JPH05326909A - イメージセンサ - Google Patents
イメージセンサInfo
- Publication number
- JPH05326909A JPH05326909A JP4125860A JP12586092A JPH05326909A JP H05326909 A JPH05326909 A JP H05326909A JP 4125860 A JP4125860 A JP 4125860A JP 12586092 A JP12586092 A JP 12586092A JP H05326909 A JPH05326909 A JP H05326909A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- shielding layer
- lower electrode
- image sensor
- electrode wiring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 電流のリークを防止し、信頼性の高いイメー
ジセンサを提供すること。 【構成】 ガラス基板１１と、ガラス基板上に設けられ
た遮光層１２と、遮光層１２を覆う絶縁層１４と、絶縁
層１４上に配置された受光素子１５と、受光素子１５に
接続された下部電極配線１６とを有するイメージセンサ
内で、ガラス基板上１１において遮光層１２を、受光素
子１５と重なる部分および下部電極配線１６のパターン
の間の隙間部分に設けた。これにより、遮光層１２と下
部電極配線１６とは重ならず、遮光層形成途中で突沸が
生じても、原稿読み取り中にこの突沸を通して下部電極
配線１６を流れる電流が遮光層１２へリークしたりする
ことはない。また、下部電極配線１６の部位には遮光層
１２が形成されないからこの部位を補助的な照明窓２１
として活用することができる。
ジセンサを提供すること。 【構成】 ガラス基板１１と、ガラス基板上に設けられ
た遮光層１２と、遮光層１２を覆う絶縁層１４と、絶縁
層１４上に配置された受光素子１５と、受光素子１５に
接続された下部電極配線１６とを有するイメージセンサ
内で、ガラス基板上１１において遮光層１２を、受光素
子１５と重なる部分および下部電極配線１６のパターン
の間の隙間部分に設けた。これにより、遮光層１２と下
部電極配線１６とは重ならず、遮光層形成途中で突沸が
生じても、原稿読み取り中にこの突沸を通して下部電極
配線１６を流れる電流が遮光層１２へリークしたりする
ことはない。また、下部電極配線１６の部位には遮光層
１２が形成されないからこの部位を補助的な照明窓２１
として活用することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はイメージセンサ、特に遮
光層と電極配線との間のリークを防止したイメージセン
サに関するものである。
光層と電極配線との間のリークを防止したイメージセン
サに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ファクシミリ、その他の画像処理、或い
は画像通信装置に用いられる読取装置には画像読み取り
のためのイメージセンサが組み込まれているが、このよ
うなイメージセンサの従来例としては、例えば図３およ
び図４に示すものがある。図３は従来のイメージセンサ
の断面図であり図４はこのイメージセンサを上方から見
た図である。これらの図において、符号１は基台となる
ガラス基板、２はガラス基板１の上面にＳｉ（シリコ
ン）やＮｉ（ニッケル）等を蒸着等して形成された遮光
層で、遮光層２の一部は孔となって照明窓３が設けられ
ている。４は遮光層２の上部を覆って設けられた絶縁
層、５は絶縁層４の上に設置された受光素子、６は受光
素子５に接続されこの受光素子５から信号を取り出す下
部電極配線、７は前記絶縁層４、受光素子５、下部電極
配線６の全体の上部を覆って設けられた層間絶縁膜、８
は層間絶縁膜７の上に設置され且つ前記下部電極配線６
と対をなす上部電極配線である。図３において、イメー
ジセンサの上方には原稿９がセットされ、またイメージ
センサの下方には光源１０が設置される。受光素子５は
各画素ごとに１個づつ、図３において紙面に垂直の方向
に並んで設けられており、また照明窓３は１個の受光素
子５について１個づつ、受光素子５に対して少し水平方
向にずれた位置に設けられている。
は画像通信装置に用いられる読取装置には画像読み取り
のためのイメージセンサが組み込まれているが、このよ
うなイメージセンサの従来例としては、例えば図３およ
び図４に示すものがある。図３は従来のイメージセンサ
の断面図であり図４はこのイメージセンサを上方から見
た図である。これらの図において、符号１は基台となる
ガラス基板、２はガラス基板１の上面にＳｉ（シリコ
ン）やＮｉ（ニッケル）等を蒸着等して形成された遮光
層で、遮光層２の一部は孔となって照明窓３が設けられ
