JPH05341142A - 石英系導波路型光部品 - Google Patents
石英系導波路型光部品Info
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- JPH05341142A JPH05341142A JP15228292A JP15228292A JPH05341142A JP H05341142 A JPH05341142 A JP H05341142A JP 15228292 A JP15228292 A JP 15228292A JP 15228292 A JP15228292 A JP 15228292A JP H05341142 A JPH05341142 A JP H05341142A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 接合部を十分に溶融させて、低損失かつ高機
械強度を得ることができる石英系導波路型光部品を提供
することにある。 【構成】 石英系材料からなるコア１４と、コア１４の
回りにコア１４より小さな屈折率を有する石英系材料か
らなるクラッドとを備え、光ファイバと炭酸ガスレーザ
光で接続される石英系導波路型光部品において、クラッ
ド１２、１３、１５を、炭酸ガスレーザ光に対する吸収
率が異なる少なくとも２つの層で構成したことを特徴と
している。
械強度を得ることができる石英系導波路型光部品を提供
することにある。 【構成】 石英系材料からなるコア１４と、コア１４の
回りにコア１４より小さな屈折率を有する石英系材料か
らなるクラッドとを備え、光ファイバと炭酸ガスレーザ
光で接続される石英系導波路型光部品において、クラッ
ド１２、１３、１５を、炭酸ガスレーザ光に対する吸収
率が異なる少なくとも２つの層で構成したことを特徴と
している。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、石英系材料からなるコ
アと、コアの回りにコアより小さな屈折率を有する石英
系材料からなるクラッドとを備え、光ファイバと炭酸ガ
スレーザ光で接続される石英系導波路型光部品に関す
る。
アと、コアの回りにコアより小さな屈折率を有する石英
系材料からなるクラッドとを備え、光ファイバと炭酸ガ
スレーザ光で接続される石英系導波路型光部品に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】石英系の材料からなる導波路型光部品
は、光通信時代のニーズに対応し得る量産化が可能であ
り、石英系光ファイバと融着接続することにより低損失
かつ永久接続が可能なため、光波長合分波器や光スター
カプラ等の受動的な光部品の開発が盛んに行われてい
る。
は、光通信時代のニーズに対応し得る量産化が可能であ
り、石英系光ファイバと融着接続することにより低損失
かつ永久接続が可能なため、光波長合分波器や光スター
カプラ等の受動的な光部品の開発が盛んに行われてい
る。
【０００３】一般に、石英系導波路型光部品と石英系光
ファイバとの融着接続は、炭酸ガスレーザ光を用いて接
合部に照射することにより行われている。炭酸ガスレー
ザ光は波長が１０．６μｍで、石英系材料に効率良く吸
収されるため、融着接続用熱源として最適である。しか
も、炭酸ガスレーザ光はレンズで集光することができ、
微小なスポットとして材料上の任意の部位に照射して選
択的に溶融させることが可能である。
ファイバとの融着接続は、炭酸ガスレーザ光を用いて接
合部に照射することにより行われている。炭酸ガスレー
ザ光は波長が１０．６μｍで、石英系材料に効率良く吸
収されるため、融着接続用熱源として最適である。しか
も、炭酸ガスレーザ光はレンズで集光することができ、
微小なスポットとして材料上の任意の部位に照射して選
択的に溶融させることが可能である。
【０００４】石英系導波路型光部品を用いたモジュール
の製造段階では、図６に示すように金属パッケージ１の
中に固定された導波路型光部品２の端面に、光ファイバ
３のコア３ａ及びクラッド３ｂを露出させて突き合わ
せ、上方よりレンズ４で集光された炭酸ガスレーザ光５
を矢印Ｐ1 方向に照射して接合部６を融着接続する方法
が一般的である。尚、図６は導波路型光部品と光ファイ
