JPH05327084A - 半導体レーザアレー駆動回路 - Google Patents

半導体レーザアレー駆動回路

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JPH05327084A
JPH05327084A JP15136192A JP15136192A JPH05327084A JP H05327084 A JPH05327084 A JP H05327084A JP 15136192 A JP15136192 A JP 15136192A JP 15136192 A JP15136192 A JP 15136192A JP H05327084 A JPH05327084 A JP H05327084A
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JP
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semiconductor laser
resistor
transistor
laser device
circuit
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Application number
JP15136192A
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English (en)
Inventor
Yasuaki Inoue
泰明 井上
Kimihide Mizuguchi
公秀 水口
Yasuyuki Bessho
靖之 別所
Koji Tominaga
浩司 冨永
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Sanyo Electric Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 複数の半導体レーザ間の熱干渉による光出力
の変動を補正する。 【構成】 例えば、半導体レーザ素子LD2 とLD3 とを駆
動する場合、駆動用トランジスタのベースB2 ,B3
はそれぞれ駆動電流が流れるとともに、入力端子P2
3 からの駆動電圧に比例する電流、即ち、互いの熱干
渉による光出力低下分に相当する電流が、入力端子P2
〜抵抗R2 〜コンデンサC2 〜抵抗R23を介してトラン
ジスタのベースB3 に、また入力端子P3 〜抵抗R3
コンデンサC3 〜抵抗R32を介してトランジスタのベー
スB2 に通電開始の所定時間後に追加され、熱干渉によ
る光出力低下分を補正する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ウェハにアレー状に集
積された複数の半導体レーザを駆動する回路に関する。
【0002】
【従来の技術】図7は、各半導体レーザ素子の光出力を
個別に制御する従来の半導体レーザアレー駆動回路の回
路図である。駆動電圧の入力端子P1 〜P4 は抵抗RB1
〜RB4を介して、半導体レーザ素子LD1 〜LD4 それぞれ
の駆動用トランジスタのベースB1 〜B4 に接続され、
トランジスタのコレクタは抵抗を介して半導体レーザ素
子LD1 〜LD4 のカソードと各別に接続され、エミッタは
抵抗を介して接地されている。また半導体レーザ素子LD
1 〜LD4 のアノードは接地されている。
【0003】入力端子P1 , P2 , …に基準電圧V1
2 ,…を入力し、トランジスタのベース電流IB1,I
B2, …を制御することにより、この電流に比例した駆動
電流I1 ,I2 ,…が半導体レーザ素子LD1 , LD2 ,…
に印加される。
【0004】図8は、従来の他の半導体レーザアレー駆
動回路の回路図であって(特願平3─115604
号)、この駆動回路は1つの半導体レーザ素子の光出力
を検出してこの半導体レーザ素子を一定光出力となるよ
うに駆動し、その動作電流に応じた電圧で他の半導体レ
ーザ素子を定電流駆動するものである。
