JPH05330810A - 加圧超流動ヘリウムの生成方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 余分な飽和ＨｅIIの生成を抑制しながら、十
分な量の加圧ＨｅIIを良好にかつ安価に生成する。 【構成】 容器１０内にＨｅＩを入れ、その液体層を途
中セパレータ１２で断熱状態で仕切り、下方に下部槽１
４を形成する。この下部槽１４内のみを減圧することに
より、この下部槽１４内のＨｅＩを冷却して飽和ＨｅII
に相転移させる。その後、減圧を停止し、セパレータ１
２上方の大気圧領域から下部槽１４内へのＨｅＩの流入
により、下部槽１４内に加圧ＨｅIIを発生させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、超電導マグネットの冷
却等に用いられる加圧超流動ヘリウムの生成方法に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】

ｉ）加圧超流動ヘリウムについて 図１０は、ヘリウムの状態図を示したものである。

【０００３】大気圧下におけるヘリウム（常流動ヘリウ
ム；以下ＨｅＩと称する）は、沸点が４.２Ｋである
が、その蒸発ガスを排気して減圧していくと、ヘリウム
の温度は図１０に示す液ガス共存曲線Ｌに沿って下降す
る。そして、この温度が２.１７Ｋ以下になると（例え
ば図の点Ｐ₁）、ＨｅＩは相転移して飽和超流動ヘリウ
ム（以下、飽和ＨｅIIと称する。）となる。この飽和Ｈ
ｅIIは、ＨｅＩに比して熱伝導率が高く、また比熱も大
きいため、超電導マグネット等を冷却するための寒剤と
して優れた性質を有している。

【０００４】さらに、この飽和ＨｅIIを低温にしたまま
（図例では１.８Ｋ）、何らかの方法によってほぼ大気
圧まで加圧すると（図の点Ｐ₂）、過冷却ＨｅII、一般
には加圧ＨｅIIと呼ばれる状態に変わる。この加圧Ｈｅ
IIは、上記液ガス共存曲線Ｌ上の飽和ＨｅIIに比べ、よ
り冷却性能に優れているため、この生成方法の開発が活
発に進められている。

【０００５】ii）従来の加圧ＨｅIIの生成方法 上記加圧ＨｅIIを生成する方法としては、特開平４−８
４０７５号公報に示されるものが知られている。この方
法を実施するための装置を図１１に示す。

【０００６】同図の容器８０は、断熱材で覆われ、かつ
その内部が断熱材からなるセパレータ８２で上下に仕切
られており、このセパレータ８２の下方に保冷領域であ
る下部槽８４が形成されている。セパレータ８２には貫
通穴が設けられ、これを開閉する位置に安全弁８６が配
されている。上記下部槽８４内には、図略の超電導マグ
ネットと、その周囲を取り巻く飽和ＨｅII容器９０が配
設され、この飽和ＨｅII容器９０の入口はニードルバル
ブからなるＪＴ弁９２を介してセパレータ１２の上方の
空間に連通され、出口は排気管９４を介して図外の真空
ポンプに接続されている。容器８０の上部には容器内外
を連通するＨｅガス管９６が設けられ、このＨｅガス管
９６には、排気用の真空ポンプ及びＨｅガス圧入用の圧
縮機が選択的に接続されるようになっている。

【０００７】加圧ＨｅIIの生成方法は次の通りである。
まず、図１１二点鎖線に示すように安全弁８６を開くと
ともに、容器内にＨｅＩを入れる。この時のＨｅＩの液
面レベル９８はセパレータ８２の上面よりも高くする。
次に、真空ポンプを作動させて容器８０内の蒸発Ｈｅガ
スをＨｅガス管９６を通じて排気し、容器８０内を減圧
していくと、液体Ｈｅの一部が蒸発潜熱を奪って蒸発す
ることにより、残りのＨｅＩの温度及び圧力が前記図１
０の液ガス共存曲線Ｌに沿って次第に下降し、やがて飽
和ＨｅIIとなるが、この時点で安全弁８６を閉じる。こ
れにより、飽和ＨｅIIの上部と下部とがセパレータ８２
を境として断熱状態となるが、安全弁８６とセパレータ
８２との間には若干の隙間があるため、セパレータ８２
の上下の圧力は互いに均等に保たれる。従って、この状
態から図外の圧縮機によりＨｅガス管２６を通じて容器
１０内にＨｅガスを供給し、容器１０内を略大気圧まで
加圧すれば、保冷領域である下部槽１４内にある飽和Ｈ
ｅIIは低温状態に保たれたままほぼ大気圧まで加圧され
ることとなり、これにより、加圧Ｈｅ槽１４内に加圧Ｈ
ｅIIが生成される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】上記方法では、容器８
０内の減圧の際、液体Ｈｅの蒸発分だけ残りの液体Ｈｅ
の液面レベルが降下する。ここで、液面レベルが減圧工
程中にセパレータ８２を下回った場合には、その後の容
器８０内の加圧時に、セパレータ８２の上方から下方の
下部槽１４内に温かいＨｅガスが流入することになり、
従って良好な冷却効果が得られず、また最終的に得られ
る加圧ＨｅIIの量も十分でない。逆に、液面レベルが減
圧工程終了時点でセパレータ８２を大きく上回った場合
には、このセパレータ８２の上方に不要の飽和ＨｅIIが
大量に生成されたことになる。

