JPH05343770A - レーザーダイオードポンピング固体レーザー - Google Patents

レーザーダイオードポンピング固体レーザー

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JPH05343770A
JPH05343770A JP4149773A JP14977392A JPH05343770A JP H05343770 A JPH05343770 A JP H05343770A JP 4149773 A JP4149773 A JP 4149773A JP 14977392 A JP14977392 A JP 14977392A JP H05343770 A JPH05343770 A JP H05343770A
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laser beam
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Nobuharu Nozaki
信春 野崎
Shinji Mitsumoto
真司 三本
Yoji Okazaki
洋二 岡崎
Takashi Adachi
貴志 足立
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Fuji Photo Film Co Ltd
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    • H01S3/00Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
    • H01S3/09Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
    • H01S3/091Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping
    • H01S3/094Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light
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    • H01S3/09415Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping using optical pumping by coherent light of a laser diode the pumping beam being parallel to the lasing mode of the pumped medium, e.g. end-pumping
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 固体レーザー媒質をレーザーダイオードによ
りポンピングするレーザーダイオードポンピング固体レ
ーザーにおいて、レーザーダイオードへの戻り光を低減
する。 【構成】 半導体レーザー10から発せられたポンピング
用レーザービーム14を固体レーザー媒質であるNd:Y
AG結晶12内で収束させる集光レンズ11を、その光軸O
が半導体レーザー10の発光中心Qに対して半導体レーザ
ー活性層10aの幅方向にずれるように配置する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はレーザーダイオードポン
ピング固体レーザーに関し、特に詳細には、レーザーダ
イオード(半導体レーザー)への戻り光を低減できるよ
うにしたレーザーダイオードポンピング固体レーザーに
関するものである。
【0002】
【従来の技術】例えば特開昭62-189783 号公報に示され
るように、ネオジウム等の希土類が添加された固体レー
ザー媒質を半導体レーザーによってポンピングするレー
ザーダイオードポンピング固体レーザーが公知となって
いる。この種のレーザーダイオードポンピング固体レー
ザーにおいては、多くの場合、半導体レーザーから発せ
られたポンピング光としてのレーザービームを集光レン
ズにより集光して、固体レーザー媒質中において収束さ
せるようにしている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし上記のレーザー
ダイオードポンピング固体レーザーにおいては、従来、
固体レーザー媒質からの戻り光のために半導体レーザー
の発振が不安定になり、その発振ビームの強度や発振波
長が揺らいで、ノイズや出力変動が生じるという問題が
多く認められていた。このように固体レーザー媒質から
多くの戻り光が生じることの主な原因は、半導体レーザ
ーのビーム出射端と固体レーザー媒質表面とが、それら
の間に配された集光レンズについて共焦点関係になるこ
とにある。
【0004】そこで従来より、集光レンズによる結像位
