JPH0542563B2 - - Google Patents

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JPH0542563B2
JPH0542563B2 JP30327987A JP30327987A JPH0542563B2 JP H0542563 B2 JPH0542563 B2 JP H0542563B2 JP 30327987 A JP30327987 A JP 30327987A JP 30327987 A JP30327987 A JP 30327987A JP H0542563 B2 JPH0542563 B2 JP H0542563B2
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JP
Japan
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spool
sleeve
working fluid
back pressure
flapper
Prior art date
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Application number
JP30327987A
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English (en)
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JPH01145404A (ja
Inventor
Eizo Urata
Shinpei Myagawa
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Ebara Research Co Ltd
Original Assignee
Ebara Research Co Ltd
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Publication date
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Priority to DE3889668T priority patent/DE3889668T2/de
Priority to US07/476,443 priority patent/US5186213A/en
Priority to EP89900147A priority patent/EP0399044B1/en
Priority to PCT/JP1988/001221 priority patent/WO1989005407A1/ja
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は作動流体として水を用いた水圧サーボ
弁に関する。
[従来技術] 従来の電気−油圧サーボ弁(以下油圧サーボ弁
という)は、微弱な電気入力信号を油圧に変換
し、作動流体の方向を切換え、且つその流量を変
えるもので、工作機械の数値制御、遠隔操作など
に広く用いられている。そのような油圧サーボ弁
の従来技術の一例を第2図について説明する。
第2図において、ポンプポートPから供給され
た圧油は、弁本体1a内の通路24L,24Rを
流れ、背圧制御用のオリフイス25L,25Rを
介してノズル背圧室6L,6Rに導かれ、ノズル
5L,5Rとフラツパ23との間の〓間から排出
された油は、中央室8から通路7L,7Rおよび
タンクポートR1,R2を介して図示しないタン
クに戻される。トルクモータ22への電気入力信
号によりフラツパ23が、例えば左方に移動する
と、ノズル背圧室6Lの圧力が上昇してパイロツ
ト室10Lが昇圧し、一方、ノズル背圧室6Rの
圧力は低下してパイロツト室10Rが降圧する。
従つて、スリーブ2に収められたスプール13a
はばね11Rに抗して右方に変位する。その結
果、圧油はポンプポートPからシリンダポートC
1を介して図示しない油圧シリンダに導かれ、油
圧シリンダからの戻り油はシリンダポートC2か
らタンクポートR2を介して図示しないタンクに
戻されるようになつている。
ここで、作動流体として用いられる油は燃え易
いので、取扱いに注意が必要である。また、排油
による環境汚染の問題がある。
ところで、油圧駆動や制御のための作動流体と
して、かつては水が用いられていた。しかし作動
流体が水である場合には、作動流体の粘性が小さ
いので〓間Sからの洩れが多くて効率が悪く、ま
た摺動部における摩耗が多く、さらに金属材料