【０００９】従って、この液面レベルは、減圧工程の終
了時点、すなわち液体Ｈｅが所定の温度（例えば１.８
Ｋ）に達した時点でセパレータ８２よりもやや高い位置
にあることが望ましいが、減圧工程終了後の液面レベル
は、減圧開始当初の液体Ｈｅ量に依存するだけでなく、
装置の熱侵入量その他諸々の要因により変化するもので
あり、この液面レベルが最終的に好適な位置になるよう
に減圧開始当初の液体Ｈｅ量を設定することは非常に困
難である。

【００１０】本発明は、このような事情に鑑み、余分な
飽和ＨｅIIの生成を抑制し、かつ十分な量の加圧ＨｅII
を良好に生成することができる方法を提供することを目
的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、容器内に液体
ヘリウムを入れ、その液体層を上下に断熱状態で仕切っ
てその下方に保冷領域を形成するとともに上方に保圧領
域を形成し、上記保冷領域内のみを減圧することにより
この保冷領域内の液体ヘリウムをこの液体ヘリウムが飽
和超流動ヘリウムに転移する温度以下の温度まで冷却
し、その後上記減圧を停止して上記保圧領域から保冷領
域内へ液体ヘリウムを流入させることにより保冷領域内
に加圧超流動ヘリウムを発生させるものである（請求項
１）。

【００１２】さらに、上記保冷領域内の減圧の際に保冷
領域から排出されるヘリウムガスと、上記保圧領域内に
収容される液体ヘリウムとの間で熱交換させることによ
り、後述のようなより優れた効果が得られる（請求項
２）。

【００１３】また本発明は、容器内に液体ヘリウムを入
れ、この容器内を減圧することにより上記液体ヘリウム
を冷却するとともにこの容器内に液体ヘリウムを補充し
て予め設定された断熱仕切り位置以上の高さの液面レベ
ルをもつ飽和超流動ヘリウムを発生させた後、この飽和
超流動ヘリウムの液体層を上記断熱仕切り位置で上下に
断熱状態で仕切ってその下方に保冷領域を形成し、容器
内を加圧することにより上記保冷領域内に加圧超流動ヘ
リウムを発生させるものである（請求項３）。

【００１４】さらに、上記容器内の減圧の際に容器から
排出されるヘリウムガスと、容器内に補充される液体ヘ
リウムとの間で熱交換させることにより、後述のような
より優れた効果が得られる（請求項４）。

【００１５】

【作用】請求項１記載の方法において、保冷領域内の減
圧時には、この保冷領域内の液体Ｈｅのみが蒸発して液
面レベルが断熱仕切り位置よりも下回るが、この時、上
方の保圧領域からは液体Ｈｅが減圧されながら保冷領域
内に流入するので、十分な冷却効果が確保される。そし
て、減圧終了後、下部槽圧力が保圧領域と等しい圧力
（ほぼ大気圧）まで昇圧することにより、この保冷領域
内に加圧超流動Ｈｅが発生することとなる。

【００１６】さらに、請求項２記載の方法では、上記保
冷領域内の減圧の際に保冷領域から排出されるＨｅガス
との熱交換で、上記保圧領域内に収容される液体Ｈｅが
冷却されるので、その分、保圧領域から保冷領域内に液
体Ｈｅが流入した時の保冷領域内への熱侵入量が少なく
なり、これにより冷却負荷が軽減される。

