JPH0555803A - マイクロ波スイツチ - Google Patents

マイクロ波スイツチ

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JPH0555803A
JPH0555803A JP24278991A JP24278991A JPH0555803A JP H0555803 A JPH0555803 A JP H0555803A JP 24278991 A JP24278991 A JP 24278991A JP 24278991 A JP24278991 A JP 24278991A JP H0555803 A JPH0555803 A JP H0555803A
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JP
Japan
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microwave
frequency
transmission line
parallel
circuit
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Application number
JP24278991A
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English (en)
Inventor
Shinji Aono
眞司 青野
Kazuhiko Nakahara
和彦 中原
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Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
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  • Waveguide Switches, Polarizers, And Phase Shifters (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 2つの周波数についてマイクロ波のスイッチ
動作が可能なマイクロ波スイッチを得る。 【構成】 周波数f1 のマイクロ波に対して1/4波
長、周波数f3 のマイクロ波に対して3/4波長の電気
長を有する伝送線路を設け、該伝送線路の一部と接地と
の間に2つの電界効果型トランジスタJ1 及びJ2 を直
列に挿入するとともに、該直列接続のトランジスタと並
列にインダクタ5を接続し、上記2つのトランジスタの
うち所定のトランジスタJ1 をオン,オフして、上記イ
ンダクタと複数のトランジスタからなる並列回路10及
び20の共振周波数を変更するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、マイクロ波集積回路
に用いるマイクロ波スイッチに関し、特に2つの周波数
で使用可能なマイクロ波スイッチに関するものである。
【0002】
【従来の技術】図3は従来のマイクロ波スイッチを説明
するための等価回路図であり、図において、2は所定の
周波数f0 のマイクロ波に対して1/4波長の電気長を
有する伝送線路、1,3はそれぞれ該伝送線路2の入力
端子及び出力端子、21は該伝送線路2の入力側と接地
との間に挿入された入力側並列回路、31は該伝送線路
2の出力側と接地との間に挿入された出力側並列回路で
あり、各並列回路は、所定のオフ容量,つまりゲートバ
イアス電圧がピンチオフ電圧より小さいオフ時における
ソース,ドレイン間容量C0 を有するFETJ3 と、該
FETと並列に接続され、インダクタンス値L0 を有
し、上記周波数f0 について上記FETのオフ容量と共
振させるためのインダクタ4とからなる。また60は上
記出力端子3と接地との間に接続された50Ω終端抵抗
で、出力端子3に接続される負荷側のインピーダンス
と、伝送線路側のインピーダンスとを整合するためのも
のである。
【0003】図4(a) は、それぞれ上記入力側及び出力
側並列回路21及び31において、FETがオンしてい
る時の等価回路、図4(b) は上記各並列回路のFETが
オフしている時の等価回路を示している。
【0004】上記入力側及び出力側並列回路21,31
