JPH05326834A - 集積回路チップの高密度実装方法 - Google Patents
集積回路チップの高密度実装方法Info
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- JPH05326834A JPH05326834A JP15267692A JP15267692A JPH05326834A JP H05326834 A JPH05326834 A JP H05326834A JP 15267692 A JP15267692 A JP 15267692A JP 15267692 A JP15267692 A JP 15267692A JP H05326834 A JPH05326834 A JP H05326834A
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- mounting
- circuit chip
- chip
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
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- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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- H01L2224/48091—Arched
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- H01L2224/481—Disposition
- H01L2224/48151—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/48221—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
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- H01L2224/48227—Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
Landscapes
- Structures For Mounting Electric Components On Printed Circuit Boards (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】実装基板上に、複数の集積回路チップをより高
密度に実装する。 【構成】第1集積回路チップIC1の実装面積よりも小
さく且つ第2集積回路チップIC2の実装面積よりも大
きな面積を有し、更に、第2集積回路チップIC2の実
装高さよりも大きな深さを有する陥没部を実装基板の実
装面に形成する工程と、第2集積回路チップIC2を陥
没部1aの底部に実装した後、第1集積回路チップIC
1を陥没部1a上で実装基板1の表面に装荷する工程と
を含む。
密度に実装する。 【構成】第1集積回路チップIC1の実装面積よりも小
さく且つ第2集積回路チップIC2の実装面積よりも大
きな面積を有し、更に、第2集積回路チップIC2の実
装高さよりも大きな深さを有する陥没部を実装基板の実
装面に形成する工程と、第2集積回路チップIC2を陥
没部1aの底部に実装した後、第1集積回路チップIC
1を陥没部1a上で実装基板1の表面に装荷する工程と
を含む。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は集積回路チップの高密度
実装方法に関する。より詳細には、実装基板上に集積回
路チップを実装する際に、所定の実装面積により多くの
集積回路チップを装荷することができる新規な実装方法
に関する。
実装方法に関する。より詳細には、実装基板上に集積回
路チップを実装する際に、所定の実装面積により多くの
集積回路チップを装荷することができる新規な実装方法
に関する。
【0002】
【従来の技術】集積回路チップは、一般に、所定の配線
パターンを装荷された基板上に実装して使用される。
パターンを装荷された基板上に実装して使用される。
【0003】図3は、集積回路チップの典型的な実装方
法を示す図である。
法を示す図である。
【0004】同図は、最も一般的なワイヤボンディング
による集積回路チップの実装方法を示しており、基板1
上に実装された集積回路チップIC1、IC2は、それ
ぞれボンディングワイヤ2を介して基板1上の配線に接
続されている。このような実装方法は、既に広く実施さ
