JPH054726B2 - - Google Patents
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- JPH054726B2 JPH054726B2 JP60298448A JP29844885A JPH054726B2 JP H054726 B2 JPH054726 B2 JP H054726B2 JP 60298448 A JP60298448 A JP 60298448A JP 29844885 A JP29844885 A JP 29844885A JP H054726 B2 JPH054726 B2 JP H054726B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- disk
- carrier
- pitch
- disks
- feeding table
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 25
- 239000000969 carrier Substances 0.000 claims description 7
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 3
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 5
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 4
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はデイスクのブラシ洗浄装置に係り、特
にデイスクキヤリア内に一定のピツチで並列した
複数枚のデイスクをブラシ洗浄するのに好適な装
置に関する。
にデイスクキヤリア内に一定のピツチで並列した
複数枚のデイスクをブラシ洗浄するのに好適な装
置に関する。
磁気デイスクなどの製造過程においては、デイ
スクの表面を洗浄する工程が必要である。この場
合、生産性を上げるためにデイスクキヤリア内に
複数枚のデイスクを一定のピツチで並列させ、一
括して洗浄することが便利である。しかしなが
ら、薬液などを用いた湿式洗浄の場合には、一括
処理が比較的容易であるが、ブラシ洗浄の場合に
はデイスクに機械的な力が作用するためデイスク
キヤリア内で一括処理が困難であつた。このた
め、デイスクキヤリア内のデイスクを一枚ずつ手
作業で取り出したのち、別置したブラシ洗浄装置
にセツトして洗浄を実施したのち、再び元のデイ
スクキヤリア内に収納していくといつた原始的な
方法を用いるほかなく、生産性を阻害する原因と
なつていた。
スクの表面を洗浄する工程が必要である。この場
合、生産性を上げるためにデイスクキヤリア内に
複数枚のデイスクを一定のピツチで並列させ、一
括して洗浄することが便利である。しかしなが
ら、薬液などを用いた湿式洗浄の場合には、一括
処理が比較的容易であるが、ブラシ洗浄の場合に
はデイスクに機械的な力が作用するためデイスク
キヤリア内で一括処理が困難であつた。このた
め、デイスクキヤリア内のデイスクを一枚ずつ手
作業で取り出したのち、別置したブラシ洗浄装置
にセツトして洗浄を実施したのち、再び元のデイ
スクキヤリア内に収納していくといつた原始的な
方法を用いるほかなく、生産性を阻害する原因と
なつていた。
本発明は前記従来の技術の問題点を解決し、デ
イスクキヤリア内に収納したデイスクのブラシ洗
浄を自動化した生産性の高いデイスクのブラシ洗
浄装置を提供することを目的とする。
イスクキヤリア内に収納したデイスクのブラシ洗
浄を自動化した生産性の高いデイスクのブラシ洗
浄装置を提供することを目的とする。
本発明に係るデイスクのブラシ洗浄装置は、複
数枚のデイスクを一定のピツチで並列に収納した
デイスクキヤリアを前記デイスクの並列ピツチと
同一のピツチ毎に送り出す第1の送りテーブル
と、この第1の送りテーブルによつて送り出され
たデイスクキヤリア内のデイスクを前記1ピツチ
送り毎に1枚ずつ把持したのち前記デイスクキヤ
リアから離脱させる第1のデイスククランプ手段
と、無端軌道に一対の支持ローラからなるデイス