置に固体レーザー媒質表面が位置しないようにして戻り
光を低減する試みもなされているが、それでもまだ高い
出力安定性を実現するには至っていない。
【0005】本発明は上記のような事情に鑑みてなされ
たものであり、半導体レーザーへの戻り光を著しく低減
して、出力が十分に安定したレーザーダイオードポンピ
ング固体レーザーを提供することを目的とするものであ
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明によるレーザーダ
イオードポンピング固体レーザーは、前述したように半
導体レーザーから発せられたポンピング光としてのレー
ザービームを集光レンズで集光し、固体レーザー媒質中
で収束させるようにしたレーザーダイオードポンピング
固体レーザーにおいて、集光レンズが、その光軸を半導
体レーザーの発光中心に対して半導体レーザー活性層の
幅方向にずらして配置されていることを特徴とするもの
である。
【0007】
【作用および発明の効果】上述のように集光レンズを配
置すると、そこを通過した半導体レーザービームは固体
レーザー媒質表面に斜め入射するので、この表面で反射
した半導体レーザービームが入射光路とは異なる光路を
辿るようになって、半導体レーザーへの戻り光が低減す
ると考えられる。
【0008】そして本発明においては、集光レンズを半
導体レーザーの発光中心に対してずらす方向を半導体レ
ーザー活性層の幅方向としているため、僅かのずらし量
で戻り光低減の効果が顕著に得られるものとなってい
る。以下、この点について詳しく説明する。
【0009】図3に示すように、半導体レーザー10と、
屈折率分布型の集光レンズ11と、固体レーザー媒質12
と、共振器ミラー13とから構成されたレーザーダイオー
ドポンピング固体レーザーにおいて、集光レンズ11の光
軸を半導体レーザー10の発光中心からずらした場合の半
導体レーザー10のノイズ発生状況を調べた。ここで半導
体レーザー10の発光中心からレーザービーム14の進行方
向に延びる軸Zを考え、そしてこの軸Zから半導体レー
ザー活性層10aの幅方向、厚さ方向へのずれ量をそれぞ
れX座標、Y座標で規定する。
【0010】図4と図5は各々、集光レンズ11の光軸を
Z軸からY方向、X方向にずらした場合のノイズ発生状
況を示している。これら両図における横軸は集光レンズ
11の光軸と半導体レーザー10の発光中心とのずれ量(m
m)であり、縦軸は半導体レーザー10の出力に対するノ
イズの比率(ピーク・トゥー・ピーク値での比率)であ
る。図4に示される通り、集光レンズ11の光軸をZ軸か
らY方向(活性層厚さ方向)にずらした場合は、ずらし
量を0.2 あるいは0.3 mm以上としないと、ずらさない
場合つまりY=0のときと比べて顕著なノイズ低減効果
が得られない。それに対して集光レンズ11の光軸をZ軸
からX方向(活性層幅方向)にずらす場合は、図5に示
される通り、ずらし量を0.1 mm以上にすれば顕著なノ
イズ低減効果が得られるようになる。
【0011】上記のように集光レンズのずらし量を少な
くすることができれば、固体レーザー媒質に入射するポ
ンピング光としての半導体レーザービームの光量を高く
保ち、高強度の固体レーザービームが得られるようにな
る。
【0012】
【実施例】以下、図面に示す実施例に基づいて本発明を
詳細に説明する。
【0013】図1は、本発明の第1実施例によるレーザ
ーダイオードポンピング固体レーザーの平面形状を示す
ものである。このレーザーダイオードポンピング固体レ
ーザーは、ポンピング光としてのレーザービーム14を発
する半導体レーザー10と、ネオジウム(Nd)がドーピ
ングされた固体レーザー媒質であるYAG結晶(以下、
Nd:YAG結晶と称する)12と、半導体レーザー10か
ら発散光状態で出射したレーザービーム14を集光してN
d:YAG結晶12中で収束させる集光レンズ11と、N
d:YAG結晶12の前方側(図中右方側)に配された共
振器ミラー13とからなる。なお半導体レーザー10は、図
示しないペルチェ素子と温調回路とにより所定温度に温
調される。
【0014】半導体レーザー10としては、一例としてソ
ニー株式会社製の出力500 mWのXT−303 が用いられ
ている。この半導体レーザー10は、波長λ1 =808 nm
のレーザービーム14を発する。集光レンズ11としては、
ピッチが0.25の屈折率分布型レンズ(商品名:セルフォ
ックレンズ)が用いられている。この集光レンズ11のレ
ーザービーム14に対する端面反射率は0.1 %である。一
方、共振器ミラー13のミラー面13aの曲率半径R=20m
mである。またNd:YAG結晶12は、Ndが例えば1
at%ドーピングされて、厚さ1mmに形成されたもの
である。
【0015】このNd:YAG結晶12は、その中で収束
する上記レーザービーム14によってネオジウム原子が励
起されることにより、波長λ2 =946 nmのレーザービ
ーム16を発する。なおこのNd:YAG結晶12からは、
