JP4234004B2 - 対象物の角位置を測定するための装置 - Google Patents

対象物の角位置を測定するための装置 Download PDF

Info

Publication number
JP4234004B2
JP4234004B2 JP2003510900A JP2003510900A JP4234004B2 JP 4234004 B2 JP4234004 B2 JP 4234004B2 JP 2003510900 A JP2003510900 A JP 2003510900A JP 2003510900 A JP2003510900 A JP 2003510900A JP 4234004 B2 JP4234004 B2 JP 4234004B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetoresistive
magnetic field
permanent magnet
sensors
shaft
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2003510900A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2004533622A (ja
Inventor
マッシアス ウェント
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NXP BV
Original Assignee
NXP BV
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by NXP BV filed Critical NXP BV
Publication of JP2004533622A publication Critical patent/JP2004533622A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4234004B2 publication Critical patent/JP4234004B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/12Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means
    • G01D5/14Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage
    • G01D5/142Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices
    • G01D5/145Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable using electric or magnetic means influencing the magnitude of a current or voltage using Hall-effect devices influenced by the relative movement between the Hall device and magnetic fields
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D2205/00Indexing scheme relating to details of means for transferring or converting the output of a sensing member
    • G01D2205/70Position sensors comprising a moving target with particular shapes, e.g. of soft magnetic targets
    • G01D2205/73Targets mounted eccentrically with respect to the axis of rotation
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D2205/00Indexing scheme relating to details of means for transferring or converting the output of a sensing member
    • G01D2205/70Position sensors comprising a moving target with particular shapes, e.g. of soft magnetic targets
    • G01D2205/77Specific profiles
    • G01D2205/777Whorl-shaped profiles

