JPH05345168A - ワークの洗浄方法及び洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】ワークの洗浄効果の高いかつ異物の再付着のな
い洗浄方法及びそれを実施する洗浄装置の提供。 【構成】洗浄槽１の上部洗浄液Ｗ１内に回転するワーク
８を浸漬する第１洗浄工程と、洗浄槽の下部洗浄液Ｗ２
内にワークを回転して配置し、該ワークに向けて洗浄槽
の洗浄液内に開口する噴射ノズル６より洗浄液を噴射さ
せる第２洗浄工程とよりなり、前記第１、第２洗浄工程
において継続して噴射ノズルより加圧された洗浄液を洗
浄槽内に噴射し、一方、洗浄槽の上部より洗浄液をオー
バーフロー手段７を介して第１、第２洗浄工程時に洗浄
槽外へ排出させる。前記ワークの洗浄方法は、ワークを
固定的に取着し、ワークに対して回転と直線方向の往復
動を付与するワーク支持体と、洗浄液が貯溜される洗浄
槽と、洗浄槽内の上部にある洗浄液を洗浄槽外へ排出す
るオーバーフロー手段と、洗浄槽内の下部洗浄液内に配
置され、洗浄液ポンプ３にて加圧された貯液槽内の洗浄
液を下部洗浄液内に配置されるワークに向けて噴射する
噴射ノズルとにより達成される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、機械加工等によって形
成される物品の加工時における切粉、加工時に使用され
る切削油、研磨材等の異物を除去する洗浄方法及び該洗
浄方法を実施する為の洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の洗浄装置の一例として特開平３−
１３９８３２号公報がある。これによると、ワークとし
てのウエハをチャックの上に保持し、該チャックを回転
し且つノズルから前記ウエハ上に高圧水を噴射してウエ
ハの面を洗浄する洗浄装置において、ウエハ、チャッ
ク、ノズルを収容する構造体を水密に構成してその内側
に水を内蔵し、前記ウエハとそれを保持するチャックと
高圧水を噴射するノズルの出口とを水面より下側に配置
したものであり、ノズルから噴射される高圧水は静水中
を通ってウエハ面に到達するが、この間に高圧水噴流と
静水との間で摩擦が起こり、キャビテーション気泡が発
生し、このキャビテーション気泡はウエハ面に達すると
破壊して大きな衝撃圧を発生し、この衝撃圧によってウ
エハ面上の汚れが除去したものである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】かかる従来の洗浄装置
によると、洗浄槽内に配置されたワークに付着した異物
がキャビテーション気泡の破壊作用によって除去された
としても、洗浄槽内の洗浄液中には除去された異物が混
入して存在する。これは洗浄槽の上部より給水口を介し
て水が供給され、洗浄槽の下部の排水口より水が排出さ
れるもので異物を含んだ洗浄液が比較的小径の排水口よ
り制限されて排出されることによる。いいかえるならば
異物を含んだ洗浄液を充分に排出できない。以上によれ
ば、洗浄槽内においてワークを洗浄した後に洗浄槽より
ワークを取り出す際、洗浄液に混入される異物が再びワ
ークに付着する恐れがあり洗浄効果が阻害される。

【０００４】本発明は前記課題に鑑みなされたもので、
ワークの洗浄効果の高い洗浄方法及びそれを実施するに
最適な洗浄装置を提供することにある。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、洗浄槽
の上部洗浄液内に回転するワークを浸漬する第１洗浄工
程と、洗浄槽の下部洗浄液内にワークを回転して配置
し、該ワークに向けて洗浄槽の洗浄液内に開口する噴射
ノズルより洗浄液を噴射させる第２洗浄工程とよりな
り、一方、洗浄槽の上部より洗浄液をオーバーフロー手
段を介して洗浄槽外へ排出させたもので、上記洗浄方法
は、ワークを固定的に取着し、ワークに対して回転と直
線方向の往復動を付与するワーク支持体と、洗浄液が貯
溜される洗浄槽と、洗浄槽内の上部にある洗浄液を洗浄
槽外へ排出するオーバーフロー手段と、洗浄槽内の下部
洗浄液内に配置され、洗浄液ポンプにて加圧された貯液
槽内の洗浄液を下部洗浄液内に配置されるワークに向け
て噴射する噴射ノズルとにより構成される洗浄装置によ
って達成される。