波長λ3 =1064nmのレーザービームも発せられる。N
d:YAG結晶12の両端面12a、12bおよび共振器ミラ
ー13のミラー面13aには所定のコーティングが施され、
それら各面の波長λ1=808 nm、λ2 =946 nmおよ
びλ3 =1064nmに対する反射率は以下の通りとなって
いる。
【0016】 λ1 =808 nm λ2 =946 nm λ3 =1064nm 端面12a 約2% 99.8%以上 60%以下 端面12b 約5% 1%以下 10%以下 ミラー面13a − 99.8%以上 したがって、レーザービーム16は端面12a、13a間でレ
ーザー発振し、その一部が共振器ミラー13を透過して取
り出される。また波長λ3 =1064nmのレーザービーム
のゲインは低く抑えられる。
【0017】本装置においては集光レンズ11が、その光
軸Oが半導体レーザー10の発光中心Qに対して半導体レ
ーザー活性層10aの幅方向(図1中で上下方向)に0.1
mmずれた状態に配置されている。それにより、Nd:
YAG結晶12の入射端面12aで反射して半導体レーザー
10に戻る戻り光が低減する。
【0018】先に説明した図5のグラフは、この第1実
施例の装置において、集光レンズ11の光軸Oと半導体レ
ーザー10の発光中心Qのずれ量を種々に変化させたとき
の半導体レーザーノイズを測定した結果を示している。
この図5から明らかなように、上記のずれ量を0.1 mm
とした本実施例装置においては、十分なノイズ低減効果
が得られる。また、半導体レーザー10への戻り光が低減
するから、その発振波長の変動も抑えられ、Nd:YA
G結晶12へのレーザービーム14の吸収率の変動も減少す
る。そこで、固体レーザービーム16の出力が極めて安定
することになる。
【0019】そして、上記のように集光レンズ11のずら
し量を少なくすることができれば、Nd:YAG結晶12
に入射するレーザービーム14の光量を高く保ち、高強度
の固体レーザービーム16が得られるようになる。
【0020】次に図2を参照して、本発明の第2実施例
について説明する。この第2実施例装置は図1に示した
第1実施例装置と比べると、固体レーザー媒質としてN
d:YAG結晶12に代えてNd:YVO4 結晶20が用い
られている点が基本的に異なる。また半導体レーザー10
は第1実施例と同じもので温調も第1実施例と同様にな
されるが、その出力は200 mWである。そして共振器ミ
ラー13の曲率半径R=20mmである。この構成において
は、波長λ1 =808 nmのレーザービーム14によってN
d:YVO4 結晶20が励起されてそこから波長λ2 =10
64nmのレーザービーム21が発せられる。
【0021】Nd:YVO4 結晶20の両端面20a、20b
および共振器ミラー13のミラー面13aの波長λ1 =808
nmおよびλ2 =1064nmに対する反射率は以下の通り
である。 λ1 =808 nm λ2 =1064nm 端面20a 約2% 99.8%以上 端面20b 約5% 2%以下 ミラー面13a − 99.8%以上 したがって、レーザービーム21は端面20a、13a間でレ
ーザー発振し、その一部が共振器ミラー13を透過して取
り出される。
【0022】本装置においても集光レンズ11は、その光
軸Oが半導体レーザー10の発光中心Qに対して半導体レ
ーザー活性層10aの幅方向(図2中で上下方向)に0.1
mmずれた状態に配置されている。それにより、Nd:
YVO4 結晶20の入射端面20aで反射して半導体レーザ
ー10に戻る戻り光が低減し、固体レーザービーム21の出
力が極めて安定することになる。
【0023】なお以上説明した2つの実施例において
は、集光レンズ11の光軸と半導体レーザー10の発光中心
とのずれ量を0.1 mmに設定しているが、本発明におけ
るこのずれ量は0.1 mmに限られるものではなく、適宜
その他の値に設定されても構わない。
【0024】また、本発明において用いられる固体レー
ザー媒質は、以上説明した実施例におけるNd:YVO
4 やNd:YAGに限られるものではなく、その他の公
知のもの、例えばNYAB、LNP、Nd:YLFを適
宜用いることができる。
【0025】また本発明は、例えば共振器内部に非線形
光学材料の結晶を配置して固体レーザービームを第2高
調波等に波長変換するレーザーダイオードポンピング固
体レーザーに対しても適用可能である。以下、そのよう
に形成された本発明の第3実施例について、図6を参照
して説明する。この第3実施例装置は図2に示した第2
実施例装置と比べると、Nd:YVO4 結晶20と共振器
ミラー13との間に、非線形光学材料であるKTP結晶23
が配設されている点が基本的に異なる。そして半導体レ
ーザー10は第1および第2実施例と同様に温調され、ま
たKTP結晶23を含む固体レーザー共振器全体も、図示
しないペルチェ素子と温調回路により所定温度に温調さ
れる。
【0026】この構成においては、波長λ2 =1064nm