【００１７】また、請求項３記載の方法では、容器内を
減圧する際に適宜液体Ｈｅを補充することにより、減圧
終了後の液体Ｈｅ（すなわち飽和ＨｅII）の液面レベル
を断熱仕切り位置以上の高さに保持するようにしている
ので、生成される飽和ＨｅIIの過不足を避けることがで
きる。そして、この状態で上記断熱仕切り位置で断熱状
態にして容器内を加圧することにより、保冷領域内に十
分な量の加圧超流動Ｈｅを良好に発生させることができ
る。

【００１８】さらに、請求項４記載の方法では、上記容
器内の減圧の際に容器から排出されるＨｅガスとの熱交
換で、容器内に補充される液体Ｈｅが冷却されるので、
その分冷却負荷が軽減される。

【００１９】

【実施例】本発明の第１実施例を図１〜図４に基づいて
説明する。

【００２０】この実施例において用いる装置は、断熱材
で覆われた容器１０を備え、この容器１０内は断熱材か
らなるセパレータ１２によって上下に仕切られており、
このセパレータ１２の下方に保冷領域である下部槽１４
が形成されている。セパレータ１２の中央には、下方に
向かうに従って縮径するテーパー状の貫通穴１２ａが設
けられ、この貫通穴１２ａを開閉する位置に、低熱伝導
率をもつ安全弁１６が配設されている。

【００２１】上記下部槽１４内には、図４に示すような
超電導マグネット１８が収容され、その周囲にドーナツ
状の飽和ＨｅII容器２０が配設されている。このＨｅII
容器２０の入口は、ニードルバルブからなるＪＴ弁２２
を介して上記セパレータ１２の上方の空間に連通されて
おり、出口は、排気管２４を介して図外の真空ポンプに
接続されている。

【００２２】容器１０の上端部には、その内外を連通す
るＨｅガス管２６が設けられている。このＨｅガス管２
６により、後述のようにセパレータ１２よりも上方の領
域（保圧領域）の圧力は常にほぼ大気圧に維持されてい
る。

【００２３】さらに、この装置では、セパレータ１２に
おいて上記貫通穴１２ａと異なる位置にこれと同様の貫
通穴１２ｂが設けられ、この貫通穴１２ｂに臨む位置に
排気管３２が接続されている。この排気管３２は、上記
貫通穴１２ｂからセパレータ１２の上方の領域（保圧領
域）を通って容器１０外部にまで至っており、図外の真
空ポンプに接続されている。この排気管３２内には、低
熱伝導率をもつ開閉弁３０が設けられ、この開閉弁３０
により上記貫通穴１２ｂが開閉されるようになってい
る。

【００２４】次に、この実施例における加圧ＨｅIIの生
成方法を以下に記す。

【００２５】(a) 注入工程：安全弁１６を全開にした状
態で容器１０内にＨｅＩを注入する。このときのＨｅＩ
の液面レベル２８は、セパレータ１２よりも上方である
ことが必要であり、より具体的にはセパレータ１２下方
のＨｅＩ量とセパレータ１２上方のＨｅＩ量とがほぼ等
しくなる程度が適当である。

【００２６】(b) 減圧工程（図１）：安全弁１６を微小
量だけ開き、かつ開閉弁３０を開いて、セパレータ１２
下部の下部槽１４内のみを排気管３２を通じて排気、減
圧する。これにより、下部槽１４内のＨｅＩが蒸発潜熱
を奪って蒸発し、これによってＨｅＩ温度が低下すると
ともに液面レベルが次第に降下する。このとき、セパレ
ータ１２上方の保圧領域はほぼ大気圧であるので、この
保圧領域におけるＨｅＩが安全弁１６と貫通穴１２ａと
の隙間を通じて下部槽１４内に流入する。従って、この
安全弁１６の開き具合を調節することにより、下部槽１
４の液面レベルをほぼ一定にコントロールすることがで
きる。この液面レベルは、セパレータ１２の下面よりも
僅かに下方の位置が好適である。

