JPH05500864A - 角度変位測定の方法および装置 - Google Patents
角度変位測定の方法および装置Info
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- JPH05500864A JPH05500864A JP3510948A JP51094891A JPH05500864A JP H05500864 A JPH05500864 A JP H05500864A JP 3510948 A JP3510948 A JP 3510948A JP 51094891 A JP51094891 A JP 51094891A JP H05500864 A JPH05500864 A JP H05500864A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
角度変位測定の方法および装置
技術分野
本発明は回転テーブルの角度変位の測定(例えば、校正)に関する。本発明とそ
の発明の利点を適切に理解するためにまず従来技術を考察することが必要である
。
背景技術
第1図は従来の校正装置の説明図である。この装置は固定子(ステイタ)12と
ローター(回転子)14とを有する目的テーブル1oを包含する。ローター14
は、固定子12に備えた基準点D1に対してローター14を位置付めする位置付
め系(位置決めシステム)16を有する。位置付め系16は一般的にエンコーダ
(図示しない)を伴い、固定子12に対するローター14の位置に関する使用者
がらのデータ要求に応答する例えば位置サーボ17がら成り、そのエンコーダ圧
力はディジタル表示器DRO(18)に表示される。目的テーブル1oに搭載さ
れているのは、固定子22とローター24とを有する中間テーブル2゜であり、
固定子22は目的テーブル10のローター14に固定して載置され、ローター2
4は基準点D1に対するローター24の角度変位を測定するためのスケール(目
盛り)26を有する。中間テーブル20のローター24上に備えられたスケール
26は極めて正確なスケールであって、その典型的な精度は0.1″(秒)以内
である。校正操作の目的は目的テーブル10の位置決め系16を校正することに
ある。
この目的のため角度干渉計測定システム(第2図にも図示する)の一部を形成す
る一対の再帰反射鏡RFIとRF2のハウジング(筐体)30をローター24が
支持している。角度干渉計はレーザ装置32から放出されるレーザビームL1を
含み、レーザビームL1はビームスプリッタ34により2つの平行なビームL2
およびL3に分割される。ビームL2およびL3は再帰反射鏡RFIおよびRF
2にそれぞれ投射され、その結果としてそれらの入射路を戻って、検出器(図示
しない)のところで互いに干渉する。軸Aの回りの再帰反射鏡ハウジング30の
回転(ローター24の回転による)は、検出器のところの干渉ビーム内で干渉縞
の移動を生じさせる。もし、入射ビームL2およびL3に対して正確に垂直な平
面内にある再帰反射鏡RFIおよびRF2で干渉計が基準化(基準合わせ)され
ている場合は、次式が当てはまる:R=KSinθ (1)
ここで:
θは角度変位
Rは干渉縞の数(全数は必要無い);およびKはスケール係数として知られてい
る
そして:
K = 2Dn/え。 (2)
ここで
Dは再帰反射鏡RF2およびRF2間の距離nは空気の屈折率
λ0は真空中でのレーザ光の波長である。
目的テーブル10の位置決め系の校正は先ず最初に干渉計を基準化することによ
り行われ、それにより再帰反射鏡RFIおよびRF2はビームL2およびL3に
対して垂直な位置にできるだけ近づけられる。その後、すべての操作と計算に関
して、ビームL2およびL3と再帰反射鏡RFIおよびRF2とは正確に垂直で
あると見なされる。それから位置決め系はローター14を一定の角度変位(例え
ば120”)まで回転するのに使用され、その変位は位置決め系で計測され、更
に中間テーブルのローター24がそれと同じ量(中間テーブルのスケール26で
計測される)だけ逆回転させられる。この2つの回転間のデータから(位置決め
系16によるローター14の不正確な回転の結果としての)どの様な有効角度変
位でも干渉計を用いて計測される。したがって、次の関係が成立する:θ。II
J@ct tabl@
=θInterll@dlat@ table+θ+nt*rrsrom*te
r(なお、θ。IIJ@et□。1.:θ対物テーブルθ+ntsrm@at□
e tab+e :θ中間テーブルθl□artaro□1.、:θ干渉計)こ