においてFETJ3をオフにすると、各並列回路は図4
(b) に示すように、インダクタ4とFETJ3 のオフ容
量Cとが並列に接続された回路構成となり、該並列回路
のインピーダンスは周波数f0 (=1/2π√LoC
o)のマイクロ波に対して無限大となる。ここで上記周
波数f0 は並列回路の共振周波数である。一方上記各並
列回路のFETJ3 をオンにすると、上記各並列回路は
図4(a) に示すように、FETJ3 のオン抵抗R0 とイ
ンダクタが並列に接続された回路構成となり、上記各並
列回路のインピーダンスはほぼ抵抗R0 と等しくなる。
【0005】上述のように入力側及び出力側並列回路2
1,31のFETJ3 をオフにすると、該FETJ3
インダクタL0 で構成される回路のインピーダンスは、
上記周波数f0 のマイクロ波に大して無限大となり、ま
た入力端子1と出力端子3とは周波数f0 のマイクロ波
に対する1/4波長の伝送線路で接続されているため、
入力端子1から出力端子3を見たインピーダンスは周波
数f0 のマイクロ波に対して無視できる程度のものとな
り、入力端子1から入った周波数f0 のマイクロ波は出
力端子3へと向かい、この周波数f0 のマイクロ波を出
力端子3から取り出すことができる。
【0006】また、上記各並列回路21,31のFET
3 をオンにすると、該並列回路のインピーダンスは、
周波数f0 のマイクロ波に対して無視できる程度のもの
となり、また入力端子1と出力端子3は周波数f0 のマ
イクロ波に対する1/4波長の伝送線路で接続されてい
るため、入力端子1から出力端子3を見たインピーダン
スはほぼ無限大となり、入力端子1から入った周波数f
0 のマイクロ波はFETJ3 へと向かい、そのオン抵抗
0 を介して接地される。従って、入力端子1から入っ
た周波数f0 のマイクロ波は出力端子3へは伝わらずに
遮断されることとなる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】従来のマイクロ波スイ
ッチは以上のように構成されているので、1つの周波数
0 のマイクロ波についてのみスイッチング動作が可能
であるが、2つの周波数についてスイッチング動作を行
うことができず、これをするためには、周波数f 0 に対
するスイッチと、周波数f1 (≠f0 )に対するスイッ
チとを2つ作る必要があった。
【0008】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、2以上の周波数についてマイク
ロ波のスイッチ動作が可能なマイクロ波スイッチを得る
ことを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】この発明に係るマイクロ
波スイッチは、その電気長が、異なる周波数のマイクロ
波に対して1/4波長の奇数倍となるよう構成した伝送
線路を備え、上記異なる周波数の複数のマイクロ波に対
して共振可能な並列回路を、上記伝送線路の一部と接地
との間に直列に接続された複数の電界効果型トランジス
タと、上記直列接続の電界効果型トランジスタと並列に
接続され、そのインダクタンスと該トランジスタのオフ
容量とにより共振回路を構成するインダクタとから構成
し、上記各電界効果型トランジスタのオン,オフにより
マイクロ波を導通あるいは遮断制御するようにしたもの
である。
【0010】この発明は、上記マイクロ波スイッチにお
いて、上記伝送線路を、その電気長が所望の周波数のマ
イクロ波に対する1/4波長の2n+1(nは0以上の
整数)倍となるよう構成し、上記2つの電界効果型トラ
ンジスタのオフ時,つまりゲートバイアス電圧がピンチ
オフ電圧より小さい時におけるソース,ドレイン電極間
の容量の比を1対(2n+1)2 −1に設定したもので
ある。
【0011】またこの発明は、上記マイクロ波スイッチ
において、上記電界効果型トランジスタを用いた並列回
路に代えて、上記伝送線路の一部と接地との間に直列に
接続された複数のダイオードと、上記直列接続のダイオ
ードと並列に接続された誘導素子とからなり、該誘導素
子のインダクタンスと上記ダイオードのオフ容量に基づ
いて所定の共振周波数が決まる並列回路を備え、上記各
ダイオードを順方向あるいは逆方向にバイアスし、これ
らをオン,オフしてマイクロ波を導通あるいは遮断制御
するようにしたものである。
