JPH0553202B2 - - Google Patents
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- JPH0553202B2 JPH0553202B2 JP956686A JP956686A JPH0553202B2 JP H0553202 B2 JPH0553202 B2 JP H0553202B2 JP 956686 A JP956686 A JP 956686A JP 956686 A JP956686 A JP 956686A JP H0553202 B2 JPH0553202 B2 JP H0553202B2
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 claims description 206
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 40
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 35
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔概 要〕
閉磁気回路を形成する円環状の磁気回路構造体
と、磁気回路構造体よりの漏洩磁束を検知する磁
気検知器とより構成し、被測定物の回動に応じて
磁気回路構造体又は磁気検知器が回動し、磁気検
知器の出力より被測定物の回動角度の絶対位置を
検出可能とする。
と、磁気回路構造体よりの漏洩磁束を検知する磁
気検知器とより構成し、被測定物の回動に応じて
磁気回路構造体又は磁気検知器が回動し、磁気検
知器の出力より被測定物の回動角度の絶対位置を
検出可能とする。
本発明は回動角度位置検出装置に係り、特に磁
気検知器を用いた回動角度位置検出装置に関す
る。
気検知器を用いた回動角度位置検出装置に関す
る。
一般に被測定物の回動角度を検出する装置とし
ては、全円周に設けたラジアル格子によるモアレ
じまの移動を光電的にとらえて、ラジアル回転角
を知ることができるロータリエンコーダがある。
ては、全円周に設けたラジアル格子によるモアレ
じまの移動を光電的にとらえて、ラジアル回転角
を知ることができるロータリエンコーダがある。
また磁気検知器を用いた測定装置は、第１４図
に示すように、自由空間に永久磁石１と磁気検知
器２を対向配置し、その一方が対向方向に移動す
るようにした構成である。
に示すように、自由空間に永久磁石１と磁気検知
器２を対向配置し、その一方が対向方向に移動す
るようにした構成である。
ロータリエンコーダによれば、被測定物が回動
した角度を検出することは可能であるが、被測定
物の基準位置に対する絶対的な角度、即ち角度位
置を検出することは不可能であつた。
した角度を検出することは可能であるが、被測定
物の基準位置に対する絶対的な角度、即ち角度位
置を検出することは不可能であつた。
また上記の測定装置によれば、永久磁石１が発
生した自由空間を伝播する磁界の強さを磁気検知
器２が検知し、その対向間隔ｌを知ることはでき
るが、磁気検知器２の回動角度位置を検出するこ
とは出来なかつた。
生した自由空間を伝播する磁界の強さを磁気検知
器２が検知し、その対向間隔ｌを知ることはでき
るが、磁気検知器２の回動角度位置を検出するこ
とは出来なかつた。
本発明の回動角度位置検出装置は、永久磁石と
磁性部材とよりなり、閉磁気回路を形成する実質
的に円環形状の磁気回路構造体と、 該磁気回路構造体の該磁性部材よりの漏洩磁束
による磁界の強さめ方向とを検知する磁気検知器
とよりなり、 前記磁気検知器が前記磁気回路構造体の円環の
外周又は内周面に対向し、且つ該磁気検知器と該
磁気回路構造体の一方が該磁気回路構造体の円環
の中心を回転中心として回転可能に設けられ、該
磁気検知器の検知出力より回動角度位置を検出す
ることを特徴とする。