こで:
θ+nt*rterometerは、(再帰反射鏡RFIとRF2が存在する平
面が入射ビームL2とL3に対して垂直である場合に)、上述した基準点位置か
らの再帰反射鏡RFIとRF2の微分線形変位から算出した角度である。
他の角度変位(例えば121°)についての後続の校正はローター14を基準点
位置から校正すべき変位位置まで再度回転することにより成される。
実際上は、中間テーブル20のローター24は、ローター14の回転期間中にお
いてローター24の動きを抑圧することにより、有効に“逆回転”する。この“
逆回転”の方法は幾つかの利点を有する:a)第1に、レーザビームが再帰反射
鏡に入射し、再帰反射鏡から反射するのを連続して行うのを確実にする。
b)第2に、中間テーブルに位置決め系を設ける必要性を除去する。
C)最後に、校正での誤差を減少する。
後者についてはe 1nterrerosi*□1についての誤差。
即ち△θは次式で与えられるので:
Δθ=(R2△K”+ K”△R”) ”” (4)必然的に、操作が数時間に
わたって遂行され、そのためスケール係数にの値を、校正を実行するのに必要な
時間にわたって変更することになる;これは典型的には空気温度の変動(従って
空気の屈折率を変える)による。上式において、Kに変化量を与える項(ΔK)
はRと掛は算され、Rはθの増加につれて増加するので、角度変位の測定誤差(
θ△)は角度変位量に直接比例する。すなわち、例えば、1°の角度変位の測定
は2°の角度変位の測定に比べて、Kの変化量による誤差が半分となる。したが
って、所望の精度を達成するために、再帰反射鏡のハウジング30の回転(即ち
θl□@rt@rom@t@r)を最大的1°に抑制することが、従来方法にお
いては一般的に必須である。
したがって、従来方法は高精度で、高価な中間テーブルを必要とし、ローター2
4の回転を制限する必要があるという不利益を有する。これらの不利益に、干渉
計に対しての厳格な基準化(基準合わせ)の必要性に関する不利益が加わり、干
渉計は操作時間を延長したとしてもデータ内に誤差を導くことになる。
発明の開示
本発明は過度な精度と高価な中間テーブルの必要性を取り除いた方法を提供する
ものであって;本発明はローター24の非常に長い回転も許容する。本発明は再
帰反射鏡を正確な基準位置にあると見なす必要性を除去する(したがって干渉計
を正確に基準化する必要性を除去する)。
図面の簡単な説明
次に、以下の添付図面を参照して、本発明の態様を実施例に基づいて説明する:
第1図は従来装置を示し;
第2図は角度干渉計を示し;
第3図は本発明に従う装置を示し;
第4図は収集されたデータの説明図であり;第5図は本発明に従う校正プロット
図であり:および
第6図は干渉計での系統誤差のプロット図である。
発明を実施するための最良の形態
本発明の装置は装置の動作が下記の式で記述されるとの想定に基づいて作動する
:
R+Ro=K 5in(θ−θO) (S)ここで:
Rは干渉計の読み(読みデータ);
R,は干渉計の読みのオフセット:
にはスケール係数;
θはテーブルによって計測された角度変位;および
θ。はテーブル読みeでのオフセットである。
ここにおいて式
%式%(6)
は基準化された(即ち“目盛りをゼロに合わせた”)干渉計に対してのみ適用で
きるので、θがゼロ度のときには再帰反射鏡RFIおよびRF2は入射ビームに
対して正常である。もし、再帰反射鏡が入射ビームに対して正常であるときに、
目的テーブルが角度θ。に位置合わせされていれば、
R=KSin(θ−e o) (7)
さらに、もし再帰反射鏡RFIおよびRF2が入射ビームL2およびL3に対し
て正常でないときに、干渉計が基準化されていれば、そのため干渉計オフセット
読みRoが存在し、それは次式と等しい:Ro=K 5in(θ−θo) (8
)ここで、(θ−θ。)は干渉計が基準化されたときに再帰反射鏡の入射光に対
しての正常な位置からの角度ずれである。基準化(基準合わせ)の演算はRをゼ
ロにセットするものであるので、基準化後の変位に関する正しい式は上式(5′
)で与えられる。即ち:R+ Ro= K 5in(θ−θ。)次に、本発明の
方法を第3図および第4図を参照して説明する。従来方法で用いたと同様に、本
装置は目的テーブル110.中間テーブル120J5よび角度測定干渉計システ
ムを含む。干渉計の再帰反射鏡ハウジング130は中間テーブル120のロータ
ー124に固定されている。本発明の装置において、中間テーブル120はスケ
ール(目盛り)を有しない(また有する必要がない)。
