気体
が溶解すれば、酸化の如き化学的問題が生じるだ
けでなく、表示装置の動作又は外観を妨げること
になる気泡が後に形成される虞れがある。

Ｄ 問題点を解決するための手段 本発明は、封止された包囲体内に液体と接触す
る表示電極を有する電気光学表示セルに於て、上
記包囲体が、透明な窓を有する不浸透性のカバー
と、上記包囲体の壁の一部を形成する硬い構造体
部材と、上記カバーと上記構造体部材との間の封
止体と、上記包囲体の外側と内側との間に延びる
エラストマのプラグとを有し、該プラグが、上記
包囲体を完全に封止するように、少なくとも一部
に於て閉塞している、少なくとも１つの充填用貫
通孔を有することを特徴とする、電気光学表示セ
ルを提供する。

本発明は又、封止された包囲体内に液体と接触
する表示電極を有する電気光学表示セルを製造す
るための下記(イ)乃至(ハ)の工程から成る方法を提供
する。

(イ) 透明な窓を有する不浸透性のカバーと、上記
包囲体の壁の一部を形成する硬い構造体部材
と、上記カバーと上記構造体部材との間の封止
体と、上記包囲体の外側と内側との間に延びる
エラストマのプラグとを有する、予め封止され
た包囲体を形成する工程。

(ロ) 中空の針手段を上記プラグに貫通させ、該針
手段を介して、上記包囲体内の残留気体を除去
し且つ上記液体を包囲体内に導入することによ
つて、上記セルを充填する工程。

(ハ) 上記針手段を上記プラグから引抜き、上記針
手段によつて形成された貫通孔を少なくとも一
部に於て閉塞させることによつて、上記包囲体
を再び封止する工程。

セルの容器をこのようにエラストマ材料を用い
て予め封止することにより、溶液を雰囲気にさら
すことなく、針を通してセルを排気及び充填させ
ることができる。概して、プラグ中の貫通孔は閉
塞して、適当な自己封止された閉鎖を生じるが、
そのような貫通孔を確実に閉塞させるために、上
記針手段を引抜くときに、上記プラグを機械的に
締付けることが好ましい。

上記針手段は、残留気体を除去するための排気
針と、上記液体を導入するための充填針との２本
の別個の針を含むことが好ましい。次に、上記液
体が導入されてから上記充填針が除去される前
に、上記排気針が引抜かれる。それから、機械的
な締付けが２段階で行われ、第１段階に於ては、
排気針が引抜かれた後に該排気針により生じた貫
通孔に跨つて、そして第２段階に於ては、続いて
充填針が引抜かれた後に該充填針により生じた貫
通孔に跨つて行われる。２つの同中心の管の如き
代替的な針構造体も考えられるが、より大きい貫
通孔が形成されることになり、閉鎖がより難しく
なる。２本の針を用いる好ましい方法に於ては、
充填針に圧力を維持することができ、針が完全に
引抜かれる前に、プラグが針により生じた貫通孔
に跨つて締付けられる。勿論、針自体を移動させ
ても、又は静止した針から包囲体を移動させて
も、針をプラグから引抜くことができる。

実際に於ては、初めに包囲体の構成素子が極め
て清浄でなければならず、包囲体は、排気されて
から、不活性ガスでパージされた後、充填が開始
される前に再び排気されることが好ましい。又
は、セルの組立てを不活性雰囲気中で行つて、単
に充填前にセル中の気体を排気することも可能で
ある。

セルの準備及び充填に於ては、気体が容易に排
気されそして気泡が何ら捕捉されないよう、プラ
グが包囲体の最上部になるように、セルを配向さ
せることが好ましい。

本発明の電気光学表示セルは、封止された包囲
体内に液体と接触する表示電極を有し、上記包囲
体は、透明な窓を有する不浸透性のカバーと、上
記包囲体の壁の一部を形成する硬い構造体部材
と、上記カバーと上記構造体部材との間の封止体
と、上記包囲体の外側と内側との間に延びるエラ
ストマのプラグとを有し、該プラグは、上記包囲
体を完全に封止するように、少なくとも一部に於
て閉塞している、少なくとも１つの充填用貫通孔
を有している。