磁性部材とよりなり、閉磁気回路を形成する実質
的に円環形状の磁気回路構造体と、 該磁気回路構造体の該磁性部材よりの漏洩磁束
による磁界の強さめ方向とを検知する磁気検知器
とよりなり、 前記磁気検知器が前記磁気回路構造体の円環の
外周又は内周面に対向し、且つ該磁気検知器と該
磁気回路構造体の一方が該磁気回路構造体の円環
の中心を回転中心として回転可能に設けられ、該
磁気検知器の検知出力より回動角度位置を検出す
ることを特徴とする。
磁気回路構造体は、その内側及び外側に永久磁
石より離れるにつれて弱まる漏洩磁束を発生さ
せ、磁気検知器は、被測定物の回動に応じて円環
形状の磁気回路構造体の周面に沿つて移動して漏
洩磁束を検知する。磁気検知器の出力に基づいて
被測定物の回動角度位置の絶対位置の検出が可能
となる。
石より離れるにつれて弱まる漏洩磁束を発生さ
せ、磁気検知器は、被測定物の回動に応じて円環
形状の磁気回路構造体の周面に沿つて移動して漏
洩磁束を検知する。磁気検知器の出力に基づいて
被測定物の回動角度位置の絶対位置の検出が可能
となる。
第１図及び第２図は夫々本発明の第１の実施例
になる回動角度位置検出装置を概略的に示す斜視
図及び平面図である。
になる回動角度位置検出装置を概略的に示す斜視
図及び平面図である。
両図中、１０は磁気回路構造体であり、一対の
半円形状の磁性部材（例えば鉄板）１１，１２
と、永久磁石１３，１４とよりなる円環形状であ
り、回転不能に固定してある。永久磁石１３，１
４は磁性部材１１，１２の両端で挾まれており、
円環形状の磁気回路構造体１０の一の直径方向上
両端に配されている。また永久磁石１３，１４は
磁気回路構造体１０の円周方向に磁極を有し、磁
気回路構造体１０は閉磁気回路を形成する。従つ
て、第２図に示すように磁性部材１１，１２には
永久磁石１３，１４のＮ極からＳ極に向かつて磁
束１５が通り、磁気回路構造体１０の内側には永
久磁石１３，１４から離れるにつれて弱まる漏洩
磁束１６が流れる。
半円形状の磁性部材（例えば鉄板）１１，１２
と、永久磁石１３，１４とよりなる円環形状であ
り、回転不能に固定してある。永久磁石１３，１
４は磁性部材１１，１２の両端で挾まれており、
円環形状の磁気回路構造体１０の一の直径方向上
両端に配されている。また永久磁石１３，１４は
磁気回路構造体１０の円周方向に磁極を有し、磁
気回路構造体１０は閉磁気回路を形成する。従つ
て、第２図に示すように磁性部材１１，１２には
永久磁石１３，１４のＮ極からＳ極に向かつて磁
束１５が通り、磁気回路構造体１０の内側には永
久磁石１３，１４から離れるにつれて弱まる漏洩
磁束１６が流れる。
上記の永久磁石１３，１４は、共に楔形状であ
り、頂部を内側に向けて配してある。これは、漏
洩磁束１６が磁気回路構造体１０の内側の全周に
亘つて生ずるようにして、角度検出範囲を180度
と最大限まで拡げるためである。
り、頂部を内側に向けて配してある。これは、漏
洩磁束１６が磁気回路構造体１０の内側の全周に
亘つて生ずるようにして、角度検出範囲を180度
と最大限まで拡げるためである。
１７は磁気検知器で、例えば強磁性金属（パー
マロイ等）の磁気抵抗を利用した磁気検知素子を
収容した構成を有し、軸１８より延出した腕１９
の先端に固定してあり、磁性部材１１の内周面に
近接して磁気回路構造体１０の内側に配されてい
る。被測定物の回動に応じて、軸１８が回動し、
磁気検知器１７は漏洩磁束１６を検知しつゝ磁性
部材１１の内周面に沿つて移動する。軸１８、腕
１９は共に非磁性体である。
マロイ等）の磁気抵抗を利用した磁気検知素子を
収容した構成を有し、軸１８より延出した腕１９
の先端に固定してあり、磁性部材１１の内周面に
近接して磁気回路構造体１０の内側に配されてい
る。被測定物の回動に応じて、軸１８が回動し、
磁気検知器１７は漏洩磁束１６を検知しつゝ磁性
部材１１の内周面に沿つて移動する。軸１８、腕
