JPH05500468A - 分離装置に適する多孔質膜及び他の用途 - Google Patents

分離装置に適する多孔質膜及び他の用途

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JPH05500468A JP2512813A JP51281390A JPH05500468A JP H05500468 A JPH05500468 A JP H05500468A JP 2512813 A JP2512813 A JP 2512813A JP 51281390 A JP51281390 A JP 51281390A JP H05500468 A JPH05500468 A JP H05500468A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 【発明の名称】
分離装置に適する多孔質膜及び他の用途
【技術分野】
本発明は、分離装置、例えば異なる粒子または分子サイズの混合物から構成成分 を分離するために使用する分離装置に適する多孔質膜及び他の用途に関する。
【背景技術】
分離装置に有用な多孔質固体材料を製造する多くの方法かある力量、このような 方法では一般に非常に細い孔を有する非常に薄(1多孔質膜を製造することかで きないか、これら多孔質膜は濾過又は背圧を減少させるために、又は成分濃度を 増加させるために及びより小さな粒子を分離するための同様の用途に使用するこ とか要望されて′l−)る。 多孔質酸化物フィルムは特定の金属、とりわけアルミニウム、及び陽極酸化可能 なアルミニウム合金を硫酸及びリン酸のような強酸を含む電解液内で陽極酸化す ることにより形成することが知られており、このタイプのフィルムをフィルター 装置に使用することか提案されている(米国特許第3.850.762号、19 74年11月26日発行、A、W スミス)。陽極酸化フィルム(アノードフィ ルム)は非常に薄くすることができ、例えばノナメーターオーダーで薄くでき、 適当な時間陽極酸化工程を続けることによって所望の程度までアノードフィルム を成長させることができる。しかしなから、以下の2つの基本的な理由によって 分離装置又は他の同様な目的のためにこのようなフィルムを使用することは一般 的にいって便利ではなかった。まず、アノードフィルムはそれらが形成される下 地金属にしっかりと固着し、金属物体を溶解という、このようなゆっくりとした 高価な手法を使用することなく容易に除去することができない。第2に、多孔質 陽極酸化によって形成されたアノードフィルムは孔底部の金属物体にすく隣接し ているところにおいて穿孔されていないバリヤーを宵するため、このフィルムが 完全に貫通することを要求する装置において使用するならばその除去する必要が あるが、その除去は残りの多孔質構造を損傷しないで行うことは大変難しい。我 々のヨーロッパ特許出願第0178813号(1986年4月23日公開)をみ れば、我々は、アノードフィルムの下地金属物体への接着部は多孔質陽極酸化工 程において孔ブランチング(枝分かれ)処理を行うことによってかなり減少する ことか見出している。また、このようにして形成されるアノードフィルムは浸漬 後又は同時に取り外され、フィルムの一方の面から他方の面に完全に伸びる孔を 有する。上記公開された出願では、この多孔質アノードフィルムは十分に厚いと き、例えば50ミクロン又はそれ以上のときは自己支持能力を有するが、0.1 ミクロン〜50ミクロンまでの薄いフィルムである場合は、多孔質物体上に支持 される必要かある。 しかしながら、このような自由な状態のフィルムは適当な支持体に取り付けるこ とか容易でないだけでなく、このようなフィルムを広い面積に渡る場合に信頼で きる方法で下地金属から取り外すことも容易でない。厚みか約25ミクロン以下 のフィルムは特に製造環境において取り扱うのか困難である。従って、多孔質の アノードフィルムはフィルターまたは他の装置の多孔質膜として広い用途に使わ れたことがない。
【発明の開示】
