JPH0547357Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は半導体装置産業や航空機産業等に於い
て主に使用されるものであり、真空断熱配管等の
真空断熱体の真空度維持に用いるゲツター装置の
改良に関するものである。

（従来の技術） 一般に真空断熱配管や真空断熱壁体等に於いて
は、第３図に示す如く断熱空間Ｓの内部へ直接ゲ
ツターＧを挿入するか、若しくはゲツターＧを収
納した金属製容器Ｂを外管（又は外壁）へ溶接等
によつて固着し、断熱空間Ｓを真空引きした後、
ゲツターＧを加熱した活性化することにより内部
ガス等をこれに吸着し、真空度の悪化を防止する
ようにしている。

而して、以前のゲツター装置は殆んど全てが金
属製容器Ｂの中へペレツト状のゲツターＧを直接
積層状に充填した構成となつており、ヒーター
（図示省略）等によつて容器Ｂを外側から加熱す
ることによつて内部のゲツターＧへ伝熱し、これ
を所定の温度にまで昇温するようにしている。

しかし、ゲツターＧがゲルマニウム合金等の金
属材料の場合でも、伝熱抵抗によつて生ずる加熱
温度分布の不均一を避けることは不可能であり、
その結果ゲツターＧの活性度に斑が生し、吸着能
率の低下を来たすという問題がある。

又、ゲツターＧの活性化には最適温度範囲があ
るため、加熱温度分布の不均一の点からゲツター
Ｇの充填量即ちゲツター装置の容量が制限される
ことになり、ゲツター装置の大形化が図れないと
いう問題がある。

（考案が解決しようとする問題点） 本考案は、以前のゲツター装置に於ける上述の
如き問題、即ち(イ)ゲツターを加熱活性化する際の
容器内温度の分布が不均一になり易く、ゲツター
の活性度に斑が生じて吸着能力をフルに活用でき
ないこと、(ロ)容器内温度分布の不均一から容器の
外形寸法やゲツターの充填量が規制され、ゲツタ
ー装置の大形化が図れないこと等の問題を解決せ
んとするものであり、容器内に充填したゲツター
Ｇを均一に所定の温度にまで加熱できるようにす
ることにより、ゲツターの吸着能力をフルに発揮
させることが出来ると共に、容量の大型化を可能
にしたゲツター収納器を提供するものである。

（問題点を解決するための手段） 外周面にヒータを備えた容器本体と；該容器本
体内にほぼ水平に配設した多孔板と；該多孔板の
上方に配設され、容器本体のゲツターを充填する
内部空間を複数の区画に区分すると共に、その端
面を容器本体の内壁面へ接触せしめた区画板と；
前記容器本体に基端部が固設され、その先端側を
真空断熱体に設けた取付用短管へ連結することに
より、容器本体の内部空間と真空断熱体の真空断
熱空間とを連通する連結管とを考案の基本構成と
するものである。

（作用） 容器本体の外周面に設けたヒーターからの熱
は、胴部の外周壁を通して各区画板へ伝えられ、
各区画板からゲツターへ伝熱される。これにより
ゲツターが活性化され、真空断熱空間内のガスが
吸着される。

容器本体の外周壁へ与えられた熱が、各区画板
を通して容器本体の中央部まで伝熱されるため、
容器本体内はは半径方向（Ｘ軸方向）及び軸方向
（Ｙ軸方向）の両方に亘つて温度分布が均一にな
り、全ゲツターがほぼ均一の温度で活性化される
ことになる。

（実施例） 以下、第１図及び第２図に基づいて本考案の一
実施例を説明する。

第１図は本考案に係るゲツター収納器の縦断面
図であり、第２図は第１図のＡ−Ａ視断面図であ
る。

図に於いて、１は金属製内管、２は金属製外
管、３は真空断熱空間、４は取付用短管、５はフ
ランジである。ゲツター収納器６は容器本体７
と、該容器本体７内に配設した多孔板８と、該多
孔板８の上方に配設した区画板９とから構成され
ており、また容器本体７の外周面には加熱用のヒ
ータ１０が着脱自在に設けられている。

前記容器本体７はステンレス鋼等の金属材から
形成されており、胴部７ａ、上蓋７ｂ、底板７
ｃ、底板７ｃにその基端部を本体７の内部と連通
状に溶接固着した連結管７ｄ及びフランジ７ｃ等
から構成されている。

