JPH05322793A - 電子イメージ位置合せ装置および方法 - Google Patents

電子イメージ位置合せ装置および方法

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JPH05322793A
JPH05322793A JP4288375A JP28837592A JPH05322793A JP H05322793 A JPH05322793 A JP H05322793A JP 4288375 A JP4288375 A JP 4288375A JP 28837592 A JP28837592 A JP 28837592A JP H05322793 A JPH05322793 A JP H05322793A
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    • G06T7/32Determination of transform parameters for the alignment of images, i.e. image registration using correlation-based methods

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  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 検査システムやイメージ処理システムのよう
な連続処理のために、理想ラスタ・データを実ラスタ・
データに電子的に位置決めまたは位置合せする装置およ
び方法を提供する。 【構成】 電子イメージ位置決めシステムは、イメージ
幅を保持するのに十分な広さを有し、傾斜イメージにお
ける差を保持するのに十分な高さを有するスクローリン
グ・バッファ50,70に理想および実イメージを受取
る。各バッファは垂直方向にイメージ・フレームをラン
ダムにアクセスするセレクタを有している。各バッファ
・イメージ・フレームは、下側スワースから次の上側ス
ワース内の新しい位置に水平に移動される。各バッファ
の水平移動は、水平方向の調整可能なシーケンシャル・
アクセスが可能なように独立である。実イメージ・スト
リーム・バッファ・セレクタ・アドレス指定およびクロ
ッキングは、位置決めフェーズ中、一定に保持され、理
想イメージ・ストリーム・バッファ・セレクタ・アドレ
スおよびクロッキングは常時調整される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、一般的にトポロジ的に
同一のラスタ化された2以上のイメージの空間的時間的
位置合せを実施するイメージプロセッサに関し、特に、
米国特許出願第07/806,942号明細書に開示さ
れた検査システムおよび欠陥検出システムのような連続
処理に用いる種類のイメージプロセッサに関する。
【0002】
【従来の技術】プリント回路基板検査の分野で実用化さ
れるイメージ処理は、一般的に、ラスタ・スキャナ,ビ
ジコン,および線形の電荷結合素子(charge−c
oupled device:CCD)アレイのような
デバイスによって、画素(ピクセル)のラスタとして生
成されたイメージを操作する。それらのピクセルはさら
なる処理のためにアナログ形式からバイナリ形式へと変
換される。その処理はイメージデータの大フィールドの
小セクション上で行われる。なぜならば、直接取込まれ
たデータを他の処理方法による使用のために格納するよ
りも、直接取込まれたデータ上で操作する方がより経済
的であるからである。
【0003】実イメージの変換および回転は、ラスタ・
スキャン・データ獲得に先立って実オブジェクトを機械
的に回転および変換することにより補正することができ
るが、機械的変換および回転調整は、ラスタ・ピクセル
解像度に比べて機械的精度が粗いと価値が制限される。
イメージ解像度が増大すると、機械的精度も改良されな
ければならない。ラスタ・ピクセル解像度をマイクロイ
ンチで測定するとき、機械的公差も同じにしなければな
らない。マイナス環境(例えば、真空,高温,アクセス
困難,振動)も機械的な解決を妨げている。実イメージ
の拡大,縮小,歪みは、ラスタ・スキャン装置によっ
て、または、画像化される実オブジェクトの元の製造に
よって生じる。こうした理想イメージとの差は、機械的
または光学的調整による補償を受け入れることができな
い。
【0004】従来技術は、パラレルなイメージ処理が、
イメージ内で水平または垂直方向に大きく離れた点上
で、同様に動作するように構成されることを示してい
る。従来技術には、隣接ラスタ上で動作することにより
パラレルにイメージを処理するスキームは存在しない。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、検査
システムおよび欠陥検出システムのような連続プロセス
のために、理想ラスタ・データを実ラスタ・データに電
子的に位置決めまたは位置合せする装置および方法を提
供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明により、多くの他
のシステム内に組込むことができる自己完結型のサブシ
ステムである電子イメージ位置決めシステムが提供され
る。電子イメージ位置決めシステムは、イメージ幅を保
持するのに十分広く、傾斜イメージの差を保持するのに
十分高いスクローリング・バッファ内に、理想および実
イメージを受取る。言い換えれば、あらゆる種類の誤位
置合せまたは歪みに対して、実および理想の上部コーナ
ーまたは下部コーナーをバッファ内に含まなければなら
ない。各バッファ・イメージは、下側スワースから隣の
上側スワース内の新しい位置に水平に移動する。各バッ
ファの水平移動は、水平方向の調整可能なシーケンシャ
ル・アクセスが可能なように独立である。
【0007】各バッファは、イメージを垂直方向にラン
ダムにアクセスする“セレクタ”を有している。実イメ
ージ・ストリーム・バッファ・セレクタ・アドレス指定
およびクロッキングは、位置決めフェーズ中、一定に保
持され、理想イメージ・ストリーム・バッファ・セレク
タ・アドレスおよびクロッキングは常時調整される。こ
のバッファ・クロッキングおよびセレクタ・アドレス指
定の効果は、誤位置合せされた実オブジェクト・イメー
ジに与えられる一定ラスタ・フィールドと同一の一定理
想イメージに、新しいラスタ・フィールド方向を強いる
ことである。
【0008】本発明は、米国特許出願第07/806,
942号明細書に説明されている進歩した製造検査シス
テムに用いられる。そのシステムは検査解像度で検査さ
れた製品のラスタ化参照イメージを含むデータベースを
備えている。全イメージはシステム・データベースに格
納され、アクセスされ、本発明の主題である電子位置決
めサブシステムに、ラスタ的に送り込まれる。電子位置
決めサブシステムは、参照データを、スレショルド製品
検査データ入力と位置合せする。位置合せされた参照お
よび検査データは、全パラレル欠陥検査チャネルに送ら
れる。選別ブロックは、欠陥メモリに記録するために、
所望のチャネル出力を選択する。
【0009】米国特許出願第07/806,942号明
細書に開示された他の実施例では、位置決め後に、検査
グレー・スケール信号のスレショルドが行われ、スレシ
ョルドは参照データによって制御される。したがって、
スレショルドされたデータのいくつかのバージョンは、
いくつかの欠陥検査チャネルに対するバイナリ検査デー
タとして使用可能である。同様に、いくつかのレベルの
位置合せ参照イメージが、他の有用な目的のためのチャ
ネルに対して使用可能である。
【0010】検査システムは、参照イメージおよび検査
イメージが同じ解像度であるので、イメージ解像度とは
無関係に機能する。示される欠陥は、製品設計者やプロ
セス・エンジニアによって特定される欠陥に依存する。
したがって、検出され示される各種の欠陥は、別個のチ
ャネルによって処理され、そのチャネル出力は欠陥メモ
リへのエントリとして選択することができる。このよう
に、いくつかの異なる製品タイプまたはパーツを、異な
る仕様で検査することができる。各チャネルは、標準高
速形態イメージ処理デバイスを備えた標準チャネルボー
ドへの接続部を共にケーブル・プラッギング(plug
ging)することによって生成される。
【0011】
【実施例】
一般的スキーム 図1によると、イメージ処理は一般的に、理想的代表イ
メージとの比較、または、理想的代表イメージによる制
御を要求する。電子位置合せ装置10における理想イメ
ージ・データのソースは、ラスタ・スキャナ14による
“ゴールデンパート”実オブジェクト12の同時ラスタ
・スキャン、またはラスタ化理想オブジェクト・データ
の多数ファイル(図示せず),または圧縮して格納され
た理想オブジェクト・データ18のラスタ・ジェネレー
タ16によるラスタ化拡大とすることができる。
【0012】図1に示すように、ラスタ・スキャナ1
4′によって取込まれた実イメージ・データ20は、一
般的に、イメージの理想的表示に対して変換,回転,拡
大,縮小,および/または歪みを受けていることが見出
される。必要なのは、理想ラスタ・データ18を実ラス
タ・データ20に、電子的に位置決め、または位置合せ
する方法である。
【0013】図1に示した電子ラスタ・データ位置合せ
装置10は、理想および実ラスタ・イメージ・データ・
ストリームを同時に受け取り、理想イメージ・ストリー
ムを変換し、元の実イメージ・ストリーム24と位置合
せされた変換理想イメージ・ストリーム22を出力しな
ければならない。実イメージ・ストリーム24は変換さ
れない。なぜならば、実オブジェクトの高忠実度イメー
ジは、一般的に、オブジェクト測定のような連続イメー
ジ処理に必要とされるからである。理想イメージ・スト