れているが、実装のためには集積回路チップの面積の他
にボンディングワイヤおよびボンディングパッドのため
のスペースが基板上に必要なので基板上での実装密度は
低くならざるを得ない。
による集積回路チップの実装方法を示しており、基板1
上に実装された集積回路チップIC1、IC2は、それ
ぞれボンディングワイヤ2を介して基板1上の配線に接
続されている。このような実装方法は、既に広く実施さ
れているが、実装のためには集積回路チップの面積の他
にボンディングワイヤおよびボンディングパッドのため
のスペースが基板上に必要なので基板上での実装密度は
低くならざるを得ない。
【0005】図4は、上述のような問題を解決するため
に開発された比較的新しい集積回路チップの実装方法を
示す図である。
に開発された比較的新しい集積回路チップの実装方法を
示す図である。
【0006】同図は、いわゆるフリップチップボンディ
ングによる集積回路チップの実装を示しており、基板1
上に実装された集積回路チップIC1、IC2は、その
表面に形成されたボンディングパッドが下面になるよう
に反転して実装されており、基板1上のボンディングパ
ッドと集積回路チップ表面のボンディングパッドとがパ
ンプ3を介して直接接着されている。このような方法に
よれば、実装された集積回路チップの専有面積はそれ自
体の寸法と全く同じであり、より高密度な実装が可能と
なる。
ングによる集積回路チップの実装を示しており、基板1
上に実装された集積回路チップIC1、IC2は、その
表面に形成されたボンディングパッドが下面になるよう
に反転して実装されており、基板1上のボンディングパ
ッドと集積回路チップ表面のボンディングパッドとがパ
ンプ3を介して直接接着されている。このような方法に
よれば、実装された集積回路チップの専有面積はそれ自
体の寸法と全く同じであり、より高密度な実装が可能と
なる。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、昨今の
半導体装置は、さらなる高機能化および高性能化が要求
されており、ひとつの半導体システムを構成するために
実装される集積回路チップ数もますます増加している。
そこで、本発明は、集積回路チップをより高密度に実装
することができる新規な実装方法を提供することを目的
としている。
半導体装置は、さらなる高機能化および高性能化が要求
されており、ひとつの半導体システムを構成するために
実装される集積回路チップ数もますます増加している。
そこで、本発明は、集積回路チップをより高密度に実装
することができる新規な実装方法を提供することを目的
としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】即ち、本発明に従うと、
所定の大きさの第1の集積回路チップと該第1集積回路
チップよりも小さな第2の集積回路チップとを含む複数
の集積回路チップを1枚の実装基板に実装する方法であ
って、該第1集積回路チップの実装面積よりも小さく且
つ該第2集積回路チップの実装面積よりも大きな面積を
有し、更に、該第2集積回路チップの実装高さよりも大
きな深さを有する陥没部を該実装基板の実装面に形成す
る工程と、該第2集積回路チップを該陥没部の底部に実
装した後、該第1集積回路チップを、該陥没部上で該実
装基板の表面に装荷する工程とを含むことを特徴とする
集積回路チップの高密度実装方法が提供される。
所定の大きさの第1の集積回路チップと該第1集積回路
チップよりも小さな第2の集積回路チップとを含む複数
の集積回路チップを1枚の実装基板に実装する方法であ
って、該第1集積回路チップの実装面積よりも小さく且
つ該第2集積回路チップの実装面積よりも大きな面積を
有し、更に、該第2集積回路チップの実装高さよりも大
きな深さを有する陥没部を該実装基板の実装面に形成す
る工程と、該第2集積回路チップを該陥没部の底部に実
装した後、該第1集積回路チップを、該陥没部上で該実
装基板の表面に装荷する工程とを含むことを特徴とする
集積回路チップの高密度実装方法が提供される。
【0009】
【0010】従来の実装方法は、実装基板の実装面を2
次元的にとらえて実装方法を検討していた。このため、
どのように高密度に集積回路チップを実装しても、実装
面積が集積回路チップの専有面積の合計よりも小さくな
ることはあり得なかった。
次元的にとらえて実装方法を検討していた。このため、
どのように高密度に集積回路チップを実装しても、実装
面積が集積回路チップの専有面積の合計よりも小さくな
ることはあり得なかった。
【0011】これに対して、本発明に係る実装方法は、
