JPH05327419A - 波形発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 立ち上がりパルスの遅延時間と立ち下がりパ
ルスの遅延時間を別々に測定し、その平均値を判定器の
校正時間とすることによりすべての入力信号に対する誤
差を最小にする。 【構成】 波形整形器４から立ち上がりパルスを出力
し、信号選択器６にて波形整形器４の出力を選択し、判
定器９にてそのパルスの前縁の遅延時間を求める。ま
た、波形整形器５から立ち下がりパルスを出力し、信号
選択器６にて波形整形器５の出力を選択し、判定器９に
てそのパルスの前縁の遅延時間を求める。その平均値を
校正時間とし判定器９にて良否の判定をするタイミング
を決定するタイミング発生器３のタイミング出力時間に
加算する。これにより、判定器９に対するすべての入力
波形に対して最小の誤差で良否判定が可能となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はディジタルＩＣの測定・
検査を行うことができるディジタルＩＣ検査装置等に利
用する波形発生装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図３は従来の波形発生装置の構成を示す
ブロック図であり、図３に示すタイミング発生器１、タ
イミング発生器２、およびタイミング発生器３は例え
ば、図４のタイミングチャートに示すタイミングパルス
(1)，(2)および(5)を発生する。波形整形器４はタイミ
ング発生器１およびタイミング発生器２のタイミングパ
ルス(1)，(2)より、例えば、図４(3)に示すような波形
を生成する。ドライバ７は波形整形器４からの出力波形
に電圧値を付加する。コンパレータ８はドライバ７(校
正用スイッチ13をオン)または被測定物14(測定用スイッ
チ11，12をオン)からの出力信号と電圧比較し、０また
は１の論理データに変換する。判定器９はタイミング発
生器３からの出力信号(図４の(5))のタイミングにより
コンパレータ８からの論理データが期待した値と同一で
あるかどうか判定し、判定器９からの良否信号を良否信
号記憶器10に記憶する。ここで校正用スイッチ13は校正
を行うときにオンし、また、測定用スイッチ11および12
は被測定物14の測定を行うときにオンする。

【０００３】次に上記従来例の動作について説明する。
タイミング発生器１、タイミング発生器２からのタイミ
ングパルス(図４(1)，(2))を入力し、波形整形器４から
整形された波形(図４(3))を出力する。被測定物14の測
定を行うときは測定用スイッチ11，12をオンにし、校正
用スイッチ13をオフすることにより、この整形波形(図
４(3))は被測定物14に印加され、それにより出力信号が
被測定物14から出力される。出力信号はコンパレータ８
に入力され、電圧比較の後、論理データに変換される。
この論理データは判定器９により、タイミング発生器３
からの出力信号(図４(5))のタイミングにより期待値と
比較され、その結果が良否信号記憶器10に格納される。

【０００４】ここで、タイミング発生器３から出力され
るタイミングパルスは被測定物14において信号が入力さ
れてから信号が出力されるまでの時間に加え、波形整形
器４から信号が出力されてから、判定器９に信号が入力
されるまでの時間を加算する必要がある。そのために、
校正を行う。

【０００５】校正を行う時は、校正用スイッチ13をオン
にし、測定用スイッチ11，12をオフにし、被測定物14を
通さないで、波形整形器４の出力を直接、ドライバ７、
コンパレータ８を通して判定器９に入力する。そして、
タイミング発生器３のタイミングパルスの出力タイミン
グを移動させ、図４に示すように例えばタイミング発生
器１のタイミングパルス(1)と同一タイミングになる時
間を検索し、校正時間として、タイミング発生器３のタ
イミングパルス(5)の時間に加算し、波形整形器４から
判定器９までの遅延時間τを補正する。

【０００６】このように、上記従来の波形発生装置で
は、波形整形器４から判定器９までの遅延時間の測定を
行い、タイミング発生器３で正規の値にこの遅延時間を
加算して出力し、被測定物14の測定を行っていた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の波形発生装置では、図４に示すような波形整形器４
からの波形(3)を用いて校正を行っていたために、正確
な校正ができないという問題があった。すなわち、波形
整形器４からの出力信号が判定器９に入力されるまでに
ドライバ７とコンパレータ８を通るが、このときに立ち
上がりタイミングエッジと、立ち下がりタイミングエッ
ジが同じ遅延時間で通過すればよいが、一般的には立ち
下がりタイミングエッジの方が立ち上がりタイミングエ
ッジより小さな遅延時間でドライバ、コンパレータを通
過する。