【0012】
【作用】この発明においては、所定周波数のマイクロ波
に対して1/4波長の奇数倍の電気長を有する伝送線路
を設け、該伝送線路の一部と接地との間に複数の電界効
果型トランジスタあるいはダイオードを直列に挿入する
とともに、該直列接続のトランジスタあるいはダイオー
ドと並列にインダクタを接続し、複数のトランジスタあ
るいはダイオードのうち所定のトランジスタをオン,オ
フして、上記インダクタと複数のトランジスタあるいは
ダイオードからなる並列回路の共振周波数を変更するよ
うにしたから、マイクロ波の導通あるいは遮断制御を複
数の周波数について行うことができる。
【0013】
【実施例】図1は本発明の一実施例によるマイクロ波ス
イッチを説明するための図であり、直列接続の2つのF
ETとインダクタで構成される並列回路と、伝送線路と
を用いたマイクロ波スイッチの等価回路を示している。
図において、1は入力端子、3は出力端子、2は入力端
子1と出力端子3との間の伝送線路、10は該伝送線路
2の入力側と接地との間に挿入された入力側並列回路、
20は該伝送線路2の出力側と接地との間に挿入された
出力側並列回路であり、各並列回路は、それぞれ直列接
続の2つのFETJ1 ,J2 と、これに並列に接続され
たインダクタ5とから構成されている。また6は出力端
子3と接地との間に接続された50Ω終端抵抗で、該出
力端子3に接続される負荷(図示せず)とマイクロ伝送
線路系とのインピーダンスを整合するためのものであ
る。
【0014】図2(a) ,(d) は、上記入力側及び出力側
共振回路10及び20において、2つのFETが同時に
オンもしくはオフしている場合における等価回路を示
し、図2(b) ,(c) はその一方のみがオンしている場合
における等価回路を示している。
【0015】上記入力側及び出力側並列回路10,20
は、FETJ1 ,J2 のオン,オフ状態を適切に選ぶこ
とにより、3つの相異なる周波数f1 ,f2 ,f3 にお
いて各並列回路のインピーダンスが無限大となるよう、
FETJ1 ,J2 のオフ容量C1 ,C2 及びインダクタ
4のインピーダンスL1 を設定している。つまり、f1
は、FETJ1 をオン、FETJ2 をオフした場合(図
2(c) )の共振周波数、f2 はFETJ1 をオフ、FE
TJ2 をオンした場合(図2(b) )の共振周波数、f3
はFETJ1 及びFETJ2 をオフした場合(図2(d)
)の共振周波数である。
【0016】ここで、2つのFETのオフ時のソース,
ドレイン間容量の比(C1 :C2 )を1:8とすること
により、周波数f1 とf3 の比は1:3となり、FET
1 ,J2 をオンまたはオフさせることにより、FET
1 ,J2 とインダクタの並列回路のインピーダンス
は、f1 ,3f1 (=f3 )の周波数で無限大とするこ
とができる。
【0017】次に動作について説明する。各並列回路1
0,20のFETJ1 ,J2 のうちFETJ1 をオフ
し、FETJ2 をオンすると(図2(b) 参照)、各並列
回路のインピーダンスは周波数f1 のマイクロ波に対し
て無限大となる。ここで入力端子1と出力端子3とは周
波数f1 に対する1/4波長の伝送線路で接続されてい
るため、入力端子1から出力端子3を見たインピーダン
スは周波数f1 のマイクロ波に対して無視できる程度の
ものとなり、入力端子1から入った周波数f1 のマイク
ロ波は出力端子3へと伝送され、出力端子から取り出さ
れる。
【0018】また、各並列回路10,20のFET
1 ,J2 を同時にオフすると(図2(d) 参照)、入,
出力側の並列回路10,20のインピーダンスは、周波
数3f1 (=f3 )のマイクロ波に対して無限大とな
り、入力端子1と出力端子3は周波数3f1 に対する3
/4波長の伝送線路で接続されているため、入力端子1
から出力端子3を見たインピーダンスは周波数3f1
マイクロ波に対して無視できる程度のものとなり、入力
端子1から入った周波数3f1 のマイクロ波は出力端子
3へと伝送され、出力端子から取り出される。
【0019】また、上記各並列回路のFETJ1 ,J2
を同時にオンすると(図2(d) 参照)、各並列回路のイ
ンピーダンスは、周波数f1 及び3f1 のマイクロ波に
対して無視できる程度のものとなり、上記入力端子1と