バとの融着接続の様子を示す図である。
の製造段階では、図６に示すように金属パッケージ１の
中に固定された導波路型光部品２の端面に、光ファイバ
３のコア３ａ及びクラッド３ｂを露出させて突き合わ
せ、上方よりレンズ４で集光された炭酸ガスレーザ光５
を矢印Ｐ1 方向に照射して接合部６を融着接続する方法
が一般的である。尚、図６は導波路型光部品と光ファイ
バとの融着接続の様子を示す図である。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで光通信用の光
部品は光学的特性が優れていると共に、十分な機械強度
を有し、長期的な信頼性が保証されなければならない。
部品は光学的特性が優れていると共に、十分な機械強度
を有し、長期的な信頼性が保証されなければならない。
【０００６】しかしながら、石英系導波路型光部品がパ
ッケージ内にあるときには、融着接続熱源である炭酸ガ
スレーザ光を上方、あるいは斜め上方からしか照射する
ことができず、接合部の下側に直接照射することができ
なかった。このため、融着接続時の光ファイバ接合部に
温度分布が生じ、レーザ光が直接照射される光ファイバ
の上側と石英系導波路型光部品のクラッド及びコアとが
十分に溶融して一体化するのに対し、光ファイバの下側
では上側よりも温度上昇が少なく、溶融が不十分なた
め、端面が一体化しにくく、機械強度が劣るという問題
があった。
ッケージ内にあるときには、融着接続熱源である炭酸ガ
スレーザ光を上方、あるいは斜め上方からしか照射する
ことができず、接合部の下側に直接照射することができ
なかった。このため、融着接続時の光ファイバ接合部に
温度分布が生じ、レーザ光が直接照射される光ファイバ
の上側と石英系導波路型光部品のクラッド及びコアとが
十分に溶融して一体化するのに対し、光ファイバの下側
では上側よりも温度上昇が少なく、溶融が不十分なた
め、端面が一体化しにくく、機械強度が劣るという問題
があった。
【０００７】また、従来の導波路型光部品２は、図７に
示すように純石英からなる基板７の上に高屈折率のコア
８を形成し、石英中にリン、ボロン及びゲルマニウム等
の不純物を添加してコア８との屈折率差Δｎを制御した
クラッド９で埋め込んだ構造になっている。このため、
光ファイバ３を導波路型光部品２に突き合わせて融着接
続する場合には、光ファイバ３のクラッド３ｂの下部は
純石英と一体化しなければならない。尚、図７は従来の
石英系導波路型光部品の正面断面図である。
示すように純石英からなる基板７の上に高屈折率のコア
８を形成し、石英中にリン、ボロン及びゲルマニウム等
の不純物を添加してコア８との屈折率差Δｎを制御した
クラッド９で埋め込んだ構造になっている。このため、
光ファイバ３を導波路型光部品２に突き合わせて融着接
続する場合には、光ファイバ３のクラッド３ｂの下部は
純石英と一体化しなければならない。尚、図７は従来の
石英系導波路型光部品の正面断面図である。
【０００８】しかし、純石英は、不純物を添加した石英
と比べて炭酸ガスレーザ光の吸収率が著しく小さいた
め、光ファイバ３の下側及び基板７を十分に溶融する
と、導波路型光部品２の上部のクラッド９やコア８が過
剰に溶融してコア８の形状が変形し、光の伝送損失が増
加するという問題がある。融着接続による過剰損失を
１．０ｄＢ以内に制御すると、接合部の耐引っ張り強度
は０．７Ｋｇ程度しか得られなかった。
と比べて炭酸ガスレーザ光の吸収率が著しく小さいた
め、光ファイバ３の下側及び基板７を十分に溶融する
と、導波路型光部品２の上部のクラッド９やコア８が過
剰に溶融してコア８の形状が変形し、光の伝送損失が増
加するという問題がある。融着接続による過剰損失を
１．０ｄＢ以内に制御すると、接合部の耐引っ張り強度
は０．７Ｋｇ程度しか得られなかった。
【０００９】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、接合部を十分に溶融させて、低損失かつ高機械強度
を得ることができる石英系導波路型光部品を提供するこ
とにある。
し、接合部を十分に溶融させて、低損失かつ高機械強度
を得ることができる石英系導波路型光部品を提供するこ
とにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、石英系材料からなるコアと、コアの回りに
コアより小さな屈折率を有する石英系材料からなるクラ
ッドとを備え、光ファイバと炭酸ガスレーザ光で接続さ
れる石英系導波路型光部品において、クラッドを、炭酸
ガスレーザ光に対する吸収率が異なる少なくとも２つの
層で構成したものである。
に本発明は、石英系材料からなるコアと、コアの回りに
コアより小さな屈折率を有する石英系材料からなるクラ
ッドとを備え、光ファイバと炭酸ガスレーザ光で接続さ
れる石英系導波路型光部品において、クラッドを、炭酸
ガスレーザ光に対する吸収率が異なる少なくとも２つの
層で構成したものである。
【００１１】また、本発明は、クラッドを、コアを上下
に挟む２つの層で形成すると共に、コアより上側に形成
したクラッドの炭酸ガスレーザ光に対する吸収率を、コ
アより下側に形成したクラッドの炭酸ガスレーザ光に対
する吸収率より小さな値になるように形成したものであ
る。
に挟む２つの層で形成すると共に、コアより上側に形成
したクラッドの炭酸ガスレーザ光に対する吸収率を、コ
アより下側に形成したクラッドの炭酸ガスレーザ光に対
する吸収率より小さな値になるように形成したものであ
る。
【００１２】さらに、本発明は、クラッドを、複数の層
で構成すると共に、炭酸ガスレーザ光の照射方向に対し
て順次吸収率が大きくなるように形成したものである。
で構成すると共に、炭酸ガスレーザ光の照射方向に対し
て順次吸収率が大きくなるように形成したものである。
【００１３】さらにまた、本発明は石英系材料からなる
コアと、コアの回りにコアより小さな屈折率を有する石
英系材料からなるクラッドとを備え、光ファイバと炭酸
ガスレーザ光で接続される石英系導波路型光部品におい
て、クラッドを、炭酸ガスレーザ光に対する吸収率が、
炭酸ガスレーザ光の照射方向に連続して大きくなるよう
に形成したものである。
コアと、コアの回りにコアより小さな屈折率を有する石
英系材料からなるクラッドとを備え、光ファイバと炭酸
ガスレーザ光で接続される石英系導波路型光部品におい
て、クラッドを、炭酸ガスレーザ光に対する吸収率が、
炭酸ガスレーザ光の照射方向に連続して大きくなるよう
に形成したものである。
【００１４】
【作用】上記構成によれば、炭酸ガスレーザ光に対する
クラッドの吸収率が、照射光軸方向に順次段階的に又は
連続的に変化するため、クラッドで発生する熱量が照射
光軸方向に順次段階的に又は連続的に変化する。従って
クラッドの吸収率を、照射光軸方向に伴って照射面から
順次段階的又は連続的に大きくすることにより、クラッ
ドの上側から下側に渡って均等に溶融させることができ
る。
クラッドの吸収率が、照射光軸方向に順次段階的に又は
連続的に変化するため、クラッドで発生する熱量が照射
光軸方向に順次段階的に又は連続的に変化する。従って
クラッドの吸収率を、照射光軸方向に伴って照射面から
順次段階的又は連続的に大きくすることにより、クラッ
ドの上側から下側に渡って均等に溶融させることができ
る。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。
て詳述する。
【００１６】図１は本発明の石英系導波路型光部品の一
実施例の正面断面図であり、図２は、図１に示した石英
系導波路型光部品と光ファイバとの接合を説明するため
の説明図である。
実施例の正面断面図であり、図２は、図１に示した石英
系導波路型光部品と光ファイバとの接合を説明するため
の説明図である。
【００１７】本実施例の石英系導波路型光部品は、石英
系材料からなるコアと、コアの回りにコアより小さな屈
折率を有する石英系材料からなるクラッドとを備えてお
り、クラッドを、炭酸ガスレーザ光に対する吸収率が異
なる少なくとも２つの層で構成し、光ファイバと炭酸ガ
スレーザ光を用いて接続されるようになっている。
系材料からなるコアと、コアの回りにコアより小さな屈
折率を有する石英系材料からなるクラッドとを備えてお
り、クラッドを、炭酸ガスレーザ光に対する吸収率が異
なる少なくとも２つの層で構成し、光ファイバと炭酸ガ
スレーザ光を用いて接続されるようになっている。