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、電流が流れると共に、自身の表面によって規定される平面と平行している磁場内に設けられるプレーナ磁気抵抗センサを使用して、対象物の角位置を測定するための装置に関する。前記磁場は、シャフト上に回転ジャーナルとしての磁石の装置によって生成される。前記シャフトの前記角位置は、前記測定されるべき対象物の角位置に対応する。
【0002】
【従来の技術】
磁気抵抗センサは、薄膜基体に設けられる強磁性体ホイル(ferromagnetic foil)によって構成される、少なくとも一つの磁気抵抗性の抵抗から構成される。温度の影響及び製造ばらつきを排除するために、好ましくは四つの磁気抵抗性の抵抗がブリッジ回路において使用される。前記ブリッジにおける出力電圧は、前記センサの表面の磁化と電流の方向との間の角αの目安となっていると共に、関数sin(2α)に比例している。
【0003】
二つの抵抗ブリッジから構成され、第二の抵抗ブリッジが第一の抵抗ブリッジに対して45度回転されている磁気抵抗センサが知られている。それによって、ほぼ180度の、測定可能な角度の範囲が達成されている。
【0004】
二つの永久磁石が、互いに対向すると共に、当該磁石の間にもたらされる磁場は少なくとも磁場センサをカバーしている領域において均質となる態様でフラックスガイドリング(flux guide ring)の内側に設けられていることは、2000年3月24日に発行されたフィリップス社データシートAN00023から知られている。当該フラックスガイドリングは、前記測定されるべき対象物のシャフト上の中心に設けられる。回転軸に対して垂直に設けられる磁気抵抗センサはロータリシャフト(rotary shaft)の端部に対向している。当該装置において、前記測定されるべき対象物の回転角αは、前記センサの表面上の磁場の回転角αに等しい。磁場の極性に関するいかなる情報も提供しない異方性効果のために、前記測定可能な角度の範囲は180度に制限されている。このことは、回転角10度で生成される信号は、回転角180度+10度、すなわち190度で生成される信号に正確に対応していることを意味している。
【0005】
コンパス(compass)における磁気抵抗センサの使用は、DE4301704A1から知られている。すなわち当該センサは、360度の角度の範囲をカバーしている。当該目的のために、少なくとも前記回転面とほぼ平行に方向付けられている層平面を有する複数の重畳層(superimposed layer)から構成される層システムで形成され、前記層平面において前記磁場によって回転可能な磁化をもたらす少なくとも一つの測定層(measuring layer)が設けられると共に、前記層平面において少なくとも前記磁場にほとんど依存していない磁化をもたらす少なくとも一つのバイアス層が設けられ、電気抵抗は前記測定層の磁化と前記バイアス層の磁化との間の角度に依存している、二つの精巧な磁気抵抗センサが必要とされる。コンパスとして使用されるとき、電流の強さに影響を及ぼす前記磁場は地磁気なので、グランド基準で測定されるべき対象物の位置依存性が得られる。基準点f=0度も自由に規定され得ない。
【0006】
当該公知例には、所与の自由選択可能なシャフトの回りを回転すると共に磁石の装置を備える対象物の完全な回転が確認され得る態様について記載されていない。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
従って、本発明の目的は、0度と全回転(complete rotation)との間にあってもよい対象物の角位置を測定するための装置を提供することにある。グランド基準の対象物の回転軸は、自由に選択可能であるべきである。当該装置は、かなり単純であるが、同時に温度の影響及び製造ばらつきを排除するセンサコンポーネントから構成されるべきである。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、対称軸に対して対称形の磁石の装置が中心から外れてジャーナル(journal)されることで当該目的は達成される。変形例において、本発明による対象物は、中心にジャーナルされた磁石の装置が非対称な断面を有することで達成される。本発明による両方の装置において、前記二つの磁気抵抗センサ上における磁場ベクトルの明確な組み合わせ(unambiguous combination)が、0度と360度との間の磁石の装置のいかなる可能な角位置に対しても評価される。一方で前記二つの磁場ベクトルの組み合わせと、他方で前記測定されるべき角位置との間の明確な割り当て(unambiguous assignment)は、全ての単一の磁気抵抗センサの出力信号が、前記磁石の装置は一つの全回転を表す周期を正確にカバーすることで実現される。本発明によれば、このことは、磁気抵抗センサにおいて出力信号を変化させる角度αが、前記測定されるべき対象物の角位置を示す角度fに等しくならないことで実現される。
【0009】
冒頭の段落において記載されている種類の磁気抵抗センサは、180度の周期的な出力信号を有している。すなわち、角度α=Xに対して、前記出力信号はα=X+180度、α=X+360度、及びα=X+540度等に対する値と同じ(電圧)値をもたらす。このことは、非接触角位置測定の多くの用途において信頼性の高いことが分かった前記磁気抵抗センサの構成によって規定される。