【０００８】そのために図５に示すように判定器９の実
際の入力信号(5)は校正時の波形整形器４の出力信号(3)
よりパルス幅の小さな波形(立ち上がり、立ち下がり、
エッジの遅延時間誤差41，42)となり波形整形器４から
判定器９までの遅延時間τはパルスの前縁で見た場合、
理想(4)より実際(5)は大きな値となる。このデータを校
正データとして使用すると、図５のような立ち下がりパ
ルスが波形整形器４より出力された場合、判定器９の実
際の入力信号(7)は逆にパルス幅が大きくなり、パルス
の前縁で見た場合、逆に判定器９の理想の入力信号(4)
より遅延時間τが小さくなり、校正時の理想より大きく
なった遅延時間τとの間に誤差εを生ずる。

【０００９】本発明はこのような従来の問題を解決する
ものであり、立ち上がりパルスの場合も立ち下がりパル
スの場合でも誤差を最小にする校正方法を持った波形発
生装置を提供することを目的とするものである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、第１のタイミング発生器からの出力を基に
立ち上がりパルスを出力する第１の波形整形器と、第２
のタイミング発生器からの出力を基に立ち下がりパルス
を出力する第２の波形整形器と、前記第１および第２の
波形整形器の出力を選択する信号選択器と、前記第１お
よび第２の波形整形器からのパルスの前縁の遅延時間を
夫々測定し、その平均値を校正時間とし、第３のタイミ
ング発生器のタイミング出力時間に加算する判定器とを
有することを特徴とする。

【００１１】

【作用】本発明によれば、校正を行うための第１および
第２の波形整形器を２系統持ち、１系統では立ち上がり
パルスを出力し、それにより波形整形器の出力から判定
器の入力までの遅延時間を測定し、もう１系統では立ち
下がりパルスを出力し、それにより波形整形器の出力か
ら判定器の入力までの遅延時間を測定し、その後、２系
統の遅延時間の平均値を計算し、校正時間とすることに
より立ち上がりパルスと立ち下がりパルスの最大誤差を
小さくすることができる。

【００１２】

【実施例】図１は本発明の一実施例の構成を示すブロッ
ク図であり、図１において、１は第１のタイミング発生
器、２は第２のタイミング発生器、３は第３のタイミン
グ発生器で、夫々図４に示すタイミングパルスを発生す
る。４は第１の波形整形器、５は第２の波形整形器で、
第１のタイミング発生器１および第２のタイミング発生
器２のタイミングパルスより、夫々図２(3)，(3)′に示
すような波形を生成する。６は信号選択器で、前記第１
の波形整形器４および第２の波形整形器５からの出力信
号を選択する。７はドライバで信号選択器６からの出力
波形に電圧値を付加する。８はコンパレータでドライバ
７または被測定物14からの出力信号と電圧比較し、０ま
たは１の論理データに変換する。９は判定器で第３のタ
イミング発生器３からのタイミングによりコンパレータ
８からの論理データが期待した値と同一であるかどうか
判定する。10は良否信号記憶器で判定器９からの良否信
号を記憶する。13は校正用スイッチで校正を行うときに
オンする。11，12は測定用スイッチで測定を行うときに
オンする。

【００１３】次に上記実施例の動作のついて説明する
と、第１の波形整形器４には、第１のタイミング発生器
１および第２のタイミング発生器２からのタイミングパ
ルス（図４の（１），(2))を入力し、第１の波形整形器
４からは図４(3)に示すような整形波形を出力する。信
号選択器６は通常、第１の波形整形器４の出力を選択す
る。

【００１４】被測定物14の測定を行うときは測定用スイ
ッチ11，12をオンにし、校正用スイッチ13をオフするこ
とにより、この整形波形(図４(3))は被測定物14に印加
され、それにより出力信号が被測定物14から出力され
る。出力信号はコンパレータ８に入力され、電圧比較の
後、論理データに変換される。この論理データは判定器
９により、第３のタイミング発生器３からの出力信号
(図４の(5))のタイミングにより期待値と比較され、そ
の結果が良否信号記憶器10に格納される。

【００１５】ここで、第３のタイミング発生器３から出
力されるタイミングパルスは被測定物14において信号が
入力されてから信号が出力されるまでの時間に加え、第
１の波形整形器４から信号が出力されてから、測定器９
に信号が入力されるまでの時間を加算する必要がある。
そのために、校正を行う。

