JP3222340B2 - 単一縦モードレーザー - Google Patents

単一縦モードレーザー

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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はNd:YAGレーザーに
関し、特に詳細には、共振器内にエタロンを配して発振
モードを単一縦モード化するレーザーに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来より、Nd:YAGつまりネオジウ
ム(Nd)が添加されたYAGの 0.9μm帯の発振を利
用する固体レーザーが種々提供されている。この種のレ
ーザーにおいては、例えば特開平5-218556号公報、同6-
130328号公報、特願平5-289082号明細書等に示されるよ
うに、共振器内にファブリー・ペロー型エタロン(本明
細書における「エタロン」は、すべてこのファブリー・
ペロー型エタロンを指すものである)を配して発振モー
ドを単一縦モード化することも広く行なわれている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このようにエ
タロンを用いて単一縦モード化を図る従来のNd:YA
Gレーザーにおいては、良好な単一縦モード性が得られ
るエタロンの条件(すなわちエタロン厚さ、エタロン反
射率、エタロン傾き)および共振器の条件(縦モード間
隔)が不明であったので、ある共振器内に配されて良好
な単一縦モード性が得られたエタロンをそのまま別の共
振器に使用すると、不十分な単一縦モード性しか得られ
ない、といった問題が生じていた。
【0004】また、エタロンにより良好な単一縦モード
性を得ても、その一方でビームプロファイルが悪化した
り、出力が低下することがあり、単一縦モード性、ビー
ムプロファイル、出力の3点を同時に満足させるよう
な、エタロンおよび共振器の条件は明らかになっていな
かった。
【0005】本発明者等の研究によると、エタロン厚
さ、エタロン反射率、エタロン傾きのそれぞれを大きく
すると単一縦モード性は良化するが、ビームプロファイ
ルが悪化し、出力も低下する。反対にエタロン厚さ、エ
タロン反射率、エタロン傾きのそれぞれを小さくすると
ビームプロファイル、出力は良化するが、単一縦モード
性が悪化する。
【0006】他方、共振器長を大きくする(つまり共振
器縦モード間隔を小さくする)と単一縦モード性は悪化
し、反対に共振器長を短くすると単一縦モード性は良化
するが、ビームプロファイルおよび出力はさほど共振器
長の影響を受けない。
【0007】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
であり、良好で安定した単一縦モード性、良好なビーム
プロファイル、高出力の3点が全て得られる単一縦モー
ドレーザーを提供することを目的とするものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明による単一縦モー
ドレーザーは、前述したようにNd:YAGの 0.9μm
帯の発振を利用した上で、共振器内に配置したエタロン
により発振モードを単一縦モード化する単一縦モードレ
ーザーにおいて、エタロンの共振波長λO から共振器縦
モード間隔Δλc分だけずれた波長λ=λO ±Δλcに
おけるエタロンの実効反射率をRN 、共振器光軸に対す
るエタロン光軸の傾きをθとしたとき、 0.6%≦RN ≦3%、 0.2°≦θ≦1° の関係を満たすようにエタロン厚さ、エタロン反射率、
エタロン傾き、および共振器縦モード間隔が調整されて
いることを特徴とするものである。
【0009】なおこれらのエタロン厚さ、エタロン反射
率、エタロン傾き、および共振器縦モード間隔は、 0.8%≦RN ≦2%、 0.4°≦θ≦ 0.8° の関係を満たすように調整されるとさらに好ましい。
【0010】
【作用および発明の効果】ファブリー・ペロー型エタロ
ンは、光の多重干渉を利用した波長選択素子であり、そ
の実効反射率Reff の波長特性は、図3に曲線aで示す
ようなものとなる。図示の通りこの実効反射率Reff
周期的に変化し、波長間隔Δλe(FSR:Free Spect
ral Range )毎にReff =0となるところにエタロン縦
モードが存在することになる。
【0011】一方、同図に曲線bで示すのはNd:YA
Gのゲインスペクトルである。一般に共振器縦モード
は、このゲインスペクトル中の発振可能な波長幅W内に
複数存在するので、エタロンが用いられなければレーザ
ーは多重縦モード発振する。それに対して共振器内にエ
タロンが挿入されると、エタロンの実効反射率Reff
より、共振器の各縦モードが感じる損失が変調を受け、
上記波長幅W内に存在する複数の共振器縦モードのう
ち、最も損失が低いものだけが発振する。
【0012】以上のようにしてエタロンにより単一縦モ