出力端子3の間の伝送線路がそれぞれ周波数f1 に対し
ては1/4波長の伝送線路、周波数3f1 に対しては3
/4波長の伝送線路となっているため、入力端子1から
出力端子3を見たインピーダンスは無限大となり、入力
端子1から入った周波数f1 ,3f1 のマイクロ波は入
力側の並列回路のFETJ1 ,J2 から抵抗を介してア
ースされることとなる。つまり入力端子1から入った周
波数f1 あるいは3f1 のマイクロ波は出力端子へは伝
わらずに遮断される。
【0020】このように本実施例では、周波数f1 のマ
イクロ波に対して1/4波長,周波数f3 (=3f1
のマイクロ波に対して3/4波長となる伝送線路を設
け、直列接続の2つのFETJ1 ,J2 と並列にインダ
クタ5を接続してなる並列回路10,20をそれぞれ、
上記伝送線路の入力側及び出力側端と接地との間に接続
し、しかも該FETJ1 ,J2 のオフ容量C1 ,C2
び上記インダクタ5のインダクタンス値L1 を、これら
の組合せにより上記各並列回路が周波数f1 及びf3
対して無限大のインピーダンスを持つよう設定したの
で、上記FETJ1 のオン,オフにより、周波数f1
び3f1 (=f3 )の2つの周波数のマイクロ波につい
てスイッチ動作をすることが可能となる。
【0021】なお、上記実施例では並列回路を構成する
2つのトランジスタのオフ容量の比を1:8に設定し、
周波数f1 のマイクロ波とその3倍の周波数f3 (=3
1 )のマイクロ波について遮断あるいは導通制御を行
うようにしたが、上記2つのトランジスタのオフ容量の
比とマイクロ波の周波数の比との関係はこれに限るもの
ではなく、一般的には、2つのFETのオフ時のソース
ドレイン間容量の比は1:(2n+1)2 −1(n:0
以上の整数)であればよく、この場合上記周波数f1
3 の比は1:2n+1となり、この2つの周波数のマ
イクロ波についてスイッチングを行うことができる。た
だしこの場合伝送線路の電気長を(2n+1)/4波長
に設定する必要がある。
【0022】詳述すれば、上述のように入力側及び出力
側並列回路のFETJ1 ,J2 のオン,オフを適切に選
ぶことにより、3つの相異なる周波数f1 (J1 :オ
ン,J2 :オフ)、f2 (J1 :オフ,J2 :オン)、
3 (J1 :オフ,J2 :オフ)において、上記各並列
回路のインピーダンスを無限大とすることができる。こ
こで、上記2つのFETJ1 及びJ2 のオフ時のソー
ス,ドレイン間容量の比を1:(2n+1)2 −1
(n:0以上の整数)とすることにより、f1 とf3
比は1:2n+1となり、FETJ2 をオンまたはオフ
させることにより、入,出力側並列回路10,20のイ
ンピーダンスを、周波数f1 又はf3 (=(2n+1)
1)の信号に対して無限大とすることができる。
【0023】具体的には、FETJ1 をオフし、FET
2 をオンすると(図2(b) 参照)、各並列回路のイン
ピーダンスが周波数f1 のマイクロ波に対して無限大と
なり、伝送線路2の電気長が周波数f1 に対して1/4
波長であるため、入力端子1から出力端子3を見たイン
ピーダンスは周波数f1 のマイクロ波に対して無視でき
る程度のものとなり、入力端子1から入った周波数f1
のマイクロ波は出力端子3へと伝送され、出力端子3か
ら取り出すことができる。
【0024】また、FETJ1 及びJ2 をオフすると
(図2(d) 参照)、各並列回路のインピーダンスは周波
数f3 (=(2n+1)f1 )のマイクロ波に対して無
限大となり、また伝送線路2の電気長は周波数(2n+
1)f1 のマイクロ波に対して(2n+1)/4波長と
なっているため、入力端子1から出力端子3を見たイン
ピーダンスは周波数(2n+1)f1 のマイクロ波に対
して無視できる程度のものとなり、入力端子1から入っ
た周波数(2n+1)f1 (f3 )のマイクロ波は出力
端子3へと伝送され、出力端子から取り出すことができ
る。
【0025】また、各並列回路のFETJ1 ,J2 を同
時にオンすると(図2(a) 参照)、各並列回路のインピ
ーダンスは、周波数f1 及びf3 (=(2n+1)
1 )のマイクロ波に対して無視できる程度のものとな
る。また上記伝送線路2の電気長は、周波数f1 に対し
ては1/4波長、またf3 (=(2n+1)f1 )に対
しては(2n+1)/4波長となっているため、これら
