JPH0545904B2 - - Google Patents
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- JPH0545904B2 JPH0545904B2 JP62261774A JP26177487A JPH0545904B2 JP H0545904 B2 JPH0545904 B2 JP H0545904B2 JP 62261774 A JP62261774 A JP 62261774A JP 26177487 A JP26177487 A JP 26177487A JP H0545904 B2 JPH0545904 B2 JP H0545904B2
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- light
- temperature
- receiving element
- semiconductor
- differential amplifier
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/49—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
- G01N21/53—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid within a flowing fluid, e.g. smoke
- G01N21/534—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid within a flowing fluid, e.g. smoke by measuring transmission alone, i.e. determining opacity
-
- G—PHYSICS
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/85—Investigating moving fluids or granular solids
- G01N21/8507—Probe photometers, i.e. with optical measuring part dipped into fluid sample
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/10—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void
- G01J1/16—Photometry, e.g. photographic exposure meter by comparison with reference light or electric value provisionally void using electric radiation detectors
- G01J1/1626—Arrangements with two photodetectors, the signals of which are compared
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J1/00—Photometry, e.g. photographic exposure meter
- G01J1/42—Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
- G01J1/44—Electric circuits
- G01J2001/444—Compensating; Calibrating, e.g. dark current, temperature drift, noise reduction or baseline correction; Adjusting
-
- G—PHYSICS
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- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/06—Illumination; Optics
- G01N2201/061—Sources
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- G01N2201/0612—Laser diodes
-
- G—PHYSICS
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- G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
- G01N2201/08—Optical fibres; light guides
- G01N2201/0806—Light rod
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- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は、測定すべき物質に輻射線を放射する
発光素子を有する発光部と、測定すべき物質から
の輻射線を受けて電気信号に変換する受光素子を
有する受光部とを具える測光装置に関するもので
ある。
発光素子を有する発光部と、測定すべき物質から
の輻射線を受けて電気信号に変換する受光素子を
有する受光部とを具える測光装置に関するもので
ある。
(従来の技術)
上述した測光装置は種々の計測において用いら
れており、特に粒子懸濁液の濁度を測定する濁度
計や特定の波長の輻射線に対する検液の吸光度を
測定する比色計などに用いられる。例えば特開昭
60−259935号公報には、発光素子として半導体レ