【０００６】

【作用】第１洗浄工程において、上部洗浄液内にはワー
クが回転して配置される。これによると、ワークの回転
により上部洗浄液は旋回流を生じ、ワークに付着せる異
物等は除去される。この異物は上部洗浄液に混入される
ものであるが噴射ノズルより洗浄液が供給され、且つ上
部洗浄液は旋回流となるので洗浄槽の上部よりオーバー
フロー手段を介して洗浄液は洗浄槽外へと排出される。
次いで、下部洗浄槽内に配置された噴射ノズルにワーク
を回転しつつ対向配置して、第２洗浄工程に入ると、ワ
ークは噴射ノズルより噴射される洗浄液のキャビテーシ
ョン作用によって洗浄される。かかる際において、ワー
クより除去された異物等は洗浄液内に混入されるが前記
と同様に洗浄槽の上部よりオーバーフロー手段を介して
洗浄槽外へと排出されるのでワークの洗浄効果を高める
ことができる。

【０００７】

【実施例】以下、本発明の一実施例を図１によって説明
する。１は、内部に洗浄液Ｗを貯溜することのできる上
部が開口した有底状の洗浄槽であり、貯液槽２内の洗浄
液Ｗが洗浄液ポンプ３を介して供給され、洗浄槽１内に
は上部洗浄液Ｗ１（洗浄槽１の上方部分にある洗浄液を
いう）と下部洗浄液Ｗ２（洗浄槽１の下方部分にある洗
浄液をいう）が形成される。具体的に洗浄液ポンプ３の
吸入路３Ａは貯液槽２内に配置されたフィルター４に連
絡され、吐出路３Ｂは洗浄液噴射路５、噴射ノズル６を
介して洗浄槽１内に開口する。噴射ノズル６は洗浄槽１
の下方に配置され、下部洗浄液Ｗ２内にある。本実施例
における噴射ノズル６は洗浄槽１の中心部にあり上方に
向かって噴孔が開口する噴射ノズルと、中心部に対して
互いに対向して配置されるとともに中心部に向かう複数
の噴孔が上下方向（ワークの長手方向に相当する）に開
口する噴射ノズルとよりなりそれらの噴射ノズル６は洗
浄液噴射路５に連なる。７は洗浄槽１の上部より洗浄液
Ｗを洗浄槽外へ排出する為のオーバーフロー手段であ
り、本実施例にあっては洗浄槽１の上部開口１Ａの近傍
外周を囲繞するオーバーフロー室７Ａとオーバーフロー
室７Ａの底部と貯液槽２とを連絡するオーバーフロー通
路７Ｂとよりなり、オーバーフロー通路７Ｂを流れる洗
浄液の量は洗浄液ポンプ３より洗浄槽１内へ供給される
洗浄液の量より大流量とする。８は洗浄すべきワークで
あり、ワーク８は洗浄槽１内へ直線方向の往復動と回転
運動を行なうことのできるワーク支持体９に適当なる手
段をもって固定される。直線方向の往復動は例えば油、
空圧シリンダーにて行なわれ、回転運動はモーターにて
行なわれる。（共に図示せず）

【０００８】次にワーク８の洗浄について説明する。洗
浄にあたり、洗浄液ポンプ３を駆動し、少なくとも洗浄
槽１内における洗浄時において洗浄液ポンプ３は継続し
て駆動する。従って、貯液槽２内の洗浄液Ｗはフィルタ
ー４を介して洗浄液ポンプ３に吸入され、加圧された洗
浄液Ｗは洗浄液噴射路５、噴射ノズル６を介して洗浄槽
１内へ供給され、洗浄槽１内を満たした洗浄液は洗浄槽
１の上部開口１Ａよりオーバーフロー室７Ａ内に溢流
し、次いでオーバーフロー通路７Ｂより貯液槽２内へ還
流する。