の周波数のマイクロ波に対して入力端子1から出力端子
3を見たインピーダンスは無限大となる。このため入力
端子1から入った周波数f1 あるいは(2n+1)f1
のマイクロ波はFETJ1 ,J2 から抵抗を介して接地
され、入力端子1から入った周波数f1 ,(2n+1)
1 のマイクロ波は出力端子へは伝わらずに遮断される
こととなる。
【0026】なお、上記実施例では、各並列回路のイン
ピーダンスを変更可能とするのに2つのFETを用いた
が、これはFETに限るものではなく、例えば2つのダ
イオードを用いてもよい。
【0027】次にこのような構成の本発明の第2の実施
例について説明する。図5(a) ,(b) は本発明の第2の
実施例によるマイクロ波スイッチを説明するための図、
図6はその動作を説明するための図である。図5(a) に
おいて30,40はそれぞれ入力側及び出力側の並列回
路で、ここでは、各並列回路は、直列接続の2つのダイ
オードD1 ,D2 と、これに並列に接続された直列接続
のインダクタ15及びコンデンサ16とから構成されて
いる。また30a,30bはそれぞれ上記入力側並列回
路30のダイオードD1 ,D2 のアノード側の電極、4
0a,40bはそれぞれ上記出力側並列回路40のダイ
オードD1 ,D2 のアノード側の電極で、これらの電極
に所定の直流電圧を印加して上記ダイオードを順方向あ
るいは逆方向にバイアスすることにより、上記ダイオー
ドのオン,オフ制御ができるようになっている。
【0028】また図5(b) はダイオードDに順方向ある
いは逆方向電位を印加して、オンあるいはオフ状態とし
た場合の等価回路を示しており、図に示すように上記ダ
イオードはオン状態では抵抗R、オフ状態では容量Cと
等価となる。なお図6において、C10は上記コンデンサ
16の容量、L10は上記インダクタのインダクタンス
値、C11,C12は上記ダイオードD1 ,D2 のオフ容
量、R11,R12はそれぞれ上記ダイオードD1 ,D2
オン抵抗である。ここでは、上記ダイオードD1 ,D2
のオフ容量C11,C12は、上記両ダイオードをともにオ
フした場合の並列回路の共振周波数f10と、上記ダイオ
ードD1 をオンし、ダイオードD2 をオフした場合の並
列回路の共振周波数f30との比が1対3となるよう設定
し、また伝送線路2の電気長を周波数f10のマイクロ波
については1/4波長、また周波数f30のマイクロ波に
ついては3/4波長となるようにしている。
【0029】次に動作について説明する。上記2つのダ
イオードD1 及びD2 のオン,オフ状態により、上記各
並列回路は、図6(a)〜(d) に示す4つの回路と等価と
なる。すなわち、まず入力側及び出力側並列回路30及
び40において、各電極30a,30b及び40a,4
0bに所定電圧を印加して、線路側及び接地側のダイオ
ードD1 ,D2 をともにオフすると(図6(a) )、各並
列回路30及び40は、周波数f30(=1/2π√(L
10X ))についてインピーダンスが無限大となり、こ
の周波数のマイクロ波信号は導通状態となる。またここ
でCX は1/CX =1/C10+1/C11+1/C12で与
えられる。
【0030】次に各並列回路30,40のダイオードの
アノード側電極に所定電位を与えて、線路側ダイオード
1 をオフ、接地側ダイオードD2 をオンすると、上記
各並列回路30,40は、周波数f20(=1/2π√
(L10Y ))についてインピーダンスが無限大とな
り、この周波数のマイクロ波信号は導通状態となる(図
6(b) )。この場合CY は1/CY =1/C10+1/C
11で与えられる。
【0031】次に線路側ダイオードD1 をオフし、接地
側ダイオードD2 をオンすると、上記各並列回路30,
40は、周波数f10(=1/2π√(L10Z ))につ
いてインピーダンスが無限大となり、この周波数のマイ
クロ波信号は導通状態となる(図6(c) )。この場合C
Z は1/CZ =1/C10+1/C12で与えられる。
【0032】さらに接地側ダイオードD1 及び線路側ダ
イオードD2 をともにオンすると、上記各並列回路3
0,40は、周波数f40(=1/2π√(L1010))
についてインピーダンスが無限大となり、この周波数の
マイクロ波信号は導通状態となる一方、この周波数から
ある程度離れた周波数のマイクロ波は出力端子へ到達で