【００２７】(c) 加圧工程（図２）：下部槽１４内のＨ
ｅ温度が所定温度（例えば１.８Ｋ）まで降下し、Ｈｅ
Ｉが飽和ＨｅIIに相転移した時点で開閉弁３０を閉じ、
排気を停止して放置する。その後、保圧領域のＨｅＩが
下部槽１４内に流入することにより、下部槽１４内は低
温状態を保ったまま次第に昇圧する。最終的には、下部
槽１４内がほぼ大気圧となり、この下部槽１４内に加圧
ＨｅIIが生成される。なお、上記ＨｅＩの流入の際、下
部槽１４内に多少の熱侵入があるが、その熱量は温かい
Ｈｅガスが下部槽１４内に侵入する場合に比べると極め
て僅かなものであり、熱的悪影響はほとんどない。

【００２８】(d) 保冷（図３）：加圧ＨｅII生成後は、
その保冷を行う。具体的には、飽和ＨｅII容器２０内に
ＨｅＩを収容した状態で、真空ポンプ（図示せず）の作
動により飽和ＨｅII容器２０内を排気管２４を通じて排
気し、減圧する。これにより、飽和ＨｅII容器２０内の
ＨｅＩの温度が下がり、飽和ＨｅII容器２０内に低温の
飽和ＨｅIIが生成されるので、このＨｅIIとの熱交換に
より下部槽１４内の加圧ＨｅIIが低温状態に保たれる。
この冷却中、飽和ＨｅII容器２０内にはＪＴ弁２２を通
じて保圧領域内のＨｅガスが適宜補充される。

【００２９】このような方法によれば、セパレータ１２
下方の下部層１４のみに飽和ＨｅIIを生成することがで
き、セパレータ１２上方に無駄な飽和ＨｅIIを生成する
ことがない。すなわち、セパレータ１２上方はほぼ大気
圧のまま放置し、下部槽１４内のみ減圧すればよいの
で、必要動力が少なく、十分な量の加圧ＨｅIIを安価に
生成することができる。しかも、下部槽１４の減圧時に
この下部槽１４内に侵入するのは比較的低温の微量の液
体Ｈｅのみであり、従って良好な冷却を維持することが
できる。

【００３０】次に、第２実施例を図５に基づいて説明す
る。ここでは、前記第１実施例の排気管３２において、
この排気管３２が保圧領域内のＨｅＩに浸漬する部分
に、この排気管３２を通じて排気されるＨｅガスと上記
ＨｅＩとの間で積極的に熱交換を行わせるための熱交換
部２７が設けられている。この熱交換部２７は、排気管
３２の他の部分に比べて単位軸方向長さ当たりの伝熱面
積が大きくなるように形成されている。具体的には、管
表面に凹凸を設けたものやフィンを取付けたもの等が好
適である。

【００３１】このようにして排気Ｈｅガスと容器１０内
のＨｅＩとを熱交換させることにより、このＨｅＩ、す
なわち下部槽１４減圧時にその内部に流入する液体Ｈｅ
を排気Ｈｅガスを利用して効率良く冷却することがで
き、これにより装置全体の冷凍負荷を軽減することがで
きる。

【００３２】次に、第３実施例を図６〜図８に基づいて
説明する。この実施例では、前記第１実施例における排
気管３２及び開閉弁３０を用いる代わりに、予め液体Ｈ
ｅが収容されたＨｅタンク３４を用い、このＨｅタンク
３４内をＨｅ供給管３６を通じて容器１０内の空間、よ
り詳しくはセパレータ１２よりも上方の空間に連通さ
せ、その出口部分に圧力調節弁３８を配している。ま
た、Ｈｅガス管２６には、容器１０内から蒸発Ｈｅガス
を吸引するための減圧用真空ポンプと、容器１０内へＨ
ｅガスを圧入するための加圧用圧縮機とを選択的に接続
するようにする。

【００３３】この実施例における加圧ＨｅII発生方法は
次の通りである。

【００３４】(a) 注入工程：第１実施例と同様、安全弁
１６を全開にした状態で容器１０内にＨｅＩを注入す
る。このときのＨｅＩの液面レベル２８は、セパレータ
１２よりも上方であることが必要であり、セパレータ１
２上方のＨｅＩ量が減圧工程による予想蒸発Ｈｅ量より
も小さくなるように設定する。