【0010】
本発明による装置において、出力信号の180度の周期性は、角度αが最初にほぼ0度からほぼ180度に増加し、その後ほぼ0度に再び減少することで排除される。角度αのターニングポイント(turning point)は、好ましくは角位置f=180度である。従って、角度αに依存している、前記磁気抵抗センサの出力信号は、(想定されることに)横座標上のf=180度における回転角fに関してミラー反転される。結果として、角度α=X+180度に対する出力値は、もはやα=Xと同じではない。
【0011】
従って、複数の角度fの値が、単一の磁気抵抗センサの出力信号の値に割り当てられる。前記明確な状態(unambiguous situation)は、第二の磁気抵抗センサの出力信号との比較によってのみ実現される。自身の位置によって規定されるので、当該第二のセンサは、第一のセンサに対して90度シフトされている出力信号を供給する。両方の出力信号は、電気的評価回路にもたらされる。
【0012】
第二の磁気抵抗センサが、第一のセンサの平面と垂直な平面内に設けられると有利となる。その結果、前記磁石の装置は、第二の磁気抵抗センサを回転層の四分の一だけカバーする。前記二つの磁気抵抗センサが同じ構成を有しているので、当該センサの出力信号は均質となる。必要とされる前記二つのセンサの相互配置のため、当該センサの出力信号は90度位相シフトされる。
【0013】
前記磁石の装置が、中心に設けられた永久磁石、外側の強磁性体回路、並びに、前記永久磁石と前記外側の強磁性体回路との間のエアーギャップを有する場合有利となる。前記永久磁石からもたらされる力線(field line)は、空気よりも高い透磁率を有する強磁性体回路によって集められると共にフィードバックされる。
【0014】
変形例において、前記永久磁石は、カム形状の断面を有している。従って、前記二つの磁気抵抗センサの各々は、同時に異なる磁場によって影響を受けること、すなわち前記二つの出力信号は互いに位相シフトされることが保証される。
【0015】
フェライト混入(ferritic contamination)を防止するために、前記磁石の装置のエアーギャップは、非導電性材料、例えば合成樹脂材で満たされてもよい。
【0016】
前記二つのプレーナ磁気抵抗センサの平面が、前記測定されるべき対象物の回転軸と平行に設けられると、非常に単純で、従って経済的な構成を有する装置の使用が可能となる。
【0017】
前記二つの磁気抵抗センサが共通のキャリアプレート上に設けられると、当該センサは、互いに熱的に接続されると共に、温度変化で自身の特性を均質に変化させる。当該センサは、前記測定物に対して感度の高い領域が、可能な限り当該測定物から離れるように、好ましくは当該共通のキャリアプレート上に垂直に実装される。
【0018】
前記キャリアプレートは、前記二つのセンサの間の距離が前記磁石の装置に対して均質な長さとなるように、好ましくは、前記測定されるべき対象物の回転軸と垂直な態様で設けられる。
【0019】
一つの実施例において、前記磁気抵抗センサは集積回路の一部を形成するので、磁石の装置の実装が容易且つ経済的となる。
【0020】
好ましい実施例において、磁気抵抗センサは、単一の抵抗の製造におけるばらつきの補償が前記出力信号に対して既に実現されているように、四つの磁気抵抗性の抵抗を各々備える、少なくとも一つのホイートストンブリッジ(Wheatstone bridge)を有している。
【0021】
対称的な回転によって構成される、磁石の装置の、中心から外れた配置、又は非対称な断面を有する永久磁石の中心配置の何れかによって、力線の変動は前記測定されるべき対象物の角位置の目安となる不均質な磁場が生成されることは本発明にとって不可欠なことである。
【0022】
本発明のこれら及び他の態様は、以下に記載された実施例から明らかであり、これらの実施例を参照して説明される。
【0023】
【発明の実施の形態】
図1は、磁気抵抗性の抵抗の薄膜構造1を概略的に示している。電流が流れる導体2は、薄膜構造1の平面と平行な磁場によって重畳される。抵抗は、磁化と電流方向との間で変化する角度αに伴って変化する。この関係は、等式
【数1】
Figure 0004234004
によって表される。
【0024】
図2は、永久磁石4しか示されていないが、集積回路3としての磁気抵抗センサを示している。図3における関連グラフは、ブリッジ回路の出力信号を示している。当該信号は、180度の周期を有する正弦波出力信号である。
【0025】
図4及び5は、二つの永久磁石4によって生成される均質な磁場と、回転軸5と、当該軸に対して垂直に設けられている磁気抵抗センサ6と、回転角αとを備える最新技術を示している。二つの永久磁石4は、磁気の外部作用からの保護を更に保証する外側のフラックスガイドリング7上に設けられる。磁気抵抗センサ6は、非鉄製の支持体(non−ferriferous support)8に固定される。
【0026】
図6は、本発明による装置を示している。二つの磁気抵抗センサ6及び9は、表示のみされているキャリアプレート10上に垂直に設けられている。永久磁石4が回転軸11に対して中心から外れて設けられていることは明らかに認識され得る。当該図は、シャフト11が、前記測定されるべき対象物に接続されていないことを示している。