ている。４は遮光層２の上部を覆って設けられた絶縁
層、５は絶縁層４の上に設置された受光素子、６は受光
素子５に接続されこの受光素子５から信号を取り出す下
部電極配線、７は前記絶縁層４、受光素子５、下部電極
配線６の全体の上部を覆って設けられた層間絶縁膜、８
は層間絶縁膜７の上に設置され且つ前記下部電極配線６
と対をなす上部電極配線である。図３において、イメー
ジセンサの上方には原稿９がセットされ、またイメージ
センサの下方には光源１０が設置される。受光素子５は
各画素ごとに１個づつ、図３において紙面に垂直の方向
に並んで設けられており、また照明窓３は１個の受光素
子５について１個づつ、受光素子５に対して少し水平方
向にずれた位置に設けられている。
【０００３】このような構成を有するイメージセンサに
おいて、原稿読み取り動作時、光源１０から出た光はガ
ラス基板１を透過し、照明窓３に達した一部の光はこの
照明窓３を通ってイメージセンサの上方へ抜ける。一
方、遮光層２に当たった光は行く手を阻まれる。イメー
ジセンサの上方へ抜けた光は原稿９を照射し、原稿から
の反射光は層間絶縁膜７を透過して受光素子５に当た
る。そして、受光素子５は反射光から画情報を検出して
電気信号を出力し、この電気信号を下部電極配線６が取
り出す。
おいて、原稿読み取り動作時、光源１０から出た光はガ
ラス基板１を透過し、照明窓３に達した一部の光はこの
照明窓３を通ってイメージセンサの上方へ抜ける。一
方、遮光層２に当たった光は行く手を阻まれる。イメー
ジセンサの上方へ抜けた光は原稿９を照射し、原稿から
の反射光は層間絶縁膜７を透過して受光素子５に当た
る。そして、受光素子５は反射光から画情報を検出して
電気信号を出力し、この電気信号を下部電極配線６が取
り出す。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来のイメージセンサにあっては、ガラス基板１へ
の遮光層２の蒸着に際して突沸（ガラス基板からの蒸着
材料の盛り上がり）が起こり、突沸をそのままにして絶
縁層４および下部電極配線６を設けると、この突沸を通
して遮光層２と下部電極配線６とが接近或いは接続し、
電流のリークやコンデンサー効果が生じる虞があった。
また、遮光層２に関してのクラックや突沸等の種々の問
題のため、受光素子５や下部電極配線６の損傷を招きや
すく、またイメージセンサの出力ダウンを起こす等の不
具合があった。
うな従来のイメージセンサにあっては、ガラス基板１へ
の遮光層２の蒸着に際して突沸（ガラス基板からの蒸着
材料の盛り上がり）が起こり、突沸をそのままにして絶
縁層４および下部電極配線６を設けると、この突沸を通
して遮光層２と下部電極配線６とが接近或いは接続し、
電流のリークやコンデンサー効果が生じる虞があった。
また、遮光層２に関してのクラックや突沸等の種々の問
題のため、受光素子５や下部電極配線６の損傷を招きや
すく、またイメージセンサの出力ダウンを起こす等の不
具合があった。
【０００５】本発明は前記問題点に鑑みてなされたもの
で、その目的は、電流のリークを防止し信頼性の高いイ
メージセンサを提供することである。
で、その目的は、電流のリークを防止し信頼性の高いイ
メージセンサを提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ガラス基板と、ガラス基板上に設けられ
た遮光層と、遮光層を覆う絶縁層と、絶縁層上に配置さ
れた受光素子と、受光素子に接続された下部電極配線と
を有するイメージセンサで、前記遮光層を、ガラス基板
上において、受光素子と重なる部分および下部電極配線
のパターンの間の隙間部分に設けたことを要旨とする。
成するために、ガラス基板と、ガラス基板上に設けられ
た遮光層と、遮光層を覆う絶縁層と、絶縁層上に配置さ
れた受光素子と、受光素子に接続された下部電極配線と
を有するイメージセンサで、前記遮光層を、ガラス基板
上において、受光素子と重なる部分および下部電極配線
のパターンの間の隙間部分に設けたことを要旨とする。
【０００７】
【作用】前記構成により、遮光層と下部電極配線とは重
ならないため、遮光層形成途中で突沸が生じても、原稿
読み取り中にこの突沸を通して下部電極配線を流れる電
流が遮光層へリークしたり或いはコンデンサ効果が生じ
たりすることはない。また、下部電極配線の部位には遮
光層が形成されないからこの部位を補助的な照明窓とし
て活用することができる。
ならないため、遮光層形成途中で突沸が生じても、原稿
読み取り中にこの突沸を通して下部電極配線を流れる電
流が遮光層へリークしたり或いはコンデンサ効果が生じ
たりすることはない。また、下部電極配線の部位には遮
光層が形成されないからこの部位を補助的な照明窓とし
て活用することができる。
【０００８】
【実施例】図１および図２は本発明によるイメージセン
サの一実施例を示す図である。このうち、図１はこの実
施例のイメージセンサの断面図であり図２はこのイメー
