JPH053261A - レーザマーキング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 レーザマーキング装置において、マークずれ
やマーキングミスを防止する。 【構成】 ワークとしての多連リードフレーム１の送り
駆動をパルスモータ１４によって実行するとともに、レ
ーザ２１の照射タイミングをパルスモータ１４のパルス
信号数に基づいて実行するように構成することにより、
多連リードフレーム１の送り作動とレーザ２１の照射タ
イミングとを正確に同期させることができるため、レー
ザ２１によるマーキングを多連リードフレーム１上の被
マーキング物としての樹脂封止パッケージ２にミスや位
置ずれなく適正に実行することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、レーザマーキング装
置、例えば、半導体装置の製造工程において、多連リー
ドフレームに形成された複数個のパッケージに品種名等
のマークをレーザ照射により付するのに利用して有効な
ものに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工程において、多連リ
ードフレームに形成された複数個のパッケージに品種名
等のマークをレーザ照射により付するレーザマーキング
装置として、多連リードフレームを一方向に案内するガ
イドレールと、ガイドレールに沿って敷設され、多連リ
ードフレームをガイドレールに沿って歩進送りする送り
ねじ装置と、この送りねじ装置を駆動する交流（ＡＣ）
モータと、多連リードフレームの間欠停止時に多連リー
ドフレームに整列されたパッケージにレーザを照射する
レーザ照射装置とを備えており多連リードフレームの歩
進送りに伴ってパッケージにレーザを順次照射し、パッ
ケージにマークを順次付して行くレーザマーキング装置
がある。

【０００３】なお、この種のレーザマーキング装置を述
べてある例としては、株式会社リアライズ社発行「超Ｌ
ＳＩ工場最新技術集成第二編最新プロセスと自動化」昭
和６１年９月５日発行、Ｐ２８３〜Ｐ２８５、がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記の
ようなレーザマーキング装置においては、多連リードフ
レームの搬送とレーザ照射との間の位置合わせについて
配慮がなされていないため、マークのずれやマーキング
ミスが発生するという問題点があることが、本発明者に
よって明らかにされた。

【０００５】本発明の目的は、マークのずれやマーキン
グミスの発生を防止することができるレーザマーキング
装置を提供することにある。

【０００６】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【０００８】すなわち、長尺物に被マーキング物が複数
個、少なくとも一方向に整列されており、この長尺物が
整列方向に搬送されるとともに、前記被マーキング物に
レーザが順次照射されることにより、マークが付される
ように構成されているレーザマーキング装置において、
前記長尺物がモータにより搬送されるように構成されて
いるとともに、このモータの回転数が検出されるように
構成されており、前記レーザ照射がこのモータの回転数
信号に基づいて実行されるように構成されていることを
特徴とする。

【０００９】

【作用】前記した手段によれば、モータは長尺物を搬送
する際に、回転数信号の検出数により送り位置を規定す
ることができるため、この回転数信号によってレーザの
照射を制御することにより、送り位置とレーザの照射タ
イミングとを同期させることができる。したがって、マ
ークのずれやマーキングミスの発生は防止されることに
なる。

【００１０】

【実施例】図１は本発明の一実施例であるレーザマーキ
ング装置を示す正面図、図２はその側面断面図、図３は
その一部省略平面図である。

【００１１】本実施例において、本発明に係るレーザマ
ーキング装置は、多連リードフレームに１列に整列され
た樹脂封止パッケージ群にレーザを照射してマークを付
するものとして構成されている。ワークとしての多連リ
ードフレーム１は矩形の枠板形状に形成されており、多
連リードフレーム１には被マーキング物としての樹脂封
止パッケージ２が複数個、長手方向に等間隔に整列され
てそれぞれ形成されている。多連リードフレーム１の長
辺には係合孔３が所定の位置に配されて厚さ方向に穿設
されており、この係合孔３は後記する送り爪を係合し得
るように形成されている。

【００１２】本実施例に係るレーザマーキング装置１０
はガイドレール１１を一対備えており、両ガイドレール
１１、１１は互いに対向されて平行に、かつ、水平に敷
設されている。両ガイドレール１１、１１はワークとし
ての多連リードフレーム１を両者間に架橋された状態で
長手方向に摺動させて案内し得るように構成されてい
る。両ガイドレール１１、１１間の下部には送りねじ装
置１２が長手方向に沿って敷設されている。