本発明の電気光学表示セルの一実施例に於て
は、上記の硬い構造体部材は、上記包囲体の側壁
を形成し且つプラグが貫通しているフレームであ
り、上記包囲体は更に、表示電極を支持する基部
構造体及び該基部構造体と上記フレームとの間の
封止体を有しており、上記の２つの封止体は圧縮
による封止体であり、上記セルは、上記カバー、
上記フレーム、及び上記基部構造体を相互に締付
けるための締付手段を有している。

勿論、プラグがカバーの一部又は基部構造体に
配置されており、又上記カバー又は基部構造体が
側壁と一体的に形成されている、代替的なセル構
造体も可能である。

プラグを別個の部材として形成することも可能
であるが、封止体及びプラグは、フレームの周囲
に一体的に設けられたエラストマ材料の成形体で
あることが好ましい。エラストマ材料は、液体と
反応する虞れのある金属のフレームの使用を容易
にするために、少くとも液体と接触するフレーム
の内側表面上に延びることができる。

フレームは、プラグが配置されている頂点を有
する包囲体を限定していることが好ましい。これ
は、セルが前述の如く充填のために配向されたと
きに、気体の排出を容易にする。

前述の如く、プラグ部分は、貫通孔が確実に閉
塞するように、機械的に締付けられることが好ま
しい。プラグが排気針及び充填針により形成され
た２つの貫通孔を有している、好ましいセル構造
体に於ては、基部構造体に装着されている２つの
ねじによつて締付けが行われ、それらのねじは、
各々の貫通孔が確実に閉塞するように、プラグを
圧縮する。

一体的なエラストマ成形体は、セルの封止及び
充填手段を設けるとともに、セル中の液体の膨張
を吸収するためにも用いることができる。フレー
ム内の領域が表示電極領域と膨張領域とに分割さ
れるように、フレームの側壁部分よりも低い高さ
の横方向のバーをフレームに設けることによつ
て、液体の膨張又は収縮を吸収するように撓むこ
とができる膜が形成されるように、上記膨張領域
に跨つて、エラストマ成形体を拡張することがで
きる。

一体的なエラストマ成形体に関する本発明のも
う１つの利点は、例えば、表面に表示電極が形成
されている半導体チツプと、該チツプのための別
個の支持体とより成る基部構造体を有する表示セ
ルに於て得られる。基部構造体とフレームとの間
の封止体は、液体がチツプの表面に限定されるよ
う、フレームを該チツプに対して封止させるよう
に配置されることが好ましい。その結果、Ｏ型リ
ング状の封止体を用いた場合よりも、チツプに損
傷を与える虞れを最小限に減少させて、チツプの
領域を最小限に保つことができるという利点が得
られる。

上記の一体的なエラストマ成形体に於ける１つ
の態様に於ては、溶液及び半導体チツプ上に形成
された表示電極の配列体を有する電気光学表示セ
ルに於て、上記チツプは像を表示するように電極
を動作させるための集積回路を含み、上記セルは
更に、半導体チツプのための硬い支持体と、透明
な窓を有するカバー・プレートと、表示電極の配
列体を包囲するための金属フレームと、少くとも
該フレームの内側並びに上面及び底面を被覆する
不活性のエラストマの被膜と、フレームの底面上
の被膜が半導体チツプに対して封止されて導電性
溶液が半導体チツプの上面に限定されるように、
上記溶液のための包囲体を形成するために、上記
フレーム、カバー・プレート、及び支持体を相互
に締付けるための締付手段とを有している電気光
学表示セルが得られる。

又、上記の一体的なエラストマ成形体に於ける
膨張のための配置を用いたもう１つの態様に於て
は、像を表示するための表示電極と、表示電極を
液体下に封入するための封止された包囲体とを有
する、液体を充填された電気光学表示セルに於
て、上記包囲体は、少くとも１つの開孔を有する
硬い壁構造体と、上記開孔を封止し且つ液体の膨
張及び収縮を吸収するように撓むことができるエ
ラストマの膜と、上記膜を外部から封入し且つ上
記壁構造体に対して封止されている、気体を充填
された不浸透性のチエンバとを有している、電気
光学表示セルが得られる。好ましいセル構造体に
於ては、これは、膨張膜に対向する盲孔を基部構
造体に設け、上記盲孔の周囲に於て上記基部構造
体に対して封止されて上記チエンバを形成する封
止面を更に上記膨張膜の周囲に有するエラストマ
成形体を設けることによつて得られる。