本発明の目的は、分離装置及び他の目的に適当な非常に薄い多孔質膜を製造する 方法を提供することにある。 本発明の他の目的は、非常に細い孔を有する非常に薄い多孔質膜を組み込んだ分 離装置を提供することにある。 本発明の一つの観点に従えば、多孔質膜を製造する方法であ・〕で、適当な金属 物体を多孔質陽極酸化することによってその金属上に多孔質アノードフィルムを 形成し、該フィルムは外側表面を有し、次いで、」−記多孔質アノードフィルム 内に弱化層を上記フィルムをこの弱化層において分離させることなく形成し、上 記多孔質アノードフィルムの」−記入面に支持体を取り付け、上記金属物体から 上記フィルム少なくとも外側部分を分離して上記支持体に支持された多孔質膜を 形成する方法を提供することにある。 必要ならば、L記支持体に取り付けられた多孔質膜は、例えば穿孔された支持体 で、分離装置又は他の装置の一部として適当なものの異なる支持体に移し変える ことかできる。 本発明の他の観点によれば、分離装置を製造する方法であって、適当な金属物体 を陽極酸化して該金属上に多孔質アノードフィルムを形成し、該フィルムは外側 表面を有し、次いで上記多孔質アノードフィルム内に弱化層を上記フィルムを該 弱化層において分離させることなく形成し、上記多孔質゛rアノードフィルム上 記外側表面に支持体を取り(=jけ、上記弱化層において上記金属物体から上記 支持体に取り付けた上記フィルムの少なくとも外側部分を分離]7、に記支持体 か、上記支持体及び外部フィルム部分のラミネートを適当な分離装置として機能 させるに十分な穿孔がなされてないならば、さらに上記支持体を穿孔するか又は 上記支持体を穿孔された支持体構造と置き換えるさらにもう1つの工程を行う方 法を提供するものである。 本発明はまた、支持された多孔質膜及び分離装置に関するものである。 本明細書において穿孔された支持体又は支持構造とは、貫通している孔を有する 連続層又は物体、ファイノ・−又はフィラメント間にキャップを有するファイバ ー製又はフィラメント製のメツシュ又はウェブを意味する。 本発明によれば、薄い多孔質膜をそれが形成される金属物体からアノードフィル ムを取り外す間および次の操作の間支持させろことが可能であり、これは上記膜 が非常に薄<(50ミクロン以下例えば、0.5ミクロン以下でさえ)製造され ることを意味し、広い面積の膜、かつ例えば50cm’以上の膜を製造すること ができ、これを最終製品に組み込むことかできることを意味する。 さらにまた、この膜は支持されかつそれ故にそうでない場合よりも薄く形成する ことができるから、アノード処理(陽極酸化処理)の時間をかなり減少させるこ とができる。例えば支持される膜かほんの数ミクロンの厚さで十分である場合は 20〜30フアクター、またサブミクロンの厚みの膜が必要であるならば100 又はそれ以上のファクター減少させることかできる。この節約エネルギーによつ てよりフレ牛ンブルでかつ低い流れ抵抗を有する薄い膜を形成することができる だけでなく、またそれは孔のサイズの精密な制御をより容易に行うことができる ことになる。処理時間が長いと、酸性電解液内での浸〆責時間によってかなりの 溶解か孔の長手方向に沿って起こり、非対称的な孔か形成される場合がある。本 発明においては、この孔は膜の厚み全体に渡ってより対称的に形成されることに なる。 この多孔質膜が確実に支持されることにより、得られるすべての分離装置か機械 的手段又はレーサーによって支持されてないフィルムを備える場合と同様に割れ 又はクラックの危険を減少させて好ま(7い形状にカットされるという利点を有 する。
【図面の簡単な説明] 第1図は従来の多孔質陽極酸化技術によって製造された多孔質アノードフィルム の断面図である。 第2図は酸化物と金属の界面において弱化層を有する多孔質アノードフィルムの 断面図である。 第3図は取り付けられた穿孔支持体を有すると第2図と同様のフィルムの断面図 である。 第4図は本発明プロセスに使用される装置の断面図である。 【本発明を実施するための態様】 本発明を添付図面を膠原して好ましい実施例を説明することによって詳細に記載 し、その後開示された工程及び構造についての変形及び変更について述べる。 第1図は従来方法により製造される多孔質アノードフィルムの断面図で、フィル ム10は本体11上に形成され、該本体は一般にアルミニウム又は陽極酸化可能 なアルミニウム合金からなり、外部該本体を1〜1000ポルトより通常では3 〜200ボルト、さらに好ましくは5〜80ポルトの電圧でリン酸、硫酸又はン ユウ酸のような酸を含む電解液中で陽極酸化することにより製造される。このフ ィルムを孔12を有し、該孔は金属本体11に向かってフィルムの外側表面14 から内方に伸びている。しかしながら、この孔は穿孔されないバリア層10aに よって金属から分離され、このバリア層は金属/酸化物界面において密着してい る。 第2図は同様の多孔質陽極酸化技術によって形成された多孔質アノードフィルム 15の同様の断面図であるか、この場合、陽極酸化の最終段階は上述した我々の 公開されたヨーロッパ特許出願に開示されるように電圧減少手法によって6孔1 2の側部において枝分かねした孔15の地域を形成するように修正される。