リーム22は変換が可能である。なぜならば、それは一
般的に、変換中にトポロジを保持し、必要ならば再変換
できる周知のイメージであるからである。
【0014】次の図2では、本発明による位置合せの一
般的スキームを示す。理想イメージ・データのフレーム
30は、実イメージ・フィールド内のフレームの規則的
セットからの実イメージ・データ・フレーム32と最良
に適合する理想イメージ・フィールドから選択される。
これらのフレーム位置は理想イメージ・フレーム座標メ
モリ34に記憶される。簡略化および明瞭化のために、
理想イメージ・フレーム座標メモリ34に示すフレーム
数は8としたが、フレーム数は通常、数百または千以上
である。影を付けた文字“A”36は、実イメージ・フ
ィールド37内の実オブジェクトを表示し、文字36
は、理想イメージ・フィールド39内に示された理想文
字“A”の表示38に対して、変換,回転,拡大,縮
小,および/または歪みを受けて現われる。
【0015】図3は図2において丸で囲った実イメージ
・フィールド37の左上コーナーを、より詳細に示す。
実イメージ・フィールド37は、フレーム40の規則的
格子へと区分けされ、各フレームはイメージ・ピクセル
41の一定アレイ(好適な実施例では、16×16画
素)からなっている。実イメージは連続イメージ処理に
対してイメージの統合性を保持するために、元のまま保
持される。実イメージ・ラスタ・セグメントは、等しい
長さを有しており、イメージ取込み装置(すなわち、ラ
スタ・スキャナ装置)から取込んだ連続ラスタから構成
されている。フレーム40の数は、実イメージ・フィー
ルドの大きさと、フレームを構成するピクセルの数に依
存する。この装置は、典型的に16,000ピクセルの
水平フィールド幅を有するイメージ取込み装置の全幅で
作動する。このようにして、1,000個のフレーム4
0がフィールド37に亘って形成される。フレームの垂
直幅は、実オブジェクト・フィールドの高さに依存し、
水平幅よりもさらに大きくすることができる。より大き
いフォーマットの実オブジェクト・イメージは、ストリ
ップ内を蛇行的にスキャンされる。
【0016】図4は理想イメージ・フィールド39が、
実イメージ・フィールド37のようにフレームの規則的
セットに区分けされていないことを示している。フレー
ム42のセットは、各フレームが実イメージの規則的フ
レーム・セットと最良に適合するイメージ・ピクセル4
3の一定アレイ(すなわち、16×16画素)からなる
理想イメージ・フィールド39から選択される。理想イ
メージ・フィールド39はより大きい構成であり(図2
参照)、フレーム選択の際の変換および回転の影響を補
償するマージンを有している。
【0017】実フレームおよび理想フレームのそれぞれ
は、ラスタ・セグメントと呼ばれる16個のピクセルか
らなる16個の行を有している。各ラスタ・セグメント
は、個々のイメージ・フィールド内の開始位置によって
識別することができる。理想イメージ・フレーム座標メ
モリ34(図2参照)は、理想ラスタ・セグメントの開
始アドレスを格納するために存在する。実イメージ・デ
ータの1行のフレーム内の各フレームに対し、理想フレ
ーム座標エントリが存在する。
【0018】フレームの大きさは、2つの関係を満たす
ように選択される。フレームの大きさがより小さいと、
理想イメージから適合フレームを選択する際、より大き
な回転および拡大調整を可能にする。フレームの大きさ
がより大きいと、欠陥実イメージに対する理想イメージ
のより良い領域クロス相関を可能にする。
【0019】図5(a)はプリント回路導体の理想イメ
ージ45を示す。図5(b)は、フレーム選択変換を受
けたプリント回路導体の理想イメージ45の誇張された
例を示す。規則的格子フィールドに再配置したときの、
フレームの空間的および段階的選択は、プリント回路配
線の幾分歪んだイメージを生じる。このことは、大抵の
イメージ処理状態の下では許容される。なぜならば、特
徴部は大きく、十分に定められており、そのトポロジが
重要だからである。理想イメージの領域的統合性が要求
されるときは、基準生成技術によりフレーム選択を制御
することが可能である。
【0020】スクローリング・バッファ 本発明による電子位置合せシステムは、スクローリング
・バッファと呼ばれる主要素を多数回使用することを要
求する。図6は、この例では7つの縦続接続されたシフ
ト・レジスタ51〜57と、各シフト・レジスタの出力
を受取る7×3セレクタ58とから構成されるスクロー
リング・バッファ50の構成を示す簡略化されたブロッ
ク図である。第1のシフト・レジスタ51は、その入力
にイメージ・データを受取り、その長さすなわちメモリ
容量はイメージ・データの1つの完全なラスタ(すなわ
ち、16,000ピクセル)を含むのに十分大きい。続
く各シフト・レジスタ52〜57は、イメージ内の上部
の次のラスタを含んでいる。シフト・レジスタはクロッ
クの制御の下に1度にラスタ1ピクセルを受取る。
【0021】明瞭化および簡略化のために、図6には、
7個のシフト・レジスタが描かれているだけであるが、
好適な実施例では、160個のラスタに対する容量が存
在する。好適なデバイスは、ラスタ長に等しいビット容
量のシフト・レジスタ・デバイスを採用しているが、ス
クローリング・バッファをランダム・アクセス・メモリ
(RAM)デバイス、またはビデオRAM(VRAM)
デバイスによって構成することも可能である。この目的
に適した64K VRAMの例は、TexasInst
ruments社製のTMS4161EV4マルチポー
トVRAMである。Texas Instrument
s社のTMS4161EV4マルチポートVRAMは、
市販されており、ここでは詳細に説明しない。こうした
VRAMの各々は、4個のラスタ・ラインを受取ること
ができる。図7は、以降の図で用いるスクローリング・
バッファ50の略図であり、図6に示すようなシフト・
レジスタまたはVRAMを用いて実施される。
【0022】上述のように、位置合せ装置は、大仮想フ
ィールドの小セクション上で作動する。実イメージ・フ
ィールドおよび理想イメージ・フィールドの小セクショ
ンは、個々のスクローリング・バッファ内に保持され
る。各イメージ・ラスタが、ラスタ・スキャナまたはラ
スタ・ジェネレータによって生成されると、スクローリ
ング・バッファの最下部に入力され、バッファリングさ
れた全てのラスタを1ラスタ上に進める。バッファによ
りイメージはスクローリング・アップするかのように見
えるため、スクローリング・バッファと名付けられる。
スクローリング・バッファの最上部のラスタは、スクロ
ーリング・バッファから出力し、使用されないのであれ
ば廃棄される。
【0023】スクローリング・バッファの深さは、理想
オブジェクトに対する実オブジェクトの傾斜量,イメー
ジ分解能,フレーム・コンパレータのサイズ,仮想イメ
ージ・スキャンに関して予想される拡大および歪みエラ
ーの量によって決定される。図8は右上コーナー・イメ
ージ特徴部60が左上コーナー・イメージ特徴部61か
ら垂直に変位している関係を示す。これらのイメージ特
徴部は、“バーおよびポスト”基準と呼ばれ、好適な実
施例において位置合せに用いられる。これについては以
降でより詳細に説明する。基準のこの垂直変位は“傾
斜”と呼ばれる。したがって、スクローリング・バッフ
ァは、最大に傾斜した実イメージの上部の2コーナー
と、フレーム・コンパレータのサイズと、各余分のフレ
ーム・コンパレータに対する4個のラスタと、予想され
る全ての拡大または歪みランアウトとを含むのに十分深
くなければならない。
【0024】図6は全シフト・レジスタ51〜57の出
力が、広入力セレクタ58に対して使用可能であること
を示している。このセレクタ58は、シフト・レジスタ
出力ラインの1つを外部出力に接続するようにアドレス
指定される単純なマルチプレクサ/セレクタ・デバイス
である。さらに、マルチプレクサ/セレクタ・デバイス
58は(この例では3度)複写されてバッファに接続さ
れて、全(3個)セレクタに供給される同一アドレスに
対して、マルチプレクサ/セレクタ・デバイス58が、
(3個の)外部出力に接続されたシフト・レジスタ出力
の隣接セットを与える。図6は、シフト・レジスタ5
4,55,および56が、セレクタ58を経由して外部
出力に接続される場合を示す。セレクタ・アドレスを進
めると、シフト・レジスタ55,56,および57が外
部出力に接続される。
【0025】図6は単純な1ラスタ・スワース(swa
th)によるスクローリング・バッファの実施を示して
いるが、図9は4ラスタ・スワースが如何にしてスクロ
ーリング・バッファおよびセレクタ内で接続されるかを
示す。この実施例では、スクローリング・バッファ50
は、複数のシフト・レジスタ621 〜62n と、シフト
・レジスタ621 ,622 ,623 ,624 へ入力され
る4ラスタ・スワースとによって実施される。各シフト
・レジスタの出力は、セレクタ58およびシフト・レジ
スタ62i+4 へ入力される。セレクタ58は、続いて、
図ではシフト・レジスタ626 ,627 ,628 ,およ
び629 からのスワースである4ラスタ・スワースを選
択する。この全てのアプローチは、全ての入力/出力ラ
スタ進行組合せに適用可能である。
【0026】図10は理想イメージ・データのためのバ
ッファ50の好適な実施例である。このバッファでは、
16個のラスタがスワース(SW)内で接続され、この
スワースは1フレーム高さである。各ブロック631
6310は16個のシフト・レジスタとして、または複数
のVRAMとして実施することができる。上述のTex
as Instruments社製TMS4161EV
4 VRAMを用いると、各ブロック631 〜6310
4個のVRAMから構成され、各々4つの入力ラインを
