JP3420804B2 - 固体レーザー - Google Patents
固体レーザーInfo
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Description
によってポンピングする固体レーザーに関し、特に詳細
には、波長変換機能を備え、そして単一縦モード化が図
られた固体レーザーに関するものである。
るように、ネオジウム(Nd)が添加された固体レーザ
ー結晶を半導体レーザー等から発せられた光によってポ
ンピングする固体レーザーが公知となっている。またこ
の種の固体レーザーにおいては、より短波長のレーザー
ビームを得るために、その共振器内に非線形光学材料の
結晶を配置して、固体レーザービームを第2高調波等に
波長変換することも広く行なわれている。
しては、その他の種類のレーザー装置と同様に、縦モー
ド競合による出力変動を抑えるために、単一縦モードで
発振させたいという要求がある。そのために従来より、
例えばJapanese Journal ofApplied Physics (ジャパ
ニーズ・ジャーナル・オブ・アプライド・フィジック
ス)Vol.32(1993)pp.97 〜98に記載されているよう
に、レーザー共振器内にKTP等のタイプIIの位相整合
をする非線形光学結晶と、固体レーザービームの特定の
1つの向きの直線偏光成分のみを通過させるブリュース
タ板等の偏光制御素子とを挿入することが提案されてい
る。
スタ板等の偏光制御素子を用いて単一縦モード化を図る
従来の固体レーザーにおいては、縦モードを安定して単
一化することが困難となっている。すなわち、固体レー
ザーに経時変化や環境条件の変化が加わったり、あるい
は組立て上の個体差が存在すると、縦モードが簡単にホ
ップしてしまうことが認められている。
であり、固体レーザービームの縦モードを安定して単一
化することができ、それにより、ノイズの少ない安定し
た出力の波長変換波を得ることができる固体レーザーを
提供することを目的とするものである。
レーザーは、前述したようにネオジウム(Nd)が添加
された固体レーザー結晶を光によってポンピングし、そ
れにより発せられた固体レーザービームを、共振器内に
配したタイプIIの位相整合をする非線形光学結晶により
波長変換するとともに、共振器内に、固体レーザービー
ムの特定の1つの向きの直線偏光成分のみを通過させる
偏光制御素子が挿入された固体レーザーにおいて、固体
レーザー結晶として、ネオジウム濃度が2.2 〜4.0 at
%の範囲にあるNd:YVO4 結晶が用いられたことを
特徴とするものである。
上記と同じく、ネオジウム(Nd)が添加された固体レ
ーザー結晶を光によってポンピングし、それにより発せ
られた固体レーザービームを、共振器内に配したタイプ
IIの位相整合をする非線形光学結晶により波長変換する
とともに、共振器内に、固体レーザービームの特定の1
つの向きの直線偏光成分のみを通過させる偏光制御素子
が挿入された固体レーザーにおいて、固体レーザー結晶
として、ポンピング光の吸収係数が70-1cm以上のものが
用いられたことを特徴とするものである。
は、上記と同じく、ネオジウム(Nd)が添加された固
体レーザー結晶を光によってポンピングし、それにより
発せられた固体レーザービームを、共振器内に配したタ
イプIIの位相整合をする非線形光学結晶により波長変換
するとともに、共振器内に、固体レーザービームの特定
の1つの向きの直線偏光成分のみを通過させる偏光制御
素子が挿入された固体レーザーにおいて、固体レーザー
結晶として、Nd:S−VAP結晶が用いられたことを
特徴とするものである。
Nd:YVO4 結晶のようにポンピング光の吸収係数が
比較的大きい固体レーザー結晶を用いても安定して単一
縦モード化できない事態は、非線形光学結晶として、タ
イプIIの位相整合をする例えばKTP結晶を用いた際に
顕著に起きることが分かった。さらに、ブリュースタ板
等の偏光制御素子を用いても安定して単一縦モード化で
きない場合があるが、ネオジウム濃度を2.2 at%以上
とかなり高く設定しておけば、安定な単一縦モードが得
られることが判明した。その理由は、実施例と関連付け
て後に詳述する。
ウム濃度をあまりに高く設定すると、結晶に脈理が生じ
るために固体レーザーの出力が低下し、波長変換波が全
く出力されないこともある。そのような傾向は、ネオジ
ウム濃度が4.0 at%を超えると顕著になるので、本発
明においてはNd:YVO4 結晶のネオジウム濃度の上
限値を4.0 at%とするものである。
%のNd:YVO4 結晶に相当する、ポンピング光の吸
収係数が70-1cm以上の固体レーザー結晶を用いても、同
様の効果が得られる。そのような固体レーザー結晶とし
て具体的には、Nd:YVO4 、Nd:GdVO4 、L
NP、NPPの結晶等が挙げられる。
ースタ板等の偏光制御素子を用いても安定して単一縦モ
ード化できない事態は、固体レーザー結晶として、発振
ゲイン幅が特に狭いNd:S−VAP(Nd3+:Sr5
(VO4 )3 F)結晶を用いても効果的に防止可能であ