【0027】
図7a乃至7cは、磁気抵抗センサ6に関連して、磁場ベクトル12が前記測定されるべき対象物の回転角fの目安となる態様を例示によって示している。磁極と平行な直線15と共に、磁場ベクトル12は角度αを構成する。前記磁気抵抗センサが前記エアーギャップ上の中心にもたらされると、磁化角(angle of magnetization)は0度となる(図7b参照)。前記磁気抵抗センサが二つの磁極のうちの一つの上にもたらされると、磁化角はほぼ+90度又はほぼ−90度となる。X軸としての直線15と、Z軸としての回転軸11とは、示されている座標系を構成している。磁気抵抗センサ6は、互いに接触しないように磁極に対してZ方向にオフセットを持っている。好ましい実施例において、永久磁石4及び強磁性体回路14を備える磁石の装置は、前記測定されるべき対象物の開始位置、すなわちf=0度において、前記磁気抵抗センサが一方の磁極に対向して位置され(図7a参照)、前記磁気抵抗センサのf=90度の角回転の後に前記エアーギャップ上の中心に位置され、f=180度の回転後に他の磁極に対向して位置される(図7c参照)態様で特徴付けられる。磁場ベクトル12は、その間反時計回りに回転するので、角度αは変化する。対象物が180度を超えて更に回転されると、示されている位置は反対回り、すなわち図7bにおける位置を介して図7cにおける位置から図7aにおける位置に逆回転し、これは360度のフル回転に相当している。その間、磁場ベクトル12は時計回りに回転し、図7aに示されている開始位置に戻る。前記出力信号は、磁場ベクトル12が自身の回転方向(sense of rotation)を変化させる時点から、磁場ベクトル12が図7aに示されている自身の開始位置に再び戻るまで、鏡像状態(mirror−imaged)を保持している。このようにして、360度の周期を有する電圧が、前記磁気抵抗センサに対する出力信号として生成される。前記測定されるべき対象物の各々の角位置に対する測定値がもたらされる。あいまいな値(ambiguity)が当該基本正弦波出力信号においてもたらされるため、比較値が必要とされる。第一のセンサの平面と直交する面内に設けられると共に、90度位相シフトされているが第一の磁気抵抗センサと同じ信号を生成する第二の磁気抵抗センサ9によって、当該値は生成される。
【0028】
当該好ましい実施例において、ほとんど完全な磁場が、評価のために利用される。このことによって、可能な限り高い精度の測定結果がもたらされる。同じ構造を有すると共に同じ製造バッチ(batch)に由来する磁気抵抗センサが好ましくは使用される。それによって、ばらつき(spread)(例えば温度作用)によって引き起こされ得る影響の効果的な抑圧が実現される。
【0029】
図8は、当該装置の平面図である。前記磁石が、前記永久磁石と外側の強磁性体回路14との間の一定幅のエアーギャップ13を備える対称構造を有していることは明らかに認識され得る。永久磁石4は、シャフト11上において中心から外れて設けられている。
【0030】
非対称な磁石を使用するときも、スループットエアーギャップ(throughput air gap)が設けられていることは図9から認識され得る。前記エアーギャップは、磁場が均質な態様で形成されるように、実用的な範囲でできる限り等間隔の幅にされるべきである。使用されてない範囲において、前記エアーギャップは、磁束(flux)が前記実用的な範囲に集められるように、拡げられるべきである。前記使用不可能なエアーギャップの範囲は、放射状に延在している。
【0031】
前記実施例に示されているポット形状の磁気回路の代わりに、前記場(field)の形状は、相応に磁化された永久磁気物質によって直接生成されてもよい。磁化させるために、前記エアーギャップの代わりに電流ループが形成されなければならない。当該電流ループは、そのとき正確に所望の磁化をもたらす。好適な磁化デバイスは、中心からずれた、環状の磁化を作り出す。
【0032】
本発明による装置は、非接触測定、すなわちコンポーネントの機械的摩滅、従って磨耗がないという利点を有している。二つの磁気抵抗センサが共通のキャリアプレート上に設けられるので、当該センサは、自身の温度変動に関する限り同じに扱われる。それ故に、前記信号の評価における温度変化は無視され得る。
【0033】
本発明による装置は、自身が磁場の強さに依存していないという更なる利点を有している。従って、前記センサと前記磁石の装置との間の、許容条件距離(tolerance−conditioned distance)は測定結果に影響を及ぼさない。
【図面の簡単な説明】
【図1】 薄膜構造の磁気抵抗効果を示している。
【図2】 関連した永久磁石を備える磁気抵抗センサを示している。
【図3】 関連した出力信号を示している。
【図4】 断面構造を示している。
【図5】 平面構造を示している。
【図6】 部分的な断面で、本発明による装置を示している。
【図7a】 前記センサの平面で、磁場ベクトルの回転を示している。
【図7b】 前記センサの平面で、磁場ベクトルの回転を示している。
【図7c】 前記センサの平面で、磁場ベクトルの回転を示している。
【図8】 二つの磁気抵抗センサの構造及び磁石の装置の平面図を示している。
【図9】 カム形状の磁芯を備える実施例を示している。