ーザダイオードを用い、受光素子として半導体フ
オトダイオードを用いた濁度計が開示されてい
る。この濁度計は特に醗酵装置に装着され、培養
液の濁度を測定するのに用いるのが好適である。
このように、受光素子として半導体フオトダイオ
ードを用いる場合、半導体フオトダイオードの動
作温度が変動すると測定誤差となる欠点があるの
で、上記公報の第5図には半導体フオトダイオー
ドの出力信号を負帰還を設けた演算増幅器で増幅
するようにして温度補償を行うようにしている。
れており、特に粒子懸濁液の濁度を測定する濁度
計や特定の波長の輻射線に対する検液の吸光度を
測定する比色計などに用いられる。例えば特開昭
60−259935号公報には、発光素子として半導体レ
ーザダイオードを用い、受光素子として半導体フ
オトダイオードを用いた濁度計が開示されてい
る。この濁度計は特に醗酵装置に装着され、培養
液の濁度を測定するのに用いるのが好適である。
このように、受光素子として半導体フオトダイオ
ードを用いる場合、半導体フオトダイオードの動
作温度が変動すると測定誤差となる欠点があるの
で、上記公報の第5図には半導体フオトダイオー
ドの出力信号を負帰還を設けた演算増幅器で増幅
するようにして温度補償を行うようにしている。
(発明が解決しようとする問題点)
上述した特開昭60−259935号公報に記載された
温度補償手段を施した濁度計によれば、濁度で小
数点以下1桁までの精度は確保できるが、小数点
以下2桁または3桁までの精度は得られない欠点
がある。現在の醗酵装置の制御では小数点以下2
桁まで正確に濁度を測定することができ、場合に
よつては小数点以下3桁までの濁度を正確に測定
して短時間における培養液の変化を正確に知るこ
とができる濁度計が強く要望されているが、従来
の濁度計は温度補償が十分良好に行われていない
ので、このような要望に応えることができないも
のであつた。
温度補償手段を施した濁度計によれば、濁度で小
数点以下1桁までの精度は確保できるが、小数点
以下2桁または3桁までの精度は得られない欠点
がある。現在の醗酵装置の制御では小数点以下2
桁まで正確に濁度を測定することができ、場合に
よつては小数点以下3桁までの濁度を正確に測定
して短時間における培養液の変化を正確に知るこ
とができる濁度計が強く要望されているが、従来
の濁度計は温度補償が十分良好に行われていない
ので、このような要望に応えることができないも
のであつた。
本発明者はさらに温度補償を十分に行うため
に、第11図Aに示すように、懸濁液からの光を
受光する第1の半導体フオトダイオード1の他
に、これと同一構成の温度補償用の第2の半導体
フオトダイオード2を、第1の半導体フオトダイ
オードと同一のハウジング3内に遮光した状態で
収納し、これら第1および第2の半導体フオトダ
イオードの出力信号の差を差動増幅器4で求める
ようにした濁度計を造つて実験した。このような
濁度計では第1および第2の半導体フオトダイオ
ード1および2の動作温度は同一となるので、第
2の半導体フオトダイオード2の暗電流を第1の
半導体フオトダイオード1の出力信号から減算す
ることにより温度補償を行うことができるが、こ
れら半導体フオトダイオードの出力信号の差を求
める差動増幅器4の温度補償を十分に行うことが
できないので、差動増幅器の出力信号に温度の影
響が現われ、測定精度が十分に上がらない欠点が
あることを確かめた。特に差動増幅器4の温度ド
リフトは非直線的に現われ、温度が高くなる程大
きな測定誤差が混入することになる。このような
欠点を改善するために、第11図Bに示すように
第1の半導体フオトダイオード1と遮光された第
2の半導体フオトダイオード2とを共通のハウジ
ング3内に収納し、これらの半導体フオトダイオ
ードの出力信号を信号導線5,6を経て差動増幅
器4に供給し、この差動増幅器をハウジング3か
ら離れた温度に影響されない場所に配置するよう
にした濁度計を作つた。これによれば半導体フオ
トダイオードの温度ドリフトを十分に相殺除去す
ることができるとともに差動増幅器4の温度ドリ
フトも抑止することができるが、長い信号導線
5,6がノイズを拾い、測定信号のS/Nが低下
する欠点があることを確かめた。特に、半導体フ
オトダイオード1,2のインピーダンスは高いた
め信号導線5,6はノイズを拾い易くなる欠点が
ある。
に、第11図Aに示すように、懸濁液からの光を
受光する第1の半導体フオトダイオード1の他
に、これと同一構成の温度補償用の第2の半導体
フオトダイオード2を、第1の半導体フオトダイ
オードと同一のハウジング3内に遮光した状態で
収納し、これら第1および第2の半導体フオトダ
イオードの出力信号の差を差動増幅器4で求める
ようにした濁度計を造つて実験した。このような
濁度計では第1および第2の半導体フオトダイオ
ード1および2の動作温度は同一となるので、第
2の半導体フオトダイオード2の暗電流を第1の
半導体フオトダイオード1の出力信号から減算す
ることにより温度補償を行うことができるが、こ
れら半導体フオトダイオードの出力信号の差を求
める差動増幅器4の温度補償を十分に行うことが
できないので、差動増幅器の出力信号に温度の影
響が現われ、測定精度が十分に上がらない欠点が
あることを確かめた。特に差動増幅器4の温度ド
リフトは非直線的に現われ、温度が高くなる程大
きな測定誤差が混入することになる。このような
欠点を改善するために、第11図Bに示すように
第1の半導体フオトダイオード1と遮光された第
2の半導体フオトダイオード2とを共通のハウジ
ング3内に収納し、これらの半導体フオトダイオ
ードの出力信号を信号導線5,6を経て差動増幅
器4に供給し、この差動増幅器をハウジング3か
ら離れた温度に影響されない場所に配置するよう
にした濁度計を作つた。これによれば半導体フオ
トダイオードの温度ドリフトを十分に相殺除去す
ることができるとともに差動増幅器4の温度ドリ
フトも抑止することができるが、長い信号導線
5,6がノイズを拾い、測定信号のS/Nが低下
する欠点があることを確かめた。特に、半導体フ
オトダイオード1,2のインピーダンスは高いた
め信号導線5,6はノイズを拾い易くなる欠点が
ある。
本発明の目的は上述した欠点を除去し、受光素
子の温度ドリストおよび増幅器の温度ドリフトを
補償することができるとともに測定信号のS/N
も高くすることができ、きわめて正確な測定を行
うことができる測定装置を提供しようとするもの
である。
子の温度ドリストおよび増幅器の温度ドリフトを
補償することができるとともに測定信号のS/N
も高くすることができ、きわめて正確な測定を行
うことができる測定装置を提供しようとするもの
である。
(問題点を解決するための手段)
第1図は本発明による測光装置の基本的構成を
示す概念図である。例えば濁度や吸光度を測定す
べき物質10に輻射線を放射する発光素子11を
有する発光部12と、物質10を透過した輻射線
または物質10に含まれる粒子によつて散乱され
た輻射線を受光する第1の受光素子13、この第
1の受光素子と同一の構成を有し、第1の受光素
子と同じハウジング14内に輻射線を受光しない
ように配置された温度補償用の第2の受光素子1
5、これら第1および第2の受光素子13および
15の出力信号を増幅する第1および第2の演算
増幅器16および17を有する受光部18とを具
えている。これら第1および第2の演算増幅器1
6および17の出力信号は信号導線19および2
0を経て差動増幅器21に供給され、これらの出
力信号の差を求めるように構成する。また、この
差動増幅器21は、発光素子11に対する電源回
路22とともにコントローラユニツト23に配置
する。
示す概念図である。例えば濁度や吸光度を測定す
べき物質10に輻射線を放射する発光素子11を
有する発光部12と、物質10を透過した輻射線
または物質10に含まれる粒子によつて散乱され
た輻射線を受光する第1の受光素子13、この第
1の受光素子と同一の構成を有し、第1の受光素
子と同じハウジング14内に輻射線を受光しない
ように配置された温度補償用の第2の受光素子1
5、これら第1および第2の受光素子13および
15の出力信号を増幅する第1および第2の演算
増幅器16および17を有する受光部18とを具
えている。これら第1および第2の演算増幅器1
6および17の出力信号は信号導線19および2
0を経て差動増幅器21に供給され、これらの出
力信号の差を求めるように構成する。また、この
差動増幅器21は、発光素子11に対する電源回
路22とともにコントローラユニツト23に配置
する。
(作用)
受光部18において被測定物質10からの輻射
線を受光する第1の受光素子13と、輻射線に対
して遮蔽された第2の受光素子15とは同一ハウ
ジング14内に配置されているので、同一の動作
温度となり、これらの受光素子の出力信号を同じ
く同一のハウジング14内に配置されている同一
構成の演算増幅器16および17によつて増幅し
た後、これら増幅出力信号の差を差動増幅器21
で求めるようにしたため、受光素子13および1
5の温度ドリフトは勿論演算増幅器16および1
7の温度ドリフトも相殺除去されることになる。
また、信号導線19,20は出力インピーダンス
の低い演算増幅器16および17に接続されてい
るため外部ノイズを拾うこともない。したがつ
て、被測定物質の状態をきわめて高い精度で検出
することができ、特に濁度計においては、小数点
以下3桁までの精度を確保することができる。
線を受光する第1の受光素子13と、輻射線に対
して遮蔽された第2の受光素子15とは同一ハウ
ジング14内に配置されているので、同一の動作
温度となり、これらの受光素子の出力信号を同じ
く同一のハウジング14内に配置されている同一
構成の演算増幅器16および17によつて増幅し
た後、これら増幅出力信号の差を差動増幅器21
で求めるようにしたため、受光素子13および1
5の温度ドリフトは勿論演算増幅器16および1
7の温度ドリフトも相殺除去されることになる。
また、信号導線19,20は出力インピーダンス
の低い演算増幅器16および17に接続されてい
るため外部ノイズを拾うこともない。したがつ
て、被測定物質の状態をきわめて高い精度で検出
することができ、特に濁度計においては、小数点
以下3桁までの精度を確保することができる。
(実施例)
第2図は本発明による測光装置の一実施例であ
る濁度計の全体の構成を示す斜視図であり、第3
図は同じくそのセンサユニツトの構成を示す縦断
面図、第4図および第5図は第3図の−およ
び−線に沿つて切つた横断面図、第6図は第
5図の−線に沿つて切つた断面図、第7図は
電気的接続を示す回路図である。本例の濁度計は
センサユニツト31とコントローラユニツト32
とを具え、これらを信号ケーブル33で接続す
る。センサユニツト31は金属製円筒より成る本
体34を具え、その内部に被検液を導入してその
濁度を測定するものである。本体34の下端面に
は円形の開口34aを形成するとともに側壁には
互いに対向する矩形の開口34bおよび34cを
形成する。これらの開口34c,34bおよび3
4cには、外側に目の細かい金網35a,36a
および37aを配置し、その内側に目の粗い金網
35b,36bおよび37bを配置する。これら
の金網は細かい針金を編んで形成したものとし、
外側の目の細かい金網35a,36a,37aは
200メツシユとし、内側の目の粗い金網35b,
36b,37bは60メツシユとし、これら外側お
よび内側の金網は互いに接触するように配置す
る。
る濁度計の全体の構成を示す斜視図であり、第3
図は同じくそのセンサユニツトの構成を示す縦断
面図、第4図および第5図は第3図の−およ
