JPH0554445A - 光磁気記録媒体 - Google Patents
光磁気記録媒体Info
- Publication number
- JPH0554445A JPH0554445A JP21210191A JP21210191A JPH0554445A JP H0554445 A JPH0554445 A JP H0554445A JP 21210191 A JP21210191 A JP 21210191A JP 21210191 A JP21210191 A JP 21210191A JP H0554445 A JPH0554445 A JP H0554445A
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- Japan
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- layer
- magneto
- optical recording
- recording medium
- films
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 CoとPd及び／またはPtとが交互に積層された
多層膜を記録層とする光磁気記録媒体において、該記録
層の積層順序がPd及び／またはPtから始まり、Pd及び／
またはPtに終わることを特徴とする光磁気記録媒体。 【効果】 本発明によれば、優れた角形比を有するとと
もに、耐食性などの実用特性にも優れた光磁気記録媒体
の提供が可能となり、高品質、かつ高密度の垂直磁気記
録が可能となる。
多層膜を記録層とする光磁気記録媒体において、該記録
層の積層順序がPd及び／またはPtから始まり、Pd及び／
またはPtに終わることを特徴とする光磁気記録媒体。 【効果】 本発明によれば、優れた角形比を有するとと
もに、耐食性などの実用特性にも優れた光磁気記録媒体
の提供が可能となり、高品質、かつ高密度の垂直磁気記
録が可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気光学効果を利用し
てレーザー光などにより情報の記録、再生を行う光磁気
記録媒体に関し、特にCoとPd及び／またはPtとが交互に
積層された人工格子膜を記録層とする光磁気記録媒体に
関する。
てレーザー光などにより情報の記録、再生を行う光磁気
記録媒体に関し、特にCoとPd及び／またはPtとが交互に
積層された人工格子膜を記録層とする光磁気記録媒体に
関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、書換え可能な高密度記録方式とし
て、半導体レーザ光等により、記録、再生を行う光磁気
記録方式が注目されている。
て、半導体レーザ光等により、記録、再生を行う光磁気
記録方式が注目されている。
【０００３】この光磁気記録方式において使用される記
録材料としては、特公平１ー２３９２７に記載のTbFeCo
や特開昭６３ー７６１３４に記載のNdDyFeCoに代表され
る希土類ー遷移金属合金薄膜が主流であるが、特開平２
ー５６７５２や特開平２ー２９９５６に記載のCoとPtあ
るいはPdあるいはPtPd合金との多層膜を利用することが
検討されている。CoとPtあるいはPdとの多層膜は垂直磁
気異方性を有し、キュリー温度を摂氏１００度から３０
０度の間で変化させることができるので光磁気記録材料
として利用することができる。また、記録密度を向上さ
せるために、半導体レーザの短波長化が検討されてい
る。従来の希土類ー遷移金属合金は波長が８３０nm付近
から４００〜５５０nmの短波長領域に行くほどカー回転
角が小さくなるという欠点を有している。一方、CoとPt
あるいはPdとの多層膜では、波長が短くなるにつれてカ
ー回転角が大きくなり、短波長用の材料として期待され
ている。また、希土類ー遷移金属合金が腐食されやす
く、酸化されやすいのに対して、CoとPtあるいはPdとの
多層膜は耐食性の優れたものであり、光磁気記録媒体の
記録材料としての応用が期待されている。
録材料としては、特公平１ー２３９２７に記載のTbFeCo
や特開昭６３ー７６１３４に記載のNdDyFeCoに代表され
る希土類ー遷移金属合金薄膜が主流であるが、特開平２
ー５６７５２や特開平２ー２９９５６に記載のCoとPtあ
るいはPdあるいはPtPd合金との多層膜を利用することが