ード化がなされるが、従来は、エタロンの実効反射率R
eff による損失変調や、エタロンの傾きをどのようにす
れば、良好で安定した単一縦モード性、良好なビームプ
ロファイル、高出力の3点が全て満足されるのか不明で
あった。
【0013】本発明者等は、この点を明らかにすべく鋭
意研究した結果、エタロンの共振波長λO から共振器縦
モード間隔Δλc分だけずれた波長λ=λO ±Δλcに
おけるエタロンの実効反射率RN (図3参照)をある特
定の範囲に収めることにより適度な損失変調を与え、ま
たエタロンの傾きθもある特定の範囲に収めることによ
り、上記の3点が全て満足されることを見出した。この
実効反射率RN とエタロン光軸の傾きθの特定の範囲
は、具体的に、前述した 0.6%≦RN ≦3%(より好ま
しくは 0.8%≦RN ≦2%)、 0.2°≦θ≦1°(より
好ましくは 0.4°≦θ≦ 0.8°)である。
【0014】ここで、上記エタロンの実効反射率RN
求め方を説明する。まず、一般にエタロンの実効反射率
eff は、エアリーの公式(Airy’s Formulae )よ
り、
【0015】
【数1】
【0016】となる。ここで R :エタロンのコート反射率 ne :エタロンの屈折率 le :エタロンの厚さ λ :光の波長 である。
【0017】またこのエタロンの縦モード間隔Δλe
は、発振波長をλO とすると、 Δλe=λO 2 /(2ne e ) ……(2) である。
【0018】次に共振器縦モード間隔Δλcを求める。
共振器内に屈折率n1 、n2 、n3、n4 、……の媒質
(空気も含む)が並んでいて、それらの厚さがそれぞれ
1、l2 、l3 、l4 、……であるとすると、共振器
光路長Lopt は、
【0019】
【数2】
【0020】となり、共振器縦モード間隔Δλcは、 Δλc=λO 2 /2Lopt ……(4) となる。
【0021】以上の(1) 、(2) および(4) 式より、エタ
ロンの共振波長λO から共振器縦モード間隔Δλc分だ
けずれた波長λ=λO ±Δλcにおけるエタロンの実効
反射率RN は、一部近似を適用して、
【0022】
【数3】
【0023】となる。
【0024】次に、上に記した実効反射率RN とエタロ
ン光軸の傾きθの数値範囲の根拠について詳しく説明す
る。
【0025】(a)単一縦モード性 ファブリー・ペロー型エタロンにより単一縦モード化を
図るNd:YAGレーザーにおいて、共振器温度を連続
的に10°C変化させ、そのうち単一縦モード発振する温
度領域の割合を%で表示し、これを単一縦モード性の指
標とする。この指標は、エタロンの実効反射率RN と傾
きθに応じて、基本的に図4のように変化する。
【0026】(b)出力 AR(無反射)コートを施したエタロン(RN =0)を
θ≒0°で共振器内に挿入したときのレーザー出力を10
0 %とし、それに対してエタロンの実効反射率RN と傾
きθを種々に変えた際のレーザー出力の比を調べた。こ
のレーザー出力の変化の様子を図5に示す。なおこの特
性は、共振器長を一定とした場合のものである。
【0027】(c)ビーム品質 ビーム品質をM2 値で示すと、その値はエタロンの実効
反射率RN と傾きθに応じて、基本的に図6のように変
化する。なおこの特性も、共振器長を一定とした場合の
ものである。
【0028】上の図4、5および6の特性から、単一縦
モード性、出力およびビーム品質に関する任意の仕様に
対して、エタロンの実効反射率RN と傾きθをどのよう
な範囲内に設定すれば良いかが分かる。例えば、 単一縦モード性≧80% 出力≧30% M2 ≦1.2 のように比較的緩い仕様は、図7の斜線部の範囲にエタ
ロンの実効反射率RN および傾きθを設定すれば達成さ
れ、この場合は 0.6%≦RN ≦3%でかつ 0.2°≦θ≦
1°である。
【0029】他方、例えば、 単一縦モード性≧100 % 出力≧50% M2 ≦1.05 のように比較的厳しい仕様は、図8の斜線部の範囲にエ
タロンの実効反射率RNと傾きθを設定すれば達成さ
れ、この場合は 0.8%≦RN ≦2%で、かつ 0.4°≦θ
≦ 0.8°である。
【0030】
【実施例】以下、図面に示す実施例に基づいて本発明を
詳細に説明する。図1は、本発明の第1実施例による単
一縦モードレーザーを示すものである。この単一縦モー
ドレーザーは一例としてレーザーダイオードポンピング
固体レーザーであり、ポンピング光としてのレーザービ
ーム10を発する半導体レーザー11と、発散光である上記
レーザービーム10を集束させる集光レンズ12と、ネオジ
ウム(Nd)がドーピングされた固体レーザー媒質であ
るYAG結晶(Nd:YAG結晶)13と、このNd:Y
AG結晶13の前方側(図中右方側)に配された共振器ミ
ラー14と、この共振器ミラー14とNd:YAG結晶13と
の間に配された石英からなるエタロン15と、同じく共振
器ミラー14とNd:YAG結晶13との間に配された非線
形光学結晶であるKNbO3 結晶16とからなる。