る。
詳細に説明する。図1は、本発明の一実施例によるレー
ザーダイオードポンピング固体レーザーを示すものであ
る。このレーザーダイオードポンピング固体レーザー
は、ポンピング光としてのレーザービーム10を発する半
導体レーザー(フェーズドアレイレーザー)11と、発散
光である上記レーザービーム10を平行光化するコリメー
ターレンズ12Aと、平行光化したレーザービーム10を集
束させる集光レンズ12Bと、ネオジウム(Nd)がドー
プされた固体レーザー媒質であるYVO4 結晶(以下、
Nd:YVO4結晶と称する)13と、このNd:YVO
4 結晶13の前方側(図中右方側)に配された共振器ミラ
ー14とからなる。
ー14との間には、タイプIIの位相整合をする非線形光学
材料であるKTP結晶15が配されている。また、このK
TP結晶15とNd:YVO4 結晶13との間には、偏光制
御素子としてのブリュースタ板16が挿入されている。本
実施例においてNd:YVO4 結晶13の厚さは1mm、
KTP結晶15の厚さは5mmである。
ず)にマウントされて一体化されている。なおフェーズ
ドアレイレーザー11およびKTP結晶15は、図示しない
ペルチェ素子と温調回路により、所定温度に温調され
る。
=808 nmのレーザービーム10を発するものが用いられ
ている。Nd:YVO4 結晶13は、上記レーザービーム
10によってネオジウム原子が励起されることにより、波
長λ2 =1064nmのレーザービーム21を発する。このレ
ーザービーム21はKTP結晶15に入射して、波長λ3 =λ
2 /2=532 nmの第2高調波22に変換される。
13aおよび前側端面13b、KTP結晶15の後側端面15a
および前側端面15b、そして共振器ミラー14の凹面とさ
れたミラー面14aには、波長λ1 =808 nm、λ2 =10
64nm、λ3 =532 nmに対してそれぞれ下記の特性と
なるコートが施されている。なおARは無反射(透過率
99%以上)、HRは高反射(反射率99.9%以上)を示
す。
ム21はNd:YVO4 結晶13の端面13aとミラー面14a
との間で共振する。このようにレーザービーム21は、共
振により高強度化してKTP結晶15に入射するので、効
率良く第2高調波22が発生する。前方側に出射した第2
高調波22は直接的に、一方、後方側に出射した第2高調
波22はNd:YVO4 結晶端面13bで反射した後に共振
器ミラー14から出射する。
スタ板16は、Nd:YVO4 結晶13のc軸と平行な向き
の直線偏光のみを通過させる。またKTP結晶15は、そ
の結晶軸が上記直線偏光の向きに対して光軸回りに約45
°傾いた状態で配置されている。この構成においてはK
TP結晶15が位相板として作用し、基本波としてのレー
ザービーム21がこのKTP結晶15を通過すると、それは
一般に楕円偏光となる。ブリュースタ板16を通過後、K
TP結晶15を通過し、共振器ミラー14で反射し、再度K
TP結晶15を通過してブリュースタ板16に戻ってきたレ
ーザービーム21が上記のようにして楕円偏光になってい
ると、損失が大きくなって発振不可能になる。
ム21に対して特にλ/2板またはλ板として作用する場
合は、ブリュースタ板16に戻ってきたレーザービーム21
の偏光状態は、該ブリュースタ板16が上記のように規定
する直線偏光と一致する。そこでこの場合は、レーザー
ビーム21の損失が低く抑えられて発振可能となる。した
がって、KTP結晶15を、特定波長に対してλ/2板ま
たはλ板として作用する厚さとしておけば、この特定波
長でレーザービーム21が単一縦モード化され、したがっ
て第2高調波22も単一縦モード化される。
VO4 結晶13としてネオジウム濃度が3.0 at%のもの
が用いられているので、共振器温度が変化しても基本波
(レーザービーム21)のモードホップが起き難くなって
いる。図2は、この共振器温度変化に対するレーザービ
ーム21の縦モード変化状態を概略的に示すものであり、
図示されるように、共振器温度が1.0 ℃の広い範囲で、
基本波のモードホップが無い領域が得られている。
ードを安定して単一化できる構成を見出すために作成し
た比較例について説明する。
それぞれ2.0 at%、1.0 at%とし、それ以外の点は
上記実施例と同様にした比較例としての2つのレーザー
ダイオードポンピング固体レーザーを作成した。それら
について、上記と同様に、共振器温度変化に対するレー
ザービーム21の縦モード変化状態を調べた結果を、それ
ぞれ図3、図4に示す。図示される通り、基本波(レー
ザービーム21)のモードホップが無い共振器温度範囲
は、ネオジウム濃度が2.0 at%の場合は0.6 ℃、1.0
at%の場合は0.3 ℃であった。
10の出力が変化すると、レーザービーム21がモードホッ
プする温度も変化する。実用上発生し得るこの励起パワ
ーの変化幅最大値を100 mWと考え、この励起パワー変
化幅に対するモードホップ温度の変化幅を上記実施例お
よび2つの比較例について調べたところ、いずれも約0.