実装基板の表面を3次元的に利用して集積回路チップを
立体的に実装することにより、実装する集積回路チップ
の面積の合計よりも実装面積を小さくすることを可能に
している。
実装基板の表面を3次元的に利用して集積回路チップを
立体的に実装することにより、実装する集積回路チップ
の面積の合計よりも実装面積を小さくすることを可能に
している。
【0012】即ち、本発明に係る実装方法では、実装す
る集積回路チップの高さよりも深い陥没部を実装基板の
実装面に設け、この陥没部の底部に集積回路チップの一
部を装荷する。更に、この陥没部の面積よりも大きな実
装面積を有する集積回路チップを、この陥没部を覆うよ
うに実装することにより、この陥没部の形成された領域
で、集積回路チップを積層して実装することができ、単
位面積当たりの実装密度を著しく向上させることができ
る。
る集積回路チップの高さよりも深い陥没部を実装基板の
実装面に設け、この陥没部の底部に集積回路チップの一
部を装荷する。更に、この陥没部の面積よりも大きな実
装面積を有する集積回路チップを、この陥没部を覆うよ
うに実装することにより、この陥没部の形成された領域
で、集積回路チップを積層して実装することができ、単
位面積当たりの実装密度を著しく向上させることができ
る。
【0013】また、本発明に従って互いに積層して配置
された集積回路チップの間では、相互のボンディングパ
ッド間の平均距離が短くなるので、全体として集積回路
チップ間での配線長を短縮することができる。
された集積回路チップの間では、相互のボンディングパ
ッド間の平均距離が短くなるので、全体として集積回路
チップ間での配線長を短縮することができる。
【0014】尚、本発明に係る実装方法において、各集
積回路チップの実装法は、ワイヤボンディングを含む従
来の方法をいずれも適用できるが、実装密度を向上させ
るという当初の目的に照らして、フリップチップボンデ
ィングにより実装することが好ましい。
積回路チップの実装法は、ワイヤボンディングを含む従
来の方法をいずれも適用できるが、実装密度を向上させ
るという当初の目的に照らして、フリップチップボンデ
ィングにより実装することが好ましい。
【0015】以下、実施例を挙げて本発明をより具体的
に説明するが、以下の開示は本発明の一実施例に過ぎ
ず、本発明の技術的範囲を何ら限定するものではない。
に説明するが、以下の開示は本発明の一実施例に過ぎ
ず、本発明の技術的範囲を何ら限定するものではない。
【0016】
【実施例】図1は、本発明に係る実装方法を具体的に例
示する断面図である。
示する断面図である。
【0017】同図に示すように、本実施例では、実装基
板1上に1対の集積回路チップIC1、IC2が実装さ
れている。実装基板1の中央付近には、集積回路チップ
IC2の実装高さよりも充分に大きな深さを有する陥没
部1aが形成されており、集積回路チップIC2は陥没
部1aの底部に装荷されている。また、集積回路チップ
IC1は、陥没部1aの幅w0よりも充分に大きな幅W
0を有しており、実装基板1の表面に実装されている。
尚、各集積回路チップIC1およびIC2は、それぞれ
バンプ3を介してフリップチップボンディングにより実
装基板1に装荷されている。
板1上に1対の集積回路チップIC1、IC2が実装さ
れている。実装基板1の中央付近には、集積回路チップ
IC2の実装高さよりも充分に大きな深さを有する陥没
部1aが形成されており、集積回路チップIC2は陥没
部1aの底部に装荷されている。また、集積回路チップ
IC1は、陥没部1aの幅w0よりも充分に大きな幅W
0を有しており、実装基板1の表面に実装されている。
尚、各集積回路チップIC1およびIC2は、それぞれ
バンプ3を介してフリップチップボンディングにより実
装基板1に装荷されている。
【0018】以上のように実装された集積回路チップI
C1およびIC2が実装基板1上で専有する実装面積
は、集積回路チップIC1の単独の実装面積と等しい。
また、集積回路チップIC1のボンディングパッドと集
積回路チップIC2のボンディングパッドとは互いに近
接しているので、実装基板1上に装荷された配線により
両者を接続する場合には極めて短い配線で接続すること
ができる。
C1およびIC2が実装基板1上で専有する実装面積
は、集積回路チップIC1の単独の実装面積と等しい。
また、集積回路チップIC1のボンディングパッドと集
積回路チップIC2のボンディングパッドとは互いに近
接しているので、実装基板1上に装荷された配線により
両者を接続する場合には極めて短い配線で接続すること
ができる。
【0019】図2は、本発明に係る実装方法の他の態様
を示す図である。
を示す図である。