Claims (9)

  1. 磁場内に設けられた第一及び第二のプレーナ磁気抵抗エレメントを使用して、対象物の角位置を測定するための装置であって、
    前記磁場が、シャフト上に回転可能に設けられた永久磁石と環状の強磁性体回路とによって生成され、前記永久磁石は前記環状の強磁性体回路の中心に設けられており、前記永久磁石と前記環状の強磁性体回路との間にはエアーギャップが形成されており
    前記シャフトの前記角位置が、前記測定されるべき対象物の前記角位置に対応しており、
    前記シャフトは、前記環状の強磁性体回路の中心から外れて配置されており
    前記第一及び第二のプレーナ磁気抵抗エレメントは、それぞれ、第一及び第二の磁気抵抗センサであり、
    前記第一及び第二の磁気抵抗センサに電流が流れ、
    前記第一及び第二の磁気抵抗センサは、それらの表面によって規定される平面が、前記環状の強磁性体回路の中心から外側に向かう面と平行になるように、それぞれ、設けられており、
    前記永久磁石における前記第一及び第二の磁気抵抗センサ側の端面と、前記環状の強磁性体回路における前記第一及び第二の磁気抵抗センサ側の端面との間に、磁路を形成するように、前記磁場は生成されており、
    前記第一及び第二の磁気抵抗センサは、共通のキャリアプレート上に設けられており、
    前記第二の磁気抵抗センサが、前記第一の磁気抵抗センサの前記平面と垂直な平面内に設けられている、
    ことを特徴とする装置。
  2. 記永久磁石が、カム形状の断面を有する、
    ことを特徴とする請求項1に記載の装置。
  3. 記エアーギャップが、非導電性物質で満たされることを特徴とする請求項1に記載の装置。
  4. 前記第一及び第二の磁気抵抗センサの前記平面が、前記シャフトの回転軸と平行に設けられることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載の装置。
  5. 前記第一及び第二の磁気抵抗センサが、共通のキャリアプレート上に前記プレートと垂直に設けられることを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項に記載の装置。
  6. 前記キャリアプレートが、前記シャフトの回転軸と垂直に設けられることを特徴とする請求項5に記載の装置。
  7. 前記第一及び第二の磁気抵抗センサが、集積回路の一部を形成することを特徴とする請求項1乃至6の何れか一項に記載の装置。
  8. 前記第一及び第二の磁気抵抗センサが、四つの磁気抵抗性の抵抗を各々備えるホイートストンブリッジを有することを特徴とする請求項1乃至7の何れか一項に記載の装置。
  9. 評価デバイスに接続されることを特徴とする請求項1乃至8の何れか一項に記載の装置。
JP2003510900A 2001-07-03 2002-07-02 対象物の角位置を測定するための装置 Expired - Fee Related JP4234004B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE10132215A DE10132215A1 (de) 2001-07-03 2001-07-03 Anordnung zum Messen der Winkelposition eines Objektes
PCT/IB2002/002649 WO2003004973A1 (en) 2001-07-03 2002-07-02 Arrangement for measuring the angular position of an object