Ｅ 実施例 第１図及び第２図は各々、本発明の電気光学表
示セルを、分解された状態及び組立てられた状態
に於て示している。示されているセルは、水溶液
中のビオロゲンをエレクトロクロミツク材料とし
て用いている、エレクトロクロミツク型のセルで
ある。ビオロゲンは、１，1′−ジ−ヘプチル−
４，4′−ビピリジニウム燐酸塩及び次亜燐酸塩の
混合物である。欧州特許公開第0083668−A1号明
細書は、触媒作用を有する金属イオンを含む、上
記溶液の組成について記載している。

表示セルは、シリコン・チツプ１１の上面に形
成された、個々にアドレス可能な銀の表示電極
（第１図に於ては、個々に示されていない。）の矩
形のマトリツクス１０を中心部に有している。上
記マトリツクスに於ける各電極は、集積回路技術
によりチツプ１１中に形成されている、下の
FETマトリツクスに於ける１つのFETに接続さ
れている。それらの電極及びFETのマトリツク
スは、欧州特許公開第0112417−A1号に記載され
ている如き、薄膜製造技術により形成される。銀
の電極の間及び周囲に於けるチツプ１１の上面
が、該チツプの縁端部に於ける多数のパツド１２
を除き、ポリイミドの２重層により表面安定化さ
れている。それらのパツドは、ブリツジ・コネク
タ（図示せず）により、可撓性のテープ・ケーブ
ル１４の硬いテープ・ケーブル部分１３に、外部
との電気的接続を与える。

チツプ１１及び硬いテープ・ケーブル部分１３
は、それらの構成素子を正確に配置するように浮
彫りされている、アルミニウムの支持体１５によ
り支持されている。ヒート・シンク及び加熱装置
の組立体１６が、支持体１５の裏側にボルト付け
されており、表示装置の動作温度を制御する。

表示セルの側壁は、後述する如く、表示装置の
ための封止体、充填用配置、及び膨張用配置を与
える、エラストマで被覆された金属のフレーム構
造体１７により形成されている。セルのもう１つ
の重要な構成素子は、対向電極１９を付着されて
いる、ガラスのカバー・プレート１８である。対
向電極は、チタン及び金の層の上に付着された、
アクリル結合剤中に於ける白金黒の分散系より成
る。その導電層は、カバー・プレート１８の縁端
部へ延び、該縁端部に於て、シリコーン樹脂のブ
ロツクの表面上に金属の積層体を有する型の圧縮
可能な導体即ち対向電極コネクタ２０に接触して
いる。導体２０は、フレーム構造体１７中の開孔
を通り、カバー・プレート１８により圧縮される
ことによつて、硬いテープ・ケーブル部分１３上
の導体の１つと接触している。

４つの締付けボルト２１が、カバー・プレート
１８を支持体１５に締付けて、それらの間に、導
体２０だけでなく、エラストマで被覆されたフレ
ーム構造体１７も圧縮している。カバー・プレー
ト１８、フレーム構造体１７の内壁、及びチツプ
１１により形成された、封止されている領域内
に、エレクトロクロミツク溶液が密閉される。

以上に於て、表示セルの基本的構成について述
べたが、次に、第３図乃至第５図を参照して、フ
レーム構造体１７について詳述する。それらの図
から理解されるように、フレーム構造体１７の硬
い部分は、基本的に矩形である金属のフレーム３
０である。フレーム３０は、実質的にその表面全
体に於て、トランスフア成形法により、不活性の
フルオロカーボン・エラストマ樹脂の被膜３１で
被覆されている。そのように被覆されていない唯
一の部分は、締付ボルト２１を受けるがボルト穴
である。

フレーム構造体１７は、エレクトロクロミツク
溶液を保持するための浅いチエンバを限定するよ
うに、中心が空いている。より低い高さの横方向
のバー３３が、上記チエンバを、主要表示チエン
バ３４と、膨張及び充填チエンバ３５とに分割し
ている。主要表示チエンバ３４は、表示電極のマ
トリツクス１０を包囲するように、底が空いてい
る。対向電極１９の能動的張出部分の下に位置し
ているチエンバ３５は、底部が膨張膜３６により
閉鎖されている。