受取る。10フレーム高さのイメージは、このようにし
て、理想イメージ・バッファ内に常に保持される。セレ
クタ58は4フレーム高さ(すなわち、4個のスワース
または64個のラスタ)のセットを選択する。
【0027】実イメージ・バッファは、図11に示すよ
うに、図10のバッファの変形である。より具体的に
は、実イメージ・データのためのバッファ70も、10
フレーム高さであり、ブロック631 〜6310と同様
に、ブロック731 〜7310を含むが、実イメージ・バ
ッファ・セレクタ74は2個のスワース(すなわち、3
2個のラスタ)を選択するのみである。 I.基本位置合せ機能 概要 図12は本発明の基本構成を示す。それは制御機能部7
5の下に個々の理想イメージおよび実イメージを移動お
よび進行させるスクローリング・バッファ50および7
0を含んでいる。スクローリング・バッファ50および
70の出力は、フレーム・コンパレータ76に供給さ
れ、フレーム・コンパレータ76は制御機能部75に出
力を供給する。さらに、スクローリング・バッファ50
および70は、ラスタ・セレクタ77に出力を供給し、
ラスタ・セレクタ77は制御機能部75の制御の下にラ
スタ出力を供給する。(実イメージ・フレームと適合さ
せるための)理想フレーム選択は、制御機能部75に制
御される、水平および垂直方向のインクリメントおよび
/またはデクリメントによって行われる。垂直調整は、
バッファ50内の3ステージ・セレクタ回路によって行
われる。水平調整は、ラスタ・セレクタ77内に設けら
れたデータ先入れ先出しバッファ(FIFO)に対する
理想イメージ・スキャン・クロックの制御によって行わ
れる。
【0028】制御機能部75は2つのモード(非更新モ
ードおよび更新モード)の1つにおいて作動させること
ができる。非更新モードは、実イメージに対する初期位
置合せ実パート傾斜および拡大(または縮小)に厳密に
基づいて、理想イメージを実イメージに位置合せする。
更新モードは非更新モードと同様の位置合せ機能を実施
するが、さらに、位置決めプロセスを通じて位置合せ調
整を実施する。
【0029】理想および実イメージ・セレクタ 図13において、理想バッファ50の出力は、セレクタ
581 〜585 によって、フレーム・コンパレータ76
1 〜765 およびラスタ・セレクタ771 〜775 に送
られる。実イメージ・スクローリング・バッファ70
は、1つのセレクタ74にデータを供給する。このセレ
クタ74は、フレームの1つの所望の行に固定されたま
まであり、それらのフレームを同じセットのコンパレー
タ761 〜765 および別のラスタ・セレクタ776
送る。スクローリング・バッファ・セレクタの出力は、
16個のラスタ・セグメント・フレームのシーケンスで
あり、各フレームはフレーム・コンパレータ要件を満た
すために最上部および最下部に8つのラスタ・マージン
を有している。
【0030】理想および実イメージ・フレームは、個々
のクロックおよびセレクタ・アドレスの制御の下に、同
期的にフレーム・コンパレータ761 〜765 へ進行し
続ける。同期的に、5個の理想フレームそれぞれと実フ
レームの最上部ラスタは、ラスタ・セレクタ771 〜7
6 へと進行する。
【0031】理想イメージ・フレームの実イメージ・フ
レームに対する水平位置合せ調整は、実イメージ・スク
ローリング・バッファ70のクロッキングを一定に保持
しながら、理想イメージ・スクローリング・バッファ5
0へのクロック・パルスの付加および削除を行うことに
より行われる。理想イメージ・フレームの実イメージ・
フレームに対する垂直位置合せ調整は、実イメージ・ス
クローリング・バッファ・セレクタ74のアドレスを一
定に保持しながら、理想スクローリング・バッファ・セ
レクタ581 〜585 へのアドレスを変更することによ
り行われる。
【0032】実イメージが進行を阻まれると、理想イメ
ージは1ピクセル進行し、第2の比較が行われ、その相
関値が記録される。さらにまた、理想イメージが進行
し、第3の比較が行われ、相関値が記録される。
【0033】図14(a),(b),(c)はそのプロ
セスを示し、5個のコンパレータ761 〜765 のうち
の3個のコンパレータの各々が、3つの水平相関値を、
3×3マトリックス78に与えている。マトリックスは
最終的に、最良の比較位置の指示を含んでいる。
【0034】図12を再び参照すると、フレーム・コン
パレータ76は、理想フレーム・マトリックス内のどの
フレームが実フレームと最良に適合するかを決定し、そ
の情報を制御機能部75に提供する。制御機能部75は
この情報をフレーム配置情報と共に用いて、ラスタ・セ
レクタ77内のラスタ選択を制御する。
【0035】図14(a),(b),(c)に示したよ
うに、5個のコンパレータ761 〜765 のうちの3個
が、理想イメージの中央フレームおよび隣接フレームの
相関値を与えるのに用いられ、他の2個のフレーム・コ
ンパレータは用いられないが外部隣接フレーム・イメー
ジを保持している。この例は、図14(a)において、
5個のコンパレータ内に存在する“N番目の”フレーム
と、コンパレータ763 に割当てられた中央フレームと
を示し、中央フレームはスクローリング・バッファ・ラ
イン番号80の中央に配置され、セレクタ・アドレスは
80である。しかし、図14(a)のフレーム“N”の
比較は、コンパレータ764 に検出されるスクローリン
グ・バッファ・ライン番号79の周辺で中央配置された
下部フレームに対して最良適合が検出されることを示し
ている。
【0036】システム制御機能部75(図12参照)
は、図14(b)において、コンパレータ761 だけ
が、バッファ・ライン番号82上で中央配置された保持
フレームから、ライン・ナンバー77上で中央配置され
た保持フレームに再割当され、かつ、中央フレームがコ
ンパレータ764 に再割当されるように、フレーム
(“N+1”)の次セットにセレクタ・アドレスを調整
する。基本的に、3×3最良適合マトリックス78は、
外側コンパレータと共に再割当中に移動する項目であ
る。このように、残りの4個のコンパレータの内容は、
“N+1番目”のフレームがコンパレータに進むとき
に、ディスジョイント(disjoint)になること
はない。
【0037】中央フレームがライン79上に中央配置さ
れ、コンパレータ764 が中央コンパレータとして割当
てられた状態で、図14(b)は最良の適合が、下部フ
レームを保持しているコンパレータ765 内に検出され
ることを示している。システム制御機能部75(図12
参照)は再び、コンパレータ762 のみが、ライン番号
81上に中央配置された保持フレームから、ライン番号
76上に中央配置された保持フレームに再割当てされ、
かつ、コンパレータ765 に中央フレームを再割当てす
るように、セレクタ・アドレスを、図14(c)のフレ
ーム(“N+2”)の次セットに再び調整する。中央,
上部,下部,および空きフレームにコンパレータを割当
てるこのスキームは、バレル・ローリング(barre
l rolling)と呼ばれる。
【0038】図15はスクローリング・バッファ50か
らの理想イメージ・データのフローをより詳細に示す。
図15は3ステージ・セレクタ・スキームを示し、この
スキームによってフレームは垂直に選択される。5つの
フレーム801 ,802 ,803 ,804 ,および80
5 は、1ラスタ以上互いに垂直に変位させたものであ
り、出力81としてストレート・スワース内に選択配置
されている。第1ステージ82は、理想イメージ・スク
ローリング・バッファ50と、そのセレクタ58とを有
し、15ラスタ分進む。第2ステージ83はFIFOを
含むラスタ・セレクタ77を有し、5ラスタ分進む。第
3ステージ84はFIFO出力に配置され、5ラスタの
中から1ラスタ・ベースを選択する。
【0039】3ステージ・セレクタ・ハードウェア・ア
プローチの利点の1つは、ハードウェアの最小化であ
る。この3ステージ・セレクタ・アプローチは、フレー
ム・コンパレータ76内のコリレータ(correla
tor)へのデータフローに対して使用される。
【0040】図16はFIFO(またはコリレータ)を
駆動するマルチプレクサ(MUX)をより詳細に示し、
これらマルチプレクサはフレーム垂直アドレス指定スキ
ームの第2ステージ83を含んでいる。4ウェイ・マル
チプレクサ851 〜855 は、パターン1,6,11,
16;2,7,12,17;等において理想バッファ・
セレクタ出力ラインに接続されている。マルチプレクサ
・アドレスが変更、例えば0から1になったとき、FI
FO861 〜865 に入力する最上部ラインは、セレク
タ出力ライン1から6に移動する。最下部FIFOマル
チプレクサはセレクタ出力ライン6をアドレス指定して
いるので、その結果は、グループの最上部から最下部へ
のFIFOの“バレルロール(barrel−rol
l)”である。
【0041】コリレータおよびFIFOのセレクタ機能
へのスクローリング・バッファは、単純だが大きい(1
60〜32):1のマルチプレクシング・スキームとし
て、より直線前進的に実施される。この単純スキームに
関する3ステージ・セレクタ・アドレス・スキームの第
2の利点は、対照的なフレーム・コンパレータの内容を
示す図17(a)および(b)に示されている。図17
(a)(本発明によるバレルローリング・スキーム)
は、空きフレーム・コンパレータ761 が進行ディスジ
ョイント・イメージを有するだけであることを示してい
る。図17(b)(単純スキーム)は、全フレーム移動
の結果を示している。フレーム移動は3個のコンパレー
タに制限されるが、すべての3個のコンパレータ7
3 ,764 ,765 ,およびそれについてのラスタ・
セレクタは、ディスジョイント・イメージを含んでい
る。ディスジョイント・イメージは、次フレーム位置合
