JPH05325792A - マイクロ波真空気密窓の製造方法 - Google Patents
マイクロ波真空気密窓の製造方法Info
- Publication number
- JPH05325792A JPH05325792A JP11941092A JP11941092A JPH05325792A JP H05325792 A JPH05325792 A JP H05325792A JP 11941092 A JP11941092 A JP 11941092A JP 11941092 A JP11941092 A JP 11941092A JP H05325792 A JPH05325792 A JP H05325792A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metallized layer
- cylindrical metal
- microwave vacuum
- disk
- metal component
- Prior art date
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- Withdrawn
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- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Waveguide Connection Structure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】メタライズ層の塗布範囲のばらつきに起因する
電気的特性の変化を防止する。 【構成】円板状セラミックス１の外周部に施されたメタ
ライズ層２に接合されたフランジ付円筒金属部品３の内
径より内側のメタライズ層２を、セラミック粉末を吹き
付けて除去する。これにより、メタライズ層２の塗布範
囲の寸法精度が低いことによる反射特性などの電気的特
性の劣化を防止することができる。
電気的特性の変化を防止する。 【構成】円板状セラミックス１の外周部に施されたメタ
ライズ層２に接合されたフランジ付円筒金属部品３の内
径より内側のメタライズ層２を、セラミック粉末を吹き
付けて除去する。これにより、メタライズ層２の塗布範
囲の寸法精度が低いことによる反射特性などの電気的特
性の劣化を防止することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はマイクロ波真空気密窓の
製造方法に関し、特に進行波管などのマイクロ波管の入
出力部などに主として使用されるマイクロ波真空気密窓
の製造方法に関する。
製造方法に関し、特に進行波管などのマイクロ波管の入
出力部などに主として使用されるマイクロ波真空気密窓
の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】マイクロ波真空気密窓は、真空気密を行
うと同時にマイクロ波を透過させるために使用されるも
のであり、従来のものは図３（ｃ）に示すような構造を
有している。
うと同時にマイクロ波を透過させるために使用されるも
のであり、従来のものは図３（ｃ）に示すような構造を
有している。
【０００３】この製造方法は、図３（ａ）に示すよう
に、まず、通常アルミナ又はベリリア等の円板状セラミ
ックス１の外周部に金属との接合を可能とするためのメ
タライズ層２を施し、次に、図３（ｂ）に示すように、
メタライズ層２の両面にフランジ付円筒状金属部品３を
ろう接し、最後に、図３（ｃ）に示すように、フランジ
付円筒状金属部品３に金属部品４及び導波管５をろう接
する工程からなる。
に、まず、通常アルミナ又はベリリア等の円板状セラミ
ックス１の外周部に金属との接合を可能とするためのメ
タライズ層２を施し、次に、図３（ｂ）に示すように、
メタライズ層２の両面にフランジ付円筒状金属部品３を
ろう接し、最後に、図３（ｃ）に示すように、フランジ
付円筒状金属部品３に金属部品４及び導波管５をろう接
する工程からなる。
【０００４】このマイクロ波真空気密において、導波管
５の一方より伝送されたマイクロ波は円板状セラミック
ス１を通過し、他方の導波管５に伝送される。導波管５
とフランジ付円筒状金属部品３及び円板状セラミックス
１の各々境界のインピーダンス不連続部でのマイクロ波
の反射及び吸収を避けるため、各部の寸法は使用される
周波数帯域で特性が最善となるように決められている。
また、円板状セラミックス１の両側で真空気密がなさ
れ、真空で動作するマイクロ波管の入出力回路部などに
使用される。
５の一方より伝送されたマイクロ波は円板状セラミック