【００１３】すなわち、この送りねじ装置１２は送りね
じ軸１３を備えており、この送りねじ軸１３は両ガイド
レール１１、１１間の下部にガイドレールに沿うように
長手方向に軸架されている。送りねじ軸１３の一端部に
は駆動装置としてのパルスモータ１４がカップリング１
５を介して連結されており、このパルスモータ１４は送
りねじ軸１３を回転数信号に相当するパルス信号に対応
して回転駆動させるように構成されている。送りねじ軸
１３の中間部には雌ねじ部材１６が軸心方向に往復移動
自在に螺合されており、この雌ねじ部材１６には移動ブ
ロック１７が雌ねじ部材１６を回り止めしつつ一体移動
するように固着されている。移動ブロック１７上には送
り爪部材１８が一体移動するように固着されており、こ
の送り爪部材１８には前記係合孔３に係合自在な送り爪
１９が突設されている。

【００１４】他方、両ガイドレール１１、１１間の真上
にはレーザ照射装置２０が設備されており、レーザ照射
装置２０はレーザ２１を発振するレーザ発振器２２を備
えている。レーザ発振器２２の光軸上には反射鏡２３お
よびフォーカスレンズ２４等の光学系が配設されてお
り、これら光学系によりレーザ２１が被マーキング物と
しての樹脂封止パッケージ２に焦点合わせされた状態で
照射されるようになっている。また、レーザ発振器２２
の光軸上には金属等が用いられてマークが形成されてい
るマスク２５が交換可能に配設されており、このマーク
転写用のマスク２５の交換により樹脂封止パッケージ２
に付すべき所望のマークが選定されるようになってい
る。

【００１５】レーザ発振器２２にはコントローラ２６が
電気的に接続されており、コントローラ２６はレーザ発
振器２２のレーザ２１の発振タイミングを制御するよう
に構成されている。コントローラ２６は他方でパルスモ
ータ１４に電気的に接続されており、パルスモータ１４
の回転数信号に相当するパルス信号を計数することによ
り、レーザ発振タイミングを規定するようになってい
る。

【００１６】また、レーザ２１が照射される位置（以
下、マーキングステージということがある。）２８の近
傍には、検出装置としてのホトセンサ２７が配設されて
おり、ホトセンサ２７はレーザ照射位置２８に樹脂封止
パッケージ２が存在するか否かを検出するように構成さ
れている。ホトセンサ２７の出力端はコントローラ２６
に電気的に接続されており、検出結果をコントローラ２
６に入力するようになっている。そして、コントローラ
２６はホトセンサ２７からの検出信号に基づいてレーザ
発振器２２への指令を補正し得るように構成されてい
る。

【００１７】次に作用を説明する。被マーキング物とし
ての樹脂封止パッケージ２が複数個整列されたワークと
しての多連リードフレーム１が、ガイドレール１１、１
１間に供給されると、送りねじ装置１２の送り爪１９が
多連リードフレーム１の係合孔３に係合される。

【００１８】続いて、パルスモータ１４により送りねじ
軸１３が正方向に回転される。送りねじ軸１３の回転に
より雌ねじ部材１６が軸方向に移動し、この雌ねじ部材
１６の移動により多連リードフレーム１が移動ブロック
１７および送り爪部材１８を介して送られる。このパル
スモータ１４による送り作動はパルス信号数により歩進
送りとされる。すなわち、多連リードフレーム１は樹脂
封止パッケージ２群列のピッチをもって間欠送りされ
る。

【００１９】樹脂封止パッケージ２がレーザ照射位置で
あるマーキングステージ２８に送られて間欠停止される
と、コントローラ２６の指令によりレーザ発振器２２か
らレーザ２１が投光される。投光されたレーザ２１はマ
スク２５を透過して反射鏡２３およびレンズ２４を経
て、レーザ照射位置に間欠停止されている樹脂封止パッ
ケージ２に照射され、マスク２５によって規定されたマ
ーク２９が付される。

【００２０】このとき、コントローラ２６は多連リード
フレーム１の歩進送りを規定するパルスモータ１４のパ
ルス信号数に基づいて、レーザ発振器２２のレーザ照射
タイミングを制御する。したがって、レーザの照射タイ
ミングは、パルスモータ１４の歩進送りタイミングに正
確に同期し、前記マーキングは樹脂封止パッケージにミ
スや位置ずれなく適正に実行されることになる。