のレーザービーム21がKTP結晶23により、波長λ3
λ2 /2=532 nmの第2高調波22に波長変換される。
ここで、Nd:YVO4 結晶20の両端面20a、20b、K
TP結晶23の両端面23a、23bおよび共振器ミラー13の
ミラー面13aの波長λ1 =808 nm、λ2 =1064nmお
よびλ3 =532 nmに対する反射率は以下の通りであ
る。
【0027】 λ1 =808 nm λ2 =1064nm λ3 =532 nm 端面20a 約2% 99.8%以上 − 端面20b 約5% 2%以下 90%以上 端面23a − 0.2%以下 1%以下 端面23b − 0.2%以下 1%以下 ミラー面13a − 99.8%以上 10%以下 したがってレーザービーム21は端面20a、13a間でレー
ザー発振する。また第2高調波22も端面20b、13a間で
共振し、その一部が共振器ミラー13を透過して取り出さ
れる。
【0028】この第3実施例においては、集光レンズ11
の光軸と半導体レーザー10の発光中心とのX方向ずれ量
が0.16mmに設定されている。その場合、波長532 nm
の第2高調波22の出力変動は±2.3 %、ノイズは1.3 %
p−pであった。それに対して、上記ずれ量を0(ゼ
ロ)に設定しその他の構成はこの第3実施例装置と同様
とした比較例においては、第2高調波22の出力変動は±
20%であり、また明らかな出力ジャンプが生じた。以上
により、本実施例においても戻り光低減効果が得られて
いることが明らかである。
【0029】なお、上記のように固体レーザービームを
波長変換する場合に使用される非線形光学材料として
は、KTPの他に例えばBNNB、KNbO3 、LiI
3 、Urea、特開平2-77181 号公報に示される
(3,5−ジメチル−1−(4−ニトロフェニル)ピラ
ゾール、特開平2-28号公報に示される(3,5−ジメチ
ル−1−(4−ニトロフェニル)−1,2,4−トリア
ゾール等が挙げられる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例装置の平面図
【図2】本発明の第2実施例装置の平面図
【図3】本発明における半導体レーザーと集光レンズと
の相対配置関係を説明する概略図
【図4】半導体レーザーと集光レンズとを、本発明にお
けるのとは別の方向にずらした場合の半導体レーザーノ
イズ量とずらし量との関係の一例を示すグラフ
【図5】半導体レーザーと集光レンズとを、本発明で規
定した方向にずらした場合の半導体レーザーノイズ量と
ずらし量との関係の一例を示すグラフ
【図6】本発明の第3実施例装置の平面図
【符号の説明】
10 半導体レーザー 10a 半導体レーザーの活性層 11 集光レンズ 12 Nd:YAG結晶 13 共振器ミラー 14 レーザービーム(ポンピング光) 16、21 固体レーザービーム 20 Nd:YVO4 結晶 22 第2高調波 23 KTP結晶 O 集光レンズの光軸 Q 半導体レーザーの発光中心
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 足立 貴志 神奈川県足柄上郡開成町宮台798番地 富 士写真フイルム株式会社内

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ネオジウム等の希土類が添加された固体
    レーザー媒質と、 この固体レーザー媒質をポンピングするレーザービーム
    を発する半導体レーザーと、 このレーザービームを前記固体レーザー媒質中において
    収束させる集光レンズとを備えたレーザーダイオードポ
    ンピング固体レーザーにおいて、 前記集光レンズが、その光軸を前記半導体レーザーの発
    光中心に対して半導体レーザー活性層の幅方向にずらし
    て配置されていることを特徴とするレーザーダイオード
    ポンピング固体レーザー。
  2. 【請求項2】 固体レーザー共振器内に、前記固体レー
    ザー媒質から発せられたレーザービームを波長変換する
    非線形光学材料が配されていることを特徴とする請求項
    1記載のレーザーダイオードポンピング固体レーザー。
JP4149773A 1992-06-10 1992-06-10 レーザーダイオードポンピング固体レーザー Pending JPH05343770A (ja)

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JP4149773A JPH05343770A (ja) 1992-06-10 1992-06-10 レーザーダイオードポンピング固体レーザー
US08/070,922 US5315613A (en) 1992-06-10 1993-06-04 Laser diode pumped solid laser

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