チエンバ３５の頂点３７に於て、フレーム３０
が部分的に切断されており、そのフレームの厚さ
以外の壁の厚さが、エラストマのプラグ３８によ
り形成されている。このプラグ３８中の貫通孔に
よつて、セルが、後に第６図を参照して詳述され
るように、充填される。

第３図の上面図及び第４図の断面図に於て最も
明確に示されているように、エラストマの被膜３
１は、カバー・プレート１８に対して封止するた
めのうね状封止体３９及び４０を設けるように成
形されている。幅の広い内側の封止体３９がチエ
ンバ３４及び３５を包囲しており、更に第２の封
止体４０がフレーム構造体及びボルト穴３２の周
囲に延びている。

第５図に示されているように、フレーム構造体
１７の裏側に於ては、幅の広いうね状封止体４１
が、表示開孔を包囲し、シリコン・チツプ１１に
対して封止している。裏側に於ても、より細い第
２のうね状封止体４２がフレーム構造体１７の最
縁端部及びボルト穴３２の周囲に延びている。更
に、もう１つの第２の封止体４３が膨張膜３６を
包囲している。それらの第２の封止体４２及び４
３は、支持体１５及び硬いテープ・ケーブル部分
１３に対して封止している。

膨張膜３６は、封止体４３により包囲されてい
る、支持体１５中の盲孔５０に対向して配置され
ている。比較的薄い膨張膜３６を透過した蒸気
は、封止体４３及び盲孔５０により保持される。
その蒸気トラツプ中に蒸気が蓄積すれば、更に蒸
気が進入しないようになる。

次に、第６図及び第７図を参照して、表示セル
の組立て及び充填について述べる。

セルを組立てる前に、第１図乃至第５図に示さ
れているすべての構成素子が適当な溶剤を用いて
完全に清浄化され、適当であれば、脱イオン水中
で圧力洗浄されて、窒素を用いて送風乾燥され
る。シリコン・チツプの場合には、酸による洗
浄、フオトレジストの除去、及びスパツタ・エツ
チングも用いられる。

それから、それらの構成素子が、清浄な部屋
（クラス１００）に於て、次の順序で組立てられ
る。支持体１５が適当な取付装置に配置され、硬
いテープ・ケーブル部分１３が然るべき位置にね
じ止めされる。次に、チツプ１１が、支持体１５
上の相補的凹所中に配置され、位置決めのための
縁端部に対してバイアスされる。フレーム構造体
１７がチツプの上に配置され、圧縮可能な導体即
ち対向電極コネクタ２０がフレーム構造体１７の
１つの角部に於ける開孔に挿入される。それか
ら、付着された対向電極１９を担持するカバー・
プレート１８が、フレーム構造体の上部に配置さ
れる。最後に、４本のボルト２１が、カバー・プ
レート、フレーム構造体、及び支持体の整合され
た締付開孔中に挿入され、所定のトルクで同時に
締付けられる。

この段階に於て、予め封止されたセル包囲体が
完成され、清浄な部屋から移すことができる。充
填を開始する前に、組立体が裏返され、２本の小
さな締付ねじ５１が支持体１５のねじ切りされた
開孔５２中にねじ込まれる。

それから、セルが、第７図に概略的に示されて
いる、特定の目的のための充填装置中に、頂点３
７が最上部になるように、垂直に配向される。説
明し易くするために、第６図に於ては、セルは水
平に示されている。充填装置には、２本の注射針
６０及び６１が設けられている。針６０は、充填
用の針であり、充填バルブ６２及び６３並びにポ
ンプ６５により、電解液の容器６４に選択的に連
結可能である。ポンプ６５の働きにより、電解液
容器６４から、加圧された電解液が針６０へ供給
される。又、針６０はバルブ６７により、加圧さ
れたアルゴン又は他の不活性ガスの源６６にも選
択的に連結可能である。針６１は、排気用の針で
あり、バルブ６９を経て直接に、又は封止された
オーバ・フロー・タンク７０並びにオーバ・フロ
ー・バルブ７１及び７２を経て、真空ポンプ６８
に連結可能である。充填針６０は、セルに接触す
る前に、先に行われた処理による残渣を除去する
ために、アルゴンでパージされる。