ク受けを一定間隔に装架し前記第1のデイスクク
ランプ手段から供給されるデイスクを載置してス
トローク搬送可能とした枚葉デイスク搬送手段
と、この枚葉デイスク搬送手段の軌道途中の定位
置に配置され前記デイスク受けと協動してデイス
クを回転駆動するデイスク回転機構およびこの回
転されるデイスクの両面に押し当ててブラツシン
グするブラシ機構を具備するブラシ洗浄手段と、
前記送りテーブルにおいてすべてのデイスクを離
脱したのちの空のデイスクキヤリアを搬送するキ
ヤリア搬送手段と、このキヤリア搬送手段からの
空のデイスクキヤリアを受け継ぎ前記デイスクの
並列ピツチと同一のピツチ毎にデイスクキヤリア
を送り出す第2の送りテーブルと、前記枚葉デイ
スク搬送手段のデイスク受け中にあるブラシ洗浄
後のデイスクを把持したのち、前記第2の送りテ
ーブルによつて送り出されたデイスクキヤリアの
1ピツチ送り毎に把持したデイスクをデイスクキ
ヤリア内に収納する第2のデイスククランプ手段
とを具備したものである。
数枚のデイスクを一定のピツチで並列に収納した
デイスクキヤリアを前記デイスクの並列ピツチと
同一のピツチ毎に送り出す第1の送りテーブル
と、この第1の送りテーブルによつて送り出され
たデイスクキヤリア内のデイスクを前記1ピツチ
送り毎に1枚ずつ把持したのち前記デイスクキヤ
リアから離脱させる第1のデイスククランプ手段
と、無端軌道に一対の支持ローラからなるデイス
ク受けを一定間隔に装架し前記第1のデイスクク
ランプ手段から供給されるデイスクを載置してス
トローク搬送可能とした枚葉デイスク搬送手段
と、この枚葉デイスク搬送手段の軌道途中の定位
置に配置され前記デイスク受けと協動してデイス
クを回転駆動するデイスク回転機構およびこの回
転されるデイスクの両面に押し当ててブラツシン
グするブラシ機構を具備するブラシ洗浄手段と、
前記送りテーブルにおいてすべてのデイスクを離
脱したのちの空のデイスクキヤリアを搬送するキ
ヤリア搬送手段と、このキヤリア搬送手段からの
空のデイスクキヤリアを受け継ぎ前記デイスクの
並列ピツチと同一のピツチ毎にデイスクキヤリア
を送り出す第2の送りテーブルと、前記枚葉デイ
スク搬送手段のデイスク受け中にあるブラシ洗浄
後のデイスクを把持したのち、前記第2の送りテ
ーブルによつて送り出されたデイスクキヤリアの
1ピツチ送り毎に把持したデイスクをデイスクキ
ヤリア内に収納する第2のデイスククランプ手段
とを具備したものである。
このような構成によつて、デイスクキヤリア内
に定ピツチ間隔で収容されているデイスクが第1
クランプ手段によつて1枚ずつ取り出されて枚葉
デイスク搬送手段に供給される。枚葉デイスク搬
送手段は各デイスクをデイスク受けに載置し、ス
トローク移動させることにより洗浄位置に達し、
無端軌道上で強制回転されながらブラシがデイス
ク両面を洗浄する。洗浄終了後は同様にストロー
ク移動によつて出口に搬送され、無端軌道の出口
に待機していたデイスクキヤリアに定ピツチ間隔
で収容される。この間デイスクキヤリアは第1送
りテーブル、キヤリア搬送手段、第2送りテーブ
ルによつて構成されたバイパス経路を辿つて無端
軌道の出口に搬送され、洗浄デイスクを待機する
のである。このため、各搬送手段は単純な1方向
送り駆動によつて達成され、複雑な動作制御を要
しないものとなる。またデイスクキヤリアはデイ
スク排出後は洗浄ラインから分岐されるが、バイ
パス搬送されて無端軌道の出口にて合流する構成
であるため、キヤリアストツク設備を要しないも
のとなる。
に定ピツチ間隔で収容されているデイスクが第1
クランプ手段によつて1枚ずつ取り出されて枚葉
デイスク搬送手段に供給される。枚葉デイスク搬
送手段は各デイスクをデイスク受けに載置し、ス
トローク移動させることにより洗浄位置に達し、
無端軌道上で強制回転されながらブラシがデイス
ク両面を洗浄する。洗浄終了後は同様にストロー
ク移動によつて出口に搬送され、無端軌道の出口
に待機していたデイスクキヤリアに定ピツチ間隔
で収容される。この間デイスクキヤリアは第1送
りテーブル、キヤリア搬送手段、第2送りテーブ
ルによつて構成されたバイパス経路を辿つて無端
軌道の出口に搬送され、洗浄デイスクを待機する