び−線に沿つて切つた横断面図、第6図は第
5図の−線に沿つて切つた断面図、第7図は
電気的接続を示す回路図である。本例の濁度計は
センサユニツト31とコントローラユニツト32
とを具え、これらを信号ケーブル33で接続す
る。センサユニツト31は金属製円筒より成る本
体34を具え、その内部に被検液を導入してその
濁度を測定するものである。本体34の下端面に
は円形の開口34aを形成するとともに側壁には
互いに対向する矩形の開口34bおよび34cを
形成する。これらの開口34c,34bおよび3
4cには、外側に目の細かい金網35a,36a
および37aを配置し、その内側に目の粗い金網
35b,36bおよび37bを配置する。これら
の金網は細かい針金を編んで形成したものとし、
外側の目の細かい金網35a,36a,37aは
200メツシユとし、内側の目の粗い金網35b,
36b,37bは60メツシユとし、これら外側お
よび内側の金網は互いに接触するように配置す
る。
本体34の開口34bの上方にはさらに開口3
4dを形成するが、この開口には金網は配置しし
ない。また本体34の内部にはガラス、石英また
はプラスチツク等より成るロツドまたはフアイバ
ロツドより成るプリズム38および39を縦軸線
と平行に配置し、一方のプリズム38の上端面に
は半導体レーザダイオードを含む発光部40を配
置し、他方のプリズム39の上端面には半導体フ
オトダイオードを含む受光部41を配置する。こ
れらの発光部40および受光部41は熱伝導性が
良い絶縁材料より成るハウジング42にあけた貫
通孔内にそれぞれ挿入されている。プリズム38
および39をフアイバロツド以外のロツドで構成
する場合にはその側面の大部分にはAlのような
金属反射膜を蒸着するのが好適である。プリズム
39の下端には反射面38aを形成し、発光部4
0に配置されている半導体レーザダイオードから
放射される赤外レーザ光はプリズム38に入射
し、反射面38aで水平方向に反射され、拡散板
43を経て被検波に放射される。被検液を透過し
たレーザ光は拡散板44を介してプリズム39の
下端に入射し、反射面39aによつて上方へ反射
され、受光部41の半導体フオトダイオードに入
射される。発光部40および受光部41に接続さ
れた導線は、本体34の上端に螺合されたキヤツ
プ45にあけた孔を経て外部に導出され、ケーブ
ル33としてコントローラユニツト32に接続さ
れている。さらに本体34にはセンサユニツト3
1を例えば培養槽に形成した筒に螺合するための
袋ねじ部34eを一体的に形成する。また、プリ
ズム38および39は合成樹脂等よりなる充填剤
46によつて本体34内の所定の位置に固定す
る。
4dを形成するが、この開口には金網は配置しし
ない。また本体34の内部にはガラス、石英また
はプラスチツク等より成るロツドまたはフアイバ
ロツドより成るプリズム38および39を縦軸線
と平行に配置し、一方のプリズム38の上端面に
は半導体レーザダイオードを含む発光部40を配
置し、他方のプリズム39の上端面には半導体フ
オトダイオードを含む受光部41を配置する。こ
れらの発光部40および受光部41は熱伝導性が
良い絶縁材料より成るハウジング42にあけた貫
通孔内にそれぞれ挿入されている。プリズム38
および39をフアイバロツド以外のロツドで構成
する場合にはその側面の大部分にはAlのような
金属反射膜を蒸着するのが好適である。プリズム
39の下端には反射面38aを形成し、発光部4
0に配置されている半導体レーザダイオードから
放射される赤外レーザ光はプリズム38に入射
し、反射面38aで水平方向に反射され、拡散板
43を経て被検波に放射される。被検液を透過し
たレーザ光は拡散板44を介してプリズム39の
下端に入射し、反射面39aによつて上方へ反射
され、受光部41の半導体フオトダイオードに入
射される。発光部40および受光部41に接続さ
れた導線は、本体34の上端に螺合されたキヤツ
プ45にあけた孔を経て外部に導出され、ケーブ
ル33としてコントローラユニツト32に接続さ
れている。さらに本体34にはセンサユニツト3
1を例えば培養槽に形成した筒に螺合するための
袋ねじ部34eを一体的に形成する。また、プリ
ズム38および39は合成樹脂等よりなる充填剤
46によつて本体34内の所定の位置に固定す
る。
本例では、互いに対向する拡散板43および4
4の間隔によつて規定される測光光路の長さは2
mm、縦軸線方向の寸法は2.5mm、横方向の寸法は
2.2mmとする。
4の間隔によつて規定される測光光路の長さは2
mm、縦軸線方向の寸法は2.5mm、横方向の寸法は
2.2mmとする。
第5図および第6図に詳細に示すようにハウジ
ング42には2個の貫通孔42a,42bと2個
のめくら孔42c,42dとを形成し、貫通孔4
2aには半導体レーザダイオード51(第3図)
を含む発光部40を、半導体レーザダイオードか
ら放射されるレーザ光がプリズム38に直接入射
するように配置され、貫通孔42bには半導体フ
オトダイオード52および演算増幅器53を含む
受光部41を、プリズム39を伝播して来るレー
ザ光が半導体フオトダイオードに直接入射するよ
に配置する。また、めくら孔42cには、光源で
ある半導体レーザダイオード51の温度による出
力の変動を補正するための温度補償用ダイオード
54(第7図)を配置し、めくら孔42dには上
述した半導体フオトダイオード52と同一の構成
を有する温度補償用の半導体フオトダイオード5
5および演算増幅器56を配置する。
ング42には2個の貫通孔42a,42bと2個
のめくら孔42c,42dとを形成し、貫通孔4
2aには半導体レーザダイオード51(第3図)
を含む発光部40を、半導体レーザダイオードか
ら放射されるレーザ光がプリズム38に直接入射
するように配置され、貫通孔42bには半導体フ
オトダイオード52および演算増幅器53を含む
受光部41を、プリズム39を伝播して来るレー
ザ光が半導体フオトダイオードに直接入射するよ
に配置する。また、めくら孔42cには、光源で
ある半導体レーザダイオード51の温度による出
力の変動を補正するための温度補償用ダイオード
54(第7図)を配置し、めくら孔42dには上
述した半導体フオトダイオード52と同一の構成
を有する温度補償用の半導体フオトダイオード5
5および演算増幅器56を配置する。
第7図は上述した半導体レーザダイオード5
1、半導体フオトダイオード52,55、演算増
幅器53,56および温度補償用ダイオード54
の接続を示すものである。発光部40には、半導
体レーザダイオード41から入射されるレーザ光
の一部を受光する半導体フオトダイオード57も
設けてある。この半導体フオトダイオード57お
よび温度補償用ダイオード54の出力信号をコン
トローラユニツト32に設けた差動増幅器61に
供給して、これらの差を求め、これを制御信号と
して自動パワーコントロール回路62に供給し、
この自動パワーコントロール回路の出力を半導体
レーザダイオード51に供給するようにする。こ
のようにして、半導体レーザダイオード51から
放射される赤外レーザ光の強度を温度変化に拘ら
ず常に一定に保つことができる。一方、被検液を
透過したレーザ光を受光する半導体フオトダイオ
ード52の出力信号を演算増幅器53で増幅し、
温度補償用の半導体フオトダイオード55の出力
信号を演算増幅器56で増幅し、これら増幅した
出力信号をコントローラユニツト32に設けた差
動増幅器63に供給して、これらの差を求める。
本発明によれば、これら半導体フオトダイオード
52,55および演算増幅器53,56は同一の
ハウジング42内に収納されているため同一の動
作温度となり、したがつて差動増幅器63の出力
信号では温度ドリフトは相殺除去されることにな
る。この差動増幅器63の出力信号を測定回路6
4において処理して濁度を求め、これを表示器6
5において表示する。
1、半導体フオトダイオード52,55、演算増
幅器53,56および温度補償用ダイオード54
の接続を示すものである。発光部40には、半導
体レーザダイオード41から入射されるレーザ光
の一部を受光する半導体フオトダイオード57も
設けてある。この半導体フオトダイオード57お
よび温度補償用ダイオード54の出力信号をコン
トローラユニツト32に設けた差動増幅器61に
供給して、これらの差を求め、これを制御信号と
して自動パワーコントロール回路62に供給し、
この自動パワーコントロール回路の出力を半導体
レーザダイオード51に供給するようにする。こ
のようにして、半導体レーザダイオード51から
放射される赤外レーザ光の強度を温度変化に拘ら
ず常に一定に保つことができる。一方、被検液を
透過したレーザ光を受光する半導体フオトダイオ
ード52の出力信号を演算増幅器53で増幅し、
温度補償用の半導体フオトダイオード55の出力
信号を演算増幅器56で増幅し、これら増幅した
出力信号をコントローラユニツト32に設けた差
動増幅器63に供給して、これらの差を求める。
本発明によれば、これら半導体フオトダイオード
52,55および演算増幅器53,56は同一の
ハウジング42内に収納されているため同一の動
作温度となり、したがつて差動増幅器63の出力
信号では温度ドリフトは相殺除去されることにな
る。この差動増幅器63の出力信号を測定回路6
4において処理して濁度を求め、これを表示器6
5において表示する。
第8図AのグラフAは半導体フオトダイオード
52に一定の強さのレーザ光を入射させたときの
出力信号と温度との関係を示し、グラフBは遮光
された半導体フオトダイオード55の出力信号、
すなわち暗電流と温度との関係を示すものであ
る。暗電流は温度の上昇とともに増大するので半
導体フオトダイオード52の出力も温度とともに
増大し、あたかも入射光強度が増大するように検
出されてしまう。本発明では、これらの半導体フ
オトダイオード52および55の出力信号を同一
の温度特性を有する演算増幅器53および56で
増幅した後、差動増幅器63で差を求めているの
で、第8図BのグラフAで示すように、出力信号
は温度変化とは無関係に一定となる。
52に一定の強さのレーザ光を入射させたときの
出力信号と温度との関係を示し、グラフBは遮光
された半導体フオトダイオード55の出力信号、
すなわち暗電流と温度との関係を示すものであ
る。暗電流は温度の上昇とともに増大するので半
導体フオトダイオード52の出力も温度とともに
増大し、あたかも入射光強度が増大するように検
出されてしまう。本発明では、これらの半導体フ
オトダイオード52および55の出力信号を同一
の温度特性を有する演算増幅器53および56で
増幅した後、差動増幅器63で差を求めているの
で、第8図BのグラフAで示すように、出力信号
は温度変化とは無関係に一定となる。
第9図のグラフAは、第11図Aに示すように
温度補償用の半導体フオトダイオードを設け、そ
の出力信号と、被検液を透過した光を受ける半導
体フオトダイオードの出力信号との差を差動増幅
器で求めるようにした従来の測光装置の出力OD
値(光学的密度)の、温度変化による誤差を示し
たものであり、温度の上昇とともにOD値の誤差
が非直線的に増大している。これは主として差動
増幅器の温度ドリフトによるものである。一方、
第9図のグラフBは本発明の上述した実施例の出
力OD値の誤差を示すものであり、回路の温度変
動分が除去され、直線的になつていることがわか
る。僅かに残留するOD値の誤差は、半導体フオ
トダイオード52および55の特性の差および動
作温度の差によるものであると思われるが、測定
温度範囲内でOD値の誤差が0.01以下であれば、
小数点以下3桁までの精度が確保でき、被検液の
短時間での濁度の変化を正確に検知することがで
きる。
温度補償用の半導体フオトダイオードを設け、そ
の出力信号と、被検液を透過した光を受ける半導
体フオトダイオードの出力信号との差を差動増幅
器で求めるようにした従来の測光装置の出力OD
値(光学的密度)の、温度変化による誤差を示し
たものであり、温度の上昇とともにOD値の誤差
が非直線的に増大している。これは主として差動
増幅器の温度ドリフトによるものである。一方、
第9図のグラフBは本発明の上述した実施例の出
力OD値の誤差を示すものであり、回路の温度変
動分が除去され、直線的になつていることがわか
る。僅かに残留するOD値の誤差は、半導体フオ
トダイオード52および55の特性の差および動
作温度の差によるものであると思われるが、測定
温度範囲内でOD値の誤差が0.01以下であれば、
小数点以下3桁までの精度が確保でき、被検液の
短時間での濁度の変化を正確に検知することがで
きる。
また、上述した実施例では、本体34に形成し
た開口34a,34b,34cに細い金網と粗い
金網とを2重に配置したため、測光光路中に気泡
が侵入しにくくなるとともに万一侵入した気泡は
速やかに測光光路から排除されることを確かめ
た。これにより長時間に亘る測定中、安定した測
定値が得られる効果もある。
た開口34a,34b,34cに細い金網と粗い
金網とを2重に配置したため、測光光路中に気泡
が侵入しにくくなるとともに万一侵入した気泡は
速やかに測光光路から排除されることを確かめ
た。これにより長時間に亘る測定中、安定した測
定値が得られる効果もある。
また、半導体レーザダイオード51および半導
体フオトダイオード52,55を熱伝導性の低い
プリズム38,39を介して被検液から離間させ
るようにしているため、これらの半導体素子は被
検液の温度が50℃以下では熱による悪影響を殆ぼ
受けない。また、醗酵装置を蒸気殺菌するときは
130℃程度の高温に曝されるが、半導体素子への
通電を遮断しておけば半導体素子が破損すること
はないので、濁度計を醗酵装置に取付けたままで
殺菌処理を行うこともできる。
体フオトダイオード52,55を熱伝導性の低い
プリズム38,39を介して被検液から離間させ
るようにしているため、これらの半導体素子は被
検液の温度が50℃以下では熱による悪影響を殆ぼ
受けない。また、醗酵装置を蒸気殺菌するときは
130℃程度の高温に曝されるが、半導体素子への
通電を遮断しておけば半導体素子が破損すること
はないので、濁度計を醗酵装置に取付けたままで
殺菌処理を行うこともできる。
本発明は上述した実施例に限定されるものでは
なく幾多の変形や変更が可能である。例えば上述
した実施例では1個のハウジング内に発光部と受
光部を配置したが、これらを別々のハウジングに
収納することもできる。第10図はそのように構
成した受光部の構成を示すものであり、金属製の
ハウジング71に孔71aをあける。ハウジング
71の内部には、外部からの光を孔71aを介し
て受光する受光素子72および遮光壁73によつ
て外部光から遮蔽された温度補償用の受光素子7
4を装着したプリント基板75を配置し、このプ
リント基板には受光素子72および74の出力信
号をそれぞれ増幅する演算増幅器76および77
をも装着する。演算増幅器76および77はピン
78に接続し、さらに外部回路に接続できるよう
にする。
なく幾多の変形や変更が可能である。例えば上述
した実施例では1個のハウジング内に発光部と受
光部を配置したが、これらを別々のハウジングに
収納することもできる。第10図はそのように構
成した受光部の構成を示すものであり、金属製の
ハウジング71に孔71aをあける。ハウジング
71の内部には、外部からの光を孔71aを介し
て受光する受光素子72および遮光壁73によつ
て外部光から遮蔽された温度補償用の受光素子7
4を装着したプリント基板75を配置し、このプ
リント基板には受光素子72および74の出力信
号をそれぞれ増幅する演算増幅器76および77
をも装着する。演算増幅器76および77はピン
78に接続し、さらに外部回路に接続できるよう
にする。
また上述した実施例は本発明を濁度計に適用し
たものであるが、本発明は比色計や大気中の微粒
子濃度を測定する装置などにも適用することがで
きる。
たものであるが、本発明は比色計や大気中の微粒
子濃度を測定する装置などにも適用することがで
きる。
(発明の効果)
上述したように、本発明の測光装置によれば、
測光用受光素子と同一構成の温度補償用の受光素
子を、測光用受光素子と同じハウジング内に遮光
した状態で配置するとともに測光用受光素子およ
び温度補償用受光素子の出力信号を同一構成の演
算増幅器で増幅した後、これら出力信号の差を差
動増幅器で求めるようにしたため、これら受光素
子および演算増幅器の温度ドリフトによる影響を
相殺除去することができる。さらに演算増幅器の
出力インピーダンスは低いので、演算増幅器から
差動増幅器に到る信号ケーブルが雑音を拾うこと
もないのでS/Nの高い信号を得ることができ
る。
測光用受光素子と同一構成の温度補償用の受光素
子を、測光用受光素子と同じハウジング内に遮光
した状態で配置するとともに測光用受光素子およ
び温度補償用受光素子の出力信号を同一構成の演
算増幅器で増幅した後、これら出力信号の差を差
動増幅器で求めるようにしたため、これら受光素
子および演算増幅器の温度ドリフトによる影響を
相殺除去することができる。さらに演算増幅器の
出力インピーダンスは低いので、演算増幅器から
差動増幅器に到る信号ケーブルが雑音を拾うこと
もないのでS/Nの高い信号を得ることができ
る。
第1図は本発明の測光装置の基本的構成を示す
概念図、第2図は本発明を適用した濁度計の一実
施例の全体の構成を示す斜視図、第3図は同じく
そのセンサユニツトの構成を示す縦断面図、第4
図および第5図は第2図の−線および−
線に沿つて切つた横断面図、第6図は第5図の
−線に沿つて切つた縦断面図、第7図は電気素
子の接続を示す回路図、第8図AおよびBは本発
明の測光装置における温度ドリフトの補償動作を
示すグラフ、第9図は本発明による濁度計と従来
の濁度計の温度によるOD値の変動を示すグラ
フ、第10図は本発明による測光装置の受光部の
他の実施例の構成を示す断面図、第11図Aおよ
びBは従来の測光装置の構成を示す図である。 11……発光素子、12……発光部、13……
受光素子、14……ハウジング、15……温度補
償用受光素子、16,17……演算増幅器、21
……差動増幅器。
概念図、第2図は本発明を適用した濁度計の一実
施例の全体の構成を示す斜視図、第3図は同じく
そのセンサユニツトの構成を示す縦断面図、第4
図および第5図は第2図の−線および−
線に沿つて切つた横断面図、第6図は第5図の
−線に沿つて切つた縦断面図、第7図は電気素
子の接続を示す回路図、第8図AおよびBは本発
明の測光装置における温度ドリフトの補償動作を
示すグラフ、第9図は本発明による濁度計と従来
の濁度計の温度によるOD値の変動を示すグラ
フ、第10図は本発明による測光装置の受光部の
他の実施例の構成を示す断面図、第11図Aおよ
びBは従来の測光装置の構成を示す図である。 11……発光素子、12……発光部、13……
受光素子、14……ハウジング、15……温度補
償用受光素子、16,17……演算増幅器、21
……差動増幅器。
Claims (1)
- 1 測定すべき物質に輻射線を放射する発光素子
を有する発光部と、測定すべき物質からの輻射線
を受けて電気信号に変換する受光素子を有する受
光部とを具え、少なくとも受光部を測定すべき物
質に曝すようにした測光装置において、前記受光
部の受光素子と同一構造を有するが、前記輻射線
を受光しないように配置された温度補償用受光素
子と、前記輻射線を受光する受光素子および温度
補償用受光素子の出力信号をそれぞれ増幅する同
一構造の第1および第2の演算増幅器とを前記受
光素子を収納したハウジングと同じハウジング内
に収納し、これら第1および第2の演算増幅器の
出力信号の差動信号を測定信号として出力する差
動増幅器を前記ハウジングの外部に設けたことを
特徴とする測光装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62261774A JPH01105134A (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 | 測光装置 |
US07/257,635 US4891519A (en) | 1987-10-19 | 1988-10-14 | Photometering apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62261774A JPH01105134A (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 | 測光装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH01105134A JPH01105134A (ja) | 1989-04-21 |
JPH0545904B2 true JPH0545904B2 (ja) | 1993-07-12 |
Family
ID=17366512
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP62261774A Granted JPH01105134A (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 | 測光装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4891519A (ja) |
JP (1) | JPH01105134A (ja) |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4976871A (en) * | 1989-10-17 | 1990-12-11 | Nalco Chemical Company | Method of monitoring flocculant effectiveness |
JPH04130058U (ja) * | 1991-05-21 | 1992-11-30 | 日野自動車工業株式会社 | 光透過式スモークメータ |
WO1994007127A1 (en) * | 1992-09-14 | 1994-03-31 | Sippican, Inc. | Apparatus and method for measuring chemical concentrations |
US5412581A (en) * | 1992-11-05 | 1995-05-02 | Marathon Oil Company | Method for measuring physical properties of hydrocarbons |
JP3115739B2 (ja) * | 1993-01-27 | 2000-12-11 | シャープ株式会社 | パルス光受信回路 |
JPH0687850U (ja) * | 1993-05-28 | 1994-12-22 | 株式会社サタコエンジニヤリング | 透視度測定装置 |
US5793044A (en) * | 1995-11-09 | 1998-08-11 | Ntc Technology, Inc. | Infrared radiation detector units and methods of assembling transducers in which said units are incorporated |