せでは、位置合せプロセスを不安定にする。
【0042】フレーム・コンパレータ(クロス・コリレ
ータ) 理想および実イメージ・フレームは、個々のクロックお
よびセレクタ・アドレスの制御の下に、同期的にフレー
ム・コンパレータおよびラスタ・セレクタに進む。図1
8はフレーム・コンパレータ761 〜765 の1つの動
作をより詳細に示す。理想イメージおよび実イメージの
全部の16個のピクセル・フレームがコンパレータ76
1 に入力される。比較が行われ、相関値が計算される。
【0043】フレーム・コンパレータを実施する好適な
方法では、32×64ピクセル・フィールドの実イメー
ジおよび理想イメージが、コリレータ・フィールドにお
いて得られる。コリレータ・フィールドは所望の領域の
みを相関するようにマスクされている。典型的に、コリ
レータ・ボードは32個のコリレータ集積回路(IC)
と、並列加算器と、第2ステージ・フレーム・アドレス
指定マルチプレクサとを含んでいる。5つの同じこのよ
うなボードが、理想バッファ・セレクタ581〜585
に接続されている。これらセレクタは、それぞれ1フレ
ーム・センターラインだけ変位している。
【0044】クロック制御および水平調整 理想イメージ・フレームの水平調整は、実イメージ・ス
クローリング・バッファ70のクロッキングを一定に保
持しながら、理想イメージ・スクローリング・バッファ
50へのクロック・パルスの付加または削除により行わ
れる。バッファ・クロッキングは、図19に示すクロッ
ク回路によって達成され、そのクロック回路は制御機能
部75(図12参照)の一部である。BタイマPROM
91は実バッファ70を制御する。AタイマPROM9
0は理想バッファ50を制御する。最初に、AタイマP
ROM90が理想イメージ・バッファのタブ送りと端移
動を独立に実行する。AタイマPROM90は、位置決
めが行われているときに、BタイマPROM91と同期
して実行する。ギャップおよびオーバーラップは、−
1,0,+1調整を行うマルチプレクサ92の、ヒスト
リ・マップ・スタティックランダムアクセスメモリ(S
RAM)制御によって達成される。
【0045】シーケンサ(図示せず)は、レジスタ93
および94内のピクセル・アドレスをリセットまたはプ
リセットし、それらに個々に実行を命じることにより、
タイマを初期化する。タイマは、コンパレータ97およ
び98によって個々に検出されるように、レジスタ95
および96内のプリセット・ストップ・アドレスにおい
て自動的に停止する。AタイマPROM90およびBタ
イマPROM91は共に、ルックアップ・テーブルであ
り、その大きさおよび内容は選択されたシフト・レジス
タの実施に依存する。
【0046】BタイマPROM91は、16個のピクセ
ルの進行パルスのセットと、それに続く2個の残りのパ
ルスとを供給する。AタイマPROM90には、15
個,16または17個のパルスのセットと、それに続く
3,2,または1個の残りのパルスが供給される。これ
らのパルスの効果は、理想フレームおよびスキャン・フ
レームを、コリレータおよびFIFOへと、かつコリレ
ータおよびFIFOを通じて移動させることである。1
6個のピクセルのフレームは、32×32ピクセルのよ
り大きな相関領域を中央に含んでいる。他のタイミング
は、コリレータに、2つのイメージの相関値を与えるの
に必要なクロック・パルスを含んでいる。5つの水平相
関値は、各コリレータに対し、実イメージ・フレームが
進行するごとに生成される。
【0047】コリレータ出力および調整 5つの垂直変位理想フレームを有する目的は、実フレー
ムと、中央の理想フレームおよびその上下の隣接フレー
ムの比較を行うことである。他の2個のフレーム・コン
パレータは、フレーム選択が中央,上部,下部コンパレ
ータに再割当を行わせるとき、イメージ・データの連続
性を与えるためにだけアクティブになる。また、5つの
コンパレータ761 〜765 は、選択された3つの隣接
フレーム対してだけ、相関値を与えることに注目した
い。 II.非更新モードの位置決め 概要 図20は非更新モードにおいて位置決めを達成するのに
必要なシーケンスおよびタスクのトップレベル・フロー
チャートである。プロセスは機能ブロック101内の参
照イメージまたは理想イメージを準備することによって
始まる。これは例えば、ラスタ・スキャナ14またはラ
スタ・ジェネレータ16(図1参照)によって行われ
る。理想イメージは機能ブロック102において、図1
2に示した位置決め論理回路へと移動する。上述のケー
スでは、イメージの一部だけが、位置決めに使用され
る。これらの部分は基準によってマーク付けされてい
る。これによって、位置決めプロセスが大幅にスピード
アップする。次に、機能ブロック103において、基準
を識別し、機能ブロック104において、基準の位置を
測定する。
【0048】機能ブロック105において、スキャンさ
れた実イメージが、準備される。これは典型的に、ビデ
オカメラ(例えば、図1のラスタ・スキャナ14′)に
よって行われる。機能ブロック106において、実イメ
ージは図12に示した位置決め論理回路に移動する。次
に、機能ブロック107において、前(leadin
g)基準が識別され、その位置が測定される。同様に、
機能ブロック108において、後(trailing)
基準が識別され、その位置が測定される。
【0049】プロセスのこの時点で、機能ブロック10
9において、ヒストリ・マップが計算され、記憶され
る。機能ブロック110において、実イメージ・バッフ
ァ・ポインタが前基準スワースに移動する。機能ブロッ
ク111において、理想イメージ・バッファ・ポインタ
が開始位置に移動する。機能ブロック112において、
理想イメージが第1のタブポイントに移動する。さら
に、機能ブロック113において、理想イメージおよび
実イメージが共に、機能ブロック109で計算したヒス
トリマップの制御の下に移動する.機能ブロック114
において、理想イメージがスワースの端に移動する。そ
して、判定ブロック115において、これが最終スワー
スかどうかを判定するために、検査が行われる。もし否
なら、プロセスは機能ブロック111にループバック
し、理想バッファ・ポインタは開始位置に移動し、以降
のプロセスが繰り返される。もし最終スワースなら、イ
メージは機能ブロック116においてシートの端に移動
し、プロセスは終了する。
【0050】図21に示すように(図8も参照された
い)、左および右基準60および61は、2つのイメー
ジ間の変換および回転位置合せを行うのに必要な情報を
与える。ヒストリ・マップ118および同一のインデン
ト・マップ119が、スタティックランダムアクセスメ
モリ(SRAM)内に、理想ラスタ・フィールドを制御
するために生成される。
【0051】図22は非更新モード動作の関係および効
果を示す。唯一の規則は、現フレームが、その上のフレ
ームとその前のフレームとの関係に従って、前のフレー
ムの次に配置されることである。ヒストリ・マップは、
スワースからスワースへと保持されねばならない水平配
置フレーム間の関係を含んでいる。実イメージ・フレー
ムワークは規則的であるが、ヒストリ・マップとインデ
ント・マップの付加とに続く理想フレームワークは必ず
しも規則的ではない(図4参照)。
【0052】ヒストリ・マップおよびインデント・マッ
プを初期化するために、理想イメージおよび実イメージ
基準の位置は、検出されその回路に通知されなければな
らない。図23はその情報を得るための位置合せの3つ
の場合にとられる幾つかのステップを示す。ステップ1
は理想基準位置の獲得に関係する。好適な実施例は、基
準が理想イメージ・スクローリング・バッファに移動す
るときに測定を行う。
【0053】実イメージは左に傾斜するか(ケース
1)、または右に傾斜するか(ケース3)、全く傾斜し
ないこともある(ケース2)。第1の基準は最初にバッ
ファ内に移動し、測定される。第1の基準は第2の基準
が入力され測定されるまでバッファの上方に移動する。
そして、実イメージ・バッファ・ポインタは、バッファ
の上方に第1の基準まで移動し、残りの位置決めプロセ
スの間そこに留まる。実イメージ・バッファを水平にト
ラッキングしながら、実イメージの傾斜を補償するため
には、理想イメージ・バッファのトラッキングが傾斜さ
れ、左基準の前に始まり右基準へと下方に移動する(ケ
ース1,ステップ5)か、あるいは、左基準に始まり右
基準を上方にトラッキングする(ケース3,ステップ
5)。
【0054】基準検出 本発明の応用は多数あるが、位置合せプロセスを開始す
べき多くの種類の基準がある。そうした基準には、ドッ
ト,クロス,バー,ポスト等が含まれる。特定の基準型
を認識するためには、シーケンサおよびコリレータ・マ
スクPROMが適切にプログラムされる。この実施例で
は、バーおよびポスト基準すなわち、
【0055】
【外1】
【0056】が用いられる。
【0057】無関係のイメージ情報によって影響されな
い左上および右上スキャン・イメージ基準を検出するた
めに、基準の検出は探索領域の合理的な広さのウィンド
ウに制限される。これを図24に示す。好適な実施例で
は、ウィンドウ120および121は、シート移動方向
におけるプロダクト・エッジの検出と、カメラ・スキャ
ン方向のスキャン開始とに遅延応答して開かれている。
水平位置情報は、ポストから導かれ、垂直位置情報はバ
ーから導かれる。
【0058】コリレータは通常、2つのイメージ間の差
を測定するのに用いられるが、空フィールドに対してイ
メージを測定するのにも用いることができる。この種の
測定は、基準検出モードにおいて使用される。これらの
モードは一般的に、相関値の最大すなわち高原部の検知
を採用し、コリレータ・フィールドに完全に入力された
所望のイメージ・オブジェクトを指示する。シーケンサ
(図示せず)は、相関値との比較のための閾値を与え