のである。このため、各搬送手段は単純な1方向
送り駆動によつて達成され、複雑な動作制御を要
しないものとなる。またデイスクキヤリアはデイ
スク排出後は洗浄ラインから分岐されるが、バイ
パス搬送されて無端軌道の出口にて合流する構成
であるため、キヤリアストツク設備を要しないも
のとなる。
以下、本発明の実施例を第1図〜第4図に基づ
いて説明する。第1図は本実施例装置の平面的な
配置を示したものである。同図において、供給コ
ンベヤ10にはデイスクキヤリア12が載置され
て、矢印Aの方向から1ストローク毎に供給され
る。キヤリア12内には複数枚のデイスク14が
一定のピツチで並列されている。このキヤリア1
2を図示しない移載機構によつて第1の送りテー
ブル16に移し替える。この第1の送りテーブル
16は図示しない機構によつてキヤリア12を前
記デイスクの並列と同一のピツチ毎に横送りす
る。この第1の送りテーブル16の上方には、定
位置に第1のデイスククランプ手段18が設けら
れて、送り出されるキヤリア12内のデイスク1
4を1枚ずつ把持し、キヤリア12外へ取り出
す。したがつて、キヤリア12は先頭側から順次
空となり、空となつたキヤリア12はキヤリア搬
送手段22,22,22によつて矢印B,C,D
の順に移送され第2の送りテーブル24に到達す
る。一方、第1のデイスククランプ手段18によ
つてキヤリア12に取り出したデイスク14は枚
葉デイスク搬送手段20に移載する。この枚葉デ
イスク搬送手段20は第2図に示すように一対の
スプロケツト26間を周回する無端軌道28に複
数個のデイスク受け30を装架したものである。
無端軌道28を1ストロークずつ動かすことによ
つてデイスク受け30は順繰りに移動する。第2
図において、まず、前記第1のデイスククランプ
手段18によつて把持したデイスク14を図中、
上側左端のデイスク受け30に受け渡す。次に無
端軌道28を1ストローク動かしてデイスク受け
30を図示のように、上側中央位置に移動させ、
この位置でブラシ洗浄手段32によつてデイスク
14を洗浄する。このブラシ洗浄手段32は例え
ば第3図に示すようにデイスク受け30の支持ロ
ーラ34によつて2点支持したデイスク14に対
して、上方から回転ローラ36を押し当て、この
回転ローラ36を電動機の回転軸38に連結した
プーリー40を介して回転させるデイスク回転機
構と、回転ブラシ42をデイスク14の両面に押
し当て、デイスク14をブラツシングするブラシ
機構によつて構成する。ブラシ洗浄を完了したデ
イスク14については、前記デイスク回転機構と
ブラシ機構を解放したのち、前記無端軌道28を
さらに1ストローク動かして、デイスク受け30
を第2図の上側右端に移動させる。ここで、第2
のデイスククランプ手段44によつて、デイスク
14を把持して、デイスク14をデイスク受け3
0から離脱させるとともに、この第2のデイスク
クランプ手段44を用いて、前記第2の送りテー
ブルによつて、1ピツチずつ送り出される空のデ
イスクキヤリア12にデイスク14を1枚ずつ収
納していく。デイスク14の収納を完了したキヤ
リア12は、図示しない移載機構によつて、排出
コンベヤ46に移載し矢印Eの方向に送り出す。
本実施装置においては、第1の送りテーブル16
に拘束されているデイスクキヤリア12と、第2
の送りテーブル24に拘束されているデイスクキ
ヤリア12と必然的に別個のものであるから、各
デイスク14はブラシ洗浄前と、洗浄後とでは別
個のデイスクキヤリアに収納されて、排出コンベ
ヤから送り出されることになる。
いて説明する。第1図は本実施例装置の平面的な
配置を示したものである。同図において、供給コ
ンベヤ10にはデイスクキヤリア12が載置され
て、矢印Aの方向から1ストローク毎に供給され
る。キヤリア12内には複数枚のデイスク14が
一定のピツチで並列されている。このキヤリア1
2を図示しない移載機構によつて第1の送りテー
ブル16に移し替える。この第1の送りテーブル
16は図示しない機構によつてキヤリア12を前
記デイスクの並列と同一のピツチ毎に横送りす
る。この第1の送りテーブル16の上方には、定
位置に第1のデイスククランプ手段18が設けら