【0005】この従来回路は、1つの半導体レーザ素子
LD1 の出力をフォトダイオードPDで検出して半導体レー
ザ素子LD1 を一定光出力となるように駆動する APC回路
3と、 APC回路3から半導体レーザ素子LD1 の動作電流
に比例した電圧信号を検出する電圧検出回路5と、検出
した電圧信号により他の半導体レーザ素子LD2 〜LDn
定電流駆動する ACC回路4とからなる。また、半導体レ
ーザ素子LD2 〜LDn の駆動用オペアンプはそれぞれ半導
体からなるスイッチSW2 〜SWn に接続され、その開閉に
よって半導体レーザ素子LD2 〜LDn はパルス駆動され
る。
【0006】この従来回路の動作原理を以下に説明す
る。半導体レーザ素子LD1 を駆動するトランジスタのエ
ミッタに抵抗R1 が接続されており、エミッタの電位V
1 は、半導体レーザ素子LD1 の駆動電流I1 に比例し
て、 V1 =I1 ・R1 となり、この端子電圧V1 を ACC回路4の基準電圧とし
て使用する。半導体レーザ素子LD2 〜LDn の駆動用トラ
ンジスタには、エミッタにそれぞれ一端が接地された抵
抗R2 〜抵抗Rn が接続されている。半導体レーザ素子
LD2〜LDn の駆動電流をそれぞれI2 ,I3 ,…In
すると、半導体レーザ素子LD2 の駆動トランジスタのエ
ミッタの電位V2 は 、半導体レーザ素子LD2 の駆動電
流I2 に比例して、 V2 =I2 ・R2 となる。
【0007】ACC回路4のオペアンプOP2 はV1 =V2
となるように動作するので、 I2 ・R2 =I1 ・R1 すなわち、 I2 =I1 ・R1 /R2 となる。従って、R1 =R2 と設定しておけば、I2
1 となり、半導体レーザ素子LD2 の光出力は半導体レ
ーザ素子LD1 の光出力と等しくなる。
【0008】図9は上述した APC回路3における半導体
レーザ素子LD1 〜LDn とフォトダイオードPDとの2種類
の配設状態を示す模式的平面図である。図9(a) は、半
導体レーザ素子LD1 から後方へ出射される出射光を受光
するように、半導体レーザ素子LD1 の後方にフォトダイ
オードPDが配設されており、半導体レーザ素子LD1 から
導波路Gを介して後方へ出射する出射光LBがフォトダイ
オードPDに入射するものである。また、図9(b) は、半
導体レーザ素子LD1 が出射する出射光LBのミラーMによ
る反射光を受光する位置にフォトダイオードPDが配設さ
れている。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】ところで、半導体レー
ザ素子の光出力は熱の影響により変動する。従って、半
導体ウェハに多数の半導体レーザ素子がアレー状に集積
された半導体レーザアレーでは、複数の半導体レーザ素
子を同時通電した場合、パルス駆動等による発熱で隣接
する半導体レーザ素子間に熱干渉が生じて光出力が変動
するという問題がある。
【0010】図10は、図7に示す構成の従来回路におい
て、半導体レーザ素子LD1 をパルス電源1に接続してパ
ルス駆動(光出力30mW)し、隣接する半導体レーザ素子
LD2を ACC電源2に接続して定電流駆動(光出力30mW)
した場合の熱干渉による光出力変動の発生を示す図であ
る。図10(b) から明らかなように、半導体レーザ素子LD
1 がON状態のとき、半導体レーザ素子LD1 に発生する熱
により、半導体レーザ素子LD2 の光出力が2〜4%低下
し、半導体レーザ素子LD1 がOFF 状態になって熱の発生
がなくなると光出力が回復する。この変動量2〜4%は
光ディスク等への使用に好ましくない値である。
【0011】図11は、ビーム間隔50μmの8ビームレー
ザでの熱干渉による光出力変動の発生を示す図であっ
て、半導体レーザ素子LD2 をACC 駆動し(光出力20m
W)、隣接する半導体レーザ素子LD3 をパルス駆動(光
出力20mW)したときの光出力変動特性を示す。図から明
らかなように、半導体レーザ素子LD3 がON状態になって