基本 的にこれは連続的又は段階的に電圧を変化させることを念む。例えば、陽極酸化 電圧ははじめの陽極酸化電圧約25ホルトから05ホルト毎に0ホル[・まで減 少させてもよい。この電圧減少によって上記のフィルムを弱化させる多数の孔に 単一の孔を枝分かれさせる効果を有する。この枝分かれした孔の領域15は一体 となって弱化層を金属/酸化物界面に隣接するアノードフィルム10内に導入し 、該フィルムはこの層に沿ってかなり容易に分離されることかできるようになる 。上述したように、第1図のバリア層]、、Oaは孔の枝分かれ工程の終期にお いで非常に薄くなり、弱化された層に沿−7てフィルムか分離されると破壊され るか又は残留することか見出されており、この結果、このフィルム(多孔質膜) の取り外された部分の孔12は取り外されたフィルムの両対句面おいて開口し、 完全にフィルムを貫通することになる。 いずれの場合においても、この孔枝分かれ工程は上記フィルムの速すきる分離を 避けるために時間内で合理的に短くすべきである。 望むならば、さらに孔枝分かれ工程の後にさらに多孔質陽極酸化を行うことがで きる。これによって上記孔は弱化帯下方に上部フィルム部分を害することなくか つまた分離能力を害することなく延長することができる。この弱化層はこのよう にして金属/酸化物界面からきれいに分離して(欠陥なく)取り除くことができ る(上記本体によって起こる効果が局在されても)。 上記金属本体から多孔質膜を取り外す前に、支持層20(この実施例ではそれ自 身か穿孔されており穿孔する必要がない)が第3図に示すようにフィルムに該表 面に取り付けられる。この層20は穿孔21を有するのか好まし、く、この穿孔 はアノード膜における孔12の幅に比してかなり大きいものであり、例えば、元 の穿孔されてない層にパンチングホールを形成することによって形成することが できる。この層20はこの実施例において、アノードフィルムに接着又はヒート シールされるプラスチンクフィルムである。 穿孔サイズの取り外された厚みの対する比率は得られる装置が分離装置として使 用される場合には重要である。この取り外されたフィルムは本質的に上記穿孔2 1内に存在する地域においては支持されていない。より薄いアノードフィルムの 場合は、それらは脆いため、より厚いフィルムよりも一層の支持を必要とするの で、膜10の厚みが減少するに従って穿孔21の幅を減少させる必要かある。経 験的には、穿孔の直径は非常に薄いフィルムの場合膜厚よりも小さくすべきであ る。この穿孔の範囲は非常に薄い膜(例えば、約0.1ミクロン)については0 1ミクロンから比較的厚い膜については500ミクロンにまで変化する。 もし、上記層20かフレキ/プルであるならば、金属本体からのアノ −ドフィ ルムの取り外しに協力する。ように使用Cることかできる。例えば、この層の一 部はアノードフィルム10の端部を越えて伸C1把持用タブを形成I、でもよく 、該タブは下層構造から該層と取り付けられた」一部アノードフィルム部分(多 孔質膜)を剥離するために使用されてもよい。この膜10か極めて薄い場合(例 えば、30ミクロン以下、好ましくは5ミクロン以下の場合)には、極めてフし ・キシプルであるから、該層20を金属物体から剥離するときに生ずる膜の曲が りによっては通常は損傷を受けなくなる。しかし7ながら、この膜のこのような 曲がりは望むならば完全に避ζJることができる。もし、L記金属物体11それ 自身が薄く形成され、か−〕フレキンプルで、上記層20か上記本体11よりも フレキシブルでない場合は上記膜の曲りを避けることかできる。この本体11は その後支持層20から剥離され、かつまた膜を曲げることなく接着用の膜10か ら剥離することができる。 以上の本発明の一実施例について記載したが、以下に一定の変更お上ひflf三 について述・\ることにする。 まず、L配量化層は↓二連した電圧降下工程以外の手段によってアノードフィル ト内に導入することかでδると理解すべきである。同様の効果は電圧の増加、電 流波形の変化(例えば、交流から直流への変化)又は陽極酸化用酸の変化の各々 又はそれらの組み合わせによって行うことができる。 第2に、上記支持体22に関連する変形はかなり存在する。支持体の性質は広く 変化させることができるたけでなく、この支持体は除去され、他の支持体又は支 持構造と置き換えることかできる。この騰が分離装置を形成するために使われる べきであるならば、最終的な支持体はそれ自身穿孔されるべきである。1.