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2004533622A JP2004533622A (ja) 2004-11-04
JP4234004B2 true JP4234004B2 (ja) 2009-03-04

Family

ID=7690453

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003510900A Expired - Fee Related JP4234004B2 (ja) 2001-07-03 2002-07-02 対象物の角位置を測定するための装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7417421B2 (ja)
EP (1) EP1405042A1 (ja)
JP (1) JP4234004B2 (ja)
DE (1) DE10132215A1 (ja)
WO (1) WO2003004973A1 (ja)

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7268538B2 (en) * 1998-05-08 2007-09-11 Wabash Technologies, Inc. Magnetic rotational position sensor
JP4016857B2 (ja) * 2002-10-18 2007-12-05 ヤマハ株式会社 磁気センサ及びその製造方法
US6906510B2 (en) * 2002-11-18 2005-06-14 Ronald J. Wolf Quadrature output sensor system
JP4470577B2 (ja) * 2004-05-14 2010-06-02 株式会社デンソー 回転角度検出装置
US7866302B2 (en) * 2004-10-25 2011-01-11 Litens Automotive Partnership Method and system for starting or restarting an internal combustion engine via selective combustion
US7558669B2 (en) * 2004-10-25 2009-07-07 Litens Automotive Partnership Engine controller system and method employing high speed angular position sensor
US7188021B2 (en) 2004-10-25 2007-03-06 Litens Automotive Partnership Angular position sensor-based engine controller system
JP4463671B2 (ja) * 2004-12-20 2010-05-19 ニスカ株式会社 インクリボンカセット及びプリンタ
ATE534888T1 (de) 2006-04-20 2011-12-15 Sick Ag Verfahren und vorrichtung zur positionsdetektion
US20080100284A1 (en) * 2006-04-27 2008-05-01 Hirschmann Automotive Gmbh Magneto-sensitive angular-movement sensor
WO2008081371A1 (en) * 2006-12-27 2008-07-10 Nxp B.V. Sensor
FR2925672B1 (fr) * 2007-12-19 2010-01-08 Siemens Vdo Automotive Dispositif de mesure de position angulaire
US8269486B2 (en) 2008-11-12 2012-09-18 Infineon Technologies Ag Magnetic sensor system and method
DE102009015883B4 (de) * 2009-04-01 2011-01-05 Ecs Engineered Control Systems Ag Vorrichtung zur Erfassung der Position eines Fahrstufenwählhebels, Kraftfahrzeug
DE102009019878A1 (de) * 2009-05-06 2010-11-18 Continental Automotive Gmbh Drehwinkelsensoranordnung
EP2525193B1 (en) * 2011-05-17 2016-03-02 Sensata Technologies, Inc. Magnetic proximity sensor
DE102011085737A1 (de) * 2011-11-03 2013-05-08 Continental Teves Ag & Co. Ohg Winkelsensor auf Wirbelstrombasis
CN103376052B (zh) * 2012-04-16 2016-12-21 泰科电子(上海)有限公司 磁铁装置和位置感测系统
CN103226865B (zh) * 2013-04-16 2016-05-25 无锡乐尔科技有限公司 一种基于磁电阻技术检测磁性图形表面磁场的磁头
JP2015125019A (ja) * 2013-12-25 2015-07-06 株式会社東芝 電流センサ、電流測定モジュール及びスマートメータ
DE102014008676B4 (de) 2014-06-13 2019-07-11 Audi Ag Vorrichtung zur berührungslosen Erfassung einer Phasenlage
US9697940B2 (en) 2014-08-20 2017-07-04 Analog Devices Global Apparatus and methods for generating a uniform magnetic field
DE102014220171A1 (de) * 2014-10-06 2016-04-07 Zf Friedrichshafen Ag Vorrichtung zur Verhinderung einer Ablagerung von ferromagnetischen Partikeln
DE102016107798B4 (de) * 2016-04-27 2020-12-10 Infineon Technologies Ag Kompakte Sensorpackung
US10591274B2 (en) * 2016-09-28 2020-03-17 Infineon Technologies Ag External field robust angle sensing with differential magnetic field
JP6485491B2 (ja) 2017-06-08 2019-03-20 Tdk株式会社 磁気センサ及びカメラモジュール
DE102017128869B3 (de) * 2017-12-05 2019-05-29 Infineon Technologies Ag Magnetwinkelsensoranordnung und Verfahren zum Schätzen eines Rotationswinkels
CN111664778B (zh) * 2019-03-06 2021-10-26 英飞凌科技股份有限公司 使用差分磁场的外部场稳健角度感测
US20220307863A1 (en) * 2021-03-24 2022-09-29 Tdk Corporation Angle detection apparatus, angle detection system, park lock system, and pedal system