【0020】図2(a) に示す態様では、実装基板1上
に、3個の集積回路チップIC1、IC2、IC3が実
装されている。実装基板1の中央付近には、集積回路チ
ップIC2の実装高さよりも大きな深さを有する陥没部
1aが形成されており、更に、陥没部1aの底部中央に
は、集積回路チップIC3の実装高さよりも大きな深さ
を有する陥没部1bが形成されている。集積回路チップ
IC3は、陥没部1bの底部に装荷されており、陥没部
1bの幅w1よりも大きな幅W1を有する集積回路チッ
プIC2は、陥没部aの底部に実装されている。また、
陥没部1aの幅w0よりも充分に大きな幅W0を有して
いる集積回路チップIC1は、実装基板1の表面に実装
されている。尚、各集積回路チップIC1、IC2、I
C3は、それぞれバンプ3を介してフリップチップボン
ディングにより装荷されている。
に、3個の集積回路チップIC1、IC2、IC3が実
装されている。実装基板1の中央付近には、集積回路チ
ップIC2の実装高さよりも大きな深さを有する陥没部
1aが形成されており、更に、陥没部1aの底部中央に
は、集積回路チップIC3の実装高さよりも大きな深さ
を有する陥没部1bが形成されている。集積回路チップ
IC3は、陥没部1bの底部に装荷されており、陥没部
1bの幅w1よりも大きな幅W1を有する集積回路チッ
プIC2は、陥没部aの底部に実装されている。また、
陥没部1aの幅w0よりも充分に大きな幅W0を有して
いる集積回路チップIC1は、実装基板1の表面に実装
されている。尚、各集積回路チップIC1、IC2、I
C3は、それぞれバンプ3を介してフリップチップボン
ディングにより装荷されている。
【0021】図2(b) に示す態様では、実装基板1上
に、3個の集積回路チップIC1、IC4、IC5が実
装されている。実装基板1の中央付近には、集積回路チ
ップIC4およびIC5の実装高さよりも充分に大きな
深さを有する陥没部1aが形成されている。集積回路チ
ップIC4およびIC5は陥没部1aの底部に装荷され
ており、陥没部1aの幅w1よりも大きな幅W0を有す
る集積回路チップIC1は実装基板1の表面に装荷され
ている。尚、各集積回路チップIC1、IC2、IC3
は、それぞれバンプ3を介してフリップチップボンディ
ングにより装荷されている。
に、3個の集積回路チップIC1、IC4、IC5が実
装されている。実装基板1の中央付近には、集積回路チ
ップIC4およびIC5の実装高さよりも充分に大きな
深さを有する陥没部1aが形成されている。集積回路チ
ップIC4およびIC5は陥没部1aの底部に装荷され
ており、陥没部1aの幅w1よりも大きな幅W0を有す
る集積回路チップIC1は実装基板1の表面に装荷され
ている。尚、各集積回路チップIC1、IC2、IC3
は、それぞれバンプ3を介してフリップチップボンディ
ングにより装荷されている。
【0022】図2(c) に示す態様では、実装基板1上
に、4個の集積回路チップIC1、IC2、IC4、I
C5が実装されている。実装基板1の中央付近には、集
積回路チップIC2の実装高さよりも充分に大きな深さ
を有する陥没部1aが形成されており、さらに、陥没部
1aの底部中央には、集積回路チップIC4およびIC
5の実装高さよりも充分に大きな深さを有する陥没部1
bが形成されている。集積回路チップIC4およびIC
5は陥没部1bの底部に装荷されており、陥没部1bの
幅w1よりも大きな幅W1を有する集積回路チップIC
2は、陥没部aの底部に実装されている。また、陥没部
1aの幅w0よりも充分に大きな幅W0を有している集
積回路チップIC1は、実装基板1の表面に実装されて
いる。尚、各集積回路チップIC1、IC2、IC4お
よびIC5は、それぞれバンプ3を介してフリップチッ
プボンディングにより装荷されている。
に、4個の集積回路チップIC1、IC2、IC4、I
C5が実装されている。実装基板1の中央付近には、集
積回路チップIC2の実装高さよりも充分に大きな深さ
を有する陥没部1aが形成されており、さらに、陥没部
1aの底部中央には、集積回路チップIC4およびIC
5の実装高さよりも充分に大きな深さを有する陥没部1
bが形成されている。集積回路チップIC4およびIC
5は陥没部1bの底部に装荷されており、陥没部1bの
幅w1よりも大きな幅W1を有する集積回路チップIC
2は、陥没部aの底部に実装されている。また、陥没部
1aの幅w0よりも充分に大きな幅W0を有している集
積回路チップIC1は、実装基板1の表面に実装されて
いる。尚、各集積回路チップIC1、IC2、IC4お
よびIC5は、それぞれバンプ3を介してフリップチッ
プボンディングにより装荷されている。