かし 、ながら、元の支持体か置き換えられるへきであるならば、穿孔された部材によ っC置き換えることができるから穿孔される必要はない。しか(7、その支持体 を残すべき場合であっても最初から穿孔される必要はない。 何故ならば、本体からの膜の取り外し後に、例えば、支持体にレーサーを使用し 7て孔を形成することによって又は溶解あるいは劣化によっても穿孔を行うこと ができる。例えば、孔の地域を除いてマスクとし、て機能するγ)−ドフィルム を配しでフラッシュランプ等から劣化用uv照躬にフィルムをさらすことによっ であるいは溶解プロセスに対して抵抗として働くアノードフィルムを使用するこ とによって行うことができる。 支持体の1買き換えは、一対の微細なメノンユグ1ノ、ド(例えば、テフロンあ るいはステンレススチール製)の間(こ多孔¥i膜と支持体の積層物をリンドイ ノチし、」二記元の物体それ自身を溶解又は焼失させることによって行うことか できる。その後、このメツシュグリlドはそれらかアノードフィルムに結合され ない場合でさえ、次の操作のために支持体構造を形成することができる。元の支 持体を除去15た後あるいは元の支持体を適用する前でさえも上記膜の選択され た孔は、例えばラッカー又はポリマー溶液のような固定可能な液体のようなそれ 自身ノイルムを強化する材料によ−)で満たすこともてきる。適用の好ましいパ ターンを選択するならば、例えばドソドパターン又はグリ、ドパターンのように 選択されるならば、充填されない孔の地域を最大にしつつ良好な支持体とするこ とができる。このようにして、孔を貫通する材料は元の支持体が除去された後、 それ自身で支持構造として機能することができるし、また、多孔質層又は他の支 持構造と共同してもう1つの支持体を形成することかてきる。 −1−記支持体が第3図に示すようなタイプの多孔質層であるときは上述したよ うな重合体フィルムのような有機材料であってもよく、あるいはセラミックのよ うな無機材料であ、ってもよい。例えば、この多孔質膜は我々の英国特許出願第 89124.25.9(1989年5月31日出願)に開示するような多孔質重 合体膜に組み入れることもできる。この開示は参考のためここに組み入れる。す なわち、このような複合体において、上記多孔質膜は以下の2つの方法の1つに よって部分的に焼結された無機粒子の被澤層に一体的に結合される。その第1の 方法においては、無機粒子のスラリーが上記膜表面F−にテープキャスト(ta pe cast)され、その後、加熱されて部分的に粒子とともに焼結される。 第2の方法においては、無機粒子のスラリーを」二記表面にテープキャストし、 焼結された粒子の前取て形成された層を上部に適用し、最後にその皮膜を加熱す ることによって行なわれる。各々の場合、セラミック層の平均孔サイズは多孔質 膜の平均最小孔づイズよりも大きい。 ポリマー層が支持体として使用されるときは、−に連(またようにアノードフィ ルムに接着又はヒートンールされるのかよい。ホノトメルI−の介在材料を予め 定められたパターン又はデザインで適用することかできる。これによってアノー ド膜ど支持体との間には溶融可能な層が形成される。これに代わ−)で、通常剛 性付与のパブリックとして使用される鉄製介在物を多孔質ナイロンメノン、のよ うな支持用層をアノ−ドフィルムに取り付けるために使用することができる。支 持体をアノードフィルムに接着させる場合は、例えば、インクジ、7トブリンテ イング技術を使用し゛C接着剤又はポリマー溶液をスポット適用することによっ て行うことができ、これによって完全な孔のプロ・、キングを避けることができ る。他の取り付は技術としては、いわゆるポリプロピレン製の多孔質重合体膜の ヒートスタッキングを含み、必要ならばレーザーによ・って組み立てることかで きる。上述の記載は分離装置を形成するt、″めに多孔質支持体に多孔質アノー ド膜を取り付ける方法に主どして関するものであ〕だが、この膜は穿孔されてい ない支持体に取りイ=Iけることかでき、触婦支持体のような他の装置を形成す ることかできる。多孔質あるいは非多孔質のいずれであっても、多孔質膜を支持 するt−めに使用する層は重合体であるのか好ましく、膜に対しでヒーh>−ル させるのが有利である。 本発明の陽極酸化工程についてSえば、低い陽極酸化電圧を使用することによっ て微細な孔を有するアノードフィルムを形成でき、これはほとんどの場合好まし 7いものであるが、そうなるたけでなく発熱量か低くなる。これは本体かく厚い 層又はブl/ −トよりもも川7ろ)薄い規格のホイルであることができること を秋味し、陽極酸化中の焼失(burning)の危険をなくする。