れて、送り出されるキヤリア12内のデイスク1
4を1枚ずつ把持し、キヤリア12外へ取り出
す。したがつて、キヤリア12は先頭側から順次
空となり、空となつたキヤリア12はキヤリア搬
送手段22,22,22によつて矢印B,C,D
の順に移送され第2の送りテーブル24に到達す
る。一方、第1のデイスククランプ手段18によ
つてキヤリア12に取り出したデイスク14は枚
葉デイスク搬送手段20に移載する。この枚葉デ
イスク搬送手段20は第2図に示すように一対の
スプロケツト26間を周回する無端軌道28に複
数個のデイスク受け30を装架したものである。
無端軌道28を1ストロークずつ動かすことによ
つてデイスク受け30は順繰りに移動する。第2
図において、まず、前記第1のデイスククランプ
手段18によつて把持したデイスク14を図中、
上側左端のデイスク受け30に受け渡す。次に無
端軌道28を1ストローク動かしてデイスク受け
30を図示のように、上側中央位置に移動させ、
この位置でブラシ洗浄手段32によつてデイスク
14を洗浄する。このブラシ洗浄手段32は例え
ば第3図に示すようにデイスク受け30の支持ロ
ーラ34によつて2点支持したデイスク14に対
して、上方から回転ローラ36を押し当て、この
回転ローラ36を電動機の回転軸38に連結した
プーリー40を介して回転させるデイスク回転機
構と、回転ブラシ42をデイスク14の両面に押
し当て、デイスク14をブラツシングするブラシ
機構によつて構成する。ブラシ洗浄を完了したデ
イスク14については、前記デイスク回転機構と
ブラシ機構を解放したのち、前記無端軌道28を
さらに1ストローク動かして、デイスク受け30
を第2図の上側右端に移動させる。ここで、第2
のデイスククランプ手段44によつて、デイスク
14を把持して、デイスク14をデイスク受け3
0から離脱させるとともに、この第2のデイスク
クランプ手段44を用いて、前記第2の送りテー
ブルによつて、1ピツチずつ送り出される空のデ
イスクキヤリア12にデイスク14を1枚ずつ収
納していく。デイスク14の収納を完了したキヤ
リア12は、図示しない移載機構によつて、排出
コンベヤ46に移載し矢印Eの方向に送り出す。
本実施装置においては、第1の送りテーブル16
に拘束されているデイスクキヤリア12と、第2
の送りテーブル24に拘束されているデイスクキ
ヤリア12と必然的に別個のものであるから、各
デイスク14はブラシ洗浄前と、洗浄後とでは別
個のデイスクキヤリアに収納されて、排出コンベ
ヤから送り出されることになる。
第4図にデイスククランプ手段の構成を示す。
デイスクキヤリア12に収納されているデイスク
14は小さいピツチで並列しているため、デイス
ク14を把持する場合にも、その手段に工夫を要
する。しかも、磁気デイスクなどにおいては、デ
イスクの表面を把むことは好ましくない。したが
つて本実施例においては、通常デイスクの中央部
に設けられる孔を利用するように工夫してある。
すなわち、デイスククランプ手段18のクランプ
部48をまずF1点から下降させて、キヤリア1
2内のデイスク14の中心高さF2点まで下げる。
次にクランプ部48を水平移動させて3本のクラ
ンプ爪50をキヤリア12内の最前部のデイスク
の中央部孔に差し込む位置F3点に移す。次に、
図示のように3本のクランプ爪50を先端部を拡
張してクランプ爪をデイスク14の中央部孔に係
合させる。次にクランプ部48をF4、F5点など
所望位置に移動させる。このデイスククランプ手
段18で把持したデイスク14を前記デイスク受
け30に移す場合には、上記とは逆にクランプ爪
50の先端部を縮少したのち、デイスク14の中
央部孔から抜き出す。また、第2のデイスククラ
ンプ手段44においては、デイスク受け30から
キヤリア12へデイスク14を移動させるのであ
るから、上記とは逆の操作を行う。前記デイスク
クランプ手段の操作を簡略化するため、クランプ
部48を支点52を中心にして軌跡Gで示すよう
に円周移動させ、枚葉デイスク搬送手段20のデ
イスク受け26に、デイスクをほぼ直接に受け渡
すようにしてもよい。
デイスクキヤリア12に収納されているデイスク
14は小さいピツチで並列しているため、デイス