Family Cites Families (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3112464A (en) * 1963-11-26 Figure
IT1211140B (it) * 1980-12-09 1989-09-29 Sony Corp Dispositivo commutatore a sensore magnetico.
US4875008A (en) * 1988-02-16 1989-10-17 North American Philips Corporation Device for sensing the angular position of a shaft
JPH03206914A (ja) * 1990-01-10 1991-09-10 Yamaha Corp 角度センサ
FR2691534B1 (fr) * 1992-05-19 1994-08-26 Moving Magnet Tech Capteur de position à aimant permanent et sonde de hall.
DE4233549A1 (de) * 1992-10-01 1994-04-21 Brose Fahrzeugteile Verfahren und Vorrichtung zum Erfassen der Drehzahl und der Dreheinrichtung eines Drehantriebes
DE4301704A1 (de) 1993-01-22 1994-07-28 Siemens Ag Vorrichtung zum Erfassen einer Winkelposition eines Objektes
DE4400616C2 (de) * 1994-01-12 1998-09-03 Mannesmann Vdo Ag Magnetischer Positionssensor, insbesondere für Kraftfahrzeuge
DE19543562A1 (de) * 1994-11-22 1996-05-23 Bosch Gmbh Robert Anordnung zur berührungslosen Drehwinkelerfassung eines drehbaren Elements
US5680042A (en) * 1994-12-30 1997-10-21 Lake Shore Cryotronics, Inc. Magnetoresistive sensor with reduced output signal jitter
DE19536433C2 (de) * 1995-09-29 1999-04-08 Siemens Ag Vorrichtung zur berührungslosen Positionserfassung eines Objektes und Verwendung der Vorrichtung
DE19716985A1 (de) * 1997-04-23 1998-10-29 A B Elektronik Gmbh Vorrichtung zur Ermittlung der Position und/oder Torsion rotierender Wellen
DE19722016A1 (de) * 1997-05-27 1998-12-03 Bosch Gmbh Robert Anordnung zur berührungslosen Drehwinkelerfassung
JPH11304894A (ja) * 1998-04-23 1999-11-05 Mitsubishi Electric Corp 磁気検出装置とその製造方法
US6137288A (en) * 1998-05-08 2000-10-24 Luetzow; Robert Herman Magnetic rotational position sensor
US6160395A (en) * 1998-11-06 2000-12-12 Honeywell, Inc. Non-contact position sensor
US6229299B1 (en) * 1998-11-17 2001-05-08 Caterpillar Inc. System and method for computing the angular velocity and direction of a rotational body
US6396259B1 (en) * 1999-02-24 2002-05-28 Nartron Corporation Electronic throttle control position sensor
DE10008535A1 (de) * 1999-04-21 2000-11-02 Bosch Gmbh Robert Messvorrichtung zur berührungslosen Erfassung eines Drehwinkels
US6404185B1 (en) * 1999-06-01 2002-06-11 Cts Corporation Apparatus and method for sensing an angular position of a flux linkage member
US6271660B1 (en) * 1999-06-11 2001-08-07 Mts Sytems Corporation Permanent multi-pole position magnet
JP4378814B2 (ja) * 1999-07-16 2009-12-09 株式会社日本自動車部品総合研究所 回転角検出装置
US6489761B1 (en) * 1999-09-09 2002-12-03 Delphi Technologies, Inc. Magnetic arrangement for an analog angle encoder
DE19955573A1 (de) * 1999-11-18 2001-05-23 Guenter Schmitz Positionsmeßvorrichtung zur Erfassung absoluter und relativer Winkel und Wege

Also Published As

Publication number Publication date
DE10132215A1 (de) 2003-01-23
EP1405042A1 (en) 2004-04-07
JP2004533622A (ja) 2004-11-04
WO2003004973A1 (en) 2003-01-16
US7417421B2 (en) 2008-08-26
US20040160220A1 (en) 2004-08-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4234004B2 (ja) 対象物の角位置を測定するための装置
JP3075727B2 (ja) 相対変位測定装置
KR100810784B1 (ko) 자계의 방향을 감지하는 센서
CN101939623B (zh) 旋转角度检测装置、旋转机及旋转角度检测方法
JP5500785B2 (ja) 磁気センサ
US7208940B2 (en) 360-Degree magnetoresistive rotary position sensor
US7119539B2 (en) Arrangement for determining the position of a motion sensor element
JP2012168047A (ja) 回転角度検出装置
JPH08178937A (ja) 磁気検出装置
JP6034650B2 (ja) 回転角検出装置
US7602176B2 (en) AMR sensor element for angle measurement
US9816888B2 (en) Sensor and method for detecting a position of an effective surface of the sensor
JPH0720218A (ja) 磁気センサ
WO2007147021A2 (en) Permalloy bridge with selectable wafer-anistropy using multiple layers
JP4912595B2 (ja) 位置検出装置
JPH07107486B2 (ja) 回転ポジショナ
JP3186656B2 (ja) 回転数センサ
JPH0529242B2 (ja)
JP7071058B2 (ja) 周期磁界検出するセンサ
JPH0320779Y2 (ja)
JPS6031014A (ja) 磁気抵抗体を使用してなす位置センサ
JP2576136B2 (ja) 磁気方位測定装置
JP2023055157A (ja) 磁気センサ
JPH04168303A (ja) 角度検出装置
JPS61189412A (ja) 磁束密度変化検知装置

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20041202

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050701

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20070628

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070703

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20070928

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20071003

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20071011

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20071226

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20080404

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080627

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20080807

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20080909

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080911

A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711

Effective date: 20081015

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20081114

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20081210

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111219

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121219

Year of fee payment: 4

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees