JPH0545434Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本考案は、有機溶剤回収装置に関し、環境衛生
の向上及び溶剤の有効利用を図るよう企図したも
のである。

＜従来の技術＞ 半導体製品やメツキ製品などを洗浄するのに、
第２図に示すような、洗浄装置が用いられる。

この洗浄装置では、洗浄槽１内に有機溶剤２を
貯留し、この有機溶剤２をヒータ３により加熱し
て有機溶剤ガス４を発生させている。上記有機溶
剤２としては、トリクロルエチレン、トリクロル
エタン、パークロルエチレンメチレンクロライ
ド、フロンＲ−113等の塩素系やフツ素系の有機
溶剤を用いる。

被洗浄物は、有機溶剤２中に浸漬して、その
後、有機溶剤ガス４にさらすことにより洗浄され
る。

一方、洗浄槽１内に充満した有機溶剤ガス４
は、冷却管５に触れて凝縮し、液となつて回収樋
６を通つて回収される。

ところで、冷却管５で回収されなかつた有機溶
剤ガス４は、洗浄槽１の上面開口から外部に出て
いく。一般に、有機溶剤ガス４は有毒である。そ
こで作業者がこのガスを吸うことを防ぐためにフ
アン７及び排気ダクト８を設けている。つまり、
フアン７により、洗浄槽１外に出た有機溶剤ガス
４を吸引し排気ダクト８を通して大気中に放出し
ている。

ところで上記洗浄装置では、有毒な有機溶剤ガ
ス４を大気中に放出しているので大気汚染の原因
となる。特に近年、フロンによる大気汚染による
地球環境の悪化が問題となつており、緊急な解決
が望まれている。

また上記洗浄装置では、有機溶剤ガス４を放出
しているため、有機溶剤３の蒸散量が多く有機溶
剤３の使用効率が悪い。この結果、洗浄するのに
大量の有機溶剤３を要し経済的損失が大きかつ
た。

そこで従来では、槽外に漏出した有機溶剤ガス
を、大気に放出することなく活性炭を利用して回
収する有機溶剤回収装置が用いられていた。

ここで、活性炭を利用した従来の有機溶剤回収
装置を、第３図を参照して説明する。同図に示す
ように、吸着塔１０内には、複数段の多孔板１１
が備えられている。この吸着塔１０内には、ブロ
ア１２により下方から有機溶剤ガス１３が送られ
る一方、上方から球状活性炭１４が供給される。
球状活性炭１４は、多孔板１１に沿い上段から下
段に順次流下していき、有機溶剤ガス１３中の有
機溶剤成分を吸着する。有機溶剤ガス１３は、吸
着塔１０内を下方から上方に向い流れ、このとき
有機溶剤成分が球状活性炭１４で吸着される。し
たがつて吸着塔１０の頂部からは、有機溶剤成分
を含まない浄化ガス１３ａが排出される。

有機溶剤成分を多量に吸着して吸着塔１０の底
部にたまつた球状活性炭１４は、搬出部１５を通
つて脱着塔１６に送られる。脱着塔１６には蒸気
（1200℃）１７が供給されており、球状活性炭１
４は蒸気１７により加熱され、球状活性炭１４か
ら有機溶剤成分が除去される。有機溶剤成分を含
んだ有機溶剤ガス１８はコンデンサ１９に送られ
て冷水２０で冷却され、溶剤成分が液状の溶剤２
１となつて回収される。一方、脱着塔１６におい
て有機溶剤成分が除去された球状活性炭１４は、
搬入部２２を通つて再び吸着塔１０に送られる。

＜考案が解決しようとする課題＞ ところで第３図に示す従来の有機溶剤回収装置
では次のような欠点があつた。

活性炭は有機溶剤の吸着能力が小さいので、
多量の球状活性炭１４が必要となり、併せて設
備も大型化する。ちなみに、活性炭は１Kgで約
30〜40gの有機溶剤を吸着できるにすぎない。

球状活性炭１４から有機溶剤成分を除去する
際に蒸気１７を用いているため、有機溶剤に添
付している安定剤が、蒸気の水分に溶け込んで
抜けてしまう。したがつて回収した溶剤２１を
再使用するためには、これに安定剤を追加しな
ければならない。なお安定剤とは有機溶剤を化
学的に安定させるために添加するものであり、
例えばトリエタノールアミン、１，２ブチレン
オキサイド、１，４ジオキサン、ニトロメタン
等が用いられ、これらは水によく溶ける。

球状活性炭１４は長期使用すると疲労し吸着
能力が低下する。しかし吸着能力が低下したこ
とは簡単には判らず、能力低下した球状活性炭
１４を用いたままで回収作業をすることがあ
り、このようなことをすると有機溶剤ガス１３
がそのまま外部に出てしまう危険がある。

吸着塔１０、脱着塔１６、コンデンサ１９な
どを要し、構造が複雑である。

本考案は、上記従来技術に鑑み、有機溶剤を確
実に回収でき、しかも構造が簡単な有機溶剤回収
装置を提供するものである。

＜課題を解決するための手段＞ 上記課題を解決する本考案の構造は、リン酸ト
リクレジルを貯留した回収槽と、回収槽内に配置
されリン酸トリクレジルを上方から下方に向け噴
出するシヤワーノズルと、回収槽内でシヤワーノ
ズルよりも上方に配置されて回収槽内を上下に仕
切る目の細かい網部材と、回収槽内で網部材より
も上方に配置されており有機溶剤ガスを冷却液化
して回収する回収部と、有機溶剤洗浄装置から出
てきた有機溶剤ガスを回収槽内のうちシヤワーノ
ズルよりも下方の空間に導くガス導入部と、を有
することを特徴とする。

＜実施例＞ 以下に本考案の実施例を図面に基づき詳細に説
明する。

第１図に示すように本考案の実施例に係る有機
溶剤回収装置１００は、有機溶剤洗浄装置５０か
ら出てくる有機溶剤ガス２４を回収するものであ
る。なお有機溶剤洗浄装置５０は、第２図に示す
ものと同様である。

有機溶剤回収装置１００の回収槽１０１にはリ
ン酸トリクレジル１０２が貯留されている。リン
酸トリクレジル１０２は、水に不溶で、有機溶剤
によく溶ける。沸点は410℃（at760mmHg）で、
分子式はC₂₁O₂₁O₄Ｐである。回収槽１０１の底
面にはヒータ１０３が備えられている。

シヤワーノズル１０４は回収槽１０１内に配置
されており、ポンプ１０５によりリン酸トリクレ
ジル１０２が供給されると、リン酸トリクレジル
１０２をシヤワー状ないし霧状にして下方に噴出
する。シヤワーノズル１０４の上方にはデミスタ
ー１０５が配置されている。デミスター１０５は
目の細かい網部材であり、気体が流通できる状態
で、回収槽１０１内を上下に仕切つている。

回収槽１０１の内壁で且つデミスター１０５よ
りも上方位置には、コイル状の冷却管１０６及び
回収樋１０７が備えられている。冷却管１０６内
には冷却液が流れ、冷却時には約15℃となる。更
に回収槽１０１の上面には蓋１０８が備えられ、
蓋１０８にはクリーンエア放出孔１０９が形成さ
れている。

ダクト１１０には送風機１１１が介装されてお
り、送風機１１１が作動すると、有機溶剤洗浄装
置５０から出てきた有機溶剤ガス４は、ダクト１
１０を通つて、回収槽１０１内のうちシヤワーノ
ズル１０４よりも下方の空間に導びかれる。