検討されている。CoとPtあるいはPdとの多層膜は垂直磁
気異方性を有し、キュリー温度を摂氏１００度から３０
０度の間で変化させることができるので光磁気記録材料
として利用することができる。また、記録密度を向上さ
せるために、半導体レーザの短波長化が検討されてい
る。従来の希土類ー遷移金属合金は波長が８３０nm付近
から４００〜５５０nmの短波長領域に行くほどカー回転
角が小さくなるという欠点を有している。一方、CoとPt
あるいはPdとの多層膜では、波長が短くなるにつれてカ
ー回転角が大きくなり、短波長用の材料として期待され
ている。また、希土類ー遷移金属合金が腐食されやす
く、酸化されやすいのに対して、CoとPtあるいはPdとの
多層膜は耐食性の優れたものであり、光磁気記録媒体の
記録材料としての応用が期待されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、CoとPt
あるいはPdとの多層膜は従来の希土類ー遷移金属合金に
比べて、保磁力が小さいと言う欠点を有する。保磁力を
改善する方法として、スパッタリングガスとして用いる
アルゴンガスのガス圧を上げたり、キセノンガス、クリ
プトンガスなどを用いた例等が報告されている。また、
光磁気記録媒体として、応用するためには角形性の良い
カー回転角ヒステリシスループが得られることが必要と
されるが、CoとPtあるいはPdとの多層膜では、角形性の
良いカー回転角ヒステリシスループが得られにくいとい
う欠点を有する。角形性を改善する方法としては、多層
膜の総膜厚を薄くして、反磁界エネルギーを小さくして
安定な単磁区構造を得ることなどが試みられている。し
かし、光磁気記録媒体として用いるためには、さらにこ
のような磁気光学特性を改善する必要がある。
あるいはPdとの多層膜は従来の希土類ー遷移金属合金に
比べて、保磁力が小さいと言う欠点を有する。保磁力を
改善する方法として、スパッタリングガスとして用いる
アルゴンガスのガス圧を上げたり、キセノンガス、クリ
プトンガスなどを用いた例等が報告されている。また、
光磁気記録媒体として、応用するためには角形性の良い
カー回転角ヒステリシスループが得られることが必要と
されるが、CoとPtあるいはPdとの多層膜では、角形性の
良いカー回転角ヒステリシスループが得られにくいとい
う欠点を有する。角形性を改善する方法としては、多層
膜の総膜厚を薄くして、反磁界エネルギーを小さくして
安定な単磁区構造を得ることなどが試みられている。し
かし、光磁気記録媒体として用いるためには、さらにこ
のような磁気光学特性を改善する必要がある。
【０００５】そこで本発明はこのような課題を解決する
ためのもので、その目的とするところは、角形性の良い
カー回転角ヒステリシスループを持つ光磁気記録媒体を
提供することにある。
ためのもので、その目的とするところは、角形性の良い
カー回転角ヒステリシスループを持つ光磁気記録媒体を
提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明の光磁気記録媒体
は、非磁性の基板上に、直接もしくは非磁性下地層を介
して、CoとPd及び／またはPtとが交互に積層された多層
膜を記録層とし、該記録層の積層順序をPd及び／または
Ptから始まり、Pd及び／またはPtに終わることを特徴と
する。
は、非磁性の基板上に、直接もしくは非磁性下地層を介
して、CoとPd及び／またはPtとが交互に積層された多層
膜を記録層とし、該記録層の積層順序をPd及び／または
Ptから始まり、Pd及び／またはPtに終わることを特徴と
する。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら説明する。
ながら説明する。
【０００８】（実施例１）本実施例は、Co層とPt層とを
二元マグネトロンスパッタリングにより交互に積層した
多層膜を記録層とする光磁気記録媒体の例である。
二元マグネトロンスパッタリングにより交互に積層した
多層膜を記録層とする光磁気記録媒体の例である。
【０００９】まずチャンバー内にCo及びPtの各ターゲッ
トを設置し、これらのターゲットと対向させた回転基台
上にガラス基板を載置し、ガス圧１mTorrのアルゴン雰
囲気中における二元スパッタリングを行なった。
トを設置し、これらのターゲットと対向させた回転基台
上にガラス基板を載置し、ガス圧１mTorrのアルゴン雰