この薄さ及 びフレキシプリティによって、ホイル状の本体は連続的又は半連続的に処理する ことを可能とする。第4図には、上記プロセスの具体例及びそれに適当な装置が 示されている。7“ルミホイル30はロール31から引き出され、ローラ32を 通って送られる。ごのローラは正極として作用する。その後このホイルは酸性電 解液(830E O4)を保有する浴33を通る。この電解浴の壁はカソードを 形成し、上記フィルムの多孔質陽極酸化か起こる。電解浴33からでると1、− の゛フィルムはその後もう1一つの電解浴35を通Z〕、この浴は−1−記聞化 層導入のための酸性電解液36を含む。この電解浴はカソード37,38.3ε 〕、40と12て機能する電気的に分割され“C垂直に配置される側壁部分を有 している。そ(、てこのカソードの各々は減少された電位を与える。 得られる陽極酸化されたボイルは弱化された層を含むアノードフィルムを担持シ フ、ロール4Iを通り、ここでは多孔質のボ177−支持体か適用される。−F 、記ホイルとフィルト及び支持体の積層物は+7−ル42を通り、ここではホイ ルか取り外され再利用のために再度巻回される。残る支持体とフィルムの組み合 わせ43は図示1−1ない適当な圧延及び切断装置に送られる。 より高い電圧が必要な場合はホイルを使用することか難(−くなるか、電解浴中 でゆっくりと回転する金属ドラト形態の金属物体を使用し、(ホイルの実施例の 場合と同様に)L記支持体を連続的に適用し、取り外すことができる。 上記開示の内容を読めば当業者であるならば、種々の他の修正及び変形か可能で ある。このようなすべての変形及び修正は以下のクレームの範囲に属する発明の 一部を形成するものである。 補正書の翻訳文提出書 請丈の節回 (特許法第184条の7第1項) 平成4年3月27巳園

Claims (32)

    【特許請求の範囲】
  1. 1.多孔質膜を製造するに当たり、適当な金属物体を多孔質陽極酸化することに よりその金属上に多孔質アノード膜を形成し、該フィルムは外側表面を有し、次 いで上記フィルムを弱化させた層において分離することがないように上記多孔質 アノードフィルムに弱化された層を形成し、上記多孔質アノードフィルムの上記 外側表面に支持体を取り付け、上記金属物体から上記フィルムの少なくとも外側 部分を分離して上記支持体に支持された多孔質膜を形成することを特徴とする多 孔質膜の製造方法。
  2. 2.上記弱化層が上記陽極酸化工程の最終部分として陽極酸化工程に使用される 電圧を減少させることによって形成される請求項1記載の製法。
  3. 3.上記弱化層が陽極酸化工程の最後の部分として陽極酸化工程に使用される電 圧を増加させることによって上記フィルム中に形成される請求項1記載の製法。
  4. 4.上記陽極酸化工程が一定の波形を有する電流によって行なわれ、上記弱化層 が上記波形の変化によって形成される請求項1記載の製法。
  5. 5.上記陽極酸化工程が特定の酸を含む電解液中で行なわれ、上記弱化層が上記 酸を陽極酸化の最初の期間後、異なった酸と置き換えられ、上記陽極酸化工程を 続けることによって形成される請求項1記載の製法。
  6. 6.上記支持体が孔開きである請求項1、請求項2、請求項3、請求項4又は請 求項5記載の製法。
  7. 7.上記支持体が有機材料層である請求項6記載の製法。
  8. 8.上記有機材料が上記フィルムの孔のブロッキングを最小にするために上記フ ィルムの限定された地域にのみ接着剤を適用することによって上記アノードフィ ルムに取り付けられたポリマーである請求項7記載の製法。
  9. 9.上記支持体がセラミック層であって上記アノードフィルムヘのセラミックの 焼き付けによって取り付けられている請求項6記載の製法。
  10. 10.上記支持体が孔開きでなく、上記物体からのフィルムの分離後に支持体が 穿孔される請求項1、請求項2、請求項3、請求項4又は請求項5記載の製法。
  11. 11.上記支持体が溶解又は劣化からなる群から選ばれる手法により穿孔される 請求項10記載の製法。
  12. 12.上記支持体がレーザーにより穿孔される請求項10記載の製法。
  13. 13.上記支持体が多孔質ウェブ体材料間にその支持体と多孔質膜とを位置させ 、上記支持体の溶解又は焼失からなる群からなる方法により除去することによっ て多孔質支持構造と置き換える請求項1、請求項2、請求項3、請求項4又は請 求項5記載の製法。
  14. 14.強化材料を上記多孔質アノードフィルムの限られた地域の孔内に導入し、 一体化した多孔質支持構造を形成する請求項1、請求項2、請求項3、請求項4 又は請求項5記載の製法。