ジセンサを上方から見た図である。これらの図におい
て、符号１１は基台となるガラス基板、１２はガラス基
板１１の上面に蒸着により形成された遮光層、１３は遮
光層１２の一部を孔状にくり抜いて形成された照明窓、
１４は遮光層１２の上部を覆って設けられた絶縁層、１
５は絶縁層１４の上に設置された受光素子、１６は受光
素子１５に接続されこの受光素子１５から信号を取り出
す下部電極配線、１７は前記絶縁層１４、受光素子１
５、下部電極配線１６の全体の上部を覆って設けられた
層間絶縁膜、１８は層間絶縁膜１７の上に設置され且つ
前記下部電極配線１６と対をなす上部電極配線である。
図１において、イメージセンサの上方には原稿１９がセ
ットされ、またイメージセンサの下方には光源２０が設
置される点は前記従来例と同様である。また、受光素子
１５は複数個が各画素ごとに１個づつ、図１において紙
面に垂直の方向に並んで設けられている点も前記従来例
と同様である。
サの一実施例を示す図である。このうち、図１はこの実
施例のイメージセンサの断面図であり図２はこのイメー
ジセンサを上方から見た図である。これらの図におい
て、符号１１は基台となるガラス基板、１２はガラス基
板１１の上面に蒸着により形成された遮光層、１３は遮
光層１２の一部を孔状にくり抜いて形成された照明窓、
１４は遮光層１２の上部を覆って設けられた絶縁層、１
５は絶縁層１４の上に設置された受光素子、１６は受光
素子１５に接続されこの受光素子１５から信号を取り出
す下部電極配線、１７は前記絶縁層１４、受光素子１
５、下部電極配線１６の全体の上部を覆って設けられた
層間絶縁膜、１８は層間絶縁膜１７の上に設置され且つ
前記下部電極配線１６と対をなす上部電極配線である。
図１において、イメージセンサの上方には原稿１９がセ
ットされ、またイメージセンサの下方には光源２０が設
置される点は前記従来例と同様である。また、受光素子
１５は複数個が各画素ごとに１個づつ、図１において紙
面に垂直の方向に並んで設けられている点も前記従来例
と同様である。
【０００９】他方この実施例では、符号２１で示すよう
に、遮光層１２の、下部電極配線１６と上下関係に重な
る部分を孔状に切り欠いて絶縁層１４で満たしている。
この孔状の切欠部は、受光素子１５に接続された下部電
極配線１６が横切って延びているため、全体としては光
源２０からの光を通過させることはできないが、第２の
照明窓２１として前記照明窓１３に対して補助的な役割
を持つ。そして、照明窓１３および第２の照明窓２１は
１個の受光素子１５について各１個づつ、受光素子１５
に対して水平方向に少しずれた位置に設けられている。
に、遮光層１２の、下部電極配線１６と上下関係に重な
る部分を孔状に切り欠いて絶縁層１４で満たしている。
この孔状の切欠部は、受光素子１５に接続された下部電
極配線１６が横切って延びているため、全体としては光
源２０からの光を通過させることはできないが、第２の
照明窓２１として前記照明窓１３に対して補助的な役割
を持つ。そして、照明窓１３および第２の照明窓２１は
１個の受光素子１５について各１個づつ、受光素子１５
に対して水平方向に少しずれた位置に設けられている。
【００１０】このような構成を有するイメージセンサに
ついて以下動作を説明する。原稿読み取り動作時、光源
２０から出た光はガラス基板１１を透過し、照明窓１３
および第２の照明窓２１に達した一部の光はこのこれら
の照明窓１３、２１を通ってイメージセンサの上方へ抜
ける。一方、遮光層１２に当たった光は行く手を阻まれ
る。イメージセンサの上方へ抜けた光は原稿１９を照射
し、原稿からの反射光は層間絶縁膜１７を透過して受光
素子１５に当たる。そして、受光素子１５は反射光から
画情報を検出して電気信号を出力し、この電気信号を下
部電極配線１６が取り出す。この実施例では照明窓１３
に加えて第２の照明窓２１からも光源の光を取り込むか
ら、原稿１９面は従来よりも明るく照らされ、受光素子
１５の検出感度が増大する。また遮光層１２と下部電極
配線１６とが上下関係に重ならないように図られている
から、遮光層１２をガラス基板１１に蒸着しているとき
に突沸がしょうじても下部電極配線１６を流れる電流の
リークやコンデンサ効果は発生せず良好な原稿読み取り
動作を実現できる。
ついて以下動作を説明する。原稿読み取り動作時、光源
２０から出た光はガラス基板１１を透過し、照明窓１３
および第２の照明窓２１に達した一部の光はこのこれら
の照明窓１３、２１を通ってイメージセンサの上方へ抜
ける。一方、遮光層１２に当たった光は行く手を阻まれ
る。イメージセンサの上方へ抜けた光は原稿１９を照射
し、原稿からの反射光は層間絶縁膜１７を透過して受光
素子１５に当たる。そして、受光素子１５は反射光から
画情報を検出して電気信号を出力し、この電気信号を下
部電極配線１６が取り出す。この実施例では照明窓１３
に加えて第２の照明窓２１からも光源の光を取り込むか
ら、原稿１９面は従来よりも明るく照らされ、受光素子