【００１６】校正を行う時は、校正用スイッチ13をオン
にし、測定用スイッチ11，12をオフにし、被測定物14を
通さないで、第１の波形整形器４、または第２の波形整
形器５の出力を信号選択器６によりどちらか選択し、直
接、ドライバ７、コンパレータ８を通して判定器９に入
力する。そして、第３のタイミング発生器３のタイミン
グパルスの出力タイミングを移動させ、図４に示すよう
に例えばパルスの前縁と同一タイミングになる時間を検
索し、校正時間として、第３のタイミング発生器３の時
間に加算し、第１の波形整形器４から判定器９までの遅
延時間を補正する。

【００１７】ここで、校正時間を補正する時、第１の波
形整形器４からは図２(3)に示すように立ち上がりパル
スを出力し、信号選択器６で第１の波形整形器４を選択
し、遅延時間を求める。また、第２の波形整形器５では
図２(3)′に示すように立ち下がりパルスを出力し、信
号選択器６で第２の波形整形器５を選択し、遅延時間を
求める。そして、この２つの遅延時間の平均値を校正時
間として、第３のタイミング発生器３の時間に加算す
る。

【００１８】このように、上記実施例によれば、第１の
波形整形器４で立ち上がりパルスによる遅延時間、およ
び第２の波形整形器５で立ち下がりパルスによる遅延時
間を求めることができる。これにより、立ち上がりパル
スによる遅延時間と立ち下がりパルスによる遅延時間の
平均値を求めることができ、それを校正値として、第３
のタイミング発生器３に校正時間として加算することに
より、第１の波形整形器４から立ち上がりパルス、およ
び立ち下がりパルスが出力されても判定器９は最小の誤
差で判定できるという効果を有する。

【００１９】これを更に詳細に説明すると、図２はこの
ときのタイミングチャートを示す。立ち上がりパルスに
よる校正時はパルスの前縁において理想値より立ち上が
りエッジの遅延時間誤差51だけ遅れる。また、立ち下が
りパルスによる校正時はパルスの前縁において理想値よ
り立ち下がりエッジの遅延時間誤差52だけ早い。そのた
め、立ち上がりパルスのみで校正を行うと立ち下がりパ
ルスが入力されたとき51＋52の誤差が生ずる。また、立
ち下がりパルスのみで校正した時、立ち上がりパルスが
入力されると同様に51＋52の誤差が生ずるすなわち、最
大で51＋52の誤差が生ずることになる。それに対して、
立ち上がりパルスと立ち下がりパルスの平均で校正した
場合、例として51＝52の場合、校正値は理想の場合と同
等になる。そして、立ち上がりパルスが入力されたとき
51の誤差が生ずる。また、立ち下がりパルスが入力され
たときは52の誤差が生ずる。すなわち、最大で51＝52の
誤差でおさまり、立ち上がりまたは立ち下がりパルスで
単独に校正したときに比べ、小さな誤差で測定すること
ができる。

【００２０】

【発明の効果】以上説明したように本発明の波形発生装
置は、立ち上がりパルスと立ち下がりパルスにより別々
に遅延時間を求め、その平均値を判定器の校正時間とす
ることにより、すべての波形に対して、判定器における
誤差を最小にすることができるという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例の構成を示すブロック図であ
る。

【図２】図１のタイミングチャートである。

【図３】従来の波形発生装置の構成を示すブロック図で
ある。

【図４】図３のタイミングチャートである。

【図５】図３のタイミングチャートである。

【符号の説明】

１，２，３…タイミング発生器、 ４，５…波形整形
器、 ６…信号選択器、７…ドライバ、 ８…コンパレ
ータ、９…判定器、 10…良否信号記憶器、 11，12…
測定用スイッチ、 13…校正用スイッチ、 14…被測定
物、 41，51…立ち上がりエッジの遅延時間誤差、 4
2，52…立ち下がりエッジの遅延時間誤差。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 第１のタイミング発生器からの出力を基
   に立ち上がりパルスを出力する第１の波形整形器と、第
   ２のタイミング発生器からの出力を基に立ち下がりパル
   スを出力する第２の波形整形器と、前記第１および第２
   の波形整形器の出力を選択する信号選択器と、前記第１
   および第２の波形整形器からのパルスの前縁の遅延時間
   を夫々測定し、その平均値を校正時間とし、第３のタイ
   ミング発生器のタイミング出力時間に加算する判定器と
   を有することを特徴とする波形発生装置。