前記多孔板８はステンレス鋼製であり、その外
周縁は胴部７ａの内周面へ溶接固着されている。
又、該多孔板８には多数の通気孔８ａが設けられ
ており、その上方に区画板９とゲツターＧが載置
されている。尚、本実施例では多孔板８を胴部７
ａへ溶接しているが、支持片７ｆ上へ載置するだ
けでもよい。

前記区画板９は第２図に示す如く長方形のアル
ミニウム製薄板９ａを芯材９ｂの外周面へ放射状
に取付けて形成されており、容器本体７ａの内周
面へその外端面を、また多孔板８の上面へその下
端面を、更に上蓋７ｂの下面へその上端面を夫々
密着せしめた状態で、容器本体７内へ嵌挿されて
いる。

尚、本実施例では区画板９をアルミニウム製と
し、これを胴部７ａ内へ嵌挿する構成としている
が、区画板９を胴部７ａと同質材で形成し、その
外端面を胴部７ａの内周面へ溶接固着することに
より、熱伝導率を高めることも可能である。

又、区画板９の形態は実施例のものに限定され
るものでは無く、容器本体７の胴部７ａからの伝
熱性を高め得るものであれば、他の形態のもので
あつてもよいことは勿論である。

前記区画板９と胴部７ａによつて形成された空
間部Ｐには、ペレツト状のジルコニウム合金製の
ゲツター（４〜６mmφ）Ｇが積層状に充填されて
おり、主に胴部７ａ及ひ区画板９を通してゲツタ
ーＧへ伝熱及び輻射により熱エネルギーが与えら
れる。

尚、本実施例ではペレツト状のゲルマニユム合
金製のゲツターＧを使用しているが、ゲツターＧ
の種類やその形態は如何なるものであつてもよ
い。

又、本実施例ではゲツターＧを充填後に上蓋７
ｂを溶接固着し、ゲツターＧが吸着性能を喪失し
た場合には、ボルトナツト１１，１２を外して容
器本体７そのものを交換する方式としているが、
上蓋７を着脱自在な構成とし、ゲツターＧのみを
交換する構造としてもよい。

前記加熱用ヒータ１０は容器本体７の胴部７ａ
の外周面に着脱自在に取付けられており、該ヒー
タ１０を作動させることにより、主として胴部７
ａ→区画板９ａを通して伝えゲツターＧへ伝えら
れ、容器本体７内の各ゲツターＧは、容器内に於
ける軸方向並びに半径方向の位置に拘わらず、ほ
ぼ均一に加熱されることになる。

（考案の効果） 本考案では、ゲツターＧを収納する容器本体内
に区画板を配設し、胴部の内壁面と区画板の端面
とを接触せしめる構成としているため、ヒータか
らの熱が容器本体内部の全領域へほぼ均等に伝え
られることになり、全てのゲツターがほぼ均一に
所定の温度にまで昇温する。その結果、ゲツター
が均一に活性化され、その吸着能力がフルに発揮
されると共に、多量のゲツターを容器本体内へ充
填することが可能となり、ゲツター装置を大形化
することが出来る。

本考案は上述の通り優れた実用的効用を有する
ものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るゲツター収納器の縦断面
図であり、第２図は第１図のＡ−Ａ視断面図であ
る。第３図は、従前の真空断熱配管に於けるゲツ
ター装置の取付状況を示す縦断面図である。 ７……容器本体、７ｄ……連結管、７ｅ……取
付用フランジ、８……多孔板、９……区画板、９
ａ……四角形金属板、９ｂ……芯材、Ｇ……ゲツ
ター。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 外周面にヒータ１０を備えた容器本体７と；
   該容器本体７内にほぼ水平に配設した多孔板８
   と；該多孔板８の上方に配設され、容器本体７
   のゲツターＧを充填する内部空間Ｐを複数の区
   画に区分すると共に、その端面を容器本体７の
   内壁面へ接触せしめた区画板９と；前記容器本
   体７に基端側が固設され、その先端側を真空断
   熱体に設けた取付用短管４へ連結することによ
   り、容器本体７の内部空間Ｄと真空断熱体の真
   空断熱空間３とを連通する連結管７ｄとから構
   成したゲツター収納器。 (2) 区画板９を、芯材９ｂに複数枚の四角型金属
   板９ａを放射状に固設した構成とした実用新案
   登録請求の範囲第１項記載に記載のゲツター収
   納器。