囲気中における二元スパッタリングを行なった。
【００１０】この装置によれば、各ターゲットへの投入
電力あるいはパイレックスガラス基板を載置した回転基
台の回転数を変化させることにより、超格子構造の周期
を任意に決定することができる。
電力あるいはパイレックスガラス基板を載置した回転基
台の回転数を変化させることにより、超格子構造の周期
を任意に決定することができる。
【００１１】図１は、本発明の光磁気記録媒体の断面模
式図である。残留ガス圧を５×１０ー7Torrまで排気した
後、1mTorrのArガスをチャンバー内に導入して、回転基
台に載置したガラス基板１０１上にPt層１０２、Co層１
０３をスパッタリングした。Coターゲットに対しては、
投入電流0.1Aの条件によるDCマグネトロンスパッタリン
グ、Ptターゲットに対しては、投入電力100Wの条件によ
るRFマグネトロンスパッタリングを行ない、Co層を約3
Å,Pt層を約8Åとし、多層膜全体の膜厚が約100Åとな
るように多層膜を形成した。その際に、図１に示すよう
にPt層から始まり、Pt層で終わるように積層させた。
式図である。残留ガス圧を５×１０ー7Torrまで排気した
後、1mTorrのArガスをチャンバー内に導入して、回転基
台に載置したガラス基板１０１上にPt層１０２、Co層１
０３をスパッタリングした。Coターゲットに対しては、
投入電流0.1Aの条件によるDCマグネトロンスパッタリン
グ、Ptターゲットに対しては、投入電力100Wの条件によ
るRFマグネトロンスパッタリングを行ない、Co層を約3
Å,Pt層を約8Åとし、多層膜全体の膜厚が約100Åとな
るように多層膜を形成した。その際に、図１に示すよう
にPt層から始まり、Pt層で終わるように積層させた。
【００１２】この光磁気記録媒体の磁気光学特性を測定
した場合の磁気カーヒステリシス曲線を図２に示す。図
２は記録層側から測定した場合を示し、図中の縦軸は磁
気カー回転角、また横軸は印加磁界の強さを表す。測定
レーザ波長は４００nmで行なった。
した場合の磁気カーヒステリシス曲線を図２に示す。図
２は記録層側から測定した場合を示し、図中の縦軸は磁
気カー回転角、また横軸は印加磁界の強さを表す。測定
レーザ波長は４００nmで行なった。
【００１３】比較例として図３に示すようなCo層から始
まり、Co層で終わるように積層させた光磁気記録媒体を
作製した。作製方法は図１と同様で積層順序を図３に示
すようにガラス基板３０１上にCo層３０２、Pt層３０３
とし、最後にCo層を付けた。この光磁気記録媒体の磁気
カーヒステリシス曲線を図４に示す。
まり、Co層で終わるように積層させた光磁気記録媒体を
作製した。作製方法は図１と同様で積層順序を図３に示
すようにガラス基板３０１上にCo層３０２、Pt層３０３
とし、最後にCo層を付けた。この光磁気記録媒体の磁気
カーヒステリシス曲線を図４に示す。
【００１４】この実験結果より本発明の光磁気録媒体の
構成では、角形性の良いカーヒステリシス曲線が得られ
たが、比較例に用いた光磁気記録媒体では、良好なヒス
テリシス曲線は得られなかった。これは、両端のCo層の
寄与によるものと思われる。カー回転角に寄与している
のは主にCo層であるが、このCo層を非磁性のPt層で挟む
ことにより、垂直磁気異方性エネルギーが増し、角型性
が良くなるものと考えられる。しかし、Pt層に挟まれて
いないCo層が残っていると、垂直異方性エネルギーが減
少し、Coの磁化が面内方向に倒れやすくなり角型性が悪
くなると考えられる。
構成では、角形性の良いカーヒステリシス曲線が得られ
たが、比較例に用いた光磁気記録媒体では、良好なヒス
テリシス曲線は得られなかった。これは、両端のCo層の
寄与によるものと思われる。カー回転角に寄与している
のは主にCo層であるが、このCo層を非磁性のPt層で挟む
ことにより、垂直磁気異方性エネルギーが増し、角型性
が良くなるものと考えられる。しかし、Pt層に挟まれて
いないCo層が残っていると、垂直異方性エネルギーが減
少し、Coの磁化が面内方向に倒れやすくなり角型性が悪
くなると考えられる。
【００１５】（実施例２）記録膜として、Pd-Co多層膜
を用いた。実施例１と同様の実験を行なったところ、記
録層の積層順序をPdから始まり、Pdで終わらせることに
より、角形性の良いカー回転角ヒステリシス曲線が得ら