(鉄)製の機械であれば放置しておくとさびてし
まう等の問題があつた。
近時、プラスチツク材等の新素材の進歩は目ざ
ましく、水を作動流体とした場合の問題点の1つ
である上記のさびの問題機械中の少なくとも作動
流体と接触する部分を新素材で形成することによ
つて解決可能である。しかし、作動流体の粘性が
小さいことによる摩耗の問題が依然として存在
し、また洩れを抑えるために摺動部を高精度に加
工することは新素材では困難である。
[発明の目的] 本発明の目的は、上記した従来技術の欠点に鑑
みて提案されたもので、作動流体に水を用いるこ
とができ、摩耗、さび、洩れ等の問題を解決した
水圧サーボ弁を提供することを目的としている。
[発明の構成] 本発明の水圧サーボ弁は、弁本体内を変位して
作動流体の方向を切換え、且つ流量を変化せしめ
るスプールと、該スプールを変位させるパイロツ
ト圧が印加されるノズル背圧室と、ノズルおよび
フラツパからなるフラツパ機構とを備え、フラツ
パ両側の弁本体の同一軸線上に一対のノズルおよ
びノズル背圧室を設け、弁本体の該軸線と平行な
軸線上にスプールを設けたサーボ弁において、前
記スプールの両端に静圧軸受を形成し、ポンプポ
ートから静圧軸受を介して前記ノズル背圧室に連
通する作動流体の通路を形成している。
[発明の作用効果] 本発明の水圧サーボ弁によれば、スプールの両
端に形成した静圧軸受により、スプールと弁本体
とを非接触状態に保ち両者の摩耗をなくすことが
できると共に、スプールと弁本体との摺動部にお
ける加工精度を低くすることができる。これによ
り、精密加工が困難な新素材(例えばプラスチツ
ク等)を材料として弁体を製造することができ、
その結果、作動流体が水であつてもさびの発生を
防止することができる。さらに作動流体として水
を用いれば、作動流体が不燃性であり、その取扱
いも容易となる。そして作動流体を廃棄しても環
境汚染の原因となることはない。また、作動流体
の一部を静圧軸受にも積極的に利用することによ
つて、洩れの問題も解決することができる。
[実施例] 以下図面を参照して本発明の実施例を説明す
る。第1図において、プラスチツク材等の不錆材
からなる弁本体1の上部には、トルクモータ22
が固設され、そのフラツパ23は弁本体1に形成
された中央室8に突出されている。
このフラツパ8の両側の同一水平軸線上には一
対のノズル5L,5Rおよびノズル背圧室6L,
6Rとが対向して設けられ、ノズル5L,5Rと
フラツパ23との間には僅少な〓間が形成されて
いる。
他方、弁本体1には前記軸線と平行にスリーブ
2が形成されており、そのスリーブ2には、スリ
ーブポート3とスリーブポート4L,4Rとが形
成されている。スリーブポート3はタンクポート
Pに接続され、スリーブポート4L,4Rはそれ
ぞれ図示しない水タンクへのタンクポートR1,
R2に接続されており、そしてスリーブポート4
L,4Rは通路7L,7Rを介して中央室8に接
続されている。
スリーブ2にはプラスチツク等の不錆材からな
るスプール13が収められており、ここでスリー
ブ2の内壁面とスプール13の外周面の間には〓
間Cが形成されている。そのスプール13にはス
リーブポート4Lと3との間〓およびスリーブポ
ート3と4Rとの間の間隔より軸方向寸法が若干
短い小径部14L,14Rが形成され、それら小
径部14L,14Rの外周面とスリーブ2の内周
面とで形成された室9L,9Rはそれぞれ図示し
ない液(水)圧シリンダへのシリンダポートC
1,C2と接続されている。また、スプール13
の両端面とスリーブ2の内壁面とで包囲されたパ
イロツト室10L,10Rにはばね11L,11
Rが調節されており、それらパイロツト室10
L,10Rは通路12L,12Rによりそれぞれ
ノズル背圧室6L,6Rに接続されている。
スプール13の両端には公知の静圧軸受15
L,15Rが形成されている。なお、第1図にお
いてはスプール13の右方の静圧軸受15Rのみ
が示されている。静圧軸受15Rは、ポケツト1
6とオリフイス17とを備え、室18、通路1
9、室20および透孔21を介してスリーブポー
ト3に接続されている。従つて、ポンプポートP
はスリーブポート3、透孔21、室20、通路1
9、室18、静圧軸受15R、〓間C、パイロツ
ト室10Rおよび通路12Rを介してノズル背圧
室6Rに連通されている。
次に作用について説明する。
スプール13の右側を例に説明すると、圧液は
ポンプポートPからスリーブポート3、透孔2
1、室20、通路19、室18、オリフイス1
7、ポケツト16、〓間C、パイロツト室10
R、通路12R、ノズル背圧室6R、ノズル5R
を通り、ノズル5Rとフラツパ23との間の〓間
から中央室8を通り、通路7R、スリーブポート
4R、タンクポートR2を介してタンクに戻る。
この際、ポケツト16から第1図中左方に流れス
リーブポート4R、タンクポートR2を介してタ
ンクに直接戻る圧液の液量は損失となるが、その
ような圧液の液量、即ちポケツト16における圧
液の分配は、〓間Cの大きさ、ポケツト16の形
状等により調整することができる。また、オリフ
イス17及び〓間Cにより第2図に示すオリフイ
ス25Rと同様にノズル背圧室6Rの背圧室を制
御することができる。
このように、〓間Cによりスプール13をスリ
ーブ2に対し非接触に支持することにより、スプ
ール13とスリーブ2との間の摩耗をなくし、摩
耗に基づく各種弊害の発生を防止することができ
る。さらに、プラスチツク材でできたスプール1
3、スリーブ2の加工精度を高くする必要がなく
なり、しかもプラスチツク材によりサーボ弁を製
造することができるので水さびを防止することが
できる。
作動に際し、トルクモータ22への電気入力信
号によりフラツパ23が例えば左方に移動する
と、ノズル背圧室6Lの圧力が昇圧し、一方ノズ
ル背圧室6Rが降圧し、パイロツト圧10Lの圧
力が昇圧し、パイロツト室10Rの方は降圧す
る。その結果、スプール13がばね11Rに抗し
て右方に変位する。従つて、ポンプポートPから
の圧液はスリーブポート3、室9L、シリンダポ
ートC1を介して図示しない液圧シリンダに導か
れ、その液圧シリンダからの戻り液はシリンダポ
ートC2、室9R、スリーブポート4R、タンク
ポートR2を介して図示しないタンクに戻され
る。フラツパ23が右方に移動した場合は、スプ
ール13は左方に変位して前述と逆に作動する。
[まとめ] 以上説明したように本発明の水圧サーボ弁によ
れば、作動流体に水を用い、もれ流量や作動流体
の一部を利用して静圧軸受を形成し、スプールを
非接触にて支持してスリーブとスプールの摩耗を
防止し、また加工精度を低くすることができる。
そのためスプールとスリーブをプラスチツク材等
の不錆材を用いて製造することができ、作動流体
に水を用いてもさびを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の一実施例を示す側断面図、第
2図は従来の油圧サーボ弁を示す側断面図であ
る。 1……弁本体、2……スリーブ、5L,5R…
…ノズル、6L,6R……ノズル背圧室、10
L,10R……パイロツト室、12L,12R,
19……通路、13……スプール、15L,15
R……静圧軸受、22……トルクモータ、23…
…フラツパ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 弁本体内を変位して作動流体の方向を切換
    え、且つ流量を変化せしめるスプールと、該スプ
    ールを変位させるパイロツト圧が印加されるノズ
    ル背圧室と、ノズルおよびフラツパからなるフラ
    ツパ機構とを備え、フラツパ両側の弁本体の同一
    軸線上に一対のノズルおよびノズル背圧室を設
    け、弁本体の該軸線と平行な軸線上にスプールを
    設けたサーボ弁において、前記スプールの両端に
    静圧軸受を形成し、ポンプポートから静圧軸受を
    介して前記ノズル背圧室に連通する作動流体の通
    路を形成したことを特徴とする水圧サーボ弁。
JP30327987A 1987-12-02 1987-12-02 水圧サーボ弁 Granted JPH01145404A (ja)

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JP30327987A JPH01145404A (ja) 1987-12-02 1987-12-02 水圧サーボ弁
DE3889668T DE3889668T2 (de) 1987-12-02 1988-12-02 Hydraulisches servoventil.
US07/476,443 US5186213A (en) 1987-12-02 1988-12-02 29
EP89900147A EP0399044B1 (en) 1987-12-02 1988-12-02 Hydraulic servo valve
PCT/JP1988/001221 WO1989005407A1 (en) 1987-12-02 1988-12-02 Hydraulic servo valve

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