発生する熱により半導体レーザ素子LD2 の出力が約4%
低下している。
【0012】図8に示す構成の従来回路により半導体レ
ーザ素子LD2 を一定出力駆動、隣接する半導体レーザ素
子LD3 をパルス駆動した場合も半導体レーザ素子LD2
光出力は図11と同様の変動を示す。
【0013】また、図12は、図8に示す構成の従来回路
により半導体レーザ素子LD8 を APC駆動、光出力を検出
する半導体レーザ素子LD1 に隣接して集積された半導体
レーザ素子LD2 をパルス駆動したときの光出力変動特性
を示す図である。半導体レーザ素子LD2 がON状態のと
き、その発熱により隣接する半導体レーザ素子LD1 の A
PC駆動電流が増加し、同時に APC駆動される半導体レー
ザ素子LD8の駆動電流も増加する。半導体レーザ素子LD
2 ・LD8 間の熱干渉は少ないので、半導体レーザ素子LD
8 は駆動電流の増加相当分だけ光出力が増加する。この
ように、半導体レーザ素子LD1 に隣接して集積される半
導体レーザ素子LD2 の熱干渉によって一定光出力すべき
半導体レーザ素子LD1 の光出力が変動し、他の APC駆動
されるべき半導体レーザ素子の光出力が変動するという
問題がある。
【0014】本発明はこのような問題点を解決するため
になされたものであって、半導体レーザ素子間の熱干渉
による光出力変動に相当する温度補償電流を動作電流に
追加することにより、光出力の変動分を相殺する半導体
レーザアレー駆動回路の提供を目的とする。
【0015】
【課題を解決するための手段】第1の発明に係る半導体
レーザアレー駆動回路は、アレー状に集積された複数の
半導体レーザ素子各別に設けられた駆動用トランジスタ
に選択的に電圧を印加し、印加電圧に応じた動作電流で
前記複数の半導体レーザ素子を選択的に駆動する半導体
レーザアレー駆動回路において、半導体レーザ素子の駆
動用トランジスタの印加電圧の入力端と、該半導体レー
ザ素子に隣接して集積された半導体レーザ素子の駆動用
トランジスタのベースとが、抵抗及びその一端が接地さ
れたコンデンサを介して接続されてなることを特徴とす
る。
【0016】第2の発明に係る半導体レーザアレー駆動
回路は、アレー状に集積された複数の半導体レーザ素子
のうち1つの半導体レーザ素子の光出力を検出し、検出
した光出力に応じて該半導体レーザ素子の駆動用トラン
ジスタへの印加電圧を制御して該半導体レーザ素子の光
出力を一定となし、該半導体レーザ素子の動作電流に比
例する電圧を、他の複数の半導体レーザ素子各別に設け
られたオペアンプを介して各半導体レーザ素子の駆動用
トランジスタに印加して該複数の半導体レーザ素子を定
電流駆動する半導体レーザアレー駆動回路において、定
電流駆動される複数の半導体レーザ素子それぞれのオペ
アンプの出力端と、隣接して集積された半導体レーザ素
子のオペアンプの一方の入力端とが、抵抗及びその一端
が接地されたコンデンサを介して接続されてなることを
特徴とする。
【0017】第3の発明に係る半導体レーザアレー駆動
回路は、その光出力を検出する半導体レーザ素子に、前
記駆動用トランジスタと並列接続される第2のトランジ
スタ及び抵抗を備え、第2のトランジスタのベースと、
該半導体レーザ素子に隣接して集積された半導体レーザ
素子のオペアンプの出力端とが抵抗及びその一端が接地
されたコンデンサを介して接続されてなることを特徴と
する。
【0018】
【作用】第1の発明に係る半導体レーザアレー駆動回路
は、複数の半導体レーザ素子を同時通電する場合、駆動
される半導体レーザ素子に隣接する半導体レーザ素子の
駆動用トランジスタのベースに、駆動電流に比例し、半
導体レーザ素子間の熱干渉による光出力低下分に相当す
る電流を通電開始から所定時間後に追加し、隣接する半
導体レーザ素子の光出力変動を補正する。
【0019】第2の発明に係る半導体レーザアレー駆動
回路は、1つの半導体レーザ素子の光出力を検出して一
定光出力となるように駆動し、この駆動電流に基づいて
他の半導体レーザ素子を定電流駆動する際、定電流駆動