中間テーブル120のローター124の回転軸がテーブル110のローター11
4の回転軸と約1mmまで共通線にあるように、中間テーブル120の固定子1
22は目的テーブルのローター114に固定して取り付けられる。これは、再帰
反射鏡が、それらローターの回転許容範囲(本例の場合は観念上のゼロから+1
5°、この観念上のゼロは従来技術の方法での基準点位置とほぼ等しい)にわた
って干渉計に対し良好な信号強さを保証するのに必要とされる。これは、再帰反
射鏡ハウジング130を観念上のゼロの両側にほぼ15° (ローター124の
回転によって)回転し、それから再帰反射鏡ハウジング130を固定したまま、
目的テーブルを90” まで回転し、この手順を繰り返すことによって、チェッ
クされる。これは、目的テーブル110の360°の動作範囲にわたって信号強
さが維持されることを保証するために目的テーブルの90°づつの2つの更なる
回転に関して反復される。もし、良好な信号強さが36o°の回転にわたって得
られないときには、中間テーブルの位置は、その中間テーブルの軸と目的テーブ
ルの軸とをもっと綿密に整合させるために、平行移動させられる。
校正手順を開始するため、はぼ最大信号強さが干渉計検出器で得られる位置へ中
間テーブル120のローター114は回転させられる。この位置は観念上の基準
点であり、また再帰反射鏡ハウジング130の全回転がシステムの回転限界(即
ち、良好な信号が干渉計検出器で得ることができる限界)以内に保たれることを
確実にするための参照位置としても用いられる。それから目的テーブル110お
よび中間テーブル120はほぼ一15°まで一緒に回転される。この位置での干
渉計の読み(R,t、、t)が記録される(ただし、校正データとしては使用さ
れない)。それから目的テーブル110および中間テーブル120は、校正のた
めのデータ収集が開始される位置へ位置付は系116によって正方向に1°まで
一緒に回転される。データ収集前のこの一15°の同時回転とこれに続(+1°
の正の同時回転はシステムから機械的バックラッシュを取り除き、一定方向のデ
ータ収集を可能にする。データ収集開始位置(観念的基準位置からほぼ一14°
)に一旦到達すると、次に目的テーブル110および中間テーブル120は位置
決め系によって、1°の増加単位で、はぼ+15°の位置まで一緒に回転される
。
それら各々の増加に対応する位置で干渉計読み(R)が、位置決め系のDROに
よって測定されたローター114の基準位置からの角度変位の測定値とともに調
べられる。−15°の位置からのこの有効回転30゜は(データ収集は一14°
でのみ開始されるから)約29°の角度の大きさにわたる5個(本例では30)
の読みを有するゾーン(帯域9区分)として定義される。従って、ゾーンは30
”の角度変位を有するが、29°の角度変位にわたって30のデータポイントが
調べられるということを心に留め置(べきである。このゾーンを通過する回転が
一旦完了すると、目的テーブル110と中間テーブル120は一15°まで一緒
に回転する。中間テーブル120の固定子122と一体の目的テーブル110の
ローター114(これらの2つの部品はそれぞれ互いに固定して取り付けられて
いるから)は、それから両方とも目的テーブルの固定子112(これは物理的地
面にロックしている)にロックされる。中間テーブル120のローター124を
更に一15° (このときは固定子122と目的テーブル110に対して)回転
して、再帰反射鏡130を最初のゾーン1を通る回転の開始で使用された(近似
的に)位置(R、t、、t)へ戻す。干渉計の読みがR5tartと同じになる
まで(弧の角度はぼ数分以内で)監視することにより、中間テーブル120のロ
ーター124は位置(R□art )に戻される。それから上記の手順は次のゾ
ーンに関して、必要な全部の角度範囲が校正されるまで繰返される。
各ゾーンの終りに目的テーブルと中間テーブルはそれぞれ互いに対して約15°
だけ回転し、また各ゾーンは約30”の角度変位を有するので、目的テーブルの
360°校正は24の重複ゾーンを各々30°の角度変位で計量する測定を必要
とするということに注意すべきである。
これらの操作によって発生したデータ、すなわち干渉計の読みRと角度変位θ(
これは目的テーブル110の位置決め系116により与えられる)は、校正生成
のため下記の方法で処理される。
(R+ Ro)/K = 5in(θ−θo) (9)式の左辺を展開すると:
(R+Ro)/に= SinθCosθo −Cos eSin eaR= −