きず遮断されることとなる(図6(d) )。
【0033】従ってこの場合、伝送線路2の電気長を周
波数f10のマイクロ波については1/4波長、また周波
数f30のマイクロ波については3/4波長となるように
しているので、接地側のダイオードD2 を常にオンと
し、線路側のダイオードD1 をオン、オフすることによ
り、上記周波数f30及びf10の2つのマイクロ波のスイ
ッチング制御を行うことができる。
【0034】なおこの実施例では、上記周波数f10,f
30の比が1対3となるよう、ダイオードD1 ,D2 のオ
フ容量C11,C12を設定したが、該オフ容量C11,C12
は、上記周波数f20とf30とが1対3となるよう設定し
てもよく、またf10対f30あるいはf20対f30が1対
(2n+1)となるよう設定してもよい。
【0035】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、所定周
波数のマイクロ波に対して1/4波長の電気長を有する
伝送線路を設け、該伝送線路の一部と接地との間に複数
の電界効果型トランジスタあるいはダイオードを直列に
挿入するとともに、該直列接続のトランジスタあるいは
ダイオードと並列にインダクタを接続し、複数のトラン
ジスタあるいはダイオードのうち所定のトランジスタを
オン,オフして、上記インダクタと複数のトランジスタ
あるいはダイオードからなる並列回路の共振周波数を変
更するようにしたので、マイクロ波の導通あるいは遮断
制御を複数の周波数について行うことができ、複数の周
波数について使用可能なマイクロ波スイッチを実現でき
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例による2つの周波数で使用で
きるマイクロ波スイッチの構成図である。
【図2】上記マイクロ波スイッチの動作を説明するため
の等価回路図である。
【図3】従来のマイクロ波スイッチの構成図である。
【図4】従来のマイクロ波スイッチの電界効果トランジ
スタとインダクタとで構成される並列回路の等価回路図
である。
【図5】本発明の第2の実施例によるマイクロ波スイッ
チを説明するための図である。
【図6】該第2実施例のマイクロ波スイッチの動作を説
明するための図である。
【符号の説明】
1 入力端子 2 マイクロ波伝送線路 3 出力端子 5,15 インダクタ 10,30 入力側並列回路 16 コンデンサ 20,40 出力側並列回路 J1 ,J2 電界効果トランジスタ D1 ,D2 ダイオード C1 FETJ1 のオフ容量 C2 FETJ2 のオフ容量 C10 コンデンサ16の容量 C11 ダイオードD1 のオフ容量 C12 ダイオードD2 のオフ容量 L1 インダクタ5のインダクタンス値 L10 インダクタ15のインダクタンス値 R1 FETJ1 のオン抵抗 R2 FETJ2 のオン抵抗 R11 ダイオードD1 のオン抵抗 R12 ダイオードD2 のオン抵抗
【手続補正書】
【提出日】平成4年4月17日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0002
【補正方法】変更
【補正内容】
【0002】
【従来の技術】図3は従来のマイクロ波スイッチを説明
するための等価回路図であり、図において、2は所定の
周波数f0 のマイクロ波に対して1/4波長の電気長を
有する伝送線路、1,3はそれぞれ該伝送線路2の入力
端子及び出力端子、21は該伝送線路2の入力側と接地
との間に挿入された入力側並列回路、31は該伝送線路
2の出力側と接地との間に挿入された出力側並列回路で
あり、各並列回路は、所定のオフ容量,つまりゲートバ
イアス電圧がピンチオフ電圧より小さいオフ時における
ソース,ドレイン間容量C0 を有するFETJ3 と、該
FETと並列に接続され、インダクタンス値L0 を有
し、上記周波数f0 について上記FETのオフ容量と共
振させるためのインダクタ4とからなる。また60は上
入力側並列回路と接地との間に接続された50Ω終端
抵抗で、入力端子1に接続される信号源側のインピーダ
ンスと、上記FETJ3 のオフ時の入力側並列回路のイ
ンピーダンスとを整合するためのものである。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0013