上述した構造となつている本実施例の有機溶剤
回収装置の動作を次に説明する。

有機溶剤洗浄装置５０で洗浄を行なつていると
きには、送風機１１１及びポンプ１０５は作動さ
せるが、ヒータ１０３による加熱及び冷却管１０
６による冷却は行わない。このようにすると、洗
浄装置５０から出てきた有機溶剤ガス４はダクト
１１０を通つて回収槽１０１内に導びかれる。回
収槽１０１内に入つた有機溶剤ガス４には、シヤ
ワーノズル１０４から噴出されるリン酸トリクレ
ジル１０２がシヤワー状ないし霧状となつて降り
かかる。したがつて有機溶剤ガス４中の有機溶剤
成分はリン酸トリクレジル１０２に溶け込んでし
まう。リン酸トリクレジル１０２は有機溶剤をよ
く溶かす性質をもつているうえに、シヤワー状と
なつて降りかかるため、有機溶剤ガス４中の有機
溶剤成分は完全に除かれる。有機溶剤成分が完全
に除去されたクリーンなエアーは、デミスター１
０５を通過した後、クリーンエア放出孔１０９を
介して外部に放出される。

有機溶剤洗浄装置５０による洗浄作業が終了し
たら、こんどは送風機１１１及びポンプ１０５停
止させ、ヒータ１０３による加熱及び冷却管１０
６による冷却を行う。また放出孔１０９を閉じ
る。

有機溶剤が溶け込んだリン酸トリクレジル１０
２をヒータ１０３で加熱すると、有機溶剤成分の
みが蒸発して有機溶剤ガス４が生ずる。これは、
リン酸トリクレジル１０２の沸点が有機溶剤の沸
点よりもかなり高いからである。ちなみに、沸点
は、リン酸トリクレジル１０２は410℃、トリク
ロルエチレンは89℃、トリクロルエタンは74℃、
フロンは−40℃前後、である。

加熱によりリン酸トリクレジル１０２から蒸発
した有機溶剤ガス４は、デミスター１０５を通
り、冷却管１０６に触れる。そうすると有機溶剤
ガス４は冷却されて液化し、液化した有機溶剤は
回収樋１０７で回収される。回収された有機溶剤
は、回収処理されて再び洗浄装置５０の洗浄槽１
に送られる。

なお、冷却管１０６は15℃程度であり、この冷
却管１０６に空気中の水分が結露することはな
い。よつて回収した有機溶剤に水分が混入するこ
ともない。したがつて有機溶剤中の安定剤が、水
に溶けて逃げてしまうこともなく、安定剤の追加
は不要である。

＜考案の効果＞ 以上実施例とともに具体的に説明したように本
考案によれば次のような効果を奏する。

有機溶剤をきわめてよく溶かすリン酸トリク
レジルを用いているので、有機溶剤の回収が確
実にできる。

リン酸トリクレジルから有機溶剤成分を分離
するためには、加熱するだけでよいため、有機
溶剤に水分が混じることはない。このため有機
溶剤中の安定剤が減少することはなく、安定剤
の追加が不要になる。

装置構成が簡単であり、安価に作製できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例を示す構成図、第２図
は有機溶剤洗浄装置を示す構成図、第３図は従来
装置を示す構成図である。 図面中、１００は有機溶剤回収装置、１０１は
回収槽、１０２はリン酸トリクレジル、１０３は
ヒータ、１０４はシヤワーノズル、１０５はポン
プ、１０６は冷却管、１０７は回収樋、１０８は
蓋、１０９はクリーンエア放出孔、１１０はダク
ト、１１１は送風機である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. リン酸トリクレジルを貯留した回収槽と、回収
   槽内に配置されリン酸トリクレジルを上方から下
   方に向け噴出するシヤワーノズルと、回収槽内で
   シヤワーノズルよりも上方に配置されて回収槽内
   を上下に仕切る目の細かい網部材と、回収槽内で
   網部材よりも上方に配置されており有機溶剤ガス
   を冷却液化して回収する回収部と、有機溶剤洗浄
   装置から出てきた有機溶剤ガスを回収槽内のうち
   シヤワーノズルよりも下方の空間に導くガス導入
   部と、を有することを特徴とする有機溶剤回収装
   置。