両方の針６０及び６１は、セルから膨張及び充
填チエンバ３５の外側へ延びるエラストマのプラ
グ３８に対向するように配置される。それらの針
は、或る小さな角度で相互に離隔するように配置
されている。概略的に示されているセル包囲体７
３は、矢印７５の方向に垂直に移動できる支持台
７４上に装着されている。充填針６０は静止して
おり、針６０がフレーム３０の切断部の下のプラ
グ３８を貫通して、チエンバ３５に入る迄、包囲
体が針６０へと制御されて駆動される。それか
ら、排気針６１が、プラグ３８を貫通して、丁度
頂点３７に於てチエンバ３５に入るように、矢印
７６の方向に、別個に移動される。

休止状態に於て、ポンプ６５は連続的に動作し
ているが、液体を循環させるために、バイパス・
バルブ７７だけが開いている。バイパス・バルブ
７７が開いている場合には、部分的に加圧された
状態が維持される。この最初の状態から、まずセ
ル包囲体７３が、バルブ６９を開くことにより、
排気針６１を経て、４０Paの圧力に排気される。
排気後、バルブ６９が閉鎖され、セル包囲体がバ
ルブ６７を経て源６６からのアルゴンでパージさ
れる。それらの排気及びパージのサイクルが反復
され、最後に排気が行われる。

それから、バイパス・バルブ７７を除くすべて
のバルブが閉鎖される。それから、オーバ・フロ
ー・バルブ７１及び７２を開いた後、バルブ６２
及び６３を開くことによつて、充填動作自体が開
始される。バイパス・バルブ７７が圧力を最大限
にするために閉鎖され、セルが針６０を経て充填
される。セルが充填されると、オーバ・フロー・
バルブ７１が閉鎖され、圧力を減少させるため
に、バイパス・バルブ７７が再び開かれる。この
段階に於て、排気針６１が部分的に引抜かれ、排
気貫通孔に跨つてプラグ３８が圧縮されるよう
に、適当な締付ねじ５１が締められる。それか
ら、排気針が完全に引抜かれ、セル包囲体７３
が、部分的に充填針６０から引抜かれるように、
降下される。充填貫通孔が閉塞するように、第２
の締付ねじ５１が締められる。電解液容器からの
溶液を遮断するために、バルブ６２及び６３が閉
鎖され、この時点に於て、モジユールが充填装置
から完全に降下されて、取外される。最後に、バ
ルブ６７を短時間の間、開くことにより、充填針
から余分の溶液を吹出させることができる。

それから、支持体１５の下側に、ヒート・シン
ク及び加熱装置の組立体１６（第１図）をボルト
止めすることにより、表示セルの組立てが完了す
る。

このようにして、充填動作全体が、溶液を雰囲
気、封止材料による汚染、又は熱に対してさらす
ことなく行われる。ビオロゲンは極めて反応性の
高い性質を有するので、上記のセル製造方法は、
歩留り及び寿命を実質的に増加させる。他のエレ
クトロクロミツク材料、エレクトロフオレテイツ
ク材料、又は液晶材料を用いた、他の型の液体を
充填された表示装置にも、本発明を適用できるこ
とは勿論である。