【００１８】図１及び図２に示すように、導波路型光部
品１０は、純石英からなる基板１１と、基板１１の上に
形成され炭酸ガスレーザ光の吸収率が基板１１の吸収率
よりも小さい第１のクラッド１２と、第１のクラッド１
２の上に形成された第１のクラッド１２の吸収率よりも
小さい第２のクラッド１３と、第２のクラッド１３の上
に形成され光通信用のレーザ光等を伝送するコア１４
と、第２のクラッド１３及びコア１４の上に形成され、
炭酸ガスレーザ光の吸収率が第２のクラッド１３の吸収
率よりも小さい第３のクラッド１５とで構成されてい
る。
品１０は、純石英からなる基板１１と、基板１１の上に
形成され炭酸ガスレーザ光の吸収率が基板１１の吸収率
よりも小さい第１のクラッド１２と、第１のクラッド１
２の上に形成された第１のクラッド１２の吸収率よりも
小さい第２のクラッド１３と、第２のクラッド１３の上
に形成され光通信用のレーザ光等を伝送するコア１４
と、第２のクラッド１３及びコア１４の上に形成され、
炭酸ガスレーザ光の吸収率が第２のクラッド１３の吸収
率よりも小さい第３のクラッド１５とで構成されてい
る。
【００１９】この導波路型光部品１０は、基板１１の上
に、リン及びボロンの含有量を変えた複数の石英膜で形
成される。まず、基板１１の上に、第１のクラッド（炭
酸ガスレーザ光の吸収率ａ1 ）１２を厚さ７０μｍに形
成する。
に、リン及びボロンの含有量を変えた複数の石英膜で形
成される。まず、基板１１の上に、第１のクラッド（炭
酸ガスレーザ光の吸収率ａ1 ）１２を厚さ７０μｍに形
成する。
【００２０】第１のクラッド１２の上に、第２のクラッ
ド（屈折率ｎ1 、吸収率ａ2 、但しａ1 ＞ａ2 ）１３を
厚さ２０μｍに形成する。
ド（屈折率ｎ1 、吸収率ａ2 、但しａ1 ＞ａ2 ）１３を
厚さ２０μｍに形成する。
【００２１】第２のクラッド１３の上に、ホトリソグラ
フィー及びドライエッチングを用いて、コア（屈折率ｎ
2 、但しｎ2 ＞ｎ1 ）１４を高さ約８μｍ、幅約８μｍ
に形成する。
フィー及びドライエッチングを用いて、コア（屈折率ｎ
2 、但しｎ2 ＞ｎ1 ）１４を高さ約８μｍ、幅約８μｍ
に形成する。
【００２２】第２のクラッド１３及びコア１４の上に、
第３のクラッド（屈折率ｎ3 、但しｎ2 ＞ｎ3 、吸収率
ａ3 、但しａ1 ＞ａ2 ＞ａ3 ）１５をコア１４を取り囲
むように形成する。
第３のクラッド（屈折率ｎ3 、但しｎ2 ＞ｎ3 、吸収率
ａ3 、但しａ1 ＞ａ2 ＞ａ3 ）１５をコア１４を取り囲
むように形成する。
【００２３】このようにして形成された導波路型光部品
１０に、図２に示すように１．３μｍ帯用シングルモー
ド光ファイバ（外径約１２５μｍ）１６を突き合わせ
て、ＺｎＳｅレンズ１７で集光した炭酸ガスレーザ光１
８を、上方から矢印Ｐ2 方向に照射して接合部１９を融
着接続する。このとき、第１のクラッド１２と光ファイ
バ１６のクラッド２３が溶融して滑らかな曲率で一体化
された。
１０に、図２に示すように１．３μｍ帯用シングルモー
ド光ファイバ（外径約１２５μｍ）１６を突き合わせ
て、ＺｎＳｅレンズ１７で集光した炭酸ガスレーザ光１
８を、上方から矢印Ｐ2 方向に照射して接合部１９を融
着接続する。このとき、第１のクラッド１２と光ファイ
バ１６のクラッド２３が溶融して滑らかな曲率で一体化
された。
【００２４】光ファイバ１６及び導波路型光部品１０の
接合部１９における過剰損失は約０．２ｄＢであり、融
着接続された光ファイバ１６に荷重をかけて引っ張り強
度を測定したところ約１．４Ｋｇであった（従来の導波
路型光部品の２倍の強度）。
接合部１９における過剰損失は約０．２ｄＢであり、融
着接続された光ファイバ１６に荷重をかけて引っ張り強
度を測定したところ約１．４Ｋｇであった（従来の導波
路型光部品の２倍の強度）。
【００２５】次に実施例の作用を述べる。
【００２６】各クラッド１２、１３及び１５の炭酸ガス
レーザ光１８に対する吸収率が、照射光軸方向に順次段
階的に大きくなっているため、各クラッド１２、１３及
び１５で発生する熱量も照射光軸方向に順次段階的に大
きくなり、その結果、各クラッド１２、１３及び１５が
上側（照射面）から下側にわたって均等に溶融するの
で、導波路型光部品１０と光ファイバ１６との接合が低