する複数の半導体レーザ素子それぞれのオペアンプを介
して駆動用トランジスタに、定電流に比例し、半導体レ
ーザ素子間の熱干渉による光出力低下分に相当する電流
を通電開始から所定時間後に追加し、隣接する半導体レ
ーザ素子の光出力変動を補正する。
【0020】第3の発明に係る半導体レーザアレー駆動
回路は、さらに、光出力を検出する半導体レーザ素子へ
第1のトランジスタを介して供給される駆動電流に、そ
の駆動用トランジスタと並列接続された第2のトランジ
スタを介して、隣接する半導体レーザ素子の発熱による
光出力低下分に相当する電流を追加供給して光出力変動
を補正する。
【0021】
【実施例】以下、本発明をその実施例を示す図に基づい
て説明する。図1は本発明に係る半導体レーザアレー駆
動回路(以下、本発明回路という)の第1の実施例の回
路図である。駆動電圧の入力端子P1 〜P4 は抵抗RB1
〜RB4を介して、半導体レーザ素子LD1 〜LD4 各別の駆
動用のトランジスタのベースB1 〜B4 に接続される。
【0022】さらに、入力端子P1 は半導体レーザ素子
LD2 のトランジスタのベースB2 に抵抗R1 及びR12
介して接続され、抵抗R1 及びR12の接続点は、その一
端が接地されたコンデンサC1 に接続される。また、入
力端子P2 は半導体レーザ素子LD1 のトランジスタのベ
ースB1 に抵抗R2 及びR21を介して接続されるととも
に、半導体レーザ素子LD3 のトランジスタのベースB3
に抵抗R2 及びR23を介して接続され、抵抗R2と抵抗
21及びR23との接続点は、その一端が接地されたコン
デンサC2 に接続される。
【0023】入力端子P2 と同様に、入力端子P3 は半
導体レーザ素子LD2 のトランジスタのベースB2 に抵抗
3 及びR32を介して接続されるとともに、半導体レー
ザ素子LD4 のトランジスタのベースB4 に抵抗R3 及び
34を介して接続され、抵抗R3 と抵抗R32及びR34
の接続点は、その一端が接地されたコンデンサC3 に接
続される。入力端子P4 は半導体レーザ素子LD3 のトラ
ンジスタのベースB3 に抵抗R4及びR43を介して接続
され、抵抗R4 及びR43の接続点は、その一端が接地さ
れたコンデンサC4 に接続される。
【0024】トランジスタのコレクタは抵抗を介して半
導体レーザ素子LD1 〜LD4 のカソードと各別に接続さ
れ、半導体レーザ素子LD1 〜LD4 のアノードは接地され
ており、トランジスタのエミッタは抵抗を介して接地さ
れる。
【0025】次に動作について、n番目に集積された半
導体レーザ素子LDn の駆動を基に説明する。入力端子P
n に駆動電圧Vn を印加すると、Vn に比例した電流IB
n がトランジスタのベースに流れ、さらにこれに比例し
た電流In が半導体レーザ素子LDnに印加される。半導
体レーザ素子LDn の温度は電流In に応じた温度だけ上
昇し、この熱によって隣接する半導体レーザ素子LD
m (m=n±1)の光出力が低下する。
【0026】図3は半導体レーザ素子LDの温度特性を示
す図である。10℃〜50℃の室温付近での光出力変動は温
度にかかわらず駆動電流に比例している。半導体レーザ
素子LDm の駆動用トランジスタのベースBm には、入力
端子Pmからの駆動電圧に比例した電流IBm に加えて、
半導体レーザ素子LDn の駆動電圧Vn に比例した温度補
償用の電流IBnmが抵抗Rm 及びRnmを介して追加されて
駆動電流が増加する。駆動電圧Vn に対する電流IBnm
比は抵抗Rn ,抵抗Rnmの抵抗値により決定される。こ
の結果、半導体レーザ素子LDm の光出力が一定に保たれ
る。なお、コンデンサCn は、除々に上昇する素子温度
による光出力変動の応答遅れ(1〜2mS)に電流IBnm
追加タイミングを一致させる働きをする。
【0027】図2は本発明回路の第2の実施例の回路図
である。本実施例は、駆動用のトランジスタがコレクタ
接地(エミッタフォロワ接続)され、エミッタが抵抗を