Ro+ A Sinθ+B Cosθ (lO)ここで:
A=K Cos eo 、 B=−K Sin θ。
最小2乗適応解析で、式(2)を展開すると:ΣR=−NR,+ AΣSinθ
+BΣCosθここで:
Nは読みの数の合計である。
式(11)と他の各々の両方に対し直交する、ヒルベルト空間を規定する次の2
式を式(9)から創りだすことが可能である:
ΣR31ne
=−R0ΣSinθ+AΣSin”θ+BΣSinθCosθΣRCosθ
ニーR0ΣCosθ+AΣSinθCosθ+BΣCo52e一定のゾーンiに
関して、jのデータポイントがある。測定の完全な一組が一旦計られると、下記
のデータファイルが存在することになる:
θlj+RIJs但しi=1・・・24およびj=130jはゾーンiのデータ
ポイント
θ14は装置の位置決め系116からの計量値R1Jは干渉計からの計量値。
目的テーブルの位置決め系の校正について、我々はテーブルを用いて測定した角
度変位θ1Jの値についての誤差ε、Jを決定しなければならない。ここで・ε
1=θIJ table−e ij Int@rf@r61m@t@rそしてθ
ij int*rf*rometsrは干渉計の読みRから計算した目的ロータ
ーの角度変位の値である。
各ゾーンiに対するデータポイントjは、各ゾーンiについてのθ。it Ro
lおよびに、の値を生み出すために、連立方程式(11)から(13)を解くこ
とに使用することができる。
これはに、に対して24の値を生じることになるので、平均値は下記のように簡
単に演算される:θIJ +nt*rr*roヨ5tarの値を計算するために
、先に計算されたe Ql+ Rolの値と一緒に、例えば式(9)に再導入さ
れる。
次に、干渉計により測定されて、また目的テーブル110により測定されたθ1
、の値開の誤差に関する値(ε3J)は式(14)を用いることにより得られる
。
ε、J=θij table−θ+j 1ntsrf*rometer24個の
30°ゾーンでデータポイントが計測されて、かつ各ゾーンで30の読みが29
°の角度変位にわたって読み取られるので、各データポイントの角度変位は2度
測定される。従って、我々は各データポイントの測定誤差ε、Jに関して2つの
値を有することになる。これら2つのε11の値は、目的テーブル110の変位
における誤差のより正確な値を得るために、下記の方法で一緒に平均化される。
第4図を参照すると、3つの重複するゾーンi。
(it1)および(it2)が示されている。それぞれのゾーンはほぼ30゛の
角度変位に対応して、第iゾーンはOoから30°に至り、第(it1)ゾーン
は15°から45°に至り、第(it2)ゾーンは30°から60°に至る。各
ゾーンは29°の角度変位にわたってほぼ1°づつ増加するデータポイントjを
含む(従って、各ゾーンiにおけるデータポイントの数は30である)、従って
、ゾーンiおよび(it1)は15°から30°の範囲で重複読み値を有する。
(第iゾーンの)誤差値ε、Jと(第(it1)ゾーンの)誤差値ε1.、Jは
次のように互いに関連しているとすることができる。
Si 、 m +、=ε8.13、+θ。tt He)ここで:
mは第(it1)ゾーン内のデータポイントjと重複する第iゾーン内の最初の
データポイントに先行する所の第iゾーン内のデータポイントの数であり、また
θ。2.はゾーン内の重複におけるオフセットであって、15′よりも僅かに小
さいか、大きいかの角度変位によりゾーンiとゾーン(it1)の中間点が互い
に離れる結果として生ずる。
θ。2.のより良い数値を得るために、2つのゾーンiおよび(it1)内の重
複するデータポイントjについての誤差ε1.を合計する:
θatt
= [ΣJt1.N εi、Im*J−Σ14.8ε、、、、、]/Nここで:
Nはゾーンiと(it1)間の重複するデータポイントの数である。
e ottO値を決定することにより、このθ。1.は誤差値ε1.11、を補
正するのに使用できる。なぜならこれらは、誤差ポイントεi、Il*jについ
ての目的テーブル110のローターの変位におけるのと同じ原因に関連している
からである。従って、我々は下記の演算を行う:
ε1*1.J +θ。、f 但し、 j=0.1・・・30この演算は次のゾー
ン、即ちゾーン(i+2)において繰り返さなければならない。そのゾーンの誤
差値ε、や2.jはゾーン(i+1)と(i+2)との間で決定されたθ。ff
の値に従って訂正される。この手順はすべてのゾーンi=1・・・24に関して
何度も繰り返される。
これが処理されると、我々は次に各データポイント上の誤差値の二重性を用いて