【０００９】第１洗浄工程は以下により行なわれる。ワ
ーク支持体９によって支持されたワーク８は洗浄槽１の
上部洗浄液Ｗ１内に浸漬される。（かかる工程における
ワーク８は図１において鎖線で示される。）これによる
と、ワーク８の回転によって上部洗浄液Ｗ１に旋回流が
生じ、この洗浄液Ｗによる流れとワーク８自体に作用す
る遠心力とによりワークに付着せる切粉、切削油、研磨
材等の異物（比較的大きな質量を有する異物）が除去さ
れる。この異物は、上部洗浄液Ｗ１内に混入されるが、
噴射ノズル６より洗浄液Ｗが順次噴射供給され、しかも
上部洗浄液Ｗ１にはワーク８による旋回流が発生してい
ることから、質量を有する異物は旋回流とともに旋回し
て下方へ沈下することなく上部洗浄液Ｗ１は洗浄槽１の
上部開口１Ａよりオーバーフロー室７Ａに良好に溢流
し、次いでオーバーフロー通路７Ｂより貯液槽２内へ還
流される。従って、上部洗浄液Ｗ１内に混入された異物
は洗浄槽１外へ効率よく排出することができ、洗浄槽１
内に異物が残存しない。

【００１０】第２洗浄工程は以下により行なわれる。ワ
ーク８はワーク支持体９にて回転状態に支持されるとと
もに前記第１洗浄工程の上方位置より更に下方へ移動さ
れて下部洗浄液Ｗ２内の噴射ノズル６に対向して配置さ
れる。（かかる工程におけるワーク８の位置は図１にお
いて一点鎖線で示される。）これによると、噴射ノズル
６の各噴孔から噴射される洗浄液Ｗは、洗浄槽１内の洗
浄液Ｗを通ってワーク８に達するが、この間において摩
擦によりキャビテーション気泡を発生する。このキャビ
テーション気泡は、噴孔より一定の距離において破壊し
て大きな衝撃圧を発生するもので、この衝撃圧と噴射さ
れた洗浄液Ｗとの物理的な直射力とによってワーク８の
異物は完全に除去される。かかる洗浄時において除去さ
れた異物は下部洗浄液Ｗ２内に混入されるが、洗浄槽１
内には噴射ノズル６より洗浄液Ｗが供給され、且つキャ
ビテーション作用後に残留する気泡とともに上方向へ流
れが指向し、洗浄槽１の上部開口１Ａよりオーバーフロ
ー室７Ａ内へ排出される。而して、一定時間（例えば１
０秒程度）経過後にワーク８を洗浄槽１より取り出す際
においてもワーク８は異物を含んだ洗浄液Ｗ中を通過す
る危険が少ないので良好なワーク洗浄を行なうことがで
きた。尚、第１洗浄工程、第２洗浄工程及び洗浄液から
のワークの取り出し、時間はワーク８の形状、異物の付
着度合によって適宜決定される。又、噴射ノズル６に穿
設される噴孔をワーク８に向けて複数設けたことによる
と、ワークに対して洗浄液をくまなく噴射することがで
きて洗浄効果を高めることができる。更にはワーク８が
噴射ノズル６に対向した状態においてワーク支持体９に
よって微少なる往復動を与えると前記と同様なる効果を
奏する。又、オーバーフロー手段７は前記具体例に限定
されるものでなく、洗浄槽内の上部にある洗浄液を排出
できる手段であれば良い。

【００１１】図２により本発明の第二の実施例について
説明する。図１と同一構造部分は同一符号を使用し説明
を省略する。１０は、洗浄槽１の下部洗浄液Ｗ２内に配
置された第１噴射ノズルであり、図１の噴射ノズル６に
相当する。この第１噴射ノズル１０は第１洗浄液噴射路
１１を介して洗浄液ポンプ３の吐出路３Ｂに連なる。１
２は、洗浄槽１の上部開口１Ａより上方の洗浄液外に配
置された第２噴射ノズルであって、本例においては、オ
ーバーフロー室７Ａ内にあって互いに対向して配置され
るもので各噴射ノズルの噴孔はワーク８に向かって複数
穿設される。本例にあってはこの第２噴射ノズル１２は
第１洗浄液噴射路１１より洗浄液切換弁１３を介して分
岐する第２洗浄液噴射路１４に連絡される。洗浄液切換
弁１３は、洗浄液ポンプ３と第１噴射ノズル１０とを第
１洗浄液噴射路１１を介して連通した際において、洗浄
液ポンプ３と第２噴射ノズル１２とを遮断し、一方洗浄
液ポンプ３と第１噴射ノズル１０との遮断時において、
洗浄液ポンプ３と第２噴射ノズル１２とを第１、第２洗
浄液噴射路１１、１４を介して連通する。