【００３５】(b) 減圧工程（図６）：安全弁１６を開い
たままの状態で、Ｈｅガス管２６に真空ポンプを接続し
て容器１０内のＨｅガスを排気し、容器１０内を減圧す
る。この減圧工程により、容器１０内のＨｅＩが蒸発潜
熱を奪って蒸発し、これによってＨｅＩ温度が低下する
とともに液面レベル２８が次第に降下するが、その途
中、Ｈｅタンク３４からＨｅ供給管３６及び圧力調節弁
３８を通じて容器１０内に適宜液体Ｈｅを補充すること
により、下記の減圧工程終了時点で上記液面レベル２８
がセパレータ１２の上面よりも僅かに上方に位置するよ
うにする。上記圧力調節弁３８の開度は、この圧力調節
弁３８から排出されるＨｅの圧力が容器１０内の圧力と
同等の圧力まで下がる程度に設定する。

【００３６】(c) 加圧工程（図７）：容器１０内の液体
Ｈｅ温度が所定温度（例えば１.８Ｋ）まで降下し、Ｈ
ｅＩが飽和ＨｅIIに相転移した時点で安全弁１６を閉
じ、排気を停止するとともに図略の圧縮機で容器１０内
を大気圧レベルまで加圧する。この加圧の際、容器１０
内の蒸発Ｈｅガスが凝縮することにより液面レベル２８
は僅かに上昇し、下部槽１４内にはセパレータ１２より
も上方の液体Ｈｅが流入する。この加圧工程が終了する
と、下部槽１４内がほぼ大気圧となり、この下部槽１４
内に加圧ＨｅIIが生成される。なお、上記液体Ｈｅの流
入の際、下部槽１４内に多少の熱侵入があるが、その熱
量は温かいＨｅガスが下部槽１４内に侵入する場合に比
べると極めて僅かなものであり、悪影響はほとんど及ぼ
さない。

【００３７】(d) 保冷（図８）：加圧ＨｅII生成後は、
液面レベル２８が保冷用のＪＴ弁２２よりも上方に位置
するまで適宜Ｈｅタンク３４内の液体Ｈｅを容器１０内
に補充し、その後、前記実施例と同様に飽和ＨｅII容器
２０を用いて加圧ＨｅIIの保冷を行う。

【００３８】このような方法によれば、減圧工程中に適
宜液体Ｈｅを補充することにより、減圧工程開始時の液
面レベル２８にかかわらず、減圧工程終了時の液面レベ
ル２８を最も好ましい高さ位置、すなわちセパレータ１
２よりやや高い位置に収めることができるので、このよ
うに飽和ＨｅIIの過不足がない状態で加圧工程を行うこ
とにより、加圧ＨｅIIを安価にかつ良好に生成すること
ができる。

【００３９】なお、この例では、減圧工程開始時にこの
時の液面レベル２８が同工程終了時の液面レベル２８よ
りも高くなるまでＨｅＩを注入する方法を示したが、こ
の減圧工程開始時の液面レベル２８は、同工程終了時の
液面レベル２８、すなわち目標となる液面レベル２８と
同等の高さ位置にしてもよい。この場合には、減圧工程
におけるＨｅＩの蒸発速度と同じ速度でＨｅタンク３４
内の液体Ｈｅを容器１０内に補充し、液面レベル２８を
終始ほぼ一定に保つようにすればよい。

【００４０】次に、第４実施例を図９に基づいて説明す
る。ここでは、前記第３実施例のＨｅ供給管３６の一部
をＨｅガス管２６内に臨ませ、この部分に前記第２実施
例の熱交換部２７と同様の熱交換部４０を形成し、Ｈｅ
ガス管２６内の排気Ｈｅガスと、Ｈｅタンク３４からの
補充液体Ｈｅとの間で積極的に熱交換を行わせるように
している。このような熱交換により、容器１０内に補充
される液体Ｈｅを排気Ｈｅガスを利用して効率良く冷却
することができ、これにより装置全体の冷凍負荷を軽減
することができる。

【００４１】なお、上記各実施例では、初めに下部槽１
４内あるいは容器１０内の減圧のみを行うようにしてい
るが、この減圧と並行して飽和ＨｅII容器２０内の減圧
も行い、この飽和ＨｅII容器２０との熱交換及び上記減
圧の双方でＨｅＩを冷却すれば、その冷却速度をさらに
高めることが可能である。