各データポイントに関する改善された誤差値を得る。例えば、ゾーンiおよび(
i+1)間の共通のポイントに関する最良の見積りとして:
丁−=(ε69.4+ε、、1. j)/2 (19)注意、ε1□、の値はθ
。□によって修正されていることに心に留めてお(こと。
我々は次に固定子112に対する目的テーブル110のローター114の各々の
要求された角度変位に関して誤差平均値ε1、を出す。典型的には、これは第5
図に示すような補正プロットを生み出す。上記のデータ処理はKの値を体系的に
過少見積りするという傾向を有することが、予期したことであったが、見出せる
。なぜなら:
テーブルが360°まで回転したところで(第5図のプロットの場合)、0°と
360°での変位に対する誤差は非常にきっちりと一致するはずであり、なぜな
らそれらは同じポイントに対して計算された誤差を表しているからである。だが
、これは本当ではなく、この2つの誤差値はθ。、たけ互いに離れていることが
第5図により理解できる。データプロットはプロットの各誤差値ε4、に対して
、次の値を加えることにより簡単に一致する訂正をすることが可能である:θ。
、×(θ/360゛)
重なり合う2組のゾーンの形態でデータを発生することにより、多くの問題が解
消される。
まず、この第1の問題としては、目的テーブル110に対して中間テーブル12
0の逆転が行われている期間に、目的テーブル110の多少の動きが例えば目的
テーブルに作用する反作用(これは中間テーブルの加速による)によって必然的
に生ずることである。仮に、このゾーンが互いに直線的に“突き当られた”もの
であれば、中間テーブル120と目的テーブル110の相対運動は、ゾーンi中
のN個のデータポイントの最後のデータポイント1についての誤差値ε、が次の
ゾーン(i+1)の最初のデータポイント上の誤差値ε1.1.と同じではなく
なり、εi*1.iは目的テーブル11Oの動きに従って太き(なるであろうと
いうことを意味する。それに加えて、目的テーブル110の相対運動の大きさは
おそら(機械的なバックラッシュによる位置決め系116の誤差よりも小さく、
かつ位置決め系116のDRO上に現れないであろう。このように、ゾーン(i
+1)の最初のデータポイントを個別に読み取ることは一般に簡単でない。
この相対運動により付加された誤差は系統的であり、そのため平均化により消失
しないであろう。ゾーンを重複させる方法でデータを発生することはこれらの問
題を解消するので非常に大きな効果がある。
ゾーンを重複させることの第2の理由は、テーブルによる系統誤差が干渉計中の
系統誤差をエラーマツプ化することで除去できることである。これを行うために
、各々のゾーンi、・・・・・・i+23中の対応するデータポイントj上の誤
差ε、Jは一緒に加算され、第6図でプロットで示した範囲内の多項式曲線上に
あるということが見出だせる。多項式曲線の“形(フオーム)”が全てのゾーン
で同じであるので、目下我々はこの系統誤差をシステムの光学系に帰している。
この多項式曲線の存在は2つの方法により除去できる。
a)もし、例えば精度が0.1円弧秒以内に要求されている場合には、ゾーン中
央の両側の約10’の角度変位ではこの値(要求精度値)よりも大きな誤差は生
じないであろうということ、およびこの角度変位内にデータポイントを取るよう
に制限することで望みの結果に到達するであろうということが第6図のプロット
から理解できる。さらにまた、この範囲の誤差値が実質的にリニア(直線性)で
あり、そのため最小2乗解析による式(11)から式(13)を解(手順がそれ
に応じてスケール係数に合致し、その結果これがそれらの誤差を自動的に消去す
るということが第6図から理解できる。
b)もし、−組の29°の角度変位にわたるデータポイントが要求された場合に
は、誤差を計算するためのルックアップテーブルまたは多項式適応ルーチンのい
ずれかを有するコンピュータプログラムによりデータプロット誤差を実質的にほ
とんど除去することができる。
いくつかの回転テーブルを用いた場合には、全体の校正を得るためにそれらの回
転テーブルが搭載されている軸受は系により720°にわたってテーブルを回転
する必要がある。例えばシール軸受けを用いている場合に、軸受はメンバーの1
つを他のものに関して360°回転すると、軸受は内のボール集団の180°回
転のみが生じることになる。他の複合的な回転の場合は他の軸受は配列を要求で
きる。
同様な妥当なアプローチは、式(10)を直接解くことを試みる代わりに、多項