介して半導体レーザ素子LD1 〜LD4 のアノードにそれぞ
れ接続される。さらにトランジスタのベースB1 〜B4
には、熱干渉による温度補償用の電圧が印加するための
抵抗RG1〜RG4がそれぞれ接続されている。ベース電圧
とエミッタ電圧とがほぼ等しいので、半導体レーザ素子
LD1 〜LD4にはシリーズ抵抗を介してベース電圧に比例
した電流がそれぞれ流れる。
【0028】図4は本発明回路の第3の実施例の回路図
である。接地端子TGND と電源端子TVD(−12V)との
間には、コンデンサが接続されており、さらに接地端子
GND にカソードを接続したフォトダイオードPDと可変
抵抗と抵抗との直列回路が接続されている。可変抵抗VR
1 の抵抗可変端子は、可変抵抗VR1 及び抵抗R1 の接続
部に接続されている。フォトダイオードPDのアノードは
バッファBの正入力端子(+)と接続され、バッファB
の出力端はバッファBの負入力端子(−)と接続され、
また抵抗を介してコンパレータCPの負入力端子(−)に
接続されている。
【0029】また、接地端子TGND と電源端子TVDとの
間には、抵抗とツェナーダイオードとの直列回路が接続
されており、ツェナーダイオードにはコンデンサと可変
抵抗とが並列接続されている。可変抵抗の抵抗可変端子
は抵抗を介してコンパレータCPの正入力端子(+)と接
続されており、CPの正入力端子(+)は抵抗を介して電
源端子TVDと接続されている。コンパレータCPの出力端
は抵抗を介してトランジスタTr1 のベースと接続されて
いる。
【0030】半導体レーザ素子LD1 のアノードは接地端
子TGND に接続され、カソードにはトランジスタTr1
コレクタとトランジスタTrC のコレクタが並列接続され
る。トランジスタTr1 のベースはコンデンサを介して電
源端子TVDと接続され、エミッタは電圧検出回路5の抵
抗R11を介して接地されている。またトランジスタTrC
のエミッタは抵抗R12を介して接地され、ベースは後述
する補正回路6の抵抗R6 に接続される。そして前記バ
ッファB,コンパレータCP,トランジスタTr1等によりA
PC 回路3が構成されている。
【0031】トランジスタTr1 のエミッタは抵抗R5
5 ,…を各別に介してオペアンプOP2 , OP3 ,…OPn
の各非反転入力端子(+)と接続されており、各オペア
ンプOP2 , OP3 ,…OPn の出力端P2 ,P3 ,…Pn
抵抗を各別に介してトランジスタTr2 , Tr3 ,…Trn
ベースと接続されている。オペアンプOP2 , OP3 ,…OP
n の反転入力端子は抵抗を各別に介してトランジスタTr
2 , Tr3 ,…Trn のエミッタと接続されている。
【0032】トランジスタTr2 , Tr3 ,…Trn のエミッ
タは抵抗R2 ,R2 …Trn を各別に介して接地されてい
る。接地端子TGND とトランジスタTr2 , Tr3 ,…Trn
のコレクタとの間には、そのコレクタにカソードを接続
した半導体レーザ素子LD2 ,LD3 ,…LDn が接続されて
いる。オペアンプOP2 ,OP3 ,…OPn の各非反転入力端
子(+)には一端が接地された半導体によるスイッチSW
2 , SW3 , …SWn が各別に接続されている。これらのオ
ペアンプOP2 , OP3 ,…OPn ,トランジスタTr2 , T
r3 ,…Trn 等によりACC 回路4が構成されている。
【0033】オペアンプOP2 の出力端P2 は抵抗R3
びR6 を介してトランジスタTrC のベースと、また抵抗
3 及びR4 を介してオペアンプOP3 の非反転入力端子
と接続され、抵抗R3 及びR6 と抵抗R3 及びR4 との
それぞれの接続点は、各一端が接地されるコンデンサC
1 ,C1 に各別に接続される。オペアンプOP3 の出力端
3 は、それぞれ抵抗R3 及びR6 を介してオペアンプ
OP2 の非反転入力端子(+)とオペアンプOP4 (図示省
略)の非反転入力端子(+)とそれぞれ接続され、抵抗
3 及びR4 のそれぞれの接続点は、各一端が接地され
るコンデンサC1 ,C1 に各別に接続される。また、終
端の半導体レーザ素子LDn のオペアンプOPn の出力端P
n は、抵抗R3 及びR4 を介してオペアンプOPn-1 の非
反転入寮端子(+)と接続される。これらの抵抗R3
4 ,R6 ,コンデンサC1 等により補正回路6が構成
されている。
【0034】次にこのような構成の半導体レーザアレー
駆動回路の動作を図5に示す部分回路図を導入して説明
する。トランジスタTr1 をオンさせると、半導体レーザ
LD1 に駆動電流が流れて、半導体レーザLD1 は光ビーム
を出射する。半導体レーザLD1 が出射する光ビームはフ
ォトダイオードPDに入射し、フォトダイオードPDは入射
した光ビームの光出力を検出し、フォトダイオードPDの
検出出力に応じてバッファBの入力電圧が変化する。バ
ッファBの出力電圧はコンパレータCPへ入力され、コン
パレータCPはバッファBからの電圧と基準電圧とを比較
し、その比較結果に応じた電圧によりトランジスタTr1
を導通制御して半導体レーザLD1 の電流を制御する。そ
れによって半導体レーザLD1 の光出力が一定に制御され
る。
【0035】スイッチSWm をOFF 状態にしてm番目の半
導体レーザ素子LDm をON状態にすると、オペアンプOPm
の出力端Pm の電位が上昇する。この電位上昇は抵抗R
3 ,抵抗R4 を介してオペアンプ(OPm+1 及びOPm-1
の非反転入力Im+1 及びIm-1 に印加され、出力端P
m+1 及びPm-1 の電位を上昇させる。
【0036】この結果、隣接した半導体レーザ素子LD
m+1 及びLDm-1 の動作電流が増加し、半導体レーザ素子
LDm の発熱による光出力低下分が補正される。なお、コ
ンデンサC1 は素子温度が除々に上昇する期間(図11に
示すΔt:数100 μS程度)の光出力変動の応答遅れを
補正するために使用され、R3 ×C1に比例した時間遅
れが得られる。この場合、抵抗R3 及びR4 と抵抗R5
との抵抗値の比率を調整すれば光出力の低下分は完全に
補正される。
【0037】また、半導体レーザ素子LD2 をON状態にし
た場合、オペアンプOP2 の出力は抵抗R3 及びR6 を介
してTrC のベースに印加され、半導体レーザ素子LD1
駆動電流を増加させて光出力の低下分は補正されるが、
増加した電流は抵抗R12を通過するので、抵抗R11から
取り出される基準電圧は変動しない。この結果図12に示
したような変動も防止できる。
【0038】図6は本発明回路の第4の実施例の回路図
である。本実施例が前述の実施例と異なる点は、半導体
レーザ素子LD1 の温度補償用のトランジスタTrC が設け
られておらず、半導体レーザ素子LD1 に温度補償用の電
流が追加されない点にある。本実施例の回路は APC回路
3の半導体レーザ素子LD1 と ACC回路4の半導体レーザ
素子LD2 との距離が十分離れており、熱干渉が少ない場
合に適用可能であって、回路構成が簡略になる。
【0039】
【発明の効果】以上のように、本発明回路は、抵抗とコ
ンデンサとの組合せにより、半導体レーザ素子の発熱に
よる隣接位置の半導体レーザ素子の光出力変動分に相当
する温度補償電流を隣接する半導体レーザ素子の動作電
流に追加するので、簡単な回路構成で半導体レーザ素子
間の熱干渉による光出力の変動を補正するという優れた
効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明回路の第1の実施例の回路図である。
【図2】本発明回路の第2の実施例の回路図である。
【図3】半導体レーザの室温付近の電流─光出力特性を
示す図である。
【図4】本発明回路の第3の実施例の回路図である。
【図5】本発明回路の第3の実施例の一部回路図であ
る。
【図6】本発明回路の第4の実施例の回路図である。
【図7】従来の半導体レーザアレー駆動回路の回路図で
ある。
【図8】従来の他の半導体レーザアレー駆動回路の回路
図である。
【図9】図8の構成要素の一部配設状態を示す模式的平