  15. 15.上記物体が上記支持体よりフレキシブルでなく、上記フィルムの分離が上 記物体から上記支持体を剥がしさることにより行なわれる請求項1、請求項2、 請求項3、請求項4又は請求項5記載の製法。
  16. 16.上記物体が上記支持体よりフレキシブルで、上記フィルムの分離が上記支 持体から上記物体を剥がしさることにより行なわれる請求項1、請求項2、請求 項3、請求項4又は請求項5記載の製法。
  17. 17.上記物体がフレキシブルな金属ホイルで、上記プロセスが上記ホイルの延 伸されたウェブを電解液浴に通し、上記浴から上記ウェブが出現すると、得られ る多孔質アノードフィルムに上記支持体を連続的に取り付け、上記物体から上記 支持体及び少なくとも上記外側フィルム部分を連続的な取り外す請求項1、請求 項2、請求項3、請求項4又は請求項5記載の製法。
  18. 18.適当な金属物体を多孔質陽極酸化して該金属上に多孔質アノードフィルム を形成し、該フィルムは外側表面を有し、次いで上記多孔質アノードフィルムに 弱化層をその弱化層において上記フィルムが分離されないように形成し、上記多 孔質アノードフィルムの外側表面に支持体を取り付け、上記金属物体から上記弱 化層において上記支持体に取り付けた上記フィルムの外側部分を少なくとも分離 し、上記支持体及び外部フィルム部分の積層物が適当な分離装置として機能する に十分な孔開き状態ないならば、さらに上記支持体を穿孔するか又は穿孔された 支持体構造と上記支持体を置き換えるかのいずれかの方法を行う分離装置の製造 方法。
  19. 19.適当な金属物体を多孔質陽極酸化して金属上に多孔質アノードフィルムを 形成し、該フィルムが外側表面を有し、次いで上記多孔質アノードフィルムに弱 化層を該フィルムがその弱化層において分離しないように形成し、上記多孔質フ ィルムに外側表面に支持体を取り付け、上記金属物体から上記フィルムの少なく とも外側部分を分離して上記支持体上に支持された多孔質膜を形成することによ って製造されることを特徴とする多孔質膜。
  20. 20.通番な金属物体を多孔質陽極酸化することによって該金属上に多孔質アノ ードフィルムを形成し、該フィルムが外側表面を有し、上記多孔質アノードフィ ルムに弱化層を上記フィルムが弱化層において分離しないように形成し、 上記多孔質アノードフィルムの 上記外側表面に支持体を取り付け、金属物体から上記弱化層において上記支持体 に取り付けられた上記フィルムの少なくとも外側部分を分離し、 もし上記支持体が上記支持体と該当する部分が適当な分離装置として機能するに 不十分な孔開き状態であるならば、上記支持体を穿孔するか又は上記支持体を孔 開き穿孔された支持構造物と置き換える工程を行うことによって製造される分離 装置。
  21. 21. 支持体として非金属材料層に取り付けられた多孔質膜を備え、該多孔質膜が多孔 質アノードフィルムである支持された多孔質膜。
  22. 22. 上記すべての非金属材料が重合体材料である請求項21記載の支持された多孔質 膜。
  23. 23. 支持体として使用される非金属材料の多孔質層に取り付けられた多孔質フィルム を備え、該多孔質フィルムが多孔質のアノードフィルムである分離装置。
  24. 24. 上記非金属材料が重合体材料である請求項23記載の分離装置。
  25. 25. 上記フィルムが50ミクロン以下の厚みを有する請求項19、請求項21又は請 求項22記載の膜。
  26. 26. 上記フィルムが15ミクロン以下の厚みを有する請求項19、請求項21又は請 求項22記載の膜。
  27. 27. 上記フィルムの上記外側部分が少なくとも50cm2の面積を有する請求項19 、請求項21又は請求項22記載の膜。
  28. 28. 上記フィルムが上記多孔質アノードフィルムの選択された地域における孔の強化 材料からなる支持構造によって支持される請求項19、請求項21又は請求項2 2記載の膜。
  29. 29. 上記フィルムが50 ミクロン以下の厚みを有する請求項2 0、請求項23又は請求項24記載の分離装置。
  30. 30. 上記フィルムが15 ミクロン以下の厚みを有する請求項2 0、請求項23又は請求項24記載の分離装置。
  31. 31.上記フィルムの外側部分が少なくとも50cm2の面積を有する請求項2 0、 請求項23又は請求項24記載の分離装置。