式をθについて解くことである。
式(9)から
R=−Ro+ A Sinθ+B Cosθ (9)また
であるから、我々は次のように書ける。
それ故、一般に
= a+ bθ+Cθ’+de”+eθ’+fθ5・・・従って3連立方程式(
11)、(12)および(13)を用いるよりもむしろ、上記の方法で修正した
データを用いて直接に(例えば、市場で入手可能な多項式ルーチンを用いて)こ
の式(23)を解(ことが可能である。
さらに他の代替アプローチとして、ドイツ規格VDE2617に発表されている
ような、“最小ゾーン”として知られる誤差最小化技術を採用する。
例えば、ここで
R+Ro=K 5in(θ−θ。)
ε+θ−[5in−’ (R+ Ro/2) +θ。IRo、におよびθ。はε
の最小範囲を決める反復で全て改変される。
誤差(円づ底−昶)
要約書
ロータリ目的テーブルは固定子(112)、ローター(114)、および位置決
めサーボ兼測定システム(16)有する。システム(16)は角度干渉計と、固
定子(112)およびローター(124)を有する中間テーブルとを用いて校正
される。固定子(124)の角度変位の値は干渉計により式R+ R。
=K 5in(θ−θ。)から誘導された3直交連立方程式を解(ことにより測
定され、システム(16)によって測定された対応する角度変位と比較される。
国際調査報告
Claims (4)
- 1.目的固定子と、該目的固定子に対して回転可能な目的ローターと、前記目的 固定子に対する前記目的ローターの基準点からの角度変位を測定する測定手段と を有し; 一緒に回転するために前記目的ローターに結合した中間固定子と、該中間固定子 に対して回転するための中間ローターと、該中間ローターの角度変位を測定する 角度干渉計とから成る校正装置を使用する;回転可能な目的テーブルの校正方法 であって;a)増進ステップ(インクリメンタルステップ)において、前記目的 ローター,前記中間固定子および前記中間ローターとを共に前記目的固定子に対 して、前記基準点に対する角度変位の第1の位置から第2の該位置へ回転するス テップ; b)前記ステップの各々において:(i)前記測定手段によって測定された前記 基準点に対する前記目的ローターの角度変位;および(ii)角度干渉計の読み とを測定するステップ; c)角度変位の前記第2の位置において、前記目的固定子,前記目的固定子,お よび前記中間固定子に対して前記中間ローターを逆回転するステップ;および d)前記(a)から(c)までのステップを繰り返すステップ からなることを特徴とする回転可能な目的テーブルの校正方法。
- 2.前記ステップ(c)の直前または直後で、前記目的ローター,前記中間固定 子および前記中間ローターを共に前記目的固定子に対して逆回転する(e)のス テップを更に含むことを特徴とする請求の範囲1に記載の方法。
- 3.前記ステップ(c)および(e)の逆回転の後で、前記中間ローターが前記 目的固定子に対して実質的に前記第1の角度変位位置を占めることを特徴とする 請求の範囲2に記載の方法。
- 4.下記のステップ: f)R+R。=KSin(Θ−Θ。) の式から3直交連立方程式を誘導するステップここで R=干渉計の読み R。=干渉計の読みのオフセット Kニスケール係数 Θ=測定手段の読み Θ。=測定手段の読みでのオフセット;g)RおよびΘの測定値を用いてR。, Θ。およびKの値を求めるためそれらの方程式を解くステップ; h)R。,Θ。およびKの値を用いて干渉計の読みRから計算される角度変位( Θinterrarometer)の値を決定するステップ;および i)ΘとΘinterrarometerの差、この差はΘの値中の誤差である 、を算出するステップ を更に含むことを特徴とする各前記請求の範囲のいずれか一つに記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB9013390.1 | 1990-06-15 | ||
GB909013390A GB9013390D0 (en) | 1990-06-15 | 1990-06-15 | Method and apparatus for measurement of angular displacement |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05500864A true JPH05500864A (ja) | 1993-02-18 |
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