【0031】以上の各要素は、図示しない共通の筐体に
マウントされて一体化されている。また、後述するよう
にNd:YAG結晶13と共振器ミラー14とで構成される
共振器の部分および半導体レーザー11は、図示しないペ
ルチェ素子と温調回路とにより所定温度に保たれる。
【0032】半導体レーザー11としては、波長809 nm
のレーザービーム10を発するものが用いられている。N
d:YAG結晶13は入射したレーザービーム10によって
ネオジウムイオンが励起されることにより、波長946.2
nmのレーザービーム17を発する。このレーザービーム
17はKNbO3 結晶16に入射して、波長が1/2つまり
473.1nmの第2高調波18に変換される。
【0033】ここでNd:YAG結晶13の両端面13aお
よび13bと、KNbO3 結晶16の両端面16aおよび16b
と、エタロン15の両端面15aおよび15bと、共振器ミラ
ー14のミラー面14aおよび光出射端面14bは適宜のコー
ティングが施されて、以上挙げた波長、並びにNd:Y
AG結晶13の別の発振線1064nm、1300nmに対して反
射率あるいは透過率が下の(表1)の通りとなるように
調整されている。なおこの表中、Rは反射率を、Tは透
過率を示しており、それらの数値の単位は%である。
【0034】
【表1】
【0035】上記の構成においては、波長946.2 nmの
レーザービーム17がNd:YAG結晶13の端面13aと共
振器ミラー14のミラー面14aとの間で共振し、このレー
ザービーム17は先に詳しく説明した通りのエタロン15の
作用により単一縦モード化される。したがって第2高調
波18も単一縦モード化され、この第2高調波18は共振器
ミラー14の光出射端面14bから出射する。
【0036】本例において、共振器内に位置するNd:
YAG結晶13、KNbO3 結晶16およびエタロン15の屈
折率と厚さは、以下の通りである。また共振器長つまり
Nd:YAG結晶13の端面13aと共振器ミラー14のミラ
ー面14aとの間の距離は15mmである。
【0037】 また、共振器内にある空気の屈折率は1とすると、共振
器光路長Lopt は前述の(3) 式よりLopt =18.7mmと
なり、これを基に共振器縦モード間隔Δλcは(4) 式よ
りΔλc=0.024 nmとなる。またエタロン縦モード間
隔Δλeは(2)式よりΔλe=0.8 nmとなる。
【0038】上記の各数値に基づくと、エタロン15の共
振波長λO (=946.2 nm)から共振器縦モード間隔Δ
λc(=0.024 nm)分だけずれた波長λ=λO ±Δλ
cにおけるエタロン15の実効反射率RN は、先の(5) 式
よりRN =1.87%となる。一方エタロン15は、その光軸
が共振器光軸に対してθ=0.4 °傾くように配設されて
いる。以上の通り本実施例では、前述した 0.6%≦RN
≦3%および 0.2°≦θ≦1°の関係が満足されてお
り、さらには、より好ましい 0.8%≦RN ≦2%および
0.4°≦θ≦ 0.8°の関係も満足されている。
【0039】以上の構成を有するこの第1実施例の単一
縦モードレーザーにおいては、半導体レーザー11の出力
が300 mWのとき、安定に単一縦モード発振した出力5
mWの第2高調波18が得られた。またこの第2高調波18
はTEM00モードで、かつほぼ理想的なガウスビームで
あった。
【0040】次に図2を参照して、本発明の第2実施例
について説明する。なおこの図2において、図1中の要
素と同等の要素には同番号を付し、それらについての重
複した説明は省略する。
【0041】この第2実施例の単一縦モードレーザーは
第1実施例の装置と比べると、基本的に、石英からなる
エタロン15に代えて方解石からなるエタロン25が用いら
れ、KNbO3 結晶16に代えて周期ドメイン反転構造を
有するMgO:LiNbO3結晶(MgOがドープされ
たLiNbO3 結晶)26が用いられている点のみが異な
る。この構成においてもエタロン25の作用により、波長
946.2 nmの単一縦モードのレーザービーム17が得られ
る。そしてこのレーザービーム17は、非線形光学結晶で
あるMgO:LiNbO3 結晶26により、波長が1/2
すなわち473.1nmの第2高調波18に変換される。
【0042】この第2実施例において、共振器内に位置
するNd:YAG結晶13、MgO:LiNbO3 結晶26
およびエタロン25の屈折率と厚さは、以下の通りであ
る。また共振器長つまりNd:YAG結晶13の端面13a
と共振器ミラー14のミラー面14aとの間の距離は10mm
である。
【0043】 また各光学素子のコート特性は、エタロン25の両端面25
aおよび25bのコート特性が下記の通りである以外、第
1実施例におけるものと同様とされている(MgO:L
iNbO3 結晶26の両端面26aおよび26bのコート特性
は、KNbO3結晶16の両端面16aおよび16bのコート
特性と同じである)。
【0044】 この場合も第1実施例と同様にして求めると、共振器光