損失かつ高強度に行われる。
レーザ光１８に対する吸収率が、照射光軸方向に順次段
階的に大きくなっているため、各クラッド１２、１３及
び１５で発生する熱量も照射光軸方向に順次段階的に大
きくなり、その結果、各クラッド１２、１３及び１５が
上側（照射面）から下側にわたって均等に溶融するの
で、導波路型光部品１０と光ファイバ１６との接合が低
損失かつ高強度に行われる。
【００２７】以上において本実施例によれば、クラッド
１２、１３及び１５を、炭酸ガスレーザ光１８に対する
吸収率が異なる少なくとも２つの層で構成したので、接
合部１９を十分に溶融させることにより、低損失かつ高
機械強度を得ることができる。
１２、１３及び１５を、炭酸ガスレーザ光１８に対する
吸収率が異なる少なくとも２つの層で構成したので、接
合部１９を十分に溶融させることにより、低損失かつ高
機械強度を得ることができる。
【００２８】図３は第１の実施例の他の構成例を説明す
るための説明図である。
るための説明図である。
【００２９】第１の実施例との相違点は、第１のクラッ
ド２１の厚さが非常に薄く（約５μｍ）、略２つの層か
らなるクラッド１５、２２がコア１４を挟むような構造
を有する点である。
ド２１の厚さが非常に薄く（約５μｍ）、略２つの層か
らなるクラッド１５、２２がコア１４を挟むような構造
を有する点である。
【００３０】この導波路型光部品２０に１．３μｍ帯シ
ングルモード光ファイバ１６を突き合わせ、炭酸ガスレ
ーザ光１８を上方より矢印Ｐ3 方向に接合部１９に照射
したところ、光ファイバ１６のクラッド２３と第１のク
ラッド２１とが溶融して滑らかな曲率で一体化した。こ
のとき融着接続による過剰損失は約０．３ｄＢで、耐引
っ張り荷重は約１．０Ｋｇであった。
ングルモード光ファイバ１６を突き合わせ、炭酸ガスレ
ーザ光１８を上方より矢印Ｐ3 方向に接合部１９に照射
したところ、光ファイバ１６のクラッド２３と第１のク
ラッド２１とが溶融して滑らかな曲率で一体化した。こ
のとき融着接続による過剰損失は約０．３ｄＢで、耐引
っ張り荷重は約１．０Ｋｇであった。
【００３１】図４は第１の実施例のさらに他の構成例を
説明するための説明図である。
説明するための説明図である。
【００３２】第１の実施例との相違点は、クラッドが４
つの層で形成されている点である。
つの層で形成されている点である。
【００３３】同図に示すように、基板１１の上に、第１
のクラッド（吸収率ａ1 ）３１を厚さ約２０μｍに形成
し、第１のクラッド３１の上に第２のクラッド（吸収率
ａ2 ）３２を厚さ約２０μｍに形成し、第２のクラッド
３２の上に第３のクラッド（吸収率ａ3 ）３３を厚さ約
３０μｍに形成し、第３のクラッド３３の上にコア１４
を形成し、コア１４及び第３のクラッド３３の上に第４
のクラッド（吸収率ａ4 ）３４を形成して導波路型光部
品３０が構成されている（但しａ1 ＞ａ2 ＞ａ3 ＞
ａ4 ）。
のクラッド（吸収率ａ1 ）３１を厚さ約２０μｍに形成
し、第１のクラッド３１の上に第２のクラッド（吸収率
ａ2 ）３２を厚さ約２０μｍに形成し、第２のクラッド
３２の上に第３のクラッド（吸収率ａ3 ）３３を厚さ約
３０μｍに形成し、第３のクラッド３３の上にコア１４
を形成し、コア１４及び第３のクラッド３３の上に第４
のクラッド（吸収率ａ4 ）３４を形成して導波路型光部
品３０が構成されている（但しａ1 ＞ａ2 ＞ａ3 ＞
ａ4 ）。
【００３４】この導波路型光部品３０も炭酸ガスレーザ
光１８の吸収率が、炭酸ガスレーザ光１８の入射方向に
ついて深さ方向に順次段階的に大きくなっており、導波
路型光部品３０の端面（左側面）に１．３μｍ帯シング
ルモード光ファイバ１６を突き合わせて前述のように炭
酸ガスレーザ光１８を矢印Ｐ4 方向に照射して接合部１
９を融着接続したところ、融着接続による過剰損失が約
０．１ｄＢで、耐引っ張り強度が約２．０Ｋｇであっ
た。
光１８の吸収率が、炭酸ガスレーザ光１８の入射方向に
ついて深さ方向に順次段階的に大きくなっており、導波
路型光部品３０の端面（左側面）に１．３μｍ帯シング
ルモード光ファイバ１６を突き合わせて前述のように炭
酸ガスレーザ光１８を矢印Ｐ4 方向に照射して接合部１