5 ℃であった。また現在の温調技術によれば、環境温度
変化や経時変化に対し、共振器温度を通常±0.1 ℃程度
の精度で制御可能である。
振器温度範囲が0.5 +0.2 =0.7 ℃確保されていれば、
励起パワーの変化、環境温度変化、および経時変化に対
して、基本波モードホップの無い安定した出力の固体レ
ーザーが得られることになる。基本波モードホップが生
じない共振器温度範囲は、上記実施例および2つの比較
例の場合、それぞれ1.0 ℃(ネオジウム濃度3.0 at
%)、0.6 ℃(ネオジウム濃度2.0 at%)、0.3 ℃
(ネオジウム濃度1.0 at%)であるので、これらの値
から基本波モードホップが生じない共振器温度範囲0.7
℃を得るネオジウム濃度を内挿予測すると、2.2 at%
となる。
d:YVO4 結晶のネオジウム濃度の下限値を2.2 at
%とするものである。なお、ネオジウム濃度の上限値4.
0 at%の根拠は、先に説明した通りである。
O4 結晶を用いる実施例について説明したが、固体レー
ザー結晶として、前述のポンピング光の吸収係数が70-1
cm以上の結晶や、Nd:S−VAP結晶を用いるように
してもよい。また本発明は、KTP結晶以外のタイプII
の位相整合をする非線形光学結晶を用いる場合にも適用
可能である。
ンピング固体レーザーを示す概略側面図
体レーザーにおける共振器温度変化に対する縦モード変
化状態を示すグラフ
対する縦モード変化状態の一例を示すグラフ
対する縦モード変化状態の別の例を示すグラフ
Claims (3)
- 【請求項1】 ネオジウム(Nd)が添加された固体レ
ーザー結晶を光によってポンピングし、 それにより発せられた固体レーザービームを、共振器内
に配したタイプIIの位相整合をする非線形光学結晶によ
り波長変換するとともに、 共振器内に、固体レーザービームの特定の1つの向きの
直線偏光成分のみを通過させる偏光制御素子が挿入され
た固体レーザーにおいて、 前記固体レーザー結晶として、ネオジウム濃度が2.2 〜
4.0 at%の範囲にあるNd:YVO4 結晶が用いられ
ていることを特徴とする固体レーザー。 - 【請求項2】 ネオジウム(Nd)が添加された固体レ
ーザー結晶を光によってポンピングし、 それにより発せられた固体レーザービームを、共振器内
に配したタイプIIの位相整合をする非線形光学結晶によ
り波長変換するとともに、 共振器内に、固体レーザービームの特定の1つの向きの
直線偏光成分のみを通過させる偏光制御素子が挿入され
た固体レーザーにおいて、 前記固体レーザー結晶として、ポンピング光の吸収係数
が70-1cm以上のものが用いられていることを特徴とする
固体レーザー。 - 【請求項3】 ネオジウム(Nd)が添加された固体レ
ーザー結晶を光によってポンピングし、 それにより発せられた固体レーザービームを、共振器内
に配したタイプIIの位相整合をする非線形光学結晶によ
り波長変換するとともに、 共振器内に、固体レーザービームの特定の1つの向きの
直線偏光成分のみを通過させる偏光制御素子が挿入され
た固体レーザーにおいて、 前記固体レーザー結晶として、Nd:S−VAP結晶が
用いられていることを特徴とする固体レーザー。
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---|---|---|---|
JP27639593A JP3420804B2 (ja) | 1993-11-05 | 1993-11-05 | 固体レーザー |
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JPH07131099A JPH07131099A (ja) | 1995-05-19 |
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JP27639593A Expired - Fee Related JP3420804B2 (ja) | 1993-11-05 | 1993-11-05 | 固体レーザー |
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---|---|---|---|---|
US9905991B2 (en) * | 2014-08-18 | 2018-02-27 | Coherent Lasersystems Gmbh & Co. Kg | Optically pumped semiconductor laser with mode tracking |
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1993
- 1993-11-05 JP JP27639593A patent/JP3420804B2/ja not_active Expired - Fee Related
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