【0023】これらの各実施態様において、実装基板1
上で複数の集積回路チップが専有する実装面積は、集積
回路チップIC1の単独の実装面積と等しい。
上で複数の集積回路チップが専有する実装面積は、集積
回路チップIC1の単独の実装面積と等しい。
【0024】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る実装
方法によれば、実装基板上に極めて高密度に集積回路チ
ップを実装することが可能になる。
方法によれば、実装基板上に極めて高密度に集積回路チ
ップを実装することが可能になる。
【0025】また、本発明に係る実装方法を意識して適
切なチップセットを設計することにより、集積回路チッ
プ相互の間の配線長を短縮することが可能である。
切なチップセットを設計することにより、集積回路チッ
プ相互の間の配線長を短縮することが可能である。
【図1】本発明に係る実装方法を説明するための断面図
である。
である。
【図2】本発明に係る実装方法の他の実施態様を示す図
である。
である。
【図3】集積回路チップの従来の実装方法を示す図であ
る。
る。
【図4】集積回路チップの他の従来の実装方法を示す図
である。
である。
1・・・実装基板、 2・・・ボンディングワイヤ、 3・・・バンプ、 IC1、IC2、IC3、IC4、IC5・・・集積回
路チップ
路チップ
Claims (1)
- 【請求項1】所定の大きさの第1の集積回路チップと該
第1集積回路チップよりも小さな第2の集積回路チップ
とを含む複数の集積回路チップを1枚の実装基板に実装
する方法であって、 該第1集積回路チップの実装面積よりも小さく且つ該第
2集積回路チップの実装面積よりも大きな面積を有し、
更に、該第2集積回路チップの実装高さよりも大きな深
さを有する陥没部を該実装基板の実装面に形成する工程
と、該第2集積回路チップを該陥没部の底部に実装した
後、該第1集積回路チップを、該陥没部上で該実装基板
の表面に装荷する工程とを含むことを特徴とする集積回
路チップの高密度実装方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15267692A JPH05326834A (ja) | 1992-05-20 | 1992-05-20 | 集積回路チップの高密度実装方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15267692A JPH05326834A (ja) | 1992-05-20 | 1992-05-20 | 集積回路チップの高密度実装方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05326834A true JPH05326834A (ja) | 1993-12-10 |
Family
ID=15545677
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15267692A Withdrawn JPH05326834A (ja) | 1992-05-20 | 1992-05-20 | 集積回路チップの高密度実装方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05326834A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6469395B1 (en) | 1999-11-25 | 2002-10-22 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor device |
JP2008521222A (ja) * | 2004-11-24 | 2008-06-19 | 楊 秋忠 | 整合型発光ダイオードおよびその製造方法 |
-
1992
- 1992-05-20 JP JP15267692A patent/JPH05326834A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6469395B1 (en) | 1999-11-25 | 2002-10-22 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor device |
JP2008521222A (ja) * | 2004-11-24 | 2008-06-19 | 楊 秋忠 | 整合型発光ダイオードおよびその製造方法 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990803 |