面図である。
【図10】従来の半導体レーザアレー駆動回路における
熱干渉と出力変動との関連性を示す図である。
【図11】従来の半導体レーザアレー駆動回路における
熱干渉と出力変動との関連性を示す図である。
【図12】従来の半導体レーザアレー駆動回路における
熱干渉と出力変動との関連性を示す図である。
【符号の説明】
3 APC回路 4 ACC回路 5 電圧検出回路 6 補正回路 LD 半導体レーザ素子 OP オペアンプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 冨永 浩司 大阪府守口市京阪本通2丁目18番地 三洋 電機株式会社内

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 アレー状に集積された複数の半導体レー
    ザ素子各別に設けられた駆動用トランジスタに選択的に
    電圧を印加し、印加電圧に応じた動作電流で前記複数の
    半導体レーザ素子を選択的に駆動する半導体レーザアレ
    ー駆動回路において、半導体レーザ素子の駆動用トラン
    ジスタの印加電圧の入力端と、該半導体レーザ素子に隣
    接して集積された半導体レーザ素子の駆動用トランジス
    タのベースとが、抵抗及びその一端が接地されたコンデ
    ンサを介して接続されてなることを特徴とする半導体レ
    ーザアレー駆動回路。
  2. 【請求項2】 アレー状に集積された複数の半導体レー
    ザ素子のうち1つの半導体レーザ素子の光出力を検出
    し、検出した光出力に応じて該半導体レーザ素子の駆動
    用トランジスタへの印加電圧を制御して該半導体レーザ
    素子の光出力を一定となし、該半導体レーザ素子の動作
    電流に比例する電圧を、他の複数の半導体レーザ素子各
    別に設けられたオペアンプを介して各半導体レーザ素子
    の駆動用トランジスタに印加して該複数の半導体レーザ
    素子を定電流駆動する半導体レーザアレー駆動回路にお
    いて、定電流駆動される複数の半導体レーザ素子それぞ
    れのオペアンプの出力端と、隣接して集積された半導体
    レーザ素子のオペアンプの一方の入力端とが、抵抗及び
    その一端が接地されたコンデンサを介して接続されてな
    ることを特徴とする半導体レーザアレー駆動回路。
  3. 【請求項3】 その光出力を検出する半導体レーザ素子
    に、前記駆動用トランジスタと並列接続される第2のト
    ランジスタ及び抵抗を備え、第2のトランジスタのベー
    スと、該半導体レーザ素子に隣接して集積された半導体
    レーザ素子のオペアンプの出力端とが抵抗及びその一端
    が接地されたコンデンサを介して接続されてなる請求項
    2記載の半導体レーザアレー駆動回路。
JP15136192A 1992-05-18 1992-05-18 半導体レーザアレー駆動回路 Pending JPH05327084A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2006009242A1 (ja) * 2004-07-22 2006-01-26 Hamamatsu Photonics K.K. Led駆動回路

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WO2006009242A1 (ja) * 2004-07-22 2006-01-26 Hamamatsu Photonics K.K. Led駆動回路
CN100442558C (zh) * 2004-07-22 2008-12-10 浜松光子学株式会社 Led驱动电路
US7812587B2 (en) 2004-07-22 2010-10-12 Hamamatsu Photonics K.K. LED drive circuit

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