Ｆ 発明の効果 本発明によれば、充填動作全体が、液体を雰囲
気、封止材料による汚染、又は熱に対してさらす
ことなく行われる、電気光学表示セルが得られ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の電気光学表示セルを分解して
示す斜視図、第２図は組立てられた第１図の電気
光学表示セルを示す斜視図、第３図乃至第５図は
第１図及び第２図の電気光学表示セルの側壁を形
成する、エラストマで被覆されたフレーム構造体
の上面、断面、及び背面を各々示す図、第６図は
本発明の電気光学表示セルの充填方法を示すため
に電気光学表示セルの一部を破断して示す斜視
図、第７図は電気光学表示セルを充填するために
用いられる充填装置を示す概略図である。 １０……表示電極のマトリツクス、１１……シ
リコン・チツプ、１２……パツド、１３……硬い
テープ・ケーブル部分、１４……可撓性のテー
プ・ケーブル、１５……支持体、１６……ヒー
ト・シンク及び加熱装置の組立体、１７……エラ
ストマで被覆された金属のフレーム構造体、１８
……ガラスのカバー・プレート、１９……対向電
極、２０……対向電極コネクタ（圧縮可能な導
体）、２１……締付ボルト、３０……金属フレー
ム、３１……エラストマの被膜、３２……ボルト
穴、３３……横方向のバー、３４……主要表示チ
エンバ、３５……膨張及び充填チエンバ、３６…
…膨張膜、３７……頂点、３８……エラストマの
プラグ、３９，４０，４１，４２，４３……うね
状封止体、５０……盲孔、５１……締付ねじ、５
２……ねじ切りされた開孔、６０……注射針（充
填針）、６１……注射針（排気針）、６２，６３…
…充填バルブ、６４……電解液容器、６５……ポ
ンプ、６６……加圧された不活性ガスの源、６
７，６９……バルブ、６８……真空ポンプ、７０
……封止されたオーバ・フロー・タンク、７１，
７２……オーバ・フロー・バルブ、７３……セル
包囲体、７４……支持台、７７……バイパス・バ
ルブ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 密閉された包囲体内に封止された液体及び前
   記液体に接触する表示電極を有する電気光学表示
   セルにおいて、 前記包囲体は、 透明な窓を有する不浸透性のカバーと、 第１の封止部材を介して前記カバー下部に密着
   して取付けられ、前記包囲体の側壁部を構成する
   フレーム状の外壁を有する剛構造体部材と、 前記表示電極上部の電極表示領域外の前記剛構
   造体部材内側の空間に画定して形成され、前記封
   止された液体の膨張、収縮に応じてたわむ高分子
   弾性体の隔壁を底部に有する膨張領域と、 前記包囲体内に前記液体を充填する際に用いた
   液体充填用針及び排気用針の貫通により形成され
   た貫通孔部を有し、前記貫通孔部が自己封止によ
   り閉塞する高分子弾性体材料で形成され、前記剛
   構造体部材の前記外壁を貫通して埋め込まれてい
   るプラグと、 第２の封止部材を介して前記剛構造体部材下部
   に密着して取付けられ、前記表示電極を支持する
   基部構造体と、 を備えたことを特徴とする電気光学表示セル。 ２ 密閉された包囲体内に封止された液体及び前
   記液体に接触する表示電極を有する電気光学表示
   セルの製造方法において、 透明な窓を有する不浸透性のカバーと、第１の
   封止部材を介して前記カバー下部に密着して取付
   けられ、前記包囲体の側壁部を構成するフレーム
   状の外壁を有する剛構造体部材と、前記表示電極
   上部の電極表示領域外の前記剛構造体部材内側の
   空間に画定して形成され、前記封止された液体の
   膨張、収縮に応じてたわむ高分子弾性体の隔壁を
   底部に有する膨張領域と、高分子弾性体材料で形
   成され、前記剛構造体部材の前記外壁を貫通して
   埋め込まれているプラグと、第２の封止部材を介
   して前記剛構造体部材下部に密着して取付けら
   れ、前記表示電極を支持する基部構造体と、前記
   基部構造体の前記プラグ下部に設けられ、前記プ
   ラグを締めつけるプラグ締めつけ手段とを備え
   た、予め封止された前記包囲体を形成する工程
   と、 ２個の中空針を前記プラグ内を貫通させて、前
   記膨張領域に前記中空針の先端を到達させ、一方
   の中空針により、前記包囲体内の残留気体を排気
   し、他方の中空針により、前記液体を前記包囲体
   内に導入することによつて、前記包囲体内に前記
   液体を充填する工程と、 前記包囲体内を排気した前記一方の中空針が前
   記プラグから部分的に引抜かれたときに、前記プ
   ラグ締めつけ手段により前記プラグに前記一方の
   中空針により形成された貫通孔を確実に閉塞する
   ように前記プラグを締めつけてから、前記液体を
   前記包囲体内に導入した前記他方の中空針を前記
   プラグから引抜いて、前記プラグ締めつけ手段に
   より前記プラグに前記他方の中空針により形成さ
   れた貫通孔を確実に閉塞するように前記プラグを
   締めつけて、前記包囲体を再封止する工程と を有することを特徴とする電気光学表示セルの製
   造方法。