路長Lopt =13.6mm、共振器縦モード間隔Δλc=0.
033 nm、エタロン縦モード間隔Δλe=0.8nmとな
る。
【0045】上記の各数値に基づくと、エタロン25の共
振波長λO (=946.2 nm)から共振器縦モード間隔Δ
λc(=0.033 nm)分だけずれた波長λ=λO ±Δλ
cにおけるエタロン25の実効反射率RN は、先の(5) 式
よりRN =1.02%となる。一方エタロン25は、その光軸
が共振器光軸に対してθ=0.6 °傾くように配設されて
いる。以上の通り本実施例でも、前述した 0.6%≦RN
≦3%および 0.2°≦θ≦1°の関係が満足されてお
り、さらには、より好ましい 0.8%≦RN ≦2%および
0.4°≦θ≦ 0.8°の関係も満足されている。
【0046】以上の構成を有するこの第2実施例の単一
縦モードレーザーにおいては、半導体レーザー11の出力
が300 mWのとき、安定に単一縦モード発振した出力20
mWの第2高調波18が得られた。またこの第2高調波18
はTEM00モードで、かつほぼ理想的なガウスビームで
あった。なお、本実施例で用いられているMgO:Li
NbO3 結晶26は、KNbO3 結晶にみられるようなウ
ォークオフ効果がないので、より良質のビームが得られ
る。
【0047】そしてこの第2実施例において、エタロン
25は複屈折性を有する方解石から形成されて、偏光制御
機能を有するものとなっている。そこでこのエタロン25
により、レーザービーム17の直線偏光の向きをMgO:
LiNbO3 結晶26のc軸方向と一致させることによ
り、基本波であるこのレーザービーム17が効率良く第2
高調波18に変換されるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例による単一縦モードレーザ
ーを示す側面図
【図2】本発明の第2実施例による単一縦モードレーザ
ーを示す側面図
【図3】エタロンの実効反射率と、エタロン縦モード
と、共振器縦モードとの関係を示す説明図
【図4】Nd:YAGレーザーの単一縦モード性が、エ
タロンの実効反射率RN と傾きθに応じて変化する様子
を示すグラフ
【図5】Nd:YAGレーザーの出力が、エタロンの実
効反射率RN と傾きθに応じて変化する様子を示すグラ
【図6】Nd:YAGレーザーのビーム品質が、エタロ
ンの実効反射率RN と傾きθに応じて変化する様子を示
すグラフ
【図7】エタロンの実効反射率RN と傾きθの好ましい
範囲を示すグラフ
【図8】エタロンの実効反射率RN と傾きθのさらに好
ましい範囲を示すグラフ
【符号の説明】
10 レーザービーム(ポンピング光) 11 半導体レーザー 12 集光レンズ 13 Nd:YAG結晶 14 共振器ミラー 15 石英エタロン 16 KNbO3 結晶 17 固体レーザービーム 18 第2高調波 25 方解石エタロン 26 MgO:LiNbO3 結晶
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平6−204595(JP,A) 特開 平6−140706(JP,A) 特開 平4−25087(JP,A) 特開 昭62−189783(JP,A) 特開 平5−198870(JP,A) 特開 平4−80980(JP,A) 特開 平1−276684(JP,A) 特開 平8−102564(JP,A) 特開 平7−263785(JP,A) 特開 平5−218556(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01S 3/00 - 3/30 G02F 1/37

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 Nd:YAGをレーザー媒質として用い
    て 0.9μm帯で発振し、共振器内に配置されたファブリ
    ー・ペロー型エタロンにより発振モードを単一縦モード
    化する単一縦モードレーザーにおいて、 エタロンの共振波長λO から共振器縦モード間隔Δλc
    分だけずれた波長λ=λO ±Δλcにおけるエタロンの
    実効反射率をRN 、共振器光軸に対するエタロン光軸の
    傾きをθとしたとき、 0.6%≦RN ≦3%、 0.2°≦θ≦1° の関係を満たすようにエタロン厚さ、エタロン反射率、
    エタロン傾き、および共振器縦モード間隔が調整されて
    いることを特徴とする単一縦モードレーザー。
  2. 【請求項2】 前記実効反射率をRN 、共振器光軸に対
    するエタロン光軸の傾きをθとしたとき、 0.8%≦RN ≦2%、 0.4°≦θ≦ 0.8° の関係を満たすようにエタロン厚さ、エタロン反射率、
    エタロン傾き、および共振器縦モード間隔が調整されて
    いることを特徴とする請求項1記載の単一縦モードレー
    ザー。