９を融着接続したところ、融着接続による過剰損失が約
０．１ｄＢで、耐引っ張り強度が約２．０Ｋｇであっ
た。
【００３５】図５は本発明の第２の実施例を説明するた
めの説明図である。
めの説明図である。
【００３６】第１の実施例との相違点は、クラッドに添
加する不純物の含有量を、照射面から照射光軸方向に連
続的に大きくした点である。
加する不純物の含有量を、照射面から照射光軸方向に連
続的に大きくした点である。
【００３７】同図に示すように、基板上１１に、不純物
の含有量を照射光軸方向に連続的に大きくした第１のク
ラッド４１が形成され、第１のクラッド４１の上にコア
１４が形成され、コア１４及び第１のクラッド４１の上
に第２のクラッド４２が形成されて導波路型光部品４０
が構成されている。
の含有量を照射光軸方向に連続的に大きくした第１のク
ラッド４１が形成され、第１のクラッド４１の上にコア
１４が形成され、コア１４及び第１のクラッド４１の上
に第２のクラッド４２が形成されて導波路型光部品４０
が構成されている。
【００３８】前述と同様にこの導波路型光部品４０に
１．３μｍ帯シングルモード光ファイバ１６を融着接続
したところ過剰損失が約０．１ｄＢ、耐引っ張り強度が
約２．０Ｋｇの接合部を形成することができた。
１．３μｍ帯シングルモード光ファイバ１６を融着接続
したところ過剰損失が約０．１ｄＢ、耐引っ張り強度が
約２．０Ｋｇの接合部を形成することができた。
【００３９】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
な優れた効果を発揮する。
【００４０】(1) 光ファイバと石英系導波路型光部品と
の接合部を低損失かつ高強度とすることができる。
の接合部を低損失かつ高強度とすることができる。
【００４１】(2) 炭酸ガスレーザ光のエネルギーが到達
しにくく応力が集中しやすい光ファイバの下側と石英型
導波路端面の接合部を効率良く溶融一体化し、コアの変
形を招くこと無く滑らかな形状で高機械強度に融着接続
できる。
しにくく応力が集中しやすい光ファイバの下側と石英型
導波路端面の接合部を効率良く溶融一体化し、コアの変
形を招くこと無く滑らかな形状で高機械強度に融着接続
できる。
【図１】本発明の石英系導波路型光部品の一実施例の正
面断面図である。
面断面図である。
【図２】図１に示した石英系導波路型光部品と光ファイ
バとの接合を説明するための説明図である。
バとの接合を説明するための説明図である。
【図３】本発明の第１の実施例の他の構成例を説明する
ための説明図である。
ための説明図である。
【図４】本発明の第１の実施例のさらに他の構成例を説
明するための説明図である。
明するための説明図である。
【図５】本発明の第２の実施例を説明するための説明図
である。
である。
【図６】導波路型光部品と光ファイバとの融着接続の様
子を示す図である。
子を示す図である。
【図７】従来の石英系導波路型光部品の正面断面図であ
る。
る。
１０、２０、３０、４０ 導波路型光部品 １１ 基 板 １２、２１ 第１のクラッド １３、３２、４２ 第２のクラッド １４ コア １５、３３ 第３のクラッド １６ 光ファイバ １７ ＺｎＳｅレンズ １８ 炭酸ガスレーザ光 １９ 接合部 ２３ クラッド ３４ 第４のクラッド
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年６月２３日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１８】図１及び図２に示すように、導波路型光部
品１０は、純石英からなる基板１１と、基板１１の上に
形成された第１のクラッド１２と、第１のクラッド１２
の上に形成され、炭酸ガスレーザ光の吸収率が第１のク
ラッド１２の吸収率よりも小さい第２のクラッド１３
と、第２のクラッド１３の上に形成され光通信用のレー
ザ光等を伝送するコア１４と、第２のクラッド１３及び
コア１４の上に形成され、炭酸ガスレーザ光の吸収率が
第２のクラッド１３の吸収率よりも小さい第３のクラッ
ド１５とで構成されている。
品１０は、純石英からなる基板１１と、基板１１の上に
形成された第１のクラッド１２と、第１のクラッド１２
の上に形成され、炭酸ガスレーザ光の吸収率が第１のク