１９は共に非磁性体である。
上記の磁気検知器１７内の磁気検知素子は、電
極パターンと強磁性金属パターンとが斜め方向に
延在して交互にストライプ状に並びびだバーバー
ポール構造を有する。この磁気検知素子は、これ
に作用する磁界の強さを検知すると共に、磁界が
正方向か逆方向かの判別をすることが出来る。
極パターンと強磁性金属パターンとが斜め方向に
延在して交互にストライプ状に並びびだバーバー
ポール構造を有する。この磁気検知素子は、これ
に作用する磁界の強さを検知すると共に、磁界が
正方向か逆方向かの判別をすることが出来る。
磁気検知器１７（磁気検知素子）の検出方向
は、矢印Ａで示す方向である。
は、矢印Ａで示す方向である。
第３図は、上記磁気検知器１７が移動する場合
の漏洩磁束１６による磁界の強さ（磁気検知器１
７が検出する、第２図に矢印Ａで示す方向の磁界
の強さ）を示す図である。同図中、０度は第２図
中P1で示す角度位置である。P1は、永久磁石１
３と１４との中間位置であり、漏洩磁束は零であ
る。−90度、90度は、夫々P2，P3で示す永久磁石
１３，１４の頂部に対応する角度位置である。曲
線Ｉで示すように、磁界の強さは、０度において
零であり、０度と−90度の間では負、０度と90度
の間では正となる。
の漏洩磁束１６による磁界の強さ（磁気検知器１
７が検出する、第２図に矢印Ａで示す方向の磁界
の強さ）を示す図である。同図中、０度は第２図
中P1で示す角度位置である。P1は、永久磁石１
３と１４との中間位置であり、漏洩磁束は零であ
る。−90度、90度は、夫々P2，P3で示す永久磁石
１３，１４の頂部に対応する角度位置である。曲
線Ｉで示すように、磁界の強さは、０度において
零であり、０度と−90度の間では負、０度と90度
の間では正となる。
図２に二点鎖線で示すように、磁気検知器１７
が位置P2へ移動したときには、磁気検知器１７
には、矢印Ａとは逆方向の磁界が作用する。
が位置P2へ移動したときには、磁気検知器１７
には、矢印Ａとは逆方向の磁界が作用する。
また、磁気検知器１７が位置P1へ移動したと
きには、磁気検知器１７には、矢印Ａと同方向の
磁界が作用する。
きには、磁気検知器１７には、矢印Ａと同方向の
磁界が作用する。
第４図は、磁気検知器１７がP2〜P3間を移動
するときに、磁気検知器１７にて漏洩磁束１６を
検出した出力特性図である。縦軸は磁気検知器１
７の出力電圧、横軸は磁気検知器１７の回動角度
位置である。曲線で表わされる角度位置と出力
電圧との関係に基づいて、出力電圧から、磁気検
知器１７の角度位置、即ち被測定物の回動角度の
絶対位置が検出される。
するときに、磁気検知器１７にて漏洩磁束１６を
検出した出力特性図である。縦軸は磁気検知器１
７の出力電圧、横軸は磁気検知器１７の回動角度
位置である。曲線で表わされる角度位置と出力
電圧との関係に基づいて、出力電圧から、磁気検
知器１７の角度位置、即ち被測定物の回動角度の
絶対位置が検出される。
第５図は装置に搭載した磁気検知器１７の測定
系の構成例を示す回路図である。
系の構成例を示す回路図である。
第５図において、２１はパーマロイの磁気抵抗
を利用した磁気検知素子の等価回路、２２は定電
流源、２３は不平衡電圧の調整増幅回路、２４は
差動増幅回路である。定伝流源２２の入力端子２
５に印加する電圧V22を変えることで磁気検出素
子２１に印加する電流Ｉが変化可能であり。磁気
検出素子２１は、膜形成、及びエツチング等を経
て形成されたバーバーポールパターンが構成する
ブリツジ抵抗２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄを
有する。実際の製造工程では膜厚分布、パターン
寸法等に微妙なばらつきがあり、これが原因で、
抵抗２１ａ〜２１ｄの各抵抗値を一致させること
は難しく、各抵抗値は若干相違する。これによつ
て、磁気検出素子２１には、外部磁界と関係な