  32. 32.上記フィルムが上記多孔質アノードフィルムの選択された面積における孔 内に強化用材料を有する支持構造によって支持されている、請求項20、請求項 23又は請求項24記載の分離装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008212844A (ja) * 2007-03-05 2008-09-18 Shimadzu Corp 二酸化炭素の吸着要素および吸着装置
JP2012081473A (ja) * 2012-01-30 2012-04-26 Fujifilm Corp 精密フィルターユニットの製造方法

Families Citing this family (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3902883B2 (ja) 1998-03-27 2007-04-11 キヤノン株式会社 ナノ構造体及びその製造方法
US20040034223A1 (en) * 2002-02-07 2004-02-19 Covalent Partners, Llc. Amphiphilic molecular modules and constructs based thereon
EP1481268A4 (en) * 2002-02-07 2005-06-29 Covalent Partners Llc NANOFILM AND MEMBRANE COMPOSITIONS
US20040106741A1 (en) * 2002-09-17 2004-06-03 Kriesel Joshua W. Nanofilm compositions with polymeric components
US20040060867A1 (en) * 2002-09-27 2004-04-01 Bmc Industries, Inc. Membrane support devices and methods of manufacturing
US7625840B2 (en) * 2003-09-17 2009-12-01 Uchicago Argonne, Llc. Catalytic nanoporous membranes
FR2868201B1 (fr) * 2004-03-23 2007-06-29 Ecole Polytechnique Dgar Procede de fabrication de composants electroniques et composants electroniques obtenus par ce procede
US7717271B2 (en) 2005-12-07 2010-05-18 General Electric Company Membrane structure and method of making
US7547393B2 (en) 2005-12-07 2009-06-16 General Electric Company Membrane structure and method of making
US20100219079A1 (en) * 2006-05-07 2010-09-02 Synkera Technologies, Inc. Methods for making membranes based on anodic aluminum oxide structures
US8210360B2 (en) * 2006-05-07 2012-07-03 Synkera Technologies, Inc. Composite membranes and methods for making same
US8919385B2 (en) 2010-11-24 2014-12-30 Pall Corporation Manifold plates and fluid treatment arrangements including manifold plates
CN103276435B (zh) * 2013-05-21 2014-08-06 东莞劲胜精密组件股份有限公司 铝或铝合金表面微纳米加工方法及铝或铝合金结构
GB2521460A (en) * 2013-12-20 2015-06-24 Dublin Inst Of Technology Method of forming a multi-layer anodic coating
EP3178540A1 (en) * 2015-12-09 2017-06-14 Point Engineering Co., Ltd. Fluid permeable anodic oxide film and fluid permeable body using anodic oxide film