１５の検出感度が増大する。また遮光層１２と下部電極
配線１６とが上下関係に重ならないように図られている
から、遮光層１２をガラス基板１１に蒸着しているとき
に突沸がしょうじても下部電極配線１６を流れる電流の
リークやコンデンサ効果は発生せず良好な原稿読み取り
動作を実現できる。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
イメージセンサ内で、遮光層を、ガラス基板上におい
て、受光素子と重なる部分および下部電極配線のパター
ンの間の隙間部分に設けたため、遮光層形成途中で突沸
が生じても、原稿読み取り中にこの突沸を通して下部電
極配線を流れる電流が遮光層へリークしたり或いはコン
デンサ効果が生じたりすることはなくイメージセンサの
信頼性が向上する。また、下部電極配線の部位には遮光
層が形成されないからこの部位を補助的な照明窓として
活用することができ、イメージセンサの感度を上げるこ
とができる等種々の効果が得られる。
イメージセンサ内で、遮光層を、ガラス基板上におい
て、受光素子と重なる部分および下部電極配線のパター
ンの間の隙間部分に設けたため、遮光層形成途中で突沸
が生じても、原稿読み取り中にこの突沸を通して下部電
極配線を流れる電流が遮光層へリークしたり或いはコン
デンサ効果が生じたりすることはなくイメージセンサの
信頼性が向上する。また、下部電極配線の部位には遮光
層が形成されないからこの部位を補助的な照明窓として
活用することができ、イメージセンサの感度を上げるこ
とができる等種々の効果が得られる。
【図１】本発明によるイメージセンサの一実施例の構成
を示す断面図
を示す断面図
【図２】図１を上方から見た平面図
【図３】従来のイメージセンサの一例の構成を示す断面
図
図
【図４】図３を上方から見た平面図
１１ ガラス基板 １２ 遮光層 １３ 照明窓 １４ 絶縁層 １５ 受光素子 １６ 下部電極配線 １７ 層間絶縁膜 １８ 上部電極配線 １９ 原稿 ２０ 光源 ２１ 第２の照明窓
Claims (1)
- 【請求項１】 基台となるガラス基板と、ガラス基板上
に設けられた遮光層と、遮光層を覆う絶縁層と、絶縁層
の上に配置された受光素子と、受光素子に接続されてこ
の受光素子からの信号を取り出す下部電極配線と、受光
素子および下部電極配線を覆う層間絶縁膜と、この層間
絶縁膜上に配置された上部電極配線とを有し、前記遮光
層は、ガラス基板上において、受光素子と重なる部分お
よび下部電極配線のパターンの間の隙間部分に設けられ
ていることを特徴とするイメージセンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4125860A JPH05326909A (ja) | 1992-05-19 | 1992-05-19 | イメージセンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4125860A JPH05326909A (ja) | 1992-05-19 | 1992-05-19 | イメージセンサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05326909A true JPH05326909A (ja) | 1993-12-10 |
Family
ID=14920738
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4125860A Pending JPH05326909A (ja) | 1992-05-19 | 1992-05-19 | イメージセンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05326909A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100433348C (zh) * | 2003-12-31 | 2008-11-12 | 东部亚南半导体株式会社 | 图像传感器及其制造方法 |
-
1992
- 1992-05-19 JP JP4125860A patent/JPH05326909A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100433348C (zh) * | 2003-12-31 | 2008-11-12 | 东部亚南半导体株式会社 | 图像传感器及其制造方法 |
| US7667749B2 (en) | 2003-12-31 | 2010-02-23 | Dongbu Electronics Co., Ltd. | Image sensor having a partial light-shielding layer and method for fabricating the same |
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