ク14を把持する場合にも、その手段に工夫を要
する。しかも、磁気デイスクなどにおいては、デ
イスクの表面を把むことは好ましくない。したが
つて本実施例においては、通常デイスクの中央部
に設けられる孔を利用するように工夫してある。
すなわち、デイスククランプ手段18のクランプ
部48をまずF1点から下降させて、キヤリア1
2内のデイスク14の中心高さF2点まで下げる。
次にクランプ部48を水平移動させて3本のクラ
ンプ爪50をキヤリア12内の最前部のデイスク
の中央部孔に差し込む位置F3点に移す。次に、
図示のように3本のクランプ爪50を先端部を拡
張してクランプ爪をデイスク14の中央部孔に係
合させる。次にクランプ部48をF4、F5点など
所望位置に移動させる。このデイスククランプ手
段18で把持したデイスク14を前記デイスク受
け30に移す場合には、上記とは逆にクランプ爪
50の先端部を縮少したのち、デイスク14の中
央部孔から抜き出す。また、第2のデイスククラ
ンプ手段44においては、デイスク受け30から
キヤリア12へデイスク14を移動させるのであ
るから、上記とは逆の操作を行う。前記デイスク
クランプ手段の操作を簡略化するため、クランプ
部48を支点52を中心にして軌跡Gで示すよう
に円周移動させ、枚葉デイスク搬送手段20のデ
イスク受け26に、デイスクをほぼ直接に受け渡
すようにしてもよい。
以上説明したように、本発明によれば、定ピツ
チ間隔でキヤリア内に収容されているデイスクを
1枚ずつ無端軌道上のデイスク受けに移載し、無
端軌道上で洗浄のためのデイスク回転駆動と洗浄
を行わせ、洗浄後はバイパスして無端軌道出口に
搬送されてきているデイスクキヤリアに再び収容
するようにしているので、デイスク洗浄の自動化
を図るに当つて、各搬送手段を単純な1方向送り
駆動を行わせるだけでよく、複雑な駆動制御を必
要とせず、またデイスクキヤリアをバイパス搬送
して再利用するようにしているので、ストツカ等
の設備負荷が少なくて済み、コスト低減および設
備のコンパクト化を図ることができる。
チ間隔でキヤリア内に収容されているデイスクを
1枚ずつ無端軌道上のデイスク受けに移載し、無
端軌道上で洗浄のためのデイスク回転駆動と洗浄
を行わせ、洗浄後はバイパスして無端軌道出口に
搬送されてきているデイスクキヤリアに再び収容
するようにしているので、デイスク洗浄の自動化
を図るに当つて、各搬送手段を単純な1方向送り
駆動を行わせるだけでよく、複雑な駆動制御を必
要とせず、またデイスクキヤリアをバイパス搬送
して再利用するようにしているので、ストツカ等
の設備負荷が少なくて済み、コスト低減および設
備のコンパクト化を図ることができる。
第1図〜第4図は本発明の実施例を示す図であ
つて、第1図は装置の平面的な配置を示す図、第
2図は枚葉デイスク搬送手段の説明図、第3図は
ブラシ手段の説明図、第4図、第5図はデイスク
クランプ手段の説明図である。 12……デイスクキヤリア、14……デイス
ク、16……第1の送りテーブル、18……第1
のデイスククランプ手段、20……枚葉デイスク
搬送手段、22……キヤリア搬送手段、24……
第2の送りテーブル、30……デイスク受け、3
2……ブラシ洗浄手段、44……第2のデイスク
クランプ手段。
つて、第1図は装置の平面的な配置を示す図、第
2図は枚葉デイスク搬送手段の説明図、第3図は
ブラシ手段の説明図、第4図、第5図はデイスク
クランプ手段の説明図である。 12……デイスクキヤリア、14……デイス
ク、16……第1の送りテーブル、18……第1
のデイスククランプ手段、20……枚葉デイスク
搬送手段、22……キヤリア搬送手段、24……
第2の送りテーブル、30……デイスク受け、3
2……ブラシ洗浄手段、44……第2のデイスク
クランプ手段。
Claims (1)
- 1 複数枚のデイスクを一定のピツチで並列に収
納したデイスクキヤリアを前記デイスクの並列ピ
ツチと同一のピツチ毎に送り出す第1の送りテー
ブルと、この第1の送りテーブルによつて送り出
されたデイスクキヤリア内のデイスクを前記1ピ
ツチ送り毎に1枚ずつ把持したのち前記デイスク
キヤリアから離脱させる第1のデイスククランプ
手段と、無端軌道に一対の支持ローラからなるデ
イスク受けを一定間隔に装架し前記第1のデイス
ククランプ手段から供給されるデイスクを載置し
てストローク搬送可能とした枚葉デイスク搬送手
段と、この枚葉デイスク搬送手段の軌道途中の定
位置に配置され前記デイスク受けと協動してデイ
スクを回転駆動するデイスク回転機構およびこの
回転されるデイスクの両面に押し当ててブラツシ
ングするブラシ機構を具備するブラシ洗浄手段
と、前記送りテーブルにおいてすべてのデイスク
を離脱したのちの空のデイスクキヤリアを搬送す
るキヤリア搬送手段と、このキヤリア搬送手段か
らの空のデイスクキヤリアを受け継ぎ前記デイス
クの並列ピツチと同一のピツチ毎にデイスクキヤ
リアを送り出す第2の送りテーブルと、前記枚葉
デイスク搬送手段のデイスク受け中にあるブラシ
洗浄後のデイスクを把持したのち、前記第2の送
りテーブルによつて送り出されたデイスクキヤリ
アの1ピツチ送り毎に把持したデイスクをデイス
クキヤリア内に収納する第2のデイスククランプ
手段とを具備したデイスクのブラシ洗浄装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60298448A JPS62154392A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | デイスクのブラシ洗浄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP60298448A JPS62154392A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | デイスクのブラシ洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62154392A JPS62154392A (ja) | 1987-07-09 |
JPH054726B2 true JPH054726B2 (ja) | 1993-01-20 |
Family
ID=17859841
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60298448A Granted JPS62154392A (ja) | 1985-12-27 | 1985-12-27 | デイスクのブラシ洗浄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62154392A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2683940B2 (ja) * | 1989-08-09 | 1997-12-03 | 信越半導体 株式会社 | ワークの自動洗浄装置 |
JP2015162258A (ja) * | 2014-02-27 | 2015-09-07 | 株式会社太陽 | ハードディスク基板の洗浄装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59127234A (ja) * | 1982-12-30 | 1984-07-23 | Fujitsu Ltd | 円板自動処理装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60123756U (ja) * | 1983-12-31 | 1985-08-21 | 富士通株式会社 | 円板送り機構 |
-
1985
- 1985-12-27 JP JP60298448A patent/JPS62154392A/ja active Granted
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59127234A (ja) * | 1982-12-30 | 1984-07-23 | Fujitsu Ltd | 円板自動処理装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS62154392A (ja) | 1987-07-09 |
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