る。
【0059】図25はポストおよびバー・イメージ基準
がどのように測定されるかを示す。基準ポストおよび基
準バーはコリレータ内にシーケンシャルに示される。ポ
ストおよびバーの一致を識別する論理が採用される。ス
クローリング・バッファ・セレクタを用いてスワース1
および2をアドレス指定することにより、全ポストを検
出する。この例は各スワース進行に対するポストの連続
配置を示している。全ポストが検出されると、バッファ
・セレクタ・アドレスは、バーを検出するためにスワー
ス2および3にアクセスするように変更される。
【0060】粗位置合せにおけるスプレー(spla
y)の使用 5つのコリレータおよびFIFO内のイメージは、通
常、垂直に1ラスタ離れてスペーシングされ、位置合せ
に必要な最良の解像度を与えている。これはシングル・
スプレーと呼ばれ、この3ステージ・アドレス・スキー
ムの通常の動作である。各コリレータに入力されるイメ
ージ・フレームが2ラスタ離れるようにスペーシングさ
れるダブル・スプレーのように、マルチプレクサ・アド
レスの異なるセットを与えることが可能である。粗位置
合せのための相関度合いを得るために、スプレー・モー
ドは、イメージの解像度を減少させるのに非常に有用で
ある。
【0061】図26は異なるマルチプレクサ・アドレス
の下にある全コリレータに入力される最上部ラスタ・ラ
インに対する、種々のスプレー選択を示す。中央コリレ
ータに対する通常のアドレス指定シーケンスは、A0−
B0−C0−D0−E0−A1−B1−C1−D1−E
1−A2−B2−C2−D2−E2−A3−B3−C3
−D3−E3であり、ここにおいて垂直フレーム選択シ
ーケンスが1ラスタ進む。シングル・スプレーおよびダ
ブル・スプレーを示す。同様に、低解像度のシックス・
スプレーを示す。イメージは16ピクセル・スワース・
インクリメントでスクロールするので、粗測定を実行す
るためには、コリレータによって16個のピクセルの範
囲をカバーする必要がある。シックス・スプレー・モー
ドは非常に適切な19個のラスタをカバーする。シック
ス・スプレーは基準バーの初期位置を決定するのに用い
られる。
【0062】ヒストリおよびインデント・マップ生成
(BRES回路) 図27に2つのイメージ中に見出される基準間の幾何学
的関係を示す。LS は理想イメージの左基準および右基
準間の水平距離として定義され、LR は実イメージの左
基準および右基準間の水平距離として定義される。ΔY
は実イメージの位置合せを達成するのに、ラスタのスパ
ンに必要な移動理想フレーム数である。例えば、もしΔ
Yが10であり、ラスタ長当りのフレーム数が800で
あるならば、フレーム上昇は80フレームにつき1ピク
セル増加する。
【0063】同様に、実イメージおよび理想イメージ間
のラスタ長ΔLの差は、拡大または縮小であり、理想イ
メージからのフレーム選択間のギャップまたはオーバー
ラップによって補償される。例えば、もし実イメージ長
と理想イメージ長との差が8ピクセルであり、ラスタ長
当りのフレーム数が800であるとすると、隣接フレー
ム間に100フレームにつき1回、ギャップまたはオー
バーラップが発生している。
【0064】実フィールドを位置合せ移動して理想フィ
ールド内に含ませるためには、理想イメージ・フィール
ドは実イメージ・フィールドよりも大きく作られる。こ
のため、TAB値は常に正である。スキャン・フィール
ド・エッジを越えて理想フィールドの右マージンも存在
する。
【0065】これらの関係は図28に示すハードウェア
で認識され、このハードウェアはヒストリ・マップRA
M122,123およびインデント・マップRAM12
4の内容を計算する。計算論理回路125は、実イメー
ジの左基準ポストおよび右基準ポストの測定された水平
位置RXLおよびRXRを入力として受取る。これらは
減算器126内で減算され、実イメージ内の基準間の測
定された水平距離LRを生成する。同様に、理想イメー
ジの左基準ポストおよび右基準ポストの測定された水平
位置SXLおよびSXRは、計算回路125への入力で
ある。これらは減算器127で減算され、理想イメージ
内の基準間の測定された水平距離LS を生成する。計算
値LR およびLS は第3の減算器128で減算されて、
ΔLを生成する。計算値LR およびΔLの符号はセレク
タ129によって用いられ、−1,0,または+1を拡
大マップ122に出力する。
【0066】測定値RXLおよびSXLも減算器130
で減算され、計算論理回路125のTAB出力を生成す
る。
【0067】計算論理回路125はまた、実イメージの
左基準バーおよび右基準バーの測定された垂直位置RY
LおよびRYRをそれぞれ受取る。これらは減算器13
1で減算され、ΔYを生成する。LS の計算値およびΔ
Yの符号は、セレクタ132によって用いられ、傾斜マ
ップ123およびインデント・マップ124に−1,
0,または+1を出力する。
【0068】この計算オペレーションは、グラフィック
・アプリケーションにおいて傾斜線を生成するBres
enham Algorithmと幾分似ているので、
“BRES”オペレーションと呼ぶ。しかし、このオペ
レーションは異なり、より以上のものを生成する。フレ
ーム毎に傾斜値および拡大値が計算され、それらの値は
−1,0,+1であり、最終フレームに対するフレーム
の移動を示す。各新しいスワース開始に対するTAB値
に加えるべきインデント値も計算される。“BRES”
回路はマップRAMへのエントリとして−1,0,+1
を発生する。
【0069】図29はブロック図形式で、垂直位置合せ
制御回路(図12の制御機能部75)を示す。これらの
ブロックの種々の組合せは、異なるモードのオペレーシ
ョン・シーケンスに用いられる。この回路はセレクタ・
マルチプレクサ135を有し、セレクタ・マルチプレク
サ135はライン番号(FL)ラッチ136を駆動す
る。FLラッチ136は、さらに、FA PROM13
7(セレクタ・アドレス),CMA PROM138
(コリレータ/FIFOマルチプレクサ・アドレス),
SNA PROM139(シャッフル番号アドレス),
およびFL加算器140を駆動する。FA PROM1
37はアドレス・ラインを理想バッファ・セレクタ50
に与える。CMA PROM138はアドレス・ライン
を5つのコリレータ/FIFO回路76,77に与え
る。SNA PROM139はアドレスを“シャッフ
ル”回路141に与える。コリレータ・マスク・ジェネ
レータ142はオペレーション・モードにより、コリレ
ータに種々のマスクを与える。
【0070】コリレータ出力は“ベスト・オブ・ファイ
ブ”回路148に接続され、回路148は“シャッフ
ル”回路141に接続される。“シャッフル”回路14
1はコリレータ・スコア・アレイを含む5×5マトリッ
クス144を駆動する。“シャッフル”回路141は、
インタープリタPROM145およびアンビギュイティ
(曖昧さ)リゾルバPROM A 146を駆動する。
5×5マトリックスは“次の最良”生成回路147を駆
動する。BRESジェネレータ回路125(図28参
照)は初期化データをヒストリおよびインデント・マッ
プRAM122〜124に与え、RAM122〜124
は“許容フレーム”回路149にデータを供給する。
“許容フレーム”回路149からのデータは、“結合”
回路150において拡張された最良データと結合され
る。“結合”回路150出力は閾値回路151において
優先順位付けされ、閾値回路151はアンビギュイティ
・リゾルバPROM B 152にデータを供給する。
“許容フレーム”回路149,アンビギュイティ・リゾ
ルバPROM B 152,およびアンビギュイティ・
リゾルバPROM A 146の出力は、マルチプレク
サ153において多重化され、マルチプレクサ153は
乗算器154を駆動する。乗算器154はさらに、FL
加算器140および更新回路155を駆動する。更新回
路は更新オペレーション・モードにおいてのみ使用さ
れ、ヒストリおよびインデント・マップ122〜124
を制御する。乗算器154はレジスタ156から第2入
力にスプレー値も受取る。このスプレー値はCMA P
ROM138およびSNAPROM139にも与えられ
る。インタープリタPROM145の出力およびFL加
算器140の出力は、入力としてモード・セレクタ・マ
ルチプレクサ135のコネクタ“A”,“B”にそれぞ
れ接続される。
【0071】第1ステップは基準バーを検出することで
ある。第1ステップはシーケンサ(図示せず)が、コリ
レータ76にスプレー・シックス(6)・モードに入る
よう命令し、FL(ライン番号)を13に設定させるこ
とによって開始される。実バー・イメージおよび理想バ
ー・イメージの相関オペレーションによって、粗測定が
行われ、その測定は“インタープリタ”PROM145
によって解釈され、PROM145は細かいFLアドレ
スをコネクタAに与える。
【0072】次のステップで、細かい解像度および調整
のために、シーケンサはスプレー・ワン(1)モードで
相関回路にこの新しいアドレスを命じる。アンビギュイ
ティ・リゾルバPROM A 146は、曖昧な場合を
調停し、マルチプレクサ153,乗算器154,FL加
算器140を経て出力Bが、モード・マルチプレクサ1
35に返される。
【0073】次のステップで、シーケンサはBRES回
路125に命じて、ヒストリおよびインデント・マップ
122〜124を、検出された基準情報に基づいて初期
化する。
【0074】非更新モードでは、ヒストリ・マップは許
容フレーム回路149を繰り返し駆動し、回路149の
出力はマルチプレクサ153,乗算器154,およびF
L加算器140を経て、モード・マルチプレクサ135
にフィードバックされ、マルチプレクサ135はFAお
よびCMA PROM137および138に対して、新
しいアドレスをFIFO回路77に与えさせる。 III.更新モードの位置決め 概要 更新モード・フローチャートを図30に示す。これは制
御されたフレームの移動に更新オペレーション157を
加えることを除いて、図20と全く同じである。付加的
な更新機能はヒストリおよびインデント・マップ122
〜124に、4つの隣接前フレーム位置および5つのコ
リレータからの相関値を含む複雑な規則によって更新さ
れることを要求する。理想フィールドのフレームワーク
は図31に示すように必ずしも規則的ではない。
【0075】図29を再び参照すると、更新モードでは
付加的機能要素が使用される。初期基準検出およびヒス
トリ・マップ生成の後、理想イメージおよび実イメージ
間の関係を連続的に測定するために、コリレータ76が
採用される。5つのコリレータはその相関値を“ベスト
・オブ・ファイブ”回路148に送り込み、回路148
は最良の垂直フレームを決定する。方向は“シャッフ
ル”回路141によって保持される。これらの垂直“ベ
スト・オブ・ファイブ”は、最良位置の5×5マトリッ
クス144が作成されるまで、次の“ベスト・オブ・フ
ァイブ”と比較される。最良位置の影響の範囲を拡張す
るために、最良に最も近い隣接位置も、次の最良位置と
して割当てられる。最良位置の3×3マトリックスが抽
出される。インデント・マップおよびヒストリ・マップ
122〜124は、次のフレームの割当に対して許容で
きるフレーム位置のセットを与える“許容フレーム”回
路149にデータを供給する。許容フレーム位置と最良
相関値のセットとの結合は、18個の3×3ポテンシャ
ル・フレーム位置ベクトルのセットを生成する。優先度
検出回路が最も正確な要素を拾い上げるように要求され
るように、18個のセット要素は優先度を割当てられ
る。正確さが含まれるにもかかわらず、曖昧な結果はア
ンビギュイティ・リゾルバ回路において解決される。位
置の結果は乗算器154においてスプレー値1を乗算さ
れ、加算器140において現FL番号に加算される。F
L番号はモード・マルチプレクサ135にフィードバッ
クされ、次のフレームを処理するのに用いる。
【0076】3×3“最良適合組合せ” 3×3最良フレーム適合の可能な組合せは512個であ
る。図32はそれらの可能な組合せのいくつかを示す。
最良適合が1つの場合は、そのうちの4つがマトリック
スのコーナーで生じ、4つがエッジで生じ、1つが中央
で生じる。適合した長い水平ラインのような水平方向の
特徴部は、それ自身を、最良適合フレームの水平セット
で示す。同様に、長い垂直の特徴部または斜めの特徴部
は、いくつかの最良適合フレームを示す。実イメージお
よび理想イメージの特徴部の適合を、広い相関が検出さ
れるように、異なる大きさで行うことができる。イメー
ジの全領域が適合する特徴部を有していないときや、最
良適合がどこにでも含まれるときがある。
【0077】理由は後に説明するが、最良適合フレーム
情報のみならず、次の最良適合フレーム情報、次次の最
良適合フレーム情報等を生成する必要がある。これを行
う方法は2つある。1つは、マトリックスを連続してラ
ンク付けし、ランク付けマトリックスのシリーズを生成
することである。この方法は実行可能であるが、好適な
方法よりも多くのハードウェアおよび/またはソフトウ
ェアを要求する。好適な方法では、次の最良マトリック
ス・ポイントは最良ポイントに最も近いポイントであ
る。同様に、次次の最良ポイントは、第2の最良ポイン
トに最も近いポイントである…等である。
【0078】図33は、次の最良(第2の最良)適合フ
レーム・マトリックス・ポイントはどれか、第3の最良
はどれか、第4の最良はどれか、第5の最良はどれか、
第6の最良はどれかについての、512個の可能な最良
組合せから3つを示したものである。残りの509個の
組合せも同様に示されるが、それらは図34に示した適
切なPROM1582 〜1586 内のテーブル・ルック
アップ・エントリのために生成される。
【0079】このスキームは、3×3マトリックスを生
成するために5つのコンパレータを用いるが、より大き
なフィールドに亘るより良い位置合せを決定できるよう
に、より多くのコンパレータを用い、より大きなマトリ
ックス、例えば5×5,7×7等を生成することも可能
である。セレクタ・ハードウェアおよびアドレス指定割
当は、適切な変更を必要とする。
【0080】フレーム選択 フレームまたはラスタ・セグメント選択プロセスは、上
述のように、対応する実フレームおよび理想フレームの
比較可能性のみならず、フレーム対フレーム選択規則と
呼ばれる制限についても考慮を要求する。図5(b)は
理想イメージに亘るフレームのトラックが、理想イメー
ジに対して幾分緩やかに歪んでいることを示している。
これは許容できる。なぜならば、理想イメージが十分に
定められ、その特徴部が十分大きいため、トポロジを失
わず、必要なら位置合せ制御情報を用いて再構成するこ
とができるからである。しかし、この歪みは、フレーム
選択規則の固守を要求することにより制限される。
【0081】図31は実イメージのフレームと理想イメ
ージの選択されたフレームとの間の関係を、ヒストリ・
マップの内容の図示的表現と共に示す。理想イメージの
“現フレーム”は、実イメージの“現フレーム”に適切
に適合するように選択されねばならない。前に選択され
た理想イメージ・フレームと、現フレームに隣接する個
々の実イメージ・フレームとは、A,B,C,Dという
ラベルが付けられている。
【0082】それにもかかわらず、理想イメージ・フレ
ームの選択には制限が課される。フレーム選択には単純
な規則が適用される。具体的には、選択されたフレーム
は、前に選択された隣接フレームの任意のものから+1
または−1ピクセル以内の中央に存在することができ
る。これを図35および図36に示す。この規則は難し
い位置合せ状況を容易にするために緩和することができ
る。現フレームは図37に示すように、フレームA,
C,Dのみ、またはフレームA,Cのみに対し規則内で
位置合せすることができる。
【0083】フレーム選択規則を図38および図39に
示す。これらの図は水平および垂直隣接フレーム前選択
の各々の27個の組合せの1つに対する、現フレームの
水平および垂直選択を示す。例えば、(オーバーラップ
またはギャップなしにA,B,C,Dが隣接する)現フ
レームは、全部で3つの水平位置および3つの垂直位置
から、満足に選択できる。水平または垂直前選択組合せ
のそれぞれに対して、現フレームがとることを許されて
いる3つの可能な位置がある。それらは水平に対して
左,中央,右、および垂直に対して上,中央,下であ
る。特定の組合せは、3つの隣接フレーム・ケース(A
BCD,ACD,AC)に対して許された位置を項目分
けしている。
【0084】許容できるフレーム位置の水平および垂直
セットは、図40において例示される組合せを形成する
ために結合される。可能なマトリックス組合せは9であ
るが、好適な回路は、水平および垂直の同じ正確さを有
する3つに制限される。これらのマトリックスは選択規
則に従って、正確さの優先度の順に並べられる。最も正
確なのは、ABCDケースによって生成されるマトリッ
クスであり、最も不正確なのは、ACケースである。こ
れらの許容できるフレーム位置マトリックスは、Aフレ
ームに対して、1ピクセル制限内で現フレーム位置を配
置する。これら現フレーム位置は、許容でき、フレーム
B,C,Dの選択位置が与えられる。
【0085】目的は、任意の選択を可能にする最も正確
な選択マトリックスを使用し、最良適合フレームまたは
次の最良適合フレーム比較のシリーズの適用によって、
曖昧さの解決に指針を与えることである。
【0086】フレーム選択およびフレーム比較 この実施例では、図40のすべての可能フレーム選択マ
トリックスの結合と、図33の最良適合フレーム・マト
リックス・シリーズとは、図41に示す優先度マトリッ
クスのセットである。各ABCD選択マトリックス要素
は、各最良適合および次の最良適合フレーム・マトリッ
クスのそれぞれの同じ要素とANDされる。同様に、各
ACDおよびAC選択マトリックス要素は、それぞれ、
最良および次の最良適合フレーム・マトリックス要素の
シリーズに結合される。3つの選択マトリックスと6個
の最良マトリックスおよび次の最良マトリックスとの結
合は、優先度スキームにおいてランク付けされた18個
のマトリックスを生成する。
【0087】最高優先度は、A,B,C,Dに対する選
択を要求し最良適合フレーム比較マトリックス・データ
を使用するマトリックスに与えられる。最低優先度は、
AおよびCに対してのみ選択を許し最低の最良(第6の
最良)適合フレーム・マトリックス・データを使用する
マトリックスに与えられる。
【0088】図42はマトリックスが情報に対してアク
ティブであることを示すために、各マトリックス160
i の全要素が個々のOR回路161i によってORされ
るような回路を示す。18本のマトリックス・アクティ
ブ・ラインは、優先度回路162への入力である。優先
度回路162は、18ラインのうちの1アクティブ・ラ
インをを、排他的OR回路163i に返し、排他的OR
回路163i は全マトリックスを選択結合マトリックス
164として、アンビギュイティ・リゾルバPROM1
66にゲートする。
【0089】アンビギュイティ・リゾルバPROM16
6の内容は、生じ得る全512個の可能な組合せをカバ
ーするように、適用可能な規則によって生成される。こ
の実施例において適用される規則は、マトリックスの内
容のセントロイド(centroid)に基づいてい
る。アンビギュイティ・リゾルバPROM166の出力
は、解決された結合マトリックス168である。
【0090】更新モード制御のレビュー 図43の機能ブロック図は、この制御システム・ループ
の概略図である。この機能ブロック図は、フレーム・コ
ンパレータ76が、情報を、最良および次の最良ジェネ
レータ1701 〜1706 に送り込み、比較マトリック
スを与えることを示している。フレーム座標メモリ34
は、前フレーム選択を許容フレーム選択回路149に与
える。許容フレーム選択回路149は、3個のマトリッ
クス172を与える。マトリックス172は比較マトリ
ックスと結合し、優先度マトリックス174を形成す
る。優先度マトリックス174は、優先度セレクタ16
2を駆動する。優先度セレクタ162は、最高優先度結
合マトリックス164を選択する。選択されたマトリッ
クス164の曖昧さは、アンビギュイティ・リゾルバ1
66によって解決され、1つの要素点はマトリックス1
68へ出力され、ABCDレジスタに格納され、最終的
にフレーム座標メモリ34に記憶される。
【0091】記録された理想フレーム座標は、いくつか
の形式をとることができる。それらは、絶対理想スクロ
ーリング・バッファ・クロック・カウントおよびマルチ
プレクサ・アドレスである。それらは、異なる形式で、
フレームAに対する公称位置との差だけを記録すること
ができる。より単純な好適な実施例は、その差を記録す
る。 IV.好適な実施例の強化 イメージは位置合せプロセスに影響を与える種々の大き
さおよび形状の異なる密度の特徴部を含んでいる。特徴
部は非常に大きいので、フレーム比較機能部はフレーム
選択を行うために、それらを含むことができない。特徴
エッジだけが、比較のために利用される。しかし、実イ
メージ特徴エッジは、わずかに異なる大きさの特徴部を
位置合せするという試みの場合のように、理想イメージ
特徴エッジと一致しないことがある。より大きな特徴部
からより小さな基準を抽出または生成すると、位置合せ
ハードウェアの変更を阻止できる。確実な特徴部を位置
合せのために使用するのがより望ましい。最も厳しい位
置合せ公差を要求する微細形状の特徴部は、フレーム比
較のためにより役立つ。
【0092】基準ジェネレータまたは抽出器と呼ばれる
デバイスのセットは、製品を特定する形態イメージ処理
により、選択された特徴部から基準を生成する、また
は、理想イメージおよび実イメージのフィールドから所
望の特徴部を抽出する手段を与える。
【0093】抽出または生成される特徴部または基準の
範囲は大きい。抽出または生成された基準のいくつかの
例は、大きな特徴部をその中心に縮小すること、大きな
特徴部を集中的なより小さい特徴部に縮小すること、大
きな特徴部のフィールドに亘って中心格子を生成するこ
と、2つの大きな特徴部の間のスペースのセンターライ
ンを検出すること,より小さな特徴部だけを抽出するこ
とを含んでいる。
【0094】図44は、基本位置合せシステムを採用し
た位置合せシステムを、基準生成回路と共に示す。スク
ローリング・バッファ175は形態変換機能部176に
データを送り、形態変換機能部176は、理想イメージ
内の所望の基準を含む変換されたイメージの1ラスタで
ある第1の出力を生成する。スクローリング・バッファ
177は形態変換機能部178にデータを送り、形態変
換機能部178は実イメージ内の所望の基準を含む変換
されたイメージの1ラスタである第1の出力を生成す
る。基準ジェネレータとそれらの駆動スクローリング・
バッファの大きさは、変換されるべき最大特徴部の大き
さに依存する。
【0095】抽出器176および178から抽出または
生成された基準は、スクローリング・バッファ50およ
び70(図12参照)を含む基本位置合せバッファ・セ
ットを流れ、元のイメージは、抽出器176および17
8からバッファ180および182の付属セットをそれ
ぞれ流れる。バッファ180および182は、制御機能
部75によって、個々のバッファ50および70と共に
同時にかつ同様に制御される。このようにして、抽出さ
れた基準は元のイメージ・フィールドの位置合せを制御
する。同時かつ空間位置合せにおいて、理想イメージお
よび実イメージはそれらの個々の別個のバッファをスク
ロールアップする。位置合せされたラスタはそれらの個
々の別個のラスタ選択回路184および186から取り
出される。
【0096】抽出された基準フィールドが実および理想
バイナリ・イメージ・フィールドを同時に位置合せする
能力を認識することは、元のマルチビット・グレー・ス
ケール実イメージをバイナリ理想イメージと同時に位置
合せできるようにするための小さな拡張である。実イメ
ージをマルチビット(グレー・スケール,カラー,また
は多層)理想イメージと位置合せすることも可能であ
る。
【0097】この拡張のための応用は、理想データを実
データの閾値制御に用いることができるような、検査実
グレー・スケール・イメージへの多層理想イメージの位
置合せである。グレー・スケール・データはバイナリ化
され、実基準ジェネレータに送られる。実基準ジェネレ
ータは、基本位置合せ回路にデータを送る。グレー・ス
ケール実データは、補助グレー・スケール・バッファ/
セレクタに入力される前に遅延される。マルチビット理
想イメージ・データは、ビット選択され、理想基準ジェ
ネレータに送られる。理想基準ジェネレータは、基本位
置合せ回路にデータを送る。理想マルチビット・データ
は、付属マルチビット・バッファ/セレクタに入力され
る前に遅延される。位置合せ回路はそれ自身の制御ニー
ズの他に、補助タイミング信号を補助バッファ/セレク
タおよび基準ジェネレータ・バッファに与える。位置合
せされた理想イメージ・フレームおよび実イメージ・フ
レームは、ダウンストリーム処理、および第3のダウン
ストリーム出力を与える参照制御セグメンテーション回
路にデータを送るためにセレクタから送り出される。
【0098】本発明を好適な実施例に関して説明した
が、当業者であれば、本発明の精神および範囲内で変更
を行うことが可能であることがわかる。
【0099】
【発明の効果】本発明により、検査システムおよび欠陥
検出システムのような連続プロセスのために、理想ラス
タ・データを実ラスタ・データに電子的に位置決めまた
は位置合せする装置および方法が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によって位置合せ問題が解決された電子
イメージ位置決めシステムを示す一般的なブロック図で
ある。
【図2】個々のフレーム・アレイ上の理想イメージおよ
び実イメージと、理想イメージ・フレーム座標メモリの
内容とを表現した図である。
【図3】実イメージのフレーム・アレイをより詳細に示
した図である。
【図4】理想イメージのフレーム・アレイをより詳細に
示した図である。
【図5】(a),(b)共に理想イメージ・フィールド
におけるプリント回路配線特徴部の変換プロセスを示す
図である。
【図6】本発明の一実施例に従ってシフトレジスタによ
り実行されるスクローリング・バッファおよびセレクタ
を示すブロック図である。
【図7】実イメージ・スクローリング・バッファおよび
セレクタを示す略図である。
【図8】傾斜の存在下でイメージ特徴部の上部コーナー
間の関係を示すイメージ・フレーム・マップである。
【図9】スクローリング・バッファの4ラスタ・スワー
スを実行するブロック図である。
【図10】本発明の好適な実施例による理想イメージ・
スクローリング・バッファおよびセレクタを示すブロッ
ク図である。
【図11】本発明の好適な実施例による実イメージ・ス
クローリング・バッファおよびセレクタを示す略図であ
る。
【図12】本発明による基本イメージ位置決めシステム
を示すブロック図である。
【図13】図12に示したイメージ位置決めシステムの
フレーム・コンパレータおよびラスタ・セレクタをより
詳細に示すブロック図である。
【図14】(a),(b),(c)共に、図12に示し
たシステムが実行するイメージ位置決めプロセスを示す
簡略化したブロック図である。
【図15】理想スクローリング・バッファからの理想イ
メージ・データのフローをより詳細に示す機能ブロック
図である。
【図16】本発明によるFIFOバレル・ローリング技
術を示す、図15の第2ステージの機能ブロック図であ
る。
【図17】(a),(b)はそれぞれ、5つの各フレー
ム・コンパレータのためのバレル・ロール次アドレスお
よび全移動次アドレスの結果を示す図である。
【図18】イメージ位置決めプロセスを示す図である。
【図19】図12に示した制御機能部の一部をなすタイ
ミング回路を示すブロック図である。
【図20】本発明による非更新モードにおける位置合せ
プロセスのフローチャートである。
【図21】変換的および回転的位置合せプロセスを示す
図である。
【図22】非更新モード・フィールド関係を示す図であ
る。
【図23】傾斜によって影響を受けたスクローリング・
バッファ内のイメージ位置を示す図である。
【図24】基準を検出するためにウィンドウを使用する
スキャン・イメージ・フィールドを示す図である。
【図25】左基準ポストの検出ケースを示す基準部分を
示す図である。
【図26】異なるスプレーのためのいくつかのセレクタ
・アドレス指定パターンを示す図である。
【図27】検出された基準に対して測定された種々の距
離を幾何学的に示す図である。
【図28】本発明による“BRES”ジェネレータのブ
ロック図である。
【図29】図12に示した制御機能部をより詳細に示す
ブロック図である。
【図30】本発明による更新モードにおける位置合せプ
ロセスのフローチャートである。
【図31】更新モード・フィールド関係を示す図であ
る。
【図32】512個の可能な最良の組合せを示す図であ
る。
【図33】最良および次の最良適合フレーム比較マトリ
ックスを示す図である。
【図34】最良および次の最良適合フレーム比較マトリ
ックスを生成するPROM参照テーブルを示すブロック
図である。
【図35】フレームの水平配置を示す図である。
【図36】フレームの垂直配置を示す図である。