TW201944086A (zh) * 2018-04-06 2019-11-16 南韓商普因特工程有限公司 微發光二極體吸附體
KR20200053841A (ko) * 2018-11-09 2020-05-19 (주)포인트엔지니어링 마이크로 led 위치 오차 보정 캐리어 및 마이크로 led 전사시스템

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61106796A (ja) * 1984-10-17 1986-05-24 アルカン・インターナシヨナル・リミテツド 多孔質アルミニウム酸化物膜及びその製法
JPS62279806A (ja) * 1986-04-16 1987-12-04 アルカン・インタ−ナシヨナル・リミテツド 複合シ−ト及びその製法
JPS63160805A (ja) * 1986-11-11 1988-07-04 アルカン・インターナショナル・リミテッド 陽極酸化アルミニウムシートの成形方法
JPH02218422A (ja) * 1988-10-03 1990-08-31 Alcan Internatl Ltd 多孔質陽極酸化アルミニウム膜及びその製法
JPH0356690A (ja) * 1989-03-22 1991-03-12 Alcan Internatl Ltd 金属/酸化物二相フィルム

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4501663A (en) * 1979-11-05 1985-02-26 Millipore Corporation Filter cartridges and methods and components for making them
JPH0333802A (ja) * 1989-03-22 1991-02-14 Alcan Internatl Ltd 多孔質フィルムを有する光学干渉構造

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61106796A (ja) * 1984-10-17 1986-05-24 アルカン・インターナシヨナル・リミテツド 多孔質アルミニウム酸化物膜及びその製法
JPS62279806A (ja) * 1986-04-16 1987-12-04 アルカン・インタ−ナシヨナル・リミテツド 複合シ−ト及びその製法
JPS63160805A (ja) * 1986-11-11 1988-07-04 アルカン・インターナショナル・リミテッド 陽極酸化アルミニウムシートの成形方法
JPH02218422A (ja) * 1988-10-03 1990-08-31 Alcan Internatl Ltd 多孔質陽極酸化アルミニウム膜及びその製法
JPH0356690A (ja) * 1989-03-22 1991-03-12 Alcan Internatl Ltd 金属/酸化物二相フィルム

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008212844A (ja) * 2007-03-05 2008-09-18 Shimadzu Corp 二酸化炭素の吸着要素および吸着装置
JP4730842B2 (ja) * 2007-03-05 2011-07-20 株式会社島津製作所 二酸化炭素の吸着要素および吸着装置
JP2012081473A (ja) * 2012-01-30 2012-04-26 Fujifilm Corp 精密フィルターユニットの製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP0494187B1 (en) 1994-07-20
DE69010915T2 (de) 1994-11-24
ES2056488T3 (es) 1994-10-01
DE69010915D1 (de) 1994-08-25
EP0494187A1 (en) 1992-07-15
GB8922069D0 (en) 1989-11-15
US5259957A (en) 1993-11-09
AU6435190A (en) 1991-04-28
JP3234218B2 (ja) 2001-12-04
CA2057930A1 (en) 1991-03-30
ATE108695T1 (de) 1994-08-15
CA2057930C (en) 2001-11-27

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