【００２１】また、マーキングステージ２８に被マーキ
ング物としての樹脂封止パッケージ２が存在しているか
否かがホトセンサ２７により検出され、その検出結果が
コントローラ２６に送信される。そして、コントローラ
２６はホトセンサ２７の検出結果が樹脂封止パッケージ
２が存在しない場合にはレーザ照射指令を中止し、存在
する場合にのみレーザ照射指令を発信する。したがっ
て、樹脂封止パッケージ２に対するマーキングミスの発
生は確実に防止されることになる。

【００２２】前記実施例によれば次の効果が得られる。
ワーク１の送り駆動をパルスモータ１４によって実
行するとともに、レーザ２１の照射タイミングをパルス
モータ１４のパルス信号数に基づいて実行するように構
成することにより、ワーク１の送り作動とレーザ２１の
照射タイミングとを正確に同期させることができるた
め、レーザ２１によるマーキングをワーク１の被マーキ
ング物２にミスや位置ずれなく適正に実行することがで
きる。

【００２３】 マーキングステージ２８に被マーキン
グ物２が存在しているか否かを検出するホトセンサ２７
を設けるとともに、コントローラ２６をその検出結果に
基づいて制御されるように構成することにより、マーキ
ングミスや位置ずれの発生をより一層確実に防止するこ
とができる。

【００２４】 ワーク１をパルスモータ１４によって
歩進送りするように構成することにより、歩進送り装置
の構造を簡単化することができる。

【００２５】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００２６】例えば、マーキングステージにおいて被マ
ーキング物の有無を検出する検出装置はホトセンサによ
り構成するに限らないし、省略してもよい。

【００２７】ワーク送り駆動用モータは、パルスモータ
に限らず、サーボモータにより、構成してもよい。ま
た、モータの回転数信号はエンコーダにより得るように
構成してもよい。

【００２８】歩進送り装置は送りねじ装置により構成す
るに限らず、テープを送るスプロケット機構等により構
成してもよい。また、長尺物の搬送は、歩進送りに構成
するに限らず、連続送りに構成してもよい。

【００２９】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野である多連リ
ードフレームに整列された樹脂封止パッケージにマーキ
ングする技術に適用した場合について説明したが、それ
に限定されるものではなく、キャリアテープに整列され
た樹脂封止パッケージする場合や、その他長尺物に複数
個の被マーキング物が整列されている場合等に使用され
るレーザマーキング装置全般に適用することができる。

【００３０】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００３１】ワークの送り駆動をパルスモータによって
実行するとともに、レーザの照射タイミングをパルスモ
ータのパルス信号数に基づいて実行するように構成する
ことにより、ワークの送り作動とレーザの照射タイミン
グとを正確に同期させることができるため、レーザによ
るマーキングをワークの被マーキング物にミスや位置ず
れなく適正に実行することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるレーザマーキング装置
を示す正面図である。

【図２】その側面断面図である。

【図３】その一部省略平面図である。

【符号の説明】

１…多連リードフレーム（ワーク）、２…樹脂封止パッ
ケージ（被マーキング物）、３…係合孔、１０…レーザ
マーキング装置、１１…ガイドレール、１２…送りねじ
装置、１３…送りねじ軸、１４…パルスモータ、１５…
カップリング、１６…雌ねじ部材、１７…移動ブロッ
ク、１８…送り爪部材、１９…送り爪、２０…レーザ照
射装置、２１…レーザ、２２…レーザ発振器、２３…反
射鏡、２４…フォーカスレンズ、２５…マスク、２６…
コントローラ、２７…ホトセンサ、２８…マーキングス
テージ、２９…マーク。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 敏彦 山形県天童市北久野本１丁目７番43号 エ ムテツクスマツムラ株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 長尺物に被マーキング物が複数個、少な
   くとも一方向に整列されており、この長尺物が整列方向
   に搬送されるとともに、前記被マーキング物にレーザが
   順次照射されることにより、マークが付されるように構
   成されているレーザマーキング装置において、前記長尺
   物がモータにより搬送されるように構成されているとと
   もに、このモータの回転数が検出されるように構成され
   ており、前記レーザ照射がこのモータの回転数信号に基
   づいて実行されるように構成されていることを特徴とす
   るレーザマーキング装置。
2. 【請求項２】 請求項１記載のレーザマーキング装置に
   おいて、レーザ照射時に被マーキング物の有無を検出す
   る検出装置が設けられていることを特徴とするレーザマ
   ーキング装置。
3. 【請求項３】 前記モータが送りねじ装置を駆動するよ
   うに構成されているとともに、この送りねじ装置は前記
   長尺物をガイドレールに沿って搬送するように構成され
   ていることを特徴とする請求項１記載のレーザマーキン
   グ装置。