【図37】フレーム配置における相対的な正確さを示す
図である。
【図38】図35と同様、かつ図35に加えて、フレー
ムの水平配置に使用される種々のマトリックスを示した
図である。
【図39】図36と同様、かつ図36に加えて、フレー
ムの垂直配置に使用される種々のマトリックスを示す図
である。
【図40】フレーム配置のためのマトリックス結合を詳
細に示す図である。
【図41】フレーム選択優先マトリックスを示す図であ
る。
【図42】優先選択回路に関連する回路を示すブロック
図である。
【図43】操作の更新モードにおける制御ループを示す
機能ブロック図である。
【図44】基準抽出回路を有するイメージ位置合せシス
テムを示すブロック図である。
【符号の説明】
10 電子位置合せシステム 12 実オブジェクト 14,14′ ラスタ・スキャナ 16 ラスタ・ジェネレータ 18 理想オブジェクト・データ 20 実イメージ・データ 22 理想イメージ・ストリーム 24 実イメージ・ストリーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 // G06F 15/62 405 C 9287−5L (72)発明者 ドナルド・チャールズ・フォースランド アメリカ合衆国 ニューヨーク州 ワッピ ンガーズ フォールズ フォレスト ヴュ ー ドライブ 57

Claims (9)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】連続処理のために理想イメージ・ラスタ・
    データを実イメージ・ラスタ・データに電子的に位置決
    めする電子イメージ位置合せ装置において、 ラスタ化バイナリ理想および実イメージ・データ・スト
    リームをそれぞれ受取る第1および第2の入力手段と、 前記ラスタ化理想および実イメージ・データ・ストリー
    ムをそれぞれ受取る第1および第2のスクローリング・
    バッファとを備え、前記スクローリング・バッファは、
    誤位置合せまたは歪みを考慮するために、イメージ幅を
    保持するのに十分な広さを有し、かつ、傾斜イメージを
    保持するのに十分な高さを有し、 前記第1および第2のスクローリング・バッファにそれ
    ぞれ接続され、隣接するイメージ・ラスタのセットを垂
    直方向にランダムにアクセスする第1および第2のセレ
    クタ手段を備え、各スクローリング・バッファ・イメー
    ジ・スワース・ラスタ・セットは、下側スワースから隣
    接する上側スワースの新しい位置に水平に移動し、各ス
    クローリング・バッファの水平移動は、前記第1および
    第2のセレクタ手段によって、水平方向の調整可能なシ
    ーケンシャル・アクセスが可能なように独立であり、 前記第1および第2のセレクタ手段に対するアドレス
    と、前記第1および第2のスクローリング・バッファに
    対するクロック信号とを生成する制御手段を備え、実イ
    メージ・データ・ストリーム・アドレス指定を一定に保
    持し、実イメージ・データ・ストリーム・クロッキング
    を、位置決めフェーズ中、一定に保持し、理想イメージ
    ・データ・ストリーム・アドレス指定およびクロッキン
    グを変化させて、前記理想イメージ・ラスタ・データを
    前記実イメージ・ラスタ・データに位置合せする、こと
    を特徴とする電子イメージ位置合せ装置。
  2. 【請求項2】請求項1記載の電子イメージ位置合せ装置
    において、 ラスタ化実イメージ・データ・ストリームを生成するた
    めにオブジェクトをスキャンする手段をさらに備え、前
    記スキャン手段は、前記第2の入力手段に接続されるこ
    とを特徴とする、電子イメージ位置合せ装置。
  3. 【請求項3】請求項1記載の電子イメージ位置合せ装置
    において、 前記第1および第2の入力手段はそれぞれ、単一ラスタ
    ・イメージ・データ・ストリームを受取り、前記第1お
    よび第2のスクローリング・バッファ・スワースのサイ
    ズはそれぞれ、1ラスタ幅であることを特徴とする、電
    子イメージ位置合せ装置。
  4. 【請求項4】請求項1記載の電子イメージ位置合せ装置
    において、 前記第1および第2の入力手段はそれぞれ、多数の隣接
    ラスタ・イメージ・データ・ストリームを受取り、前記
    第1および第2のスクローリング・バッファ・スワース
    のサイズは、複数ラスタ幅であることを特徴とする、電
    子イメージ位置合せ装置。
  5. 【請求項5】請求項1記載の電子イメージ位置合せ装置
    において、 前記第1のセレクタ手段は、前記理想イメージ・データ
    ・ストリームの垂直に選択された複数のラスタのセット
    を与え、各セットは隣接セットからの一定数のラスタが
    配置されていることを特徴とする、電子イメージ位置合
    せ装置。
  6. 【請求項6】請求項1記載の電子イメージ位置合せ装置
    において、 前記制御手段が、 前記第1および第2のスクローリング・バッファに対し
    て前記それぞれのクロック信号を生成する第1および第
    2のタイミング回路手段と、 前記第1および第2のセレクタ手段に対してそれぞれの
    アドレスを生成する第1および第2のアドレス・ジェネ
    レータ手段と、 前記第1および第2のスクローリング・バッファから読
    み出されたイメージを比較し、前記第1のタイミング回
    路手段を前記第2のタイミング回路手段に調整し、前記
    第1のセレクタ手段に対するアドレスを変更する手段と
    を備えていることを特徴とする、電子イメージ位置合せ
    装置。
  7. 【請求項7】請求項1記載の電子イメージ位置合せ装置
    において、 前記第1および第2の入力手段にそれぞれ接続され、前
    記理想および実イメージ・データ・ストリーム内の基準
    マークのラスタ化イメージを抽出する第1および第2の
    基準抽出手段と、 前記理想および実イメージ・データ・ストリーム内の基
    準マークの前記ラスタ化イメージをそれぞれ受取る第3
    および第4のスクローリング・バッファと、 前記第3および第4のスクローリング・バッファにそれ
    ぞれ接続され、隣接イメージ・ラスタのセットを垂直方
    向にランダムにアクセスする第3および第4のセレクタ
    手段とを備え、各スクローリング・バッファ・イメージ
    ・スワース・ラスタ・セットは、下側スワースから隣接
    する上側スワース内の新しい位置に水平に移動し、各ス
    クローリング・バッファの水平移動は、前記第1および
    第2のセレクタ手段によって、水平方向の調整可能なシ
    ーケンシャル・アクセスが可能なように独立であり、 前記制御手段は、前記第1および第3のスクローリング
    ・バッファと、、第2および第4のスクローリング・バ
    ッファと、前記セレクタ手段とを同期的に制御して、前
    記理想および実イメージ・データ・ストリーム内の基準
    マークのラスタ化イメージの位置合せによって、前記理
    想イメージを前記実イメージに位置合せすることを特徴
    とする、電子イメージ位置合せ装置。
  8. 【請求項8】連続処理のために理想ラスタ・データを実
    ラスタ・データに電子的に位置決めする電子イメージ位
    置合せ方法において、 ラスタ化バイナリ理想および実イメージ・データ・スト
    リームを受取るステップと、 前記ラスタ化理想および実イメージ・データ・ストリー
    ムをそれぞれ第1および第2のスクローリング・バッフ
    ァに入力するステップとを含み、前記スクローリング・
    バッファは、誤位置合せまたは歪みを考慮するために、
    イメージ幅を保持するのに十分な広さを有し、かつ、傾
    斜イメージを保持するのに十分な高さを有し、 隣接するイメージ・ラスタのセットを、前記第1および
    第2のスクローリング・バッファから垂直方向にランダ
    ムにアクセスするステップとを含み、各スクローリング
    ・バッファ・イメージ・スワース・ラスタ・セットは、
    下側スワースから隣接する上側スワースの新しい位置に
    水平に移動し、各スクローリング・バッファの水平移動
    は、前記第1および第2のセレクタ手段によって、水平
    方向の調整可能なシーケンシャル・アクセスが可能なよ
    うに独立であり、 前記第1および第2スクローリング・バッファからの前
    記隣接イメージ・ラスタのセットをアクセスするアドレ
    スと、前記第1および第2のスクローリング・バッファ
    と前記第1および第2の入力手段へのクロック信号とを
    生成するステップを含み、実イメージ・データ・ストリ
    ーム・アドレス指定を一定に保持し、実イメージ・デー
    タ・ストリーム・クロッキングを、位置決めフェーズ
    中、一定に保持し、理想イメージ・ストリーム・アドレ
    ス指定およびクロッキングを変化させて、前記理想イメ
    ージ・ラスタ・データを前記実イメージ・ラスタ・デー
    タに位置合せする、ことを特徴とする、電子イメージ位
    置合せ方法。
  9. 【請求項9】請求項8記載の電子イメージ位置合せ方法
    において、 前記理想および実イメージ・データ・ストリーム内の基
    準の測定に基づいてヒストリ・マップを生成するステッ
    プをさらに含み、前記アドレス生成ステップは、前記ヒ
    ストリ・マップの内容に基づいていることを特徴とす
    る、電子イメージ位置合せ方法。
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