く、不平衡電圧が生ずる。
を利用した磁気検知素子の等価回路、２２は定電
流源、２３は不平衡電圧の調整増幅回路、２４は
差動増幅回路である。定伝流源２２の入力端子２
５に印加する電圧V22を変えることで磁気検出素
子２１に印加する電流Ｉが変化可能であり。磁気
検出素子２１は、膜形成、及びエツチング等を経
て形成されたバーバーポールパターンが構成する
ブリツジ抵抗２１ａ，２１ｂ，２１ｃ，２１ｄを
有する。実際の製造工程では膜厚分布、パターン
寸法等に微妙なばらつきがあり、これが原因で、
抵抗２１ａ〜２１ｄの各抵抗値を一致させること
は難しく、各抵抗値は若干相違する。これによつ
て、磁気検出素子２１には、外部磁界と関係な
く、不平衡電圧が生ずる。
この不平衡電圧は、可変抵抗Ｒを調整して、差
動増幅回路２４の基準電圧Vrefと不平衡電圧調
整回路の電圧V23とが一致するようにすることに
より、零とされる。そして、磁気検出素子２１の
出力は差動増幅回路２４を通つて例えば約100倍
に増幅され、出力端子２６に接続されるデジタル
マルチメータやＸ−Ｙレコーダ等にて、測定およ
び記録される。
動増幅回路２４の基準電圧Vrefと不平衡電圧調
整回路の電圧V23とが一致するようにすることに
より、零とされる。そして、磁気検出素子２１の
出力は差動増幅回路２４を通つて例えば約100倍
に増幅され、出力端子２６に接続されるデジタル
マルチメータやＸ−Ｙレコーダ等にて、測定およ
び記録される。
第６図及び第７図は夫々本発明の第２の実施例
になる回動角度位置検出装置を概略的に示す斜視
図及び平面図である。本実施例は、検出しうる角
度範囲を上記の第１の実施例の180度より広げて
360度としたものである。両図中、第１図及び第
２図に示す構成部分と実質上同一構成部分には同
一符号を付し、その説明は省略する。
になる回動角度位置検出装置を概略的に示す斜視
図及び平面図である。本実施例は、検出しうる角
度範囲を上記の第１の実施例の180度より広げて
360度としたものである。両図中、第１図及び第
２図に示す構成部分と実質上同一構成部分には同
一符号を付し、その説明は省略する。
第６図及び第７図中、３０は磁気回路構造体で
あり、略環状の磁性部材３１と、磁性部材３１の
端部間に設けられた永久磁石３２とよりなり、回
転不能に固定してある。永久磁石３２は磁気回路
構造体３０の円周方向に磁極を有し、磁気回路構
造体３０は閉磁気回路を形成する。磁性部材３１
内には磁束３３が通り、磁気回路構造体３０の内
側には永久磁石３２から離れるにつれて弱まる漏
洩磁束３４が流れる。角度検出範囲が360度と最
大限まで拡がるように、永久磁石３２は楔形状で
あり、頂部を内側に向けて配してある。
あり、略環状の磁性部材３１と、磁性部材３１の
端部間に設けられた永久磁石３２とよりなり、回
転不能に固定してある。永久磁石３２は磁気回路
構造体３０の円周方向に磁極を有し、磁気回路構
造体３０は閉磁気回路を形成する。磁性部材３１
内には磁束３３が通り、磁気回路構造体３０の内
側には永久磁石３２から離れるにつれて弱まる漏
洩磁束３４が流れる。角度検出範囲が360度と最
大限まで拡がるように、永久磁石３２は楔形状で
あり、頂部を内側に向けて配してある。
被測定物の回動に応じて、軸１８が回動し、磁
気検知器１７は漏洩磁束３４を検知しつゝ磁性部
材３１の内周面に沿つて移動する。
気検知器１７は漏洩磁束３４を検知しつゝ磁性部
材３１の内周面に沿つて移動する。
この磁気検知器１７内の磁気検知素子も前記と
同じくバーバーポール構造を有しており、磁気検
知素子は、これに作用する磁界の強さを検知する
と共に磁界の方向を判別することが出来る。
同じくバーバーポール構造を有しており、磁気検
知素子は、これに作用する磁界の強さを検知する
と共に磁界の方向を判別することが出来る。
この磁気検知器１７（磁気検知素子）の検出方
向は、矢印Ｂで示す方向である。
向は、矢印Ｂで示す方向である。
第８図は、上記磁気検知器１７が移動する場合
の漏洩磁束３４による磁界の強さ（磁気検知器１
７が検出する、第７図に矢印Ｂで示す方向の磁界
の強さ）を示す図である。同図中、０度は第７図
中Q1で示す角度位置である。Q1は、直径方向上
永久磁石３２とは反対側の位置であり、漏洩磁束
は零である。−90度、90度は、夫々Q2，Q3で示す
角度位置である。−180度（180度）は、Q3で示す
永久磁石３２の頂部に対応する位置である。第８
図中、曲線で示すように、磁界の強さは、０度
において零であり、０度と−180度の間では負、
０度と＋180度との間では正となる。
の漏洩磁束３４による磁界の強さ（磁気検知器１
７が検出する、第７図に矢印Ｂで示す方向の磁界
の強さ）を示す図である。同図中、０度は第７図
中Q1で示す角度位置である。Q1は、直径方向上
永久磁石３２とは反対側の位置であり、漏洩磁束
は零である。−90度、90度は、夫々Q2，Q3で示す
角度位置である。−180度（180度）は、Q3で示す
永久磁石３２の頂部に対応する位置である。第８
図中、曲線で示すように、磁界の強さは、０度
において零であり、０度と−180度の間では負、
０度と＋180度との間では正となる。
図７に二点鎖線で示すように、磁気検知器１７
が位置Q2を通つて移動してきて位置Q3aへ到つた
ときには、磁気検知器１７には、矢印Ｂと同方向
の磁界が作用する。
が位置Q2を通つて移動してきて位置Q3aへ到つた
ときには、磁気検知器１７には、矢印Ｂと同方向
の磁界が作用する。
磁気検知器１７が更に僅かに移動して位置Q3b
へ到つたときには、一転して磁気検知器１７に
は、矢印Ｂとは逆方向の磁界が作用する。
へ到つたときには、一転して磁気検知器１７に
は、矢印Ｂとは逆方向の磁界が作用する。
第９図は、磁気検知器１７がQ3→Q2→Q1→Q4
→Q3と移動するときに、磁気検知器１７にて漏
洩磁束３４を検出した出力特性図である。縦軸は
磁気検知器１７の出力電圧、横軸は磁気検知器１
７の回動角度位置である。曲線で表わされる角
度位置と出力電圧との関係に基づいて、出力電圧
から、磁気検知器１７の角度位置、即ち被測定物
の回動角度の絶対位置が検出される。
→Q3と移動するときに、磁気検知器１７にて漏
洩磁束３４を検出した出力特性図である。縦軸は
磁気検知器１７の出力電圧、横軸は磁気検知器１
７の回動角度位置である。曲線で表わされる角
度位置と出力電圧との関係に基づいて、出力電圧
から、磁気検知器１７の角度位置、即ち被測定物
の回動角度の絶対位置が検出される。
第１０図及び第１１図は夫々本発明の第３実施
例になる回動角度位置検出装置の概略を示す斜視
図及び平面図である。本実施例は、磁気回路構造
体の外側への漏洩磁束を利用して、180度の範囲
の角度位置を検出しうるように構成してある。
例になる回動角度位置検出装置の概略を示す斜視
図及び平面図である。本実施例は、磁気回路構造
体の外側への漏洩磁束を利用して、180度の範囲
の角度位置を検出しうるように構成してある。
両図中、磁気回路構造体４０は、第１図及び第
２図の磁気回路構造体１０と実質上同一であり、
半円形状の磁性部材４１，４２と、頂部を内周側
に向けて配された楔形状の永久磁石４３，４４と
よりなり、閉磁気回路を形成している。４５は磁
性部材４１，４２内を通る磁束、４６は磁気回路
構造体４０の外側に漏洩した漏洩磁束である。こ
の漏洩磁束４６は、前記の漏洩磁束１６と同様に
永久磁石４３，４４から離れるにつれて弱まつた
ものとなる。
２図の磁気回路構造体１０と実質上同一であり、
半円形状の磁性部材４１，４２と、頂部を内周側
に向けて配された楔形状の永久磁石４３，４４と
よりなり、閉磁気回路を形成している。４５は磁
性部材４１，４２内を通る磁束、４６は磁気回路
構造体４０の外側に漏洩した漏洩磁束である。こ
の漏洩磁束４６は、前記の漏洩磁束１６と同様に
永久磁石４３，４４から離れるにつれて弱まつた
ものとなる。
磁気検知器１７は磁気回路構造体４０の外周面
に近接しており、被測定物の回動に応じて矢印で
示すように漏洩磁束４６を検出しつゝ磁性部材４
１の外周面に沿つて移動する。磁気検知器１７よ
りの出力により、180度の検出範囲において磁気
検知器１７の回動角度位置の絶対位置が検出され
る。
に近接しており、被測定物の回動に応じて矢印で
示すように漏洩磁束４６を検出しつゝ磁性部材４
１の外周面に沿つて移動する。磁気検知器１７よ
りの出力により、180度の検出範囲において磁気
検知器１７の回動角度位置の絶対位置が検出され
る。
第１２図及び第１３図は夫々本発明の第４実施
例になる回動角度位置検出装置の概略を示す斜視
図及び平面図である。本実施例は、磁気回路構造
体の外側けの漏洩磁束を利用して、360度の範囲
の角度位置を検出しうるように構成してある。
例になる回動角度位置検出装置の概略を示す斜視
図及び平面図である。本実施例は、磁気回路構造
体の外側けの漏洩磁束を利用して、360度の範囲
の角度位置を検出しうるように構成してある。
両図中、磁気回路構造体５０は、第６図及び第
７図の磁気回路構造体２０と実質上同一であり、
略円環形状の磁性部材５１と、頂部を内周側に向
けて配された楔形状の永久磁石５２とよりなり、
閉磁気回路を形成している。５３は磁性部材５１
内を通る磁束、５４は磁気回路構造体５０の外側
に漏洩した漏洩磁束である。この漏洩磁束５４
は、前記の漏洩磁束３４と同様に永久磁石５２か
ら離れるにつれて弱まつたものとなる。
７図の磁気回路構造体２０と実質上同一であり、
略円環形状の磁性部材５１と、頂部を内周側に向
けて配された楔形状の永久磁石５２とよりなり、
閉磁気回路を形成している。５３は磁性部材５１
内を通る磁束、５４は磁気回路構造体５０の外側
に漏洩した漏洩磁束である。この漏洩磁束５４
は、前記の漏洩磁束３４と同様に永久磁石５２か
ら離れるにつれて弱まつたものとなる。
磁気検知器１７は磁気回路構造体５０の外周面
に近接しており、被測定物の回動に応じて矢印で
示すように漏洩磁束５４を検出しつゝ磁性部材５
１の外周面に沿つて移動する。磁気検知器１７よ
りの出力により、360度の検出範囲において磁気
検知器１７の回動角度位置の絶対位置が検出され
る。
に近接しており、被測定物の回動に応じて矢印で
示すように漏洩磁束５４を検出しつゝ磁性部材５
１の外周面に沿つて移動する。磁気検知器１７よ
りの出力により、360度の検出範囲において磁気
検知器１７の回動角度位置の絶対位置が検出され
る。
上記の各実施例は、磁気回路構造体１０，３
０，４０，５０が固定で、磁気検知器１７が被測
定物の回動に応じて回動する構成であるが、これ
とは逆に、磁気検知器１７を固定し、磁気回路構
造体１０，３０，４０，５０を回動可能に支持
し、磁気回路構造体１０，３０，４０，５０が被
測定物の回動に応じて回動する構成とすることも
できる。
０，４０，５０が固定で、磁気検知器１７が被測
定物の回動に応じて回動する構成であるが、これ
とは逆に、磁気検知器１７を固定し、磁気回路構
造体１０，３０，４０，５０を回動可能に支持
し、磁気回路構造体１０，３０，４０，５０が被
測定物の回動に応じて回動する構成とすることも
できる。
また永久磁石１３，１４，３２，４３，４４，
５２が上記の楔形状に限るものでないのも勿論で
ある。
５２が上記の楔形状に限るものでないのも勿論で
ある。
以上説明した如く、本発明によれば、回動する
被測定物の角度の絶対位置を非接触的に検出する
ことが出来、しかも構成を簡単とし得るという効
果を有する。
被測定物の角度の絶対位置を非接触的に検出する
ことが出来、しかも構成を簡単とし得るという効
果を有する。
第１図は本発明の第１の実施例になる回動角度
位置検出装置の概略を示す斜視図、第２図は該回
動角度位置検出装置を漏洩磁束と併せて示す平面
図、第３図は該漏洩磁束による磁界の強さを示す
図、第４図は前記第１実施例になる回動角度位置
検出装置の出力特性図、第５図は回動角度位置検
出装置の測定系を示す回路図、第６図は本発明の
第２実施例になる回動角度位置検出装置の概略を
示す斜視図、第７図は該回動角度位置検出装置を
漏洩磁束と併せて示す平面図、第８図は該漏洩磁
束による磁界の強さを示す図、第９図は前記第２
実施例になる回動角度位置検出装置の出力特性
図、第１０図は本発明の第１の実施例になる回動
角度位置検出装置の概略を示す斜視図、第１１図
は該回動角度位置検出装置を漏洩磁束と併せて示
す平面図、第１２図は本発明の第１実施例になる
回動角度位置検出装置の概略を示す斜視図、第１
３図は該回動角度位置検出装置を漏洩磁束と併せ
て示す平面図、第１４図は従来技術になるポテン
シヨメータの斜視図、である。 第１図、第２図、第６図、第７図、第１０図乃
至第１３図において、１０，３０，４０，５０は
磁気回路構造体、１１，１２，３１，４１，４
２，５１は磁性部材、１３，１４，３２，４３，
４４，５２は永久磁石、１５，３３，４５，５３
は磁束、１６，３４，４６，５４は漏洩磁束、１
７は磁気検知器、１８は軸、１９は腕である。
位置検出装置の概略を示す斜視図、第２図は該回
動角度位置検出装置を漏洩磁束と併せて示す平面
図、第３図は該漏洩磁束による磁界の強さを示す
図、第４図は前記第１実施例になる回動角度位置
検出装置の出力特性図、第５図は回動角度位置検
出装置の測定系を示す回路図、第６図は本発明の
第２実施例になる回動角度位置検出装置の概略を
示す斜視図、第７図は該回動角度位置検出装置を
漏洩磁束と併せて示す平面図、第８図は該漏洩磁
束による磁界の強さを示す図、第９図は前記第２
実施例になる回動角度位置検出装置の出力特性
図、第１０図は本発明の第１の実施例になる回動
角度位置検出装置の概略を示す斜視図、第１１図
は該回動角度位置検出装置を漏洩磁束と併せて示
す平面図、第１２図は本発明の第１実施例になる
回動角度位置検出装置の概略を示す斜視図、第１
３図は該回動角度位置検出装置を漏洩磁束と併せ
て示す平面図、第１４図は従来技術になるポテン
シヨメータの斜視図、である。 第１図、第２図、第６図、第７図、第１０図乃
至第１３図において、１０，３０，４０，５０は
磁気回路構造体、１１，１２，３１，４１，４
２，５１は磁性部材、１３，１４，３２，４３，
４４，５２は永久磁石、１５，３３，４５，５３
は磁束、１６，３４，４６，５４は漏洩磁束、１
７は磁気検知器、１８は軸、１９は腕である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 永久磁石１３，１４，３２，４３，４４，５
２と磁性部材１１，１２，３１，４１，６２，５
１とよりなり、閉磁気回路を形成する実質的に円
環形状の磁気回路構造体１０，３０，４０，５０
と、 該磁気回路構造体１０，３０，４０，５０の該
磁性部材１１，１２，３１，４１，４２，５１よ
りの漏洩磁束１６，３４，４６，５４による磁界
の強さと方向とを検知する磁気検知器１７とより
なり、 前記磁気検知器１７が前記磁気回路構造体１
０，３０，４０，５０の円環の外周又は内周面に
対向し、且つ該磁気検知器１７と該磁気回路構造
体１０，３０，４０，５０の一方が該磁気回路構
造体１０，３０，４０，５０の円環の中心を回転
中心として回転可能に設けられ、該磁気検知器１
７の検知出力より回動角度位置を検出することを
特徴とする回動角度位置検出装置。 ２ 前記磁気回路構造体３０，５０は、略円環状
の磁性部材３１，５１と、円周方向に磁極を有し
該磁性部材３１，５１と接続された単一の永久磁
石３２，５２とよりなることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の回動角度位置検出装置。 ３ 前記磁気回路構造体１０，４０は、円周方向
に磁極を有しその直径方向上両端に配された一対
の永久磁石１３，１４，４３，４４と、夫々の両
端で該永久磁石１３，１４，４３，４４を挟持す
るように設けられた一対の半円形状の磁性部材１
１，１２，４１，４２とよりなることを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載の回動角度位置検出
装置。 ４ 前記永久磁石１３，１４，３２，４３，４
４，４５は楔形状であることを特徴とする特許請
求の範囲第２項又は第３項記載の回動角度位置検
出装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61009566A JPS62168004A (ja) | 1986-01-20 | 1986-01-20 | 回動角度位置検出装置 |
| KR1019860007048A KR900004780B1 (ko) | 1985-09-13 | 1986-08-25 | 자기(磁氣) 센서를 사용한 위치 검출장치 |
| US06/906,027 US4810965A (en) | 1985-09-13 | 1986-09-11 | Position detecting apparatus using a magnetic sensor and a closed magnetic circuit with non-uniform magnetic flux distribution |
| DE8686112639T DE3668692D1 (de) | 1985-09-13 | 1986-09-12 | Positionsdetektor mit magnetischem sensor. |
| EP86112639A EP0215454B1 (en) | 1985-09-13 | 1986-09-12 | Position detecting apparatus utilizing a magnetic sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61009566A JPS62168004A (ja) | 1986-01-20 | 1986-01-20 | 回動角度位置検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62168004A JPS62168004A (ja) | 1987-07-24 |
| JPH0553202B2 true JPH0553202B2 (ja) | 1993-08-09 |
Family
ID=11723843
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61009566A Granted JPS62168004A (ja) | 1985-09-13 | 1986-01-20 | 回動角度位置検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62168004A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4736210B2 (ja) * | 2000-11-08 | 2011-07-27 | ヤマハ株式会社 | センサ |
| JP6536872B2 (ja) * | 2014-11-05 | 2019-07-03 | 株式会社竹中工務店 | 地磁気偏角補正用磁性体及び地磁気の偏角補正方法 |
-
1986
- 1986-01-20 JP JP61009566A patent/JPS62168004A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62168004A (ja) | 1987-07-24 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |