JPH05500855A - 物体の応力検出方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

物体の応力検出方法及びその装置 本発明は、かけられた負荷に応答して物体内に生じた応力を検出するだめの方法 および装置に関する。使用負荷のかかった物体の応力を決定することが望まれる 場合は少なくない。例えば、使用に際して応力の集中が生ずるか否かを決定する ために、自動車用サスペンション部品に使用荷重をかけた場合の影響を決定する ことが望まれる。 今まで用いられてきた多くの方法には、構成部品の透明な模型を使用し、これに 使用荷重をかけ、物体にかかる応力を分極効果から決定する方法が含まれる。こ のような方法は、物体そのものでなく複製品が試験されるという事実は別として も、物体の特定の部分に緊張または圧縮が生じているかどうかを決定すること、 及び、応力を定量的に決定することが困難な場合があり得る。 応力について試験を行うために従来用いられて来た別の方法では、試験される物 体の特定の部分に取付けられたストレスゲージを使用する。ただし、ストレスゲ ージは、２つの特定点間の試験だけが可能であり、この方法で調査できる点の数 には制限があることは明白である。 この種の方法では、異常な形態での応力集中は見逃されることがあり得る。 本発明の１つの特徴として、本発明は、次に示す手順に従って物体上の１つの点 における応力を測定する方法を提供する： 物体にかかる負荷を決定する； ｔ＜Ｔの条件の下で、問題とされる所定の最短周期Ｔ内の複数のサンプル期間ｔ に一亙って所定点からの熱放射を収集および測定する；そして、 前記の熱放射の収集および測定値、及び、前記の決定した負荷から、前記の点に おける応力を測定する。 本発明の別の特徴として、本発明は、次に示す手順に従って物体上の１つの点に おける応力を測定する方法を提供する： 物体に周期Ｔで周期的に変化する負荷をかける：ｔ＜Ｔの条件の下で、１つのサ ンプル期間

【に亙って所定点からの熱放射を収集および測定する；前記の適用負 荷に応答して前記の点によって生じた熱放射の周期的変動に関する第１の期間ｔ の位相を決定する；そして、 熱放射の前記収集および測定値と前記位相から、前記の点における応力を測定す る。 物体にかかった負荷によって前記の点に緊張または圧縮のいずれを生ずるかを決 定するために、前記の点から受けた熱放射の位相と、かかった負荷の位相とを比 較することもできる。 このように、ここで記述する本発明の実施例は、物体に負荷をかけると物体の温 度が変化するというケルビン効果に基づく。 張力としての応力は温度を増大し、圧縮力としての応力は温度を減少する。これ は、ヒステリシス効果によって判別されるはずである。 典型的な例において、サンプル期間ｔは５０μｓであって差し支えなく、周期的 に変化する負荷の周波数はＩＱｋＨｚ　（即ち、Ｔ＝１０−’ｓ）以下であって 差し支えない。ただし、前置て決定された第１の期間ｔはＴ／４未満であり、む しろＴ／８未満であることが好ましい。 ｔの位相が周期的な熱信号のピーク値に対応する場合には、通常、周期的な熱信 号のピーク値、即ち、前記の点からの周期的に変化する熱放射の値を決定する。 ピークにおける周期的熱信号の値を測定することは可能である。或いは、測定値 の位相が既知であれば他の値から推定することもできる。従って、例えば、周期 的熱信号が正弦波であり、期間ｔが最大熱信号のピーク値から位相角度Ａだけず れている場合には、期間ｔに亙って測定した値から、Ａ−０である場合に到達す る最高値を算定できる。 その代りに、ｔにおける熱信号の値と、かかっている負荷の瞬時値とを比較して 、熱信号とかかつている負荷の位相が同じであることを推定することができる。 しかし、好ましい配置構成においては、物体上の点から収集および測定した周期 的熱放射の周期的に変化する値を、複数のサイクルに亙って（必ずしも連続する サイクルである必要はない）集計し、これに基づいて推定を行ない受信した周期 的熱放射のピーク値、従って前記の点における応力のピーク値を正確に決定する ことが可能であり、更に、受信した熱放射のサイクルと、適用負荷のサイクルと の相対位相を決定することもできる。 更に好ましい配置校正においては、受信した熱放射の複数のサイクルに亙って複 数のサンプル期間を中に物体上の点からの熱放射を収集して測定し、サンプル期 間ｔが、受信した熱放射サイクルに関しての常に位相的に同一点に所在するよう に配列する。このようにして、Ｓ／Ｎ比を改善できる。更に、熱放射サイクルの ピーク値と合致するようにサンプル期間の位相を調節することができる。 前述の供述において、物体上の１点における応力を測定するために方法について 記述した。好ましい配置構成においては、物体上の複数の点における応力を、同 時に、或いは、実質的に同時に測定できる。この場合、熱放射を測定するための 手段としては、物体上の複数の点を同時に見るために検出器アレイを使用できる 。 好ましい配置構成においては、物体上における応力の変動を図形として表現でき るように、物体の表面において応力を測定しようとする１つの点（または、複数 の点）を走査する。 本発明は、次に示す手段で構成され、物体上の１つの点における応力を測定する 装置も提供する：周期Ｔの周期的に変化する負荷を物体にかけるための手段： ｔ＜Ｔを条件として、所定の第１の期間ｔに亙って前記の点からの熱放射を収集 および測定するための検出器手段； 前記の点における応力を測定するための手段を提供するために、熱放射の前記の 収集および測定値と前記の位相から、前記のかかった負荷に対応して前記の点に よって生ずる熱放射の周期的変動に関して第１の期間ｔの位相を決定するための 手段。 物体に分布する応力の画像を提供するために、前記物体上の複数の点に関して測 定した応力をディスプレイするための手段を提供することもできる。 検出器手段は、１つの単一検出器手段であっても差し支えないが、一連の検出器 であることが好ましく、各検出器によって測定された値または熱放射を決定する ために、それぞれの検出器に、順次、間合わせる手段を装備しても差し支えない 。 特定の検出器或いは各検出器は、放射線を受取り、電荷として蓄積する期間、即 ち「凝視」時間を持つタイプであっても差し支えない。順番に、検出器を読むに は、検出器から電荷を除去することが必要であり、そのために用いられる種々の 手段について記述する。 既に言及したように、特定の好ましい配置構成においては、一連の検出器を備え る。即ち、例えば、半導体またはパイロ電気検出器のような検出器を用いること が可能であり、この場合の検出器は、凝視中に蓄積された電荷を測定するには各 凝視時間の間に放電可能であることが必要である。半導体検出器は、例えば、５ １２Ｘ５１２、または、１０２４Ｘ１０２４の検出器のアレイの形で利用できる 。 光学システム及び光学部品とレンズについては、仕様を介して言及する。この種 の品目は、熱放射用の赤外線部品が用いられることを理解されたい。本発明の好 ましい実施例を提供する装置について、次に示す添付図面を参照しながら、あく まで−例として、説明することとする； 図１は、装置の部品とそれらの接続を示す図である。 図２は、図１の装置が作動する様態と信号波形を示す。 図３は、波形の部分とそれらの位相差を示す。 図４は、代替負荷サイクルを示す。 図５は、検出器アレイの検出器の形を示す図である。 図６は、供給された代替負荷の図である。 図７は、図６の負荷に従って負荷された物体上の１つの点から受信した熱信号の 波形を示す図である。 図１において、調査しようとする物体１０は、例えばタービンの羽根あるいは自 動車用サスペンション部品のような応力のかかった部品であるものとする。 不必要な放射を減衰させるための所要波長を中心とするスペクトルフィルタを含 むレンズシステム１１によって収集された物体１０のイメージは、オプションと してのシャッタ１２を経て赤外線検出器アレイ１３に達する。 検出器アレイは、検出器を線形または二次元配置したアレイである。情況によっ ては、物体１０全体をリアルタイムで連続的に見るために充分な検出器を二次元 検出器アレイ１３として配列しても差し支えない。この場合、検出器アレイの各 検出器は、１つの単一点を見ることになる。 一方、更に詳細な情報が必要とされる場合、或いは、検出器アレイ１３が、例え ば線形アレイである場合には、レンズシステム１１内に走査手段を備えても差し 支えない。従って、検出器が線形アレイである場合には、一連の区画として配置 された物体１０を横切って引いた線上の点を線形アレイが走査するように走査シ ステムを配置することができる。しかし、物体１０が小さく、しかも、検出アレ イ１３が二次元のアレイである場合には、走査は実行する必要がない。 実用できる種類の検出器アレイ１３の例としては、米国カリフォルニア、サンタ バーバラのアンバーエンジニアリング社製１２８Ｘ１２８　１ｎｓｂ　フォトダ イオードを挙げることができる。しかし、我々が実施した配列の場合には、１０ ＭＨｚの検出器速度で読出しを実施し、４つの出力（角ごとに１つ）を持つ１０ ２４Ｘ１０２４の検出器から成る１つのケイ化プラチナアレイを備えるものとす る。例えば、１０ｋＨｚまでの負荷周波数を取扱う場合に、最小限度のバックグ ラウンド信号による効率的な観測を実施するには、５０μｓ未満の凝視時間（後 述）を必要とする。 赤外線検出器アレイ１３は、場合によって冷却することがあり、そのための冷却 システムを備えることもある。 冷却システムは、例えば、ジュール・トムソン又はバルクリキッドデユワ−配置 を使用できる。 赤外線検出器アレイ１３は、クロック１６からのクロック信号およびＤＣ電源１ ７からのＤＣバイアスによって制御される。 赤外線検出器アレイ１３からの出力信号は、前置増幅器およびアナログからデジ タルへのコンバータ１８（アレイ１３からの各出力に対し１つの前置増幅器）を 通過し、また、前置増幅器およびＡＤＣ１８（アナログからデジタルへのコンバ ータ）からの出力信号は加算／減算回路１９に供給される。加算／減算回路１９ からの出力信号はイメージ累積ＲＡＭ２１　（等速呼比し記憶装置）に供給され 、ここでは、ＲＡＭ２１の出力から加算／減算回路１９へのフィードバックルー プ２２が形成され、イメージ累積ＲＡＭ２１の出力信号のうちフィードバックル ープ２２に供給される以外の信号はゲインコレクタ２３を通ってビデオスクリー ン／メモリー２４に供給される。ビデオスクリーン／メモリー２４は、後でビデ オスクリーンに表示するか或いはリアルタイムでビデオスクリーンに直接供給し ても差し支えないゲインコレクタ２３からの信号のためのメモリーを備えていて も差し支えない。プリンタ、プロッタとこれに類する装置およびホストプロセッ サ２８を含むことのある周辺装置２７に接続できるデータバス２６を備えられて いる。 特に出力アレイ１８及びクロック１６に対してタイミング信号を供給するマスタ クロックゼネレータ３２から制御されるタイミングゼネレータ３１が備えられて いる。 マスククロックゼネレータ３２は、位相調整器３３に出力信号を供給する。従っ て、位相調整器３３からタイミングゼネレータ３１に供給されるクロック信号の 位相は、クロックゼネレータ３２の出力３４に供給されるタイミング信号に対し て変化可能である。クロックゼネレータ３２の出力３４は、周期的な負荷を物体 １０に供給するための手段を備えた負荷ソース３６に接続される。この場合の接 続には、例えば、液圧式または空気式ラムを使用することができる。従って、例 えば、物体１０がタービン羽根である場合、負荷ソース３６は、周期的に変化す る横荷重をタービン羽根の先端にかけるはずである。 負荷ソースの波形を図３の３７に示す。 負荷ソース３６を効果的に制御するのが実現困難な場合のあるクロックゼネレー タ３２の代りに、システムを操作するための適切なりロック信号を、負荷ソース ３６の出力から効果的に供給することができる。 次に、赤外線検出器アレイ１３について詳細に説明する。赤外線検出器アレイ１ ３は、図５に示す半導体集積回路デバイスにより構成できる。放射線は、多数の 検出器エレメント５１Ａ、５１Ｂ、等々に区分される検出器アレイの上面５１に 当たる。上側層５１の各セグメントは、下側層５２の対応するセグメント５２Ａ 、５２Ｂに接続される。図５は図形的に表現したものであるが、実際には多くの 場合に、半導体集積回路デバイスは、検出器エレメント５１Ａ、５１Ｂ及びセグ メント５２Ａ、５２Ｂを別々の層に配列する代わりに、検出器エレメント５１Ａ 、５１Ｂ及びセグメント５２Ａ、５２Ｂを１つの単一層として並列配置して構成 される。 出力手段５３は、層５１の１つの縁の下側に設けることかできる。 放射線か検出器表面５１Ａ、５１Ｂに当たると、検出器に到達する放射線の量に 応じて、各検出器に電荷が集積される。この電荷は蓄積される。電荷は、凝視時 間と称する期間ｔに亙って集積可能である。この凝視時間は、検出器５１Ａ、５ １Ｂ等々を制御する回路に供給される電気信号によって電子的に決定されるか、 或いは、シャッタ１２によって決定される。 凝視時間ｔの終端において、検出器５１Ａ、Ｂ、、　。 はスイッチオフされ、それ以後は放射線に感応しない。 次に、各検出器５１Ａ、Ｂ、、、上の電荷は、それぞれ対応するセグメント５２ Ａ、Ｂ、、、へ移される。このようにして、検出器は放電し、更に放射線を受け 取ることのできる状態になる。 一方、電荷、または、電荷に関係した信号が、セグメント５２Ａ、Ｂから出力さ れなければならない。出力するためには出力手段５３が用いられ、回路内の電子 機構は、電荷または信号を、１つの単一コラム５４に属する各セグメント５２Ａ 、Ｂから、出力手段５３まで連続して移動させ、コラム５４に属する全てのセグ メント５２Ａ、Ｂ、の移動が出力手段によって完了すると、出力手段は、問い合 わせを行い、次のコラム５５に属するセグメント５２Ｃ，５２Ｄから出力信号を 除去する。このようなコラムに沿った電荷の移動は、クロック１６からのクロッ ク信号により制御される。 実際には、出力手段５３から電荷または信号を除去するだめに要する時間が検出 器の凝視時間よりも長い場合があるので、検出器は放射線に感応するように常時 作動化されているわけではない。 従って、使用に際して、物体１０には負荷ソース３６によって周期的に負荷がか けられ、負荷ソースはそれ自体マスタクロックゼネレータ３２と同期して作動す る。 検出器アレイ１３は、レンズシステム及びシャッタ１２を通して、物体１０上の １つ又は複数の点を見ることができる。検出器アレイからの出力信号（出力手段 ５３によって供給）は、前置増幅器１８によって増幅され、アナログからディジ タル信号に変換される。増幅されたディジタル信号は、加算／減算回路】９に供 給される。出力信号は、対象とされる点の温度が上昇したか或いは低下したかに 応じて効率的に十又は−になることが可能であるので、加算／減算回路は、例え ば、正の信号のみを供給するために、負の信号の値を反転させるようにして用い ることができる。 一般に、この点のデータには、位相角の余弦を乗することができる。加算／減算 回路は、電子ハードウェアによって実現するか、或いは、ディジタル信号処理（ Ｄ　Ｓ　Ｐ）集積回路（例えばアナログデバイス　ＡＤＳＰ　２１００）を用い て実現できる。 回路］９の出力は、イメージアキュムレータに蓄積できる。明らかに、特定の検 出器５１Ａ、５２Ｂは他の検出器よりも感度が高いので、このような検出器の感 度のばらつきを無くするためにゲインコレクタ３３を使用できる。その後で、信 号は、表示するためにビデオスクリーンに供給することができる。 アレイ１３の検出器によって受信された物体１０上の１つの単一点からの熱信号 の波形３９を図２に示す。図から解るように、負荷ソース３６からの負荷の正弦 周期的変化に応答して、熱信号３０は周期的である。しかし、図３に示すように 、負荷ソース３６によって供給される負荷波形３７は、熱波形３９と位相がずれ る（すなわち、位相角度かゼロでない）。図２に示す熱波形３９は、特別な検出 器５１によって再現可能である。従って、サイクル上の点Ｔ１において、検出器 ５１がスイッチオンされ、テストされている物体に当たる熱放射線の量に応答し て電荷を負荷し始める。Ｔ１から期間を経過した点Ｔ２において、検出器がスイ ッチオフされる。この期間を矩形６１で示す。検出器がクリアされた点Ｔ３にお いて、検出器は再びスイッチオンされ、期間ｔの間（即ちＴ４まで）だけオン状 態が保持される。 ｔが熱波形の周期Ｔよりも著しく小さいことを条件としてこのプロセスを連続し て繰り返すことにより波形が作成される。図２において、原点Ｏに近接した点に おける熱信号の精度は余り高くなく、熱信号のピークに近付くにつれて精度が高 くなることは明白であるので、サイクルに沿った多数の点において熱信号を測定 することにより、Ａ　１．０における熱信号のピーク値を（ホストプロセッサ２ ８において）高精度で決定できる。 一方、凝視時間ｔの間に検出器に供給される電荷は小さいので、多数の凝視期間 に亙って電荷を加えることが望ましい。これは、検出器の電荷を保持した状態で 、数熱サイクルに亙って検出器に電荷を負荷することにより達成できる。連続す る短い凝視時間ｔが連続する熱サイクルーヒの同じ点（例えば、図２のＡＩ、Ａ Ｉ、Ａｌ）に相当する場合には、点Ａ１に関するＳＮ比が効果的に改善され、位 相情報が保持される。換言すれば、数サイクルに亙って点Ａ１における凝視時間 を連続して数回収集可能であり、その次に、点Ａ２における数凝視時間の収集に 切り換え、このように継続することができる。 しかし、位相情報が失われる（即ち、特定の凝視時間ｔが熱サイクルどの位置に 所在するかが分からない）場合がありうる。ただし、位相情報は種々の方法で入 手できる。近隣検出器（即ち、電荷を蓄積するために配置された全ての検出器で はない）からの瞬間的な信号から位相を決定できるし、或は、同一検出器からの 位相を隣接期間から推定することかできる（即ち、検出器は、蓄積状態と、リア ルタイム信号を発生するだけの第２の状態の間で繰り返して切り換えることか可 能であり、こうすることにより、第２の状態からの位相は、蓄積状態を通じて推 定される）。別の方法として、凝視時間が熱サイクルのピーク値と合致するよう に凝視時間を移動させることができる。これは、負荷ソース３６に供給される信 号の位相に対して、シャッタ１２の位相またはクロック１′６を調節することに よって実施できる。この位相調整は、位相アジャスタ３３によって実行される。 このようにして、（ａ）数サイクルに亙って検出器の電荷を収集すること、及び 、（１））熱サイクルのピークと合致するように位相または凝視時間を調節する ことによりＳ　Ｎ比を改善できる。 図４は、他の形の周期的ローディングを示す。 図６、及び、７を参照し、物体１０にかかる瞬間負荷を図６に示す。この種の負 荷は、例えば、ハンマによる打撃によってかけることができる。この種のハンマ による打撃の効果としては、特定の点において、図７に示すタイプの熱信号を発 生する。図７の波形は、減衰する正弦波である。本発明にかかる装置によって図 ７の信号を分析するためには、凝視時間ｔ＜Ｔにセットすることが必要である。 この場合、Ｔは、図７に示すように、例えば、正弦波の１つの単一サイクルの問 題とする最短期間を意味するものとする。ただし、図７に示す波形は、勿論、減 衰する正弦波以外の波形であっても差し支えなく、この場合には、期間Ｔを適当 に定義できる。 非常に多数の検出器（例えば、１０２４Ｘ１０２４アレイ）において下方にロー ドするには時間がかかるので、ダウンローディング時間は非常に長くなることが ある。 ダウンローディング時間を短縮するために、検出器のグループを同時にダウンロ ードするように配置することができる。この方法が可能であるのは、所要解像度 が、他の場合のようには高くない場合に限られる。構成部品について更に詳細に 記述することとする。 加算／減算回路１９は、累積メモリー２１に記憶された当該検出器に関する以前 の信号値に対して、アレイ内の各検出器からのディジタル化された信号を、タイ ミングゼネレータからの制御信号に応じて、加算または減算する。これらの信号 を加算するか減算するかは、信号が獲得された時点における負荷波形の位相に依 存する。圧縮負荷に対応する信号（例えば、図２のＡ）には加算可能であり、物 体に張力がかかっている場合の信号（例えば、図２のＢ）には減算可能である。 信号は、所要のＳ／Ｎ比を達成するのに必要な期間に亙って累積される。累積メ モリー２１に信号を追加するとＳ／Ｎ比が増加し、緊張信号と圧縮信号を区別す ることによって、熱弾性のケルビン効果以外に起因するバックグラウンド信号を 排除する（例えば、緩やかな温度上昇の原因となるヒステリシス−物体の同じで ない点の周囲温度の固有温度差異：及び、アレイ内の各検出器か発生する基本信 号の変動、等々）。 加算／減算回路からの出力信号は、等速呼用しメモリー（ＲＡＭ）２１に累積さ れる。メモリーのサイズは、少なくともＮｘＤｘＰビット以上でなくてはならず 、この場合、 Ｐは、イメージに必要とする検出器の数（後で説明するように、アレイ１３内の 検出器の数より少なくても差し支えないこともある）； Ｄは、アナログからデジタルへの変換に用いられる量子化ビット数（即ち、各信 号値は、２°レベルまでディジタル化される）； Ｎは、必要とされる個別イメージの数であり、位相情報が必要な場合にはＮ＞１ である。 データは、固定または浮動点様式でＲＡＭ　２１に記憶されるが、メモリーは、 イメージが累積される場合にオーバフローが無いような深さでなくてはならない 。 ゲイン修正回路２３は、アレイ内の各検出器用ゲイン修正ファクタを記憶するた めのメモリ一手段を備える。 ゲイン修正ファクタは、フラットフィールドイメージからデータを収集する較正 ルーチンによって表に記憶される。現時点におけるゲイン修正は、勿論デジタル であるが、必要に応じて、赤外線検出器１３とアナログからデジタルへのコンバ ータ１８の間にゲイン修正器２３を配置することもできる。この場合のゲイン修 正器はアナログゲイン修正器であるものとする。 累積メモリー２１（ゲイン修正回路２３に接続）内のデータは、ディスプレイさ れたり分析されたり記憶されたりしなければならない。従って、使用される累積 メモリーからの各イメージ（即ち、検出器アレイ内の各々の検出器に関する出力 信号）は、ホストプロセッサ２８によってアクセス可能な二重ボート付きビデオ スクリーンメモリー２４にロードされる。２秒ごとにフレーム１つのりフレシュ 速度により、リアルタイムで観察されＳ／Ｎ比を徐々に改善することが可能であ り、所要レベルに達すると観察を停止することができる。ホストプロセッサ２８ は、種々の作動モード、例えば、ロードサイクル当たりのイメージサンプル数が 異なるモードに対して、タイミングゼネレータ３１をプログラムするためにも使 用できる。 本発明は、細部に亙って前述の例だけに制限されるものではなく、例えば、検出 器アレイ１３には、７７０に近くまで冷却されてデユティサイクル１００％（即 ち、読出し時間−凝視時間）で２５Ｈｚのフレームレートで作動するローラルフ エアチャイルド２４４Ｘ１９０のケイ化プラチナ（ＰｔＳｉ）アレイを使用して も差し支えない。 間合わせレートは、検出器当たり約０，９μｓであり、１２ビツトのデュアルフ ラッシュＡＤＣ（例えば、ＤＡ置　ＡＤＣ５００）が用いられる。累積メモリー ２１は、６４ＫＸ４、又は、ＩＭＸＩ動的ＲＡＭさえも用いられる。深さか２４ ビツトであるためには、６オフ６４Ｋｘ４ＤＲＡＭチップが必要とされる。 成るタイプの光検出器アレイを用いると、個別検出器か、電荷を各出力ノードへ 移すレジスタとは別に入射放射線によって発生した電荷を収集して記憶するため に要する時間を制御するこが可能である。他のタイプのアレイを用いると、この 種の制御は不便または不可能である。 例えば、電荷結合されただデバイス（ＣＣＤ）において、検出器は、それ自体、 シフトレジスタの一部であっても差し支えない。凝視時間が非常に短いことが要 求される場合（即ち、アレイ内の個々の検出器に関する全ての電荷を読出す時間 よりも短い場合）には、高周波変化を能率的に検出することができる。多くの場 合に、読出し時間および凝視時間を短縮し、更に高い周波数の取扱いを可能にす るすることが望ましい。この場合に使用できる技術を次に示す： １）　凝視時間は、アレイを後方（即ち、電荷を出力ノードヘ移すために通常使 用される方向と反対の方向）にクロッキングすること、及び、電荷をドレーン構 造（アンチブルーミングドレーンと呼ぶこともある）にダンプすることにより、 凝視時間を短縮することができる。イメージエリアは、時間の一部に対して逆方 向にクロックされ、残りの部分に対しては正方向にクロックされる。 ２）　全読出し時間は、イメージ内の問題の領域を低速で読出し、イメージ内の 不必要な部分に対する電荷を高速でダンプすることによって短縮しても差し支え ない。 ３）　ＣＣＤの場合には、検出器信号は、検出器１つ当たり１度たけ出力ノード を必ずしもリセットしないことにより、チップにまとめてバインドすることがで きる。 こうすると、実際に得られるイメージは、画素が少なく解像度が低くなる。 ４）　無作為にアドレス可能な検出器アレイ（例えば、重荷電注入デバイス、ま たは、ＣＩＤ）の場合には、問題とされている検出器アレイのみの読出しが必要 である。 既に述べたように、成る状況のもとの検出器では、Ｓ／Ｎ比を改良するために、 幾つかの短い凝視時間から電荷を累積することも望ましい。この問題を取扱うに は、使用する赤外線アレイのアーキテクチャに応じて、次に示すような方法が使 用できる： ｉ）　光検出器が、転送ゲートによって、読出しセクション（ＣＣＤであっても 差し支えない）に接続される場合には、検出器エレメントから電荷を転送するた めに、ゲートを繰り返して使用することかできる。しかし、読出しが一時的に抑 圧される場合には、所要レベルに到達して読出しが開始される時まで、信号を読 出し構造に蓄積することができる。 ｉｉ）　信号電荷を、検出器エレメントから、入来放射線から遮蔽されたエリア （例えば、ＣＣＤ読出しレジスタ又は記憶領域）までシフトし、次に、その後の 凝視によって電荷を累積するために再び検出器エレメントに戻り、所要の電荷レ ベルに到達してアレイが読出されるまで、この動作を繰返すことが可能である。 国際調査報告 一一一ム０．−１海、ｌｓ−ＰＣＴ／ＧＢ　９０１００９８８国際調査報告

Claims (20)

【特許請求の範囲】
1. １．物体にかかる負荷を決定し、ｔ＜Ｔの条件の下で、問題とされる所定の最短 周期Ｔ内の複数のサンプル期間ｔに亙って所定点からの熱放射を収集および測定 し、そして、前記の熱放射の収集および測定値、及び、前記の決定した負荷から 、前記の点における応力を測定するものである物体上の一点における応力測定方 法。
2. ２．物体に周期Ｔで周期的に変化する負荷をかけ、ｔ＜Ｔの条件の下で、１つの サンプル期間ｔに亙って所定点からの熱放射を収集および測定し、前記の適用負 荷に応答して前記の点によって生じた熱放射の周期的変動に関する第１の期間ｔ の位相を決定し、そして、熱放射の前記収集および測定値、及び、前記位相から 、前記の点における応力を測定するものである物体上の一点における応力測定方 法。
3. ３．物体に周期Ｔで周期的に変化する負荷をかけ、ｔ＜Ｔの条件の下で、複数の サンプル期間ｔに亙って所定点からの熱放射を収集および測定し、熱放射の前記 収集および測定値からピーク熱放射を決定し、前記ピーク熱放射および前記の周 期的に変動する負荷から前記の点における応力を測定するものである物体上の一 点における応力測定方法。
4. ４．前記の点から受けた熱放射の位相と適用負荷の位相を比較して、物体にかか る負荷によって前記の点に緊張または圧縮のいずれが生ずるかを決定することを 特徴とする請求項２又は３記載の方法。
5. ５．第１のサンプル期間ｔが約５０μｓであることを特徴とする請求項２から４ までに記載の方法。
6. ６．周期的に変化する負荷の周波数が１０ｋＨｚ未満であることを特徴とする請 求項２から５までのいずれかに記載された方法。
7. ７．サンプル期間ｔがＴ／４未満であることを特徴とする請求項２から５までの いずれかに記載の方法。
8. ８．周期的熱放射の周期的に変化する値が、物体上の点からの放射の複数のサイ クルに亙る収集および測定によって生成され、受けた周期的熱放射のピーク値ひ いては前記の点における応力のピーク値を決定するために推定手法を用いること を特徴とする請求項２から７までのいずれかに記載された方法。
9. ９．物体上の点からの熱放射が受取った熱放射の複数のサイクルに亙って複数の サンプル期間ｔの間だけ収集されて測定され、サンプル期間「ｔ」が受取った放 射サイクルに関して位相的に常に同じ点に位置するることを特徴とする請求項２ から７までのいずれかに記載された方法。
10. １０．サンプル期間ｔの位相を、熱放射サイクルのピーク値と合致するように調 節することを特徴とする請求項９記載の方法。
11. １１．物体上に分布した複数の点において応力が同時、或いは、実質的に同時に 測定されることを特徴とする請求項２から１０までのいずれかに記載の方法。
12. １２．物体上の複数の点を同時に見るために検出器アレイが用いられることを特 徴とする請求項１１記載の方法。
13. １３．物体上の応力の変動を表す画像を形成するように、測定しようとする応力 がかかっている点（または、複数の点）を物体上で走査することを特徴とする請 求項２から１２までのいずれかに記載の方法。
14. １４．周期Ｔの周期的に変化する負荷を物体（１０）にかけるための手段（３６ ）と、ｔ＜Ｔを条件として、サンプル期間ｔに亙って前記の点からの熱放射を収 集および測定するための検出器手段（１３）と、前記の点における応力を測定す るための手段を提供するために、熱放射の前記の収集および測定値と前記の位相 から、前記のかかった負荷に対応して前記の点によって生ずる熱放射の周期的変 動に関してサンプル期間ｔの位相を決定するための手段（２８）と、を備えた物 体上の一点における応力測定装置。
15. １５．周期Ｔの周期的に変化する負荷を物体（１０）にかけるための手段（３６ ）と、ｔ＜Ｔを条件として、複数のサンプル期間ｔに亙って前記の点からの熱放 射を収集および測定するための検出器手段と、熱放射の前記の収集および測定値 からピーク熱放射を決定し、前記ピーク熱放射と前記の負荷から、前記の点にお ける応力を測定するための手段と、を備えた物体上の一点における応力測定装置 。
16. １６．物体（１０）上に分布する応力の画像を提供するために物体（１０）上の 分布する複数の点に関して測定された応力をディスプレイするための手段（２４ ）によって特徴ずけられる請求項１４又は１５記載の装置。
17. １７．前記検出器手段（１３）が検出器のアレイ（５）であり、各検出器によっ て測定された熱放射の値を決定するために、それぞれの検出器（１３）に、順次 、問合わせる手段を備えることを特徴とする請求項１４から１６までのいずれか に記載の装置。
18. １８．検出器が、その間に放射線の受信と電荷の蓄積を実施する前記のサンプル 期間ｔを含む凝視時間を持ち、検出器の電荷を測定または除去するための手段を 備えることを特徴とする請求項１７記載の装置。
19. １９．物体（１０）に周期Ｔを持つ周期的に変化する負荷をかけるための手段（ ３６）と、ｔ＜Ｔを条件として、サンプル期間ｔに亙ってそれぞれの点からの熱 放射を収集および測定するためにそれぞれ配置された複数の検出器を備える検出 器手段（１３）と、各検出器に関して、前記の適用負荷に応答して各点によって 生ずる熱放射の周期的変動に対するサンプル期間ｔの位相を決定し、前記の収集 および測定値と前記位相から前記の各点における応力を測定するための手段（２ ８）と、を備えた物体上の複数点における応力測定装置。
20. ２０．物体上の１つの点における応力を測定するための装置であり：物体（１０ ）に周期Ｔを持つ周期的に変化する負荷をかけるための手段（３６）と、ｔ＜Ｔ を条件として、複数のサンプル期間ｔに亙り各点からの熱放射を収集および測定 するために配置された複数の検出器含む検出器手段と、熱放射の前記収集および 測定値からピーク熱放射を決定し、前記ピーク熱放射と前記負荷から前記各点に おける応力を測定する手段と、を備えた物体上の一点における応力測定装置。