ス１を通過し、他方の導波管５に伝送される。導波管５
とフランジ付円筒状金属部品３及び円板状セラミックス
１の各々境界のインピーダンス不連続部でのマイクロ波
の反射及び吸収を避けるため、各部の寸法は使用される
周波数帯域で特性が最善となるように決められている。
また、円板状セラミックス１の両側で真空気密がなさ
れ、真空で動作するマイクロ波管の入出力回路部などに
使用される。
【０００５】図３（ａ）〜（ｃ）に示した工程により製
造されるマイクロ波真空気密窓の構造は、円板状セラミ
ックス１の厚さを薄くしてもフランジ付円筒状金属部品
３との間に十分なろう接面積を取ることができるため、
全体形状が小さく成らざるを得ない１４ＧＨｚ帯以上の
高周波帯域でよく用いられている。
造されるマイクロ波真空気密窓の構造は、円板状セラミ
ックス１の厚さを薄くしてもフランジ付円筒状金属部品
３との間に十分なろう接面積を取ることができるため、
全体形状が小さく成らざるを得ない１４ＧＨｚ帯以上の
高周波帯域でよく用いられている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前述のように、１４Ｇ
Ｈｚ以上の高周波帯域では、図３（ｃ）に示すようなマ
イクロ波真空気密窓構造が採られるが、特に、３０ＧＨ
ｚ以上のミリ波領域となった場合、例えば、３０ＧＨｚ
帯の場合、導波管５が矩形導波管の時、その内径寸法
は、７．１１ｍｍ×３．５６ｍｍ、また、フランジ付円
筒状金属部品３の内径寸法は直径９ｍｍ程度、円板状セ
ラミックス１の厚さは０．３ｍｍ程度となる。これらの
金属部品では機械加工により寸法精度は±０．０１以下
とする事が可能であり、また、円板状セラミックス１の
厚さも研磨により同様の精度を維持することができ、加
工精度による電気的特性劣化は無視できる。しかしなが
ら、円板状セラミックス１に施したメタライズ層２の塗
布範囲の寸法精度は、通常±０．１ｍｍ変化したとき、
反射損失特性を表す電圧定在波比は、例えば１．０５が
１．２１となり大きく変化する。このようにメタライズ
層２の寸法精度が維持できないため、電気的特性が劣化
するという問題点がある。
Ｈｚ以上の高周波帯域では、図３（ｃ）に示すようなマ
イクロ波真空気密窓構造が採られるが、特に、３０ＧＨ
ｚ以上のミリ波領域となった場合、例えば、３０ＧＨｚ
帯の場合、導波管５が矩形導波管の時、その内径寸法
は、７．１１ｍｍ×３．５６ｍｍ、また、フランジ付円
筒状金属部品３の内径寸法は直径９ｍｍ程度、円板状セ
ラミックス１の厚さは０．３ｍｍ程度となる。これらの
金属部品では機械加工により寸法精度は±０．０１以下
とする事が可能であり、また、円板状セラミックス１の
厚さも研磨により同様の精度を維持することができ、加
工精度による電気的特性劣化は無視できる。しかしなが
ら、円板状セラミックス１に施したメタライズ層２の塗
布範囲の寸法精度は、通常±０．１ｍｍ変化したとき、
反射損失特性を表す電圧定在波比は、例えば１．０５が
１．２１となり大きく変化する。このようにメタライズ
層２の寸法精度が維持できないため、電気的特性が劣化
するという問題点がある。
【０００７】本発明の目的は、メタライズ層の内容寸法
の精度を高め電気的特性の安定したマイクロ波真空気密
窓の製造方法を提供することにある。
の精度を高め電気的特性の安定したマイクロ波真空気密
窓の製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、円板状セラミ
ックスの両面の外周部にメタライズ層を形成する工程
と、該メタライズ層を介して前記円板状セラミックの両
面にフランジ付円筒状金属部品をろう接する工程と、該
フランジ付円筒状金属部品に金属部品と導波管をろう接
する工程とを有するマイクロ波真空気密窓の製造方法に
おいて、前記フランジ付円筒状金属部品をろう接する工
程後に該フランジ付円筒状金属部品の円筒内の前記メタ
ライズ層を除去する工程を含む。
ックスの両面の外周部にメタライズ層を形成する工程
と、該メタライズ層を介して前記円板状セラミックの両
面にフランジ付円筒状金属部品をろう接する工程と、該
フランジ付円筒状金属部品に金属部品と導波管をろう接
する工程とを有するマイクロ波真空気密窓の製造方法に
おいて、前記フランジ付円筒状金属部品をろう接する工
程後に該フランジ付円筒状金属部品の円筒内の前記メタ
ライズ層を除去する工程を含む。
【０００９】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１０】図１（ａ）〜（ｄ）は本発明の第１の実施
例を説明する工程順に示した断面図である。
例を説明する工程順に示した断面図である。
【００１１】第１の実施例は、まず図１（ａ）に示すよ