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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19607689A1 (de) * 1996-02-29 1997-09-04 Lambda Physik Gmbh Gütegesteuerter Festkörperlaser
JP3330487B2 (ja) * 1996-03-21 2002-09-30 富士写真フイルム株式会社 レーザー装置
JPH104232A (ja) * 1996-06-18 1998-01-06 Fuji Photo Film Co Ltd エタロンおよび単一縦モードレーザー
US6295305B1 (en) 1998-07-13 2001-09-25 Hitachi Metals, Ltd. Second harmonic, single-mode laser
US6320894B1 (en) 1999-02-04 2001-11-20 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy High energy Q-switched 0.9 μm laser
JP2000269573A (ja) * 1999-03-16 2000-09-29 Fuji Photo Film Co Ltd 固体レーザー
US6724486B1 (en) 1999-04-28 2004-04-20 Zygo Corporation Helium- Neon laser light source generating two harmonically related, single- frequency wavelengths for use in displacement and dispersion measuring interferometry
JP2000315833A (ja) 1999-04-30 2000-11-14 Fuji Photo Film Co Ltd 単一縦モード固体レーザー
US6614584B1 (en) 2000-02-25 2003-09-02 Lambda Physik Ag Laser frequency converter with automatic phase matching adjustment
DE10018778A1 (de) * 2000-04-15 2001-10-18 Zeiss Carl Jena Gmbh Verfahren und Anordnung zur Selbstkalibrierung eines diodengepumpten Festkörperlasers, insbesondere eines durchstimmbaren, diodengepumpten Festkörperlasers
US6608852B2 (en) 2000-08-25 2003-08-19 Lameda Physik Ag Gain module for diode-pumped solid state laser and amplifier
JP2006294880A (ja) * 2005-04-12 2006-10-26 Shimadzu Corp 固体レーザ装置
JP4763337B2 (ja) * 2005-05-09 2011-08-31 株式会社島津製作所 半導体レーザ励起固体レーザ装置
US7742509B2 (en) * 2008-09-25 2010-06-22 Photop Technologies Single-longitudinal mode laser with orthogonal-polarization traveling-wave mode
US8213470B2 (en) 2010-11-24 2012-07-03 Photop Technologies, Inc. Intra-cavity frequency doubled microchip laser operating in TEM00 transverse mode

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5042040A (en) * 1990-03-30 1991-08-20 At&T Bell Laboratories Amplitude noise reduction for optically pumped modelocked lasers
JPH05218556A (ja) * 1992-02-04 1993-08-27 Fuji Photo Film Co Ltd 固体レーザー
US5506860A (en) * 1993-11-18 1996-04-09 Fuji Photo Film Co., Ltd. Etalon and single-longitudinal-mode laser using the same

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