ラッド１２の吸収率よりも小さい第２のクラッド１３
と、第２のクラッド１３の上に形成され光通信用のレー
ザ光等を伝送するコア１４と、第２のクラッド１３及び
コア１４の上に形成され、炭酸ガスレーザ光の吸収率が
第２のクラッド１３の吸収率よりも小さい第３のクラッ
ド１５とで構成されている。
Claims (4)
- 【請求項１】 石英系材料からなるコアと、該コアの回
りに該コアより小さな屈折率を有する石英系材料からな
るクラッドとを備え、光ファイバと炭酸ガスレーザ光で
接続される石英系導波路型光部品において、前記クラッ
ドを、上記炭酸ガスレーザ光に対する吸収率が異なる少
なくとも２つの層で構成したことを特徴とする石英系導
波路型光部品。 - 【請求項２】 前記クラッドを、前記コアを上下に挟む
２つの層で形成すると共に、前記コアより上側に形成し
たクラッドの炭酸ガスレーザ光に対する吸収率を、前記
コアより下側に形成したクラッドの炭酸ガスレーザ光に
対する吸収率より小さな値になるように形成したことを
特徴とする請求項１に記載の石英系導波路型光部品。 - 【請求項３】 前記クラッドを、複数の層で構成すると
共に、上記炭酸ガスレーザ光の照射方向に対して順次吸
収率が大きくなるように形成したことを特徴とする請求
項１に記載の石英系導波路型光部品。 - 【請求項４】 石英系材料からなるコアと、該コアの回
りに該コアより小さな屈折率を有する石英系材料からな
るクラッドとを備え、光ファイバと炭酸ガスレーザ光で
接続される石英系導波路型光部品において、前記クラッ
ドを、炭酸ガスレーザ光に対する吸収率が、上記炭酸ガ
スレーザ光の照射方向に連続して大きくなるように形成
したことを特徴とする石英系導波路型光部品。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15228292A JPH05341142A (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | 石英系導波路型光部品 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15228292A JPH05341142A (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | 石英系導波路型光部品 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05341142A true JPH05341142A (ja) | 1993-12-24 |
Family
ID=15537114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15228292A Pending JPH05341142A (ja) | 1992-06-11 | 1992-06-11 | 石英系導波路型光部品 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05341142A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002196164A (ja) * | 2000-12-22 | 2002-07-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光導波路デバイス |
-
1992
- 1992-06-11 JP JP15228292A patent/JPH05341142A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002196164A (ja) * | 2000-12-22 | 2002-07-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光導波路デバイス |
| JP4543551B2 (ja) * | 2000-12-22 | 2010-09-15 | 住友電気工業株式会社 | 光導波路デバイス |
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