うに、円板状セラミックス１の外周部にメタライズ層２
を施す。次に図１（ｂ）に示すように、メタライズ層２
にフランジ付円筒状金属部品３をろう接する。次に図１
（ｃ）に示すように、フランジ付円筒状金属部品３の内
径より内側のメタライズ層２にアルミナセラミック粉末
をエアブラシングにより吹き付けてメタライズ層２の内
径をフランジ付円筒状金属部品３の内径と等しくなるま
で除去する。次に、図１（ｄ）に示すように、フランジ
付円筒状金属部品３に金属部品４及び導波管５をろう接
する。
うに、円板状セラミックス１の外周部にメタライズ層２
を施す。次に図１（ｂ）に示すように、メタライズ層２
にフランジ付円筒状金属部品３をろう接する。次に図１
（ｃ）に示すように、フランジ付円筒状金属部品３の内
径より内側のメタライズ層２にアルミナセラミック粉末
をエアブラシングにより吹き付けてメタライズ層２の内
径をフランジ付円筒状金属部品３の内径と等しくなるま
で除去する。次に、図１（ｄ）に示すように、フランジ
付円筒状金属部品３に金属部品４及び導波管５をろう接
する。
【００１２】このようにして組立てられたマイクロ波真
空気密窓において、導波管５の一方より伝送されたマイ
クロ波は円板状セラミックス１を通過し、他方の導波管
５に伝送される。導波管５とフランジ付円筒状金属部品
３及び円板状セラミックス１の各々境界のインピーダン
ス不連続部でのマイクロ波の反射及び吸収を避けるた
め、各部の寸法は使用される周波数帯域で特性が最善と
なるように構成されている。また、円板状セラミックス
１の両側で真空気密がなされ、真空で動作するマイクロ
波管の入出力回路部などに使用される。
空気密窓において、導波管５の一方より伝送されたマイ
クロ波は円板状セラミックス１を通過し、他方の導波管
５に伝送される。導波管５とフランジ付円筒状金属部品
３及び円板状セラミックス１の各々境界のインピーダン
ス不連続部でのマイクロ波の反射及び吸収を避けるた
め、各部の寸法は使用される周波数帯域で特性が最善と
なるように構成されている。また、円板状セラミックス
１の両側で真空気密がなされ、真空で動作するマイクロ
波管の入出力回路部などに使用される。
【００１３】図２（ａ）〜（ｅ）は本発明の第２の実施
例を説明する工程順に示した断面図である。
例を説明する工程順に示した断面図である。
【００１４】第２の実施例は、まず、図２（ａ）に示す
ように、円板状セラミックス１の外周部にメタライズ層
２を施す。次に、図２（ｂ）に示すように、メタライズ
層２にフランジ付円筒状金属部品３をろう接する。次
に、図２（ｃ）に示すように、フランジ付円筒状金属部
品３に金属部品４をろう接する。次に、図２（ｄ）に示
すように、フランジ付円筒状金属部品３より内側のメタ
ライズ層２にアルミナ粉末をエアブラシングにより吹き
付けてメタライズ層２の内径をフランジ付円筒状金属部
品３の内径と等しくなるまで除去する。次に、図２
（ｅ）に示すように、金属部品４に導波管５をろう接す
る。
ように、円板状セラミックス１の外周部にメタライズ層
２を施す。次に、図２（ｂ）に示すように、メタライズ
層２にフランジ付円筒状金属部品３をろう接する。次
に、図２（ｃ）に示すように、フランジ付円筒状金属部
品３に金属部品４をろう接する。次に、図２（ｄ）に示
すように、フランジ付円筒状金属部品３より内側のメタ
ライズ層２にアルミナ粉末をエアブラシングにより吹き
付けてメタライズ層２の内径をフランジ付円筒状金属部
品３の内径と等しくなるまで除去する。次に、図２
（ｅ）に示すように、金属部品４に導波管５をろう接す
る。
【００１５】図２に示す第２の実施例の工程により製造
されたマイクロ波真空気密窓でも、図１に示す第１の実
施例の工程により製造されたマイクロ波真空気密窓と同
様の機能を有している。
されたマイクロ波真空気密窓でも、図１に示す第１の実
施例の工程により製造されたマイクロ波真空気密窓と同
様の機能を有している。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明により製造さ
れたマイクロ波真空気密窓は、円板状セラミックス１の
外周部に施されたメタライズ層２の内径をフランジ付円
筒状金属部品３の内径に等しくすることが可能である。
すなわち、メタライズ層２の塗布範囲の寸法精度が、従
来では±０．１ｍｍ程度の精度しか維持できなかったの
に対し、他の金属部品と同様に±０．０１ｍｍ程度の精
度まで向上することができる。従って、メタライズ層２
の寸法のばらつきによって電気的特性が影響を受けるこ
とはほとんど無くなり、電圧定在波比の変化は、例えば
１．０５から１．０８程度のばらつきの範囲に抑えられ
る。このように、動作周波数が３０ＧＨｚ以上のように