【００１２】次にワーク８の洗浄について説明する。第
１洗浄工程は以下により行なわれる。ワーク支持体９に
回転されて支持されたワーク８は洗浄槽１の上部洗浄液
Ｗ１内に浸漬され、（ワーク８は図２の鎖線に示され
る）一方洗浄液切換弁１３は洗浄液ポンプ３と第１噴射
ノズル１０とを連通し、洗浄液ポンプ３と第２噴射ノズ
ル１２を遮断する。この状態は図２に示される。これに
よると、洗浄槽１内には洗浄液Ｗが洗浄液ポンプ３より
供給されるとともにワーク８は回転状態で洗浄槽１の上
部洗浄液Ｗ１内に浸漬され、洗浄槽１内に供給される洗
浄液Ｗは洗浄槽１の上部開口１Ａより洗浄液Ｗがオーバ
ーフロー室７Ａに溢流した後にオーバーフロー通路７Ｂ
を介して貯液槽２内へ還流される。かかる第１洗浄工程
は、図１の実施例における第１洗浄工程と同様であるの
で説明を省略する。

【００１３】第２洗浄工程は以下により行なわれる。ワ
ーク８はワーク支持体９にて回転支持されるとともに前
記第１洗浄工程時におけるワーク８の位置より更に下方
へ移動されて下部洗浄液Ｗ２内の第１噴射ノズル１０に
対向して配置される。（ワーク８は図２において一点鎖
線で示される）この際、洗浄液ポンプ３より洗浄液Ｗは
洗浄液切換弁１３、第１洗浄液噴射路１１、第１噴射ノ
ズル１０を介して洗浄槽１内に継続して供給され、洗浄
槽１の上部開口１Ａよりオーバーフロー室７Ａ内に洗浄
液Ｗは溢流する。而して、かかる第２洗浄工程は、図１
の第１の実施例における第２洗浄工程と同様に行なわれ
るものであり、説明を省略する。

【００１４】次に第３洗浄工程について説明する。ワー
ク支持体９にて回転状態にあるワーク８は、洗浄槽１外
に配置され、（本実施例にあってはオーバーフロー室７
Ａ内に配置され、図２において二点鎖線で示される）第
２噴射ノズル１２に対向して配置される。一方、洗浄液
切換弁１３は操作されて、（具体的には洗浄液切換弁１
３は図２の状態より反時計方向へ９０度回転させる）洗
浄液ポンプ３と第１噴射ノズル１０との連通を遮断し、
洗浄液ポンプ３と第２噴射ノズル１２とを第２洗浄噴射
路１４を介して連通する。これによると、第２噴射ノズ
ル１２より加圧された洗浄液Ｗが回転状態にあるワーク
８に向けて噴射されるので仮にワーク８に異物が残存し
たとしても、この第３洗浄工程によって完全に洗浄しう
る。尚、第２噴射ノズル１２より噴射され、ワーク８を
洗浄した後の洗浄液Ｗはオーバーフロー室７Ａよりオー
バーフロー通路７Ｂを介して貯液槽２内へ環流される。
そして、ワーク８は前記第３洗浄工程を行なった後に洗
浄が完了し取り出される。又、図２の実施例は単一の洗
浄液ポンプと洗浄液切換弁を用いたが、第１、第２洗浄
噴射路にそれぞれ洗浄液ポンプを配置して時間差を設け
て駆動させてもよい。

【００１５】次に本発明の第三の実施例について説明す
る。本実施例は、図２に構成を付加することによって達
成される。２０は、第２洗浄液噴射路１４より分岐した
圧縮空気通路で該通路には圧縮空気開閉弁２１と空気ポ
ンプ２２が配置され、空気ポンプ２２は圧縮空気通路２
０に向けて圧縮空気を供給し、圧縮空気開閉弁２１は圧
縮空気通路２１を開閉する。

【００１６】以上によれば第三の実施例によるワークの
洗浄は以下の如く行なわれる。まず、第１洗浄工程、第
２洗浄工程、及び第３洗浄工程は、前述した第二の実施
例と同様に行なわれるもので、本実施例にあっては前記
第３洗浄工程のあとに乾燥工程を付加する。この乾燥工
程は以下により行なわれる。まず、第１噴射ノズル１
０、第２噴射ノズル１２への洗浄液ポンプ３からの洗浄
液Ｗの供給は停止される。具体的には洗浄液切換弁１３
を図２の状態から時計方向へ９０度回転させて各噴射ノ
ズル１０、１２と洗浄液ポンプ３とを遮断するか、ある
いは洗浄液ポンプ３の駆動を停止する。そして、圧縮空
気開閉弁２１を開放して圧縮空気通路２０と第２洗浄噴
射路１４とを連通状態とするとともに空気ポンプ２２を
駆動する。一方、ワーク８は第３洗浄工程が終了した状
態にあり、（図２においてワーク８は二点鎖線の状態）
ワーク８は洗浄槽１の洗浄液Ｗ外のオーバーフロー室７
Ａ内にあって第２噴射ノズル１２に対向するとともに回
転状態に配置される。以上によれば、空気ポンプ２２に
て加圧された圧縮空気は、圧縮空気通路２０、第２洗浄
液噴射路１４を介して第２噴射ノズル１２に達し、第２
噴射ノズル１２より回転状態にあるワーク８に向けて圧
縮空気が噴射される。而して、第３洗浄工程が終了して
未だ洗浄液Ｗが付着した状態にあるワーク８は圧縮空気
の噴射を受けて洗浄液Ｗが飛散し、即座にワーク８の乾
燥を行ない得るもので、ワーク８より完全に洗浄液を除
去した状態においてワーク８の乾燥を行なうことができ
たものである。

【００１７】又、図３に示した第四の実施例にあって
は、洗浄は第三の実施例と同様に第１洗浄工程、第２洗
浄工程、第３洗浄工程と乾燥工程とによって行なわれる
もので図２に示した洗浄装置と下記が異なる。（異なる
構成のみを説明し、他は図２と同一である。）すなわち
３０は図２における洗浄液切換弁１３と圧縮空気開閉弁
２１の両機能を備えた切換弁であり、この切換弁３０
は、洗浄液ポンプ３と第１噴射ノズル１０との連通時に
おいて洗浄液ポンプ３と第２噴射ノズル１２とを遮断す
るとともに空気ポンプ２２と第２噴射ノズル１２を遮断
する。この状態は図３に示される。又、洗浄液ポンプ３
と第２噴射ノズル１２との連通時において、洗浄液ポン
プ３と第１噴射ノズル１０とを遮断するとともに空気ポ
ンプ２２と第２噴射ノズル１０とを遮断する。（図３の
状態にある切換弁３０を９０度反時計方向に回転するこ
とによって達成される。）更に空気ポンプ３と第２噴射
ノズル１２との連通時において、洗浄液ポンプ３と、第
１噴射ノズル１０及び第２噴射ノズル１２とを遮断す
る。（図３の状態にある切換弁３０を１８０度反時計方
向へ回転することによって達成される。）以上による
と、切換弁、開閉弁を単一の弁とすることができ装置全
体を簡素化することができるとともにその操作を極めて
単純とすることができる。

【００１８】

【発明の効果】以上の如く、本発明になるワークの洗浄
方法及び装置によると、回転状態にあるワークを上部
洗浄槽内に浸漬する第１洗浄工程により、ワーク自身の
有する遠心力及びワークの回転による旋回流によって１
次洗浄を行ない、更に下部洗浄液内に開口する噴射ノズ
ルに対向してワークを回転して配置することにより、噴
射される洗浄液のキャビテーション作用によって２次洗
浄を行ない、しかも前記第１、第２洗浄工程において洗
浄槽内にある異物を含んだ洗浄液を洗浄槽の上部よりオ
ーバーフロー手段を介して洗浄槽外へ溢流させたので、
ワークの洗浄が二段階に渡って行なわれ、しかも洗浄槽
内の洗浄液は前記洗浄工程時において順次洗浄槽外へ排
出されたのでワークの洗浄効果を高めることができた。
前記、第１、第２洗浄工程に、ワークを洗浄槽の洗浄
液外へ回転状態に配置するとともに該ワークに向けて洗
浄液を噴射させる第３洗浄工程を加えたことによると、
ワークの洗浄効果を更に高めることができた。前記、
第１、第２、第３洗浄工程に、ワークを洗浄槽の洗浄液
外へ回転状態に配置するとともに該ワークに向けて空気
を噴射させる乾燥工程を加えたことによると、第３洗浄
工程終了後において同状態で即座にワークの乾燥が行な
いうるもので、ワークに付着せる洗浄液を吹き飛ばすし
てワークに洗浄液が付着しない状態でワークを乾燥させ
ることができたものでワークの洗浄度を高めることがで
きるとともにワークの洗浄、乾燥を一連の洗浄工程の中
で行なうことが可能となったもので洗浄、乾燥の工程時
間を大きく短縮可能としたものである。噴射ノズル、
第１、第２噴射ノズルのワークに向かう噴孔をワークに
対して複数設けたこと、あるいはワークが噴射ノズルに
対向した状態でワークを微少に往復動させたことによる
と洗浄液、空気をワークの全体に向けてくまなく噴射で
きるので洗浄効果の向上を達成できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明になるワークの洗浄装置の第一の実施例
を示す要部断面図を含む全体系統図である。

【図２】本発明になるワークの洗浄装置の第二及び第三
の実施例を示す要部断面図を含む全体系統図である。

【図３】本発明になるワークの洗浄装置の第四の実施例
を示す要部断面図を含む全体系統図である。

【符号の説明】

１ 洗浄槽 ２ 貯液槽 ３ 洗浄液ポンプ ５ 洗浄液噴射路 ６ 噴射ノズル ７ オーバーフロー手段 ８ ワーク Ｗ 洗浄液 Ｗ１ 上部洗浄液 Ｗ２ 下部洗浄液 １０ 第１噴射ノズル １１ 第１洗浄液噴射路 １２ 第２噴射ノズル １３ 洗浄液切換弁 １４ 第２洗浄液噴射路 ２０ 圧縮空気通路 ２２ 空気ポンプ ３０ 切換弁

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワーク支持体に固定されて回転状態にあ
   るワークを、洗浄液が満たされた洗浄槽の上部洗浄液内
   に浸漬する第１洗浄工程と、洗浄槽の上部洗浄液より下
   方位置の下部洗浄液内に回転状態にあるワークを配置
   し、該ワークに向けて洗浄槽の洗浄液内に開口する噴射
   ノズルより洗浄液を噴射する第２洗浄工程とよりなり洗
   浄槽の上部にある洗浄液をオーバーフロー手段を介して
   洗浄槽外へ排出させてなるワークの洗浄方法。
2. 【請求項２】 ワーク支持体に固定されて回転状態にあ
   るワークを、洗浄液が満たされた洗浄槽の上部洗浄液内
   に浸漬する第１洗浄工程と、洗浄槽の上部洗浄液より下
   方位置の下部洗浄液内に回転状態にあるワークを配置
   し、該ワークに向けて洗浄槽の洗浄液内に開口する噴射
   ノズルより洗浄液を噴射する第２洗浄工程と、回転状態
   にあるワークを洗浄槽の洗浄液外に配置し、ワークに向
   けて噴射ノズルより洗浄液を噴射する第３洗浄工程とよ
   りなり、洗浄槽の上部にある洗浄液をオーバーフロー手
   段を介して洗浄槽外へ排出させてなるワークの洗浄方
   法。
3. 【請求項３】 ワーク支持体に固定されて回転状態にあ
   るワークを、洗浄液が満たされた洗浄槽の上部洗浄液内
   に浸漬する第１洗浄工程と、洗浄槽の上部洗浄液より下
   方位置の下部洗浄液内に回転状態にあるワークを配置
   し、該ワークに向けて洗浄槽の洗浄液内に開口する噴射
   ノズルより洗浄液を噴射する第２洗浄工程と、回転状態
   にあるワークを洗浄槽の洗浄液外に配置し、ワークに向
   けて噴射ノズルより洗浄液を噴射する第３洗浄工程と、
   洗浄槽の洗浄液外に回転状態にて配置されたワークに向
   けて空気を噴射する乾燥工程とよりなり、洗浄槽の上部
   にある洗浄液をオーバーフロー手段を介して洗浄槽外へ
   排出させてなるワークの洗浄方法。
4. 【請求項４】 ワークを固定的に取着し、ワークに対し
   て回転と直線方向の往復動を付与するワーク支持体と、
   洗浄液が貯溜される洗浄槽と、洗浄槽内の上部にある洗
   浄液を洗浄槽外へ排出するオーバーフロー手段と、洗浄
   槽内の下部洗浄液内に配置され、洗浄液ポンプにて加圧
   された貯液槽内の洗浄液を下部洗浄液内に配置されるワ
   ークに向けて噴射する噴射ノズルとを備えてなるワーク
   の洗浄装置。
5. 【請求項５】 ワークを固定的に取着し、ワークに対し
   て回転と直線方向の往復動を付与するワーク支持体と、
   洗浄液が貯溜される洗浄槽と、洗浄槽内の上部にある洗
   浄液を洗浄槽外へ排出するオーバーフロー手段と、洗浄
   槽内の下部洗浄液内に配置され、洗浄液ポンプにて加圧
   された貯液槽内の洗浄液を下部洗浄液内に配置されるワ
   ークに向けて第１洗浄液噴射路を介して噴射する第１噴
   射ノズルと、洗浄槽の洗浄液外に配置され、洗浄液ポン
   プにて加圧された貯液槽内の洗浄液を洗浄槽の洗浄液外
   に配置されるワークに向けて第２洗浄液噴射路を介して
   噴射する第２噴射ノズルとを備えてなるワークの洗浄装
   置。
6. 【請求項６】 前記、第２洗浄液噴射路を第１洗浄液噴
   射路より洗浄液切換弁を介して分岐し、洗浄液ポンプと
   第１噴射ノズルとの連通時において洗浄液ポンプと第２
   噴射ノズルとを遮断し、洗浄液ポンプと第２噴射ノズル
   との連通時において洗浄液ポンプと第１噴射ノズルとを
   遮断してなる請求項５記載のワークの洗浄装置。
7. 【請求項７】 ワークを固定的に取着し、ワークに対し
   て回転と直線方向の往復動を付与するワーク支持体と、
   洗浄液が貯溜される洗浄槽と、洗浄槽内の上部にある洗
   浄液を洗浄槽外へ排出するオーバーフロー手段と、洗浄
   槽内の下部洗浄液内に配置され、洗浄液ポンプにて加圧
   された貯液槽内の洗浄液を下部洗浄槽内に配置されるワ
   ークに向けて第１洗浄液噴射路を介して噴射する第１噴
   射ノズルと、洗浄槽の洗浄液外に配置され、洗浄液ポン
   プにて加圧された貯液槽内の洗浄液を洗浄槽の洗浄液外
   に配置されるワークに向けて第２洗浄液噴射路を介して
   噴射する第２噴射ノズルと、一端が第２洗浄液噴射路に
   連なり他端が空気ポンプに連なる圧縮空気通路と、洗浄
   液ポンプと第１噴射ノズルとの連通時において、洗浄液
   ポンプと第２噴射ノズルとを遮断するとともに空気ポン
   プと第２噴射ノズルとを遮断し、洗浄液ポンプと第２噴
   射ノズルとの連通時において、洗浄液ポンプと第１噴射
   ノズルとを遮断するとともに、空気ポンプと第２噴射ノ
   ズルとを遮断し、一方、空気ポンプと第２噴射ノズルと
   の連通時において、洗浄液ポンプと第１噴射ノズル、第
   ２噴射ノズルとを遮断する切換弁とを備えてなるワーク
   の洗浄装置。
8. 【請求項８】 前記噴射ノズル又は第１、第２噴射ノズ
   ルのワークに向かう噴孔を複数設けてなる請求項４項、
   ５項、７項記載のワークの洗浄装置。
9. 【請求項９】 前記ワークを噴射ノズルに対向した状態
   において直線方向に微少に往復動させてなる請求項４
   項、５項、７項記載のワークの洗浄装置。