FR2763685B1 (fr) * | 1997-05-23 | 1999-07-23 | Lasertec International | Appareil de mesure de l'evolution des caracteristiques optiques d'un milieu liquide ou gazeux en circulation |
JP4187376B2 (ja) * | 2000-02-16 | 2008-11-26 | ローム株式会社 | 受光増幅装置 |
RU2184354C1 (ru) * | 2001-04-16 | 2002-06-27 | Акционерная компания "АЛРОСА" (Закрытое акционерное общество) | Способ измерения интенсивности ультрафиолетового излучения солнца и устройство для его осуществления |
US7068362B2 (en) * | 2002-01-25 | 2006-06-27 | The Johns Hopkins University | Expendable beam transmissometer |
US7045752B2 (en) * | 2003-06-30 | 2006-05-16 | Intel Corporation | Illuminated and non-illuminated photodiodes for monitoring and controlling AC and DC components of a laser beam |
US20050190370A1 (en) * | 2004-02-26 | 2005-09-01 | Rosemount Analytical Inc. | Turbidity sensing system with reduced temperature effects |
JP2006040976A (ja) | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Hamamatsu Photonics Kk | 光検出器 |
JP5161625B2 (ja) * | 2008-03-26 | 2013-03-13 | セイコーNpc株式会社 | 照度センサ |
JP5318548B2 (ja) * | 2008-12-08 | 2013-10-16 | ラピスセミコンダクタ株式会社 | 光量測定装置 |
FR2966595B1 (fr) * | 2010-10-26 | 2013-01-25 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de detection d'un rayonnement electromagnetique. |
JP6205162B2 (ja) * | 2013-04-12 | 2017-09-27 | パナソニック デバイスSunx株式会社 | 光電センサ及び受光器 |
EP3123940B1 (en) * | 2014-03-28 | 2020-04-22 | Terumo Kabushiki Kaisha | Fluorescent light sensor |
JP2016080430A (ja) * | 2014-10-14 | 2016-05-16 | 住友電気工業株式会社 | 光プローブ及び測定装置 |
JP2016213307A (ja) * | 2015-05-07 | 2016-12-15 | 新日本無線株式会社 | 反射型センサ装置及びその製造方法 |
GB2560376B (en) | 2017-03-10 | 2020-02-12 | Toshiba Kk | On-Chip Integration of a Bias Tee and a Single Photon Detector |
CN108132097A (zh) * | 2017-12-18 | 2018-06-08 | 北京泊菲莱科技有限公司 | 一种探测器探头、光功率计以及光功率测量方法 |
WO2023111000A1 (en) | 2021-12-15 | 2023-06-22 | Trinamix Gmbh | Photodetector for measuring optical radiation |
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Family Cites Families (3)
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-
1987
- 1987-10-19 JP JP62261774A patent/JPH01105134A/ja active Granted
-
1988
- 1988-10-14 US US07/257,635 patent/US4891519A/en not_active Expired - Lifetime
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JPS61251749A (ja) * | 1985-04-30 | 1986-11-08 | Yokogawa Electric Corp | 紙の光学的特性測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH01105134A (ja) | 1989-04-21 |
US4891519A (en) | 1990-01-02 |
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