高くなり、マイクロ波真空気密窓の全体寸法が小さくな
った場合でも、電気的特性の安定なマイクロ波真空気密
窓をつくることができる効果を有している。
れたマイクロ波真空気密窓は、円板状セラミックス１の
外周部に施されたメタライズ層２の内径をフランジ付円
筒状金属部品３の内径に等しくすることが可能である。
すなわち、メタライズ層２の塗布範囲の寸法精度が、従
来では±０．１ｍｍ程度の精度しか維持できなかったの
に対し、他の金属部品と同様に±０．０１ｍｍ程度の精
度まで向上することができる。従って、メタライズ層２
の寸法のばらつきによって電気的特性が影響を受けるこ
とはほとんど無くなり、電圧定在波比の変化は、例えば
１．０５から１．０８程度のばらつきの範囲に抑えられ
る。このように、動作周波数が３０ＧＨｚ以上のように
高くなり、マイクロ波真空気密窓の全体寸法が小さくな
った場合でも、電気的特性の安定なマイクロ波真空気密
窓をつくることができる効果を有している。
【図１】本発明の第１の実施例を説明する工程順に示し
た断面図である。
た断面図である。
【図２】本発明の第２の実施例を説明する工程順に示し
た断面図である。
た断面図である。
【図３】従来のマイクロ波真空気密窓の製造方法を説明
する工程順に示した断面図である。
する工程順に示した断面図である。
１ 円板状セラミックス ２ メタライズ層 ３ フランジ付円筒状金属部品 ４ 金属部品 ５ 導波管
Claims (2)
- 【請求項１】 円板状セラミックスの両面の外周部にメ
タライズ層を形成する工程と、該メタライズ層を介して
前記円板状セラミックスの両面にフランジ付円筒状金属
部品をろう接する工程と、該フランジ付円筒状金属部品
に金属部品と導波管をろう接する工程とを有するマイク
ロ波真空気密窓の製造方法において、前記フランジ付円
筒状金属部品をろう接する工程後に該フランジ付円筒状
金属部品の円筒内の前記メタライズ層を除去する工程を
含むことを特徴とするマイクロ波真空気密窓の製造方
法。 - 【請求項２】 前記メタライズ層を除去する工程がアル
ミナセラミック粉末をエアブラッシングにより吹き付け
る工程を含むことを特徴とするマイクロ波真空気密窓の
製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11941092A JPH05325792A (ja) | 1992-05-13 | 1992-05-13 | マイクロ波真空気密窓の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11941092A JPH05325792A (ja) | 1992-05-13 | 1992-05-13 | マイクロ波真空気密窓の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05325792A true JPH05325792A (ja) | 1993-12-10 |
Family
ID=14760780
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11941092A Withdrawn JPH05325792A (ja) | 1992-05-13 | 1992-05-13 | マイクロ波真空気密窓の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05325792A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109712855A (zh) * | 2018-12-04 | 2019-05-03 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | 一种大尺寸微波输出窗片的封接结构 |
-
1992
- 1992-05-13 JP JP11941092A patent/JPH05325792A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109712855A (zh) * | 2018-12-04 | 2019-05-03 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | 一种大尺寸微波输出窗片的封接结构 |
| CN109712855B (zh) * | 2018-12-04 | 2021-03-30 | 中国工程物理研究院应用电子学研究所 | 一种大尺寸微波输出窗片的封接结构 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990803 |