れた。以上、Pt-Co多層膜の例を述べたが、本発明の光
磁気記録媒体は、この多層膜に限定されるものではな
く、同様にPd-Co多層膜、PtPd合金-Co多層膜にも有効で
あることは明かである。また、基板上に非磁性下地層と
してPt,Pd,Ag,Au,Cu,W,Ir,Rhを介して、上記多層膜を積
層させても有効である。
を用いた。実施例１と同様の実験を行なったところ、記
録層の積層順序をPdから始まり、Pdで終わらせることに
より、角形性の良いカー回転角ヒステリシス曲線が得ら
れた。以上、Pt-Co多層膜の例を述べたが、本発明の光
磁気記録媒体は、この多層膜に限定されるものではな
く、同様にPd-Co多層膜、PtPd合金-Co多層膜にも有効で
あることは明かである。また、基板上に非磁性下地層と
してPt,Pd,Ag,Au,Cu,W,Ir,Rhを介して、上記多層膜を積
層させても有効である。
【００１６】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明の光磁気記録媒体は、非磁性の基板上に、直接もしく
は非磁性下地層を介して、CoとPd及び／またはPtとが交
互に積層された人工格子膜を記録層とし、該記録層の積
層順序をPd及び／またはPtから始まり、Pd及び／または
Ptに終わることを特徴とする。
明の光磁気記録媒体は、非磁性の基板上に、直接もしく
は非磁性下地層を介して、CoとPd及び／またはPtとが交
互に積層された人工格子膜を記録層とし、該記録層の積
層順序をPd及び／またはPtから始まり、Pd及び／または
Ptに終わることを特徴とする。
【００１７】したがって、本発明によれば、優れた角形
比や保磁力を有するとともに、耐食性などの実用特性に
も優れた光磁気記録媒体の提供が可能となり、高品質、
かつ高密度の垂直磁気記録が可能となる。
比や保磁力を有するとともに、耐食性などの実用特性に
も優れた光磁気記録媒体の提供が可能となり、高品質、
かつ高密度の垂直磁気記録が可能となる。
【図１】 本発明の一実施例の光磁気記録媒体を示す断
面模式図である。
面模式図である。
【図２】 本発明の一実施例の光磁気記録媒体のカー回
転角ヒステリシス図である。
転角ヒステリシス図である。
【図３】 比較例の光磁気記録媒体を示す断面模式図で
ある。
ある。
【図４】 比較例の光磁気記録媒体のカー回転角ヒステ
リシス図である。
リシス図である。
１０１ ガラス基板 １０２ Pt層 １０３ Co層
Claims (1)
- 【請求項１】 非磁性の基板上に、直接もしくは非磁性
下地層を介して、CoとPd及び／またはPtとが交互に積層
された多層膜を記録層とする光磁気記録媒体において、
該記録層の積層順序がPd及び／またはPtから始まり、Pd
及び／またはPtに終わることを特徴とする光磁気記録媒
体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21210191A JPH0554445A (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | 光磁気記録媒体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21210191A JPH0554445A (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | 光磁気記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0554445A true JPH0554445A (ja) | 1993-03-05 |
Family
ID=16616903
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21210191A Pending JPH0554445A (ja) | 1991-08-23 | 1991-08-23 | 光磁気記録媒体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0554445A (ja) |
-
1991
- 1991-08-23 JP JP21210191A patent/JPH0554445A/ja active Pending
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