【補正方法】変更
【補正内容】
【0013】
【実施例】図1は本発明の一実施例によるマイクロ波ス
イッチを説明するための図であり、直列接続の2つのF
ETとインダクタで構成される並列回路と、伝送線路と
を用いたマイクロ波スイッチの等価回路を示している。
図において、1は入力端子、3は出力端子、2は入力端
子1と出力端子3とを接続する伝送線路で、これはその
電気長が周波数f1 のマイクロ波に対しては1/4波
長、その3倍の周波数f3 (=3f1 )のマイクロ波に
対しては3/4波長となるよう構成されている。また
0は該伝送線路2の入力側と接地との間に挿入された入
力側並列回路、20は該伝送線路2の出力側と接地との
間に挿入された出力側並列回路であり、各並列回路は、
それぞれ直列接続の2つのFETJ1 ,J2 と、これに
並列に接続されたインダクタ5とから構成されている。
また60は上記入力側並列回路10と接地との間に接続
された50Ω終端抵抗で、入力端子1に接続される信号
源側のインピーダンスと、上記FETJ1 ,J2 の一方
がオフしている時及びその両方がオフしている時の入力
側並列回路のインピーダンスとを整合するためのもので
ある。
【手続補正3】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図1
【補正方法】変更
【補正内容】
【図1】
【手続補正4】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図3
【補正方法】変更
【補正内容】
【図3】
【手続補正5】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図5
【補正方法】変更
【補正内容】
【図5】
【手続補正6】
【補正対象書類名】図面
【補正対象項目名】図6
【補正方法】変更
【補正内容】
【図6】

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 入力端子と出力端子とを有する伝送線路
    と、上記伝送線路と接地との間に接続され、所定の周波
    数のマイクロ波に対して共振可能な構成の並列回路とを
    備え、上記並列回路のインピーダンスを変化させて入力
    端子からのマイクロ波信号を導通あるいは遮断するマイ
    クロ波スイッチにおいて、 上記並列回路を、 上記伝送線路の一部と接地との間に直列に接続された2
    つの電界効果型トランジスタと、上記直列接続の電界効
    果型トランジスタと並列に接続された誘導素子とからな
    り、該誘導素子のインダクタンスと上記トランジスタの
    オフ容量とにより複数の共振周波数が決まる回路構成と
    し、 上記伝送線路を、 その電気長が、上記各共振周波数と同一の周波数のマイ
    クロ波に対して1/4波長の奇数倍となるよう構成し、 上記各電界効果型トランジスタのオン・オフによりマイ
    クロ波の導通あるいは遮断制御を行うようにしたことを
    特徴とするマイクロ波スイッチ。
  2. 【請求項2】 請求項1記載のマイクロ波スイッチにお
    いて、 上記伝送線路は、所望の周波数のマイクロ波に対する1
    /4波長の2n+1(nは0以上の整数)倍の電気長を
    有するマイクロ波伝送線路であり、 上記2つの電界効果型トランジスタは、オフ時のソー
    ス,ドレイン電極間の容量の比を1対(2n+1)2
    1に設定したものであることを特徴とするマイクロ波ス
    イッチ。
  3. 【請求項3】 請求項1記載のマイクロ波スイッチにお
    いて、 上記電界効果型トランジスタを用いた共振回路に代え
    て、 上記伝送線路の一部と接地との間に直列に接続された複
    数のダイオードと、上記直列接続のダイオードと並列に
    接続された誘導素子とからなり、該誘導素子のインダク
    ンスと上記ダイオードのオフ容量に基づいて所定の共振
    周波数が決まる共振回路を備え、 マイクロ波の導通あるいは遮断制御を、上記各ダイオー
    ドを順方向あるいは逆方向にバイアスし、これらをオン
    ・オフして行うようにしたことを特徴とするマイクロ波
    スイッチ。
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