【００４２】

【発明の効果】以上のように本発明は、容器内のＨｅＩ
をその上下方向中央部で断熱状態にした後、下方の保冷
領域のみを減圧してこの領域にのみ飽和ＨｅIIを生成し
（請求項１）、もしくは容器内を減圧してＨｅＩを蒸発
させながら適宜ＨｅＩを補充することにより断熱仕切り
位置よりも上方の液面レベルをもつ飽和ＨｅIIを生成し
（請求項３）、この状態から加圧を行って加圧ＨｅIIを
生成するものであるので、余分な飽和ＨｅIIを生成する
ことなく、また、減圧時のＨｅの冷却に悪影響を及ぼす
ことなく、十分な量の加圧ＨｅIIを良好にかつ安価に生
成することができる効果がある。特に、請求項１記載の
方法では、断熱仕切り位置よりも上方の空間を全く減圧
する必要がないので、必要動力をより低減することがで
き、加圧ＨｅIIの一層の低廉化を図ることができる。

【００４３】さらに、請求項２，４記載の方法によれ
ば、上記減圧工程時の排気Ｈｅガスと、断熱仕切り位置
よりも上方の液体Ｈｅ（請求項２）もしくは補充液体Ｈ
ｅ（請求項４）とを熱交換させることにより、これらの
液体Ｈｅを上記排気Ｈｅガスを利用して効率良く冷却す
ることができ、その分装置全体の冷凍負荷を軽減し、よ
り安価に加圧ＨｅIIを生成することができる効果があ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例における減圧工程を示す模
式図である。

【図２】上記実施例における加圧工程を示す模式図であ
る。

【図３】上記実施例における加圧ＨｅIIの保冷工程を示
す模式図である。

【図４】上記実施例において用いられる加圧ＨｅII生成
装置の断面正面図である。

【図５】本発明の第２実施例において用いられる装置の
模式図である。

【図６】本発明の第３実施例における減圧工程を示す模
式図である。

【図７】上記実施例における加圧工程を示す模式図であ
る。

【図８】上記実施例における加圧ＨｅIIの保冷工程を示
す模式図である。

【図９】本発明の第４実施例において用いられる装置の
模式図である。

【図１０】Ｈｅの状態図である。

【図１１】従来の加圧ＨｅII発生装置の模式図である。

【符号の説明】

１０ 容器 １２ セパレータ １４ 下部槽（保冷領域） １６ 安全弁 ２４ 排気管 ２６ Ｈｅガス管 ２７ 排気管の熱交換部 ３０ 開閉弁 ３２ 排気管 ３４ Ｈｅタンク ３６ Ｈｅ供給管 ４０ Ｈｅ供給管の熱交換部

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 容器内に液体ヘリウムを入れ、その液体
   層を上下に断熱状態で仕切ってその下方に保冷領域を形
   成するとともに上方に保圧領域を形成し、上記保冷領域
   内のみを減圧することによりこの保冷領域内の液体ヘリ
   ウムをこの液体ヘリウムが飽和超流動ヘリウムに転移す
   る温度以下の温度まで冷却し、その後上記減圧を停止し
   て上記保圧領域から保冷領域内へ液体ヘリウムを流入さ
   せることにより保冷領域内に加圧超流動ヘリウムを発生
   させることを特徴とする加圧超流動ヘリウムの生成方
   法。
2. 【請求項２】 請求項１記載の加圧超流動ヘリウムの生
   成方法において、上記保冷領域内の減圧の際に保冷領域
   から排出されるヘリウムガスと、上記保圧領域内に収容
   される液体ヘリウムとの間で熱交換させることを特徴と
   する加圧超流動ヘリウムの生成方法。
3. 【請求項３】 容器内に液体ヘリウムを入れ、この容器
   内を減圧することにより上記液体ヘリウムを冷却すると
   ともにこの容器内に液体ヘリウムを補充して予め設定さ
   れた断熱仕切り位置以上の高さの液面レベルをもつ飽和
   超流動ヘリウムを発生させた後、この飽和超流動ヘリウ
   ムの液体層を上記断熱仕切り位置で上下に断熱状態で仕
   切ってその下方に保冷領域を形成し、容器内を加圧する
   ことにより上記保冷領域内に加圧超流動ヘリウムを発生
   させることを特徴とする加圧超流動ヘリウムの生成方
   法。
4. 【請求項４】 請求項３記載の加圧超流動ヘリウムの生
   成方法において、上記容器内の減圧の際に容器から排出
   されるヘリウムガスと、容器内に補充される液体ヘリウ
   ムとの間で熱交換させることを特徴とする加圧超流動ヘ
   リウムの生成方法。