JP2948331B2 - パターン認識装置 - Google Patents

パターン認識装置

Info

Publication number
JP2948331B2
JP2948331B2 JP2415522A JP41552290A JP2948331B2 JP 2948331 B2 JP2948331 B2 JP 2948331B2 JP 2415522 A JP2415522 A JP 2415522A JP 41552290 A JP41552290 A JP 41552290A JP 2948331 B2 JP2948331 B2 JP 2948331B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pattern
image information
control unit
sampling
selector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2415522A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH04233671A (ja
Inventor
雄三 市山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kaijo Corp
Original Assignee
Kaijo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kaijo Corp filed Critical Kaijo Corp
Priority to JP2415522A priority Critical patent/JP2948331B2/ja
Publication of JPH04233671A publication Critical patent/JPH04233671A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2948331B2 publication Critical patent/JP2948331B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Image Processing (AREA)
  • Image Analysis (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、パターンマッチングの
処理を行う際の処理時間の短縮化を実現することが可能
なパターン認識装置に関し、特に半導体集積回路(I
C)や大規模集積回路(LSI)の半導体部品のボンデ
ィング装置に用いて好適なパターン認識装置に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】従来、この種のパターン認識装置による
パターンマッチングの処理方法について図6(A)乃至
(C)を参照して説明すると、例えば、図6(A)に示
すように4×4の計16個のデジタル化された画素
(ピクセル,pixel)よりなるパターンを予めメモ
リ内に基準のパターンとして記憶する。このパターン
は、例えば、斜線部が黒情報として「1」で表わされ、
その他の白情報が「0」として表わされている。この基
準パターンと図6(B)に示すデータとのパターンマッ
チングを行うと、図6(C)に示すように、12/16
のマッチング数が得られる。
【0003】このようなパターンマッチング処理を行う
パターン認識装置としては、特開昭55−34800号
に示すものが知られている。このパターン認識装置で
は、1フレームに相当する全画面を基準クロックに対し
て数クロック分(例えば、4クロック毎)のサンプリン
グクロックでサンプリングした粗い画素でまず、粗探索
を行って粗いパターンマッチング処理を行い、次に基準
クロックに相当する画素により微探索を行い、装置の小
型化並びに高速化を図ろうとするものである。
【0004】このパターン認識装置では、カメラ等から
なる撮像装置により撮像された1フレーム分の画像情報
(以下、データとも呼ぶ。)全てのデータの転送を通常
の映像信号の転送方式により行い、二値化処理部により
二値化し、この二値化されたデジタルデータを二次元展
開制御部により図3(A)に示すような256ピクセル
(pixel)×256ピクセルを含む領域となるよう
に二次元方向に展開し、この展開されたパターンから予
め規定された大きさの基準パターンを形成してメモリ内
に記憶させる。
【0005】この基準パターンは、64(以下、行を指
す)×64(以下、列を指す)すなわち合計4,09
6ピクセルの基準領域で形成される。この基準領域を縦
方向及び横方向を基準クロックに対して4クロック毎に
サンプリングすると、16×16のスーパーピクセル、
すなわち256個の画素よりなるスーパーピクセル領域
を生成することができる。このスーパーピクセルを図3
(A)に示すように4分割にすると、4つの8×8、す
なわち64個の画素よりなるスーパーピクセル領域が生
成される。更に、この64個の画素のうちの1つ、すな
わち1/64は4×4の16ピクセル分の領域で構成さ
れている。
【0006】このような基準パターンが予めメモリ内に
記憶されるのであるが、この基準パターンと撮像装置に
より撮像される1フレーム分のデータとのパターンマッ
チングを行う場合に、この基準パターンの大きさと等し
い大きさの相関器を用意することができないという間題
がある。これは、画像処理装置内でのICの処理速度や
回路構成が複雑化して装置が大型化する等の制約による
ものである。
【0007】そこで、従来のパターン認識装置では、基
準パターンを相関器で処理可能な大きさに相当する複数
のパターン、すなわち上記の例では4つの8×8のパタ
ーンに分割して撮像装置から取り込まれるデータと比較
する方法が取られている。この撮像装置より取り込まれ
るデータは、通常の映像信号と同様に二次元展開制御部
により二次元展開された1フレーム分のシリアルデータ
が複数行、複数列に展開されてなるものであるから、例
えば、基準パターンを8行×8列で4分割したような場
合、この分割されたパターンの座標をまず(0,0)
[(0,0)は、0行0列の意味である。]、(0,
1)、(1,0)、(1,1)とすると、この分割され
た基準パターンと1フレーム分取り込まれるデータと
は、まず最初に座標(0,0)のパターンとのパターン
マッチングを行い、このパターンマッチングのマッチン
グ数をメモリに残す。次に、前のデータと同じ1フレー
ム分のデータを再度取り込み、分割されたパターンの座
標(0,1)とのパターンマッチングを行い、マッチン
グ数をメモリに書き込む。これを繰り返して次の行に掃
引されたラインで座標(1,0)、(1,1)と同じ1
フレーム分のデータとのパターンマッチングを行い、そ
のマッチング数をメモリに書き込む。そして、これら各
座標毎のマッチング数を累積加算することによって、基
準パターン全体とデータとが予め規定されたマッチング
数であるQ値以上であるかどうかの判定を図示せぬ制御
手段により行う。
【0008】したがって、従来の装置では、基準パター
ンの分割数と同数のデータの取り込みが行われることに
なる。この得られたマッチング数の最も多い検出点をパ
ターンマッチングが得られたものと判定し、次にこの検
出点の近傍を微探索することによって画像処理を行う。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
パターン認識装置によるパターンマッチング処理では、
基準パターンを相関器の処理可能な等しい大きさのブロ
ックに分割し、この分割された基準パターンに相当する
数のデータの取り込みを行って、分割された基準パター
ンに対するパターンマッチング数を求めて累積加算し、
全基準パターンにおけるパターンマッチング数を算出す
るので、この基準パターンの分割数に比例して処理時間
が多く必要となるという欠点がある。
【0010】近年のように、ボンディング装置のような
短時間での処理性能が要求される装置では、従来のよう
なパターンマッチングでは、同じフレーム画像を基準パ
ターンの分割数だけ取り込むための時間分撮像装置が待
機しなければならないため、処理時間がかかり高速処理
できないという欠点がある。
【0011】そこで、本発明は上記従来技術の欠点に鑑
みなされたもので、基準パターンの大きさよりも小さな
大きさの処理能力しか持たない相関器であっても、粗い
パターンマッチング処理を行う際のパターンマッチング
を1フレームのデータを取り込む時間内で分割された基
準パターンと1フレーム分のデータとのパターンマッチ
ングを行い、その基準座標毎の分割数を累積加算して全
基準パターンとのパターンマッチング数を算出して、高
速処理を図ることのできるパターン認識装置を提供する
ことを目的とするものである。
【0012】
【課題を解決するための手段】本発明によるパターン認
識装置は、撮像装置から入力される1フレーム分の画像
情報を基準サンプリングクロックによってサンプリング
してデジタル化した画像情報から予め規定されたエリア
内のパターンを基準パターンとして記憶する第1の記憶
手段と、前記第1の記憶手段に記憶される基準パターン
を等しい大きさのパターンに分割し該分割されたパター
ンの選択制御を行う基準パターン選択制御部と、前記デ
ジタル化された画像情報のうち、水平方向の画像情報を
順次メモリする複数のメモリと該メモリからの画像情報
を水平方向のサンプリング間隔でサンプリングして出力
する複数の第1のセレクタと、前記第1のセレクタの各
々がサンプリングして出力した水平方向の各画像情報か
ら垂直方向のサンプリング間隔によって前記第1のセレ
クタの前記画像情報を選択する第2のセレクタとにより
前記画像情報を二次元方向に展開する二次元展開制御部
と、前記二次元展開制御部で展開される前記画像情報の
前記水平方向のサンプリング間隔及び前記垂直方向のサ
ンプリング間隔を指定するアドレス信号を生成する座標
出力部と、前記二次元展開制御部の前記第2のセレクタ
から所定のタイミングで入力される前記画像情報と前記
基準パターン選択制御部により選択される分割されたパ
ターンとのパターンマッチングを行う相関器と、前記相
関器により得られたパターンマッチング数を加算する加
算手段と、前記加算手段の出力した値を累積して記憶す
る第2の記憶手段とを備え、前記撮像装置より1フレー
ム分入力される間に、前記座標出力部は、水平方向のサ
ンプリング間隔及び垂直方向のサンプリング間隔が少な
くとも2以上のサンプリングクロックとなるアドレス信
号を出力して前記二次元展開制御部を制御し、前記二次
元展開制御部の前記第2のセレクタは前記アドレス信号
で指定された前記画像情報を前記相関器へ入力し、前記
基準パターン選択制御部は、前記基準パターンを前記分
割されたパターン単位で各座標毎に入れ換えて前記相関
器へ入力し、前記相関器は、前記第2のセレクタによっ
て指定された前記画像情報と前記基準パターン選択制御
部からの分割された基準パターンとのパターン単位での
パターンマッチング数を求め、その数を第2の記憶手段
に記憶されたパターンマッチング数に累積して全基準パ
ターンにおけるパターンマッチング数を算出する構成と
したものである。
【0013】
【0014】
【実施例】次に、本発明に係るパターン認識装置の実施
例について説明する。図1は、本発明に係るパターン認
識装置の回路の構成を示すブロック図、図2は、図1に
示す二次元展開制御部の構成を示すブロック図、図3
(A)及び図3(B)は、二次元展開制御部により1フ
レーム分のデータが平面展開された状態を示す図及び相
関器へのデータ転送のタイミングを示す図、図4及び図
5は、本発明に係るパターンマッチングの方法を説明す
る説明図である。なお、従来の装置と同じ構成のものに
ついては同じ符号を用いて説明する。
【0015】図1において、撮像装置1は、少なくとも
X方向及びY方向に移動可能なXYテーブル上に搭載さ
れ、テレビカメラ、レンズ、照明灯等で構成されてい
る。この撮像装置1は、下方に配置された図示せぬ搬送
機構上に位置決め載置されたリードフレーム、ICチッ
プ上のパッド等の半導体部品を撮像して画像情報(以
下、データとも呼ぶ。)として二値化処理部2へ出力す
る。この二値化処理部2は、撮像装置1から出力される
転送データをタイミング発生部10で発生する基準サン
プリングクロックによってサンプリングして二値化処理
を行い、二次元展開制御部3に二値化データを出力す
る。この二値化処理は、例えば、リードフレームのリー
ドは黒情報として「1」で表わされ、それ以外の部分は
白情報として「0」でデジタル化して表わされる。
【0016】二次元展開制御部3は、二値化処理部2か
ら順次入力される1フレーム分のデータを二次元方向に
展開処理する。図2に示すように、二次元展開制御部3
は、ラインメモリ101,セレクタ201等で構成さ
れ、ラインメモリ101は、二値化処理部2から入力さ
れたシリアルな二値化データを画面上で1行分ストアす
るメモリである。101′,101″は、ラインメモリ
101が順次連続的に接続される複数行分Lの夫々のラ
インメモリを表しており、順番にラインメモリ101
からLまでとなっている。201,201′,2
01″は、101,101′,101″のラインメモリ
からのデータの選択を行う第1のセレクタであり、ライ
ンメモリ101,101′,101″のLからL
で夫々出力される1行分の水平方向のデータの中から水
平方向のサンプリング間隔Pによって指定された複数
個のデータを選択できる構成となっている。301は、
前記第1のセレクタ201,201′,201″より選
択された各水平方向のサンプリング間隔P を規定され
た複数本分(L本分)のデータの中から、図中に示す垂
直方向のサンプリング間隔Pによって指定された複数
個のデータを選択することが可能な第2のセレクタであ
る。第2のセレクタ301によってm行×n列(m×n
画素)の画像情報(データ)が得られる。
【0017】二次元展開制御部3は、1フレーム分の画
像領域を256ピクセル(pixel)×256ピクセ
ルの平面展開部で構成し、この256ピクセル(pix
el )×256ピクセルの展開したパターンから第2の
セレクタ301によって64×64、すなわち合計4,
096ピクセル基準領域を切り出す。更に、二次元展
開制御部3は、この基準領域の縦方向及び横方向を基準
クロックに対して4クロック毎にサンプリングして、1
6×16、すなわち256個の画素よりなるスーパーピ
クセルを生成する。このスーパーピクセルを4分割に構
成すると、8×8、すなわち64個の画素よりなる分割
された基準パターンが4つ生成される。
【0018】第1の記憶手段としての基準パターン選択
制御部6は、基準クロック並びに水平及び垂直同期信号
等を発生するタイミング発生部10によって制御され、
撮像装置1で撮像された画像情報の座標データに基づい
てメモリ4に基準パターンとして記憶させるデータの座
標をアドレス信号として出力すると共にパターンマッチ
ングを行う際に基準パターンの座標、例えば、図4に示
すような各座標(0,0)[(0,0)は、0行0列の
意味である。]、(0,1)、(1,0)、(1,1)
の入れ替えを行う。前記基準パターンをストアするメモ
リ4は、書換え可能なメモリ(RAM)であって、二次
元展開制御部3から転送される入力パターンrから予め
規定されたエリア内のパターンを選定して基準パターン
を生成してストアするメモリである。また、本実施例で
は、このメモリ4に記憶させる基準パターンの生成を、
起動時に行う構成となっているが、例えば、ワイヤボン
ディング装置等で予め条件設定等を行うセルフティーチ
時において行うようにしてもよく、常に二次元展開制御
部3のデータから基準パターンを生成する必要はない。
【0019】座標出力部7は、タイミング発生部10に
より制御され、基準パターンの各座標と比較されるべき
パターンマッチングの対象座標を生成するものであり、
図2に示すように二次元展開制御部3のラインメモリ1
01,101′,101″のLからLまで夫々出力
される1行分の水平方向のデータの中から水平方向のサ
ンプリング間隔Pと、セレクタ201,201′,2
01″より選択された各水平方向のPによってサンプ
リング間隔を規定された複数本分(L本分)のデータの
中から、垂直方向のサンプリング間隔Pを指定するア
ドレス信号を出力するものである。この座標出力部7の
出力によって基準パターンの各座標に対応するパターン
cが相関器5に入力される。
【0020】第2の記憶手段としてのマッチング数累積
メモリ8は、座標出力部7によって指定されたアドレス
に各座標におけるマッチング数を累積加算するためのメ
モリである。このマッチング数累積メモリ8から出力さ
れるデータは、セレクタ11を介して加算器9に出力さ
れる。加算器9は、相関器5から出力されるパターンマ
ッチング数最大値m×nとマッチング数累積メモリ8
に累積されたマッチング数を加算するものである。
【0021】しかして、セレクタ11は、マッチング数
累積メモリ8からの一入力の他、図示せぬマイクロコン
ピュータ等よりなる制御手段から最初だけ0の入力がな
されるように構成されている。これは、例えば基準パタ
ーンの座標(0,0)と比較されるべき入力パターンc
とのマッチング数最大値m×nが、最初の場合にはマ
ッチング数累積メモリ8内にはストアされていないので
あるから、これを0として出力し、加算器9の出力は相
関器5からの出力であるマッチング数の最大値m×nを
出力させてマッチング数累積メモリ8内にストアさせる
ためである。
【0022】なお、タイミング発生部10は、基準クロ
ック、基準となるサンプリングクロック並びに水平及び
垂直同期信号等を発生すると共に、図1に示す二次元展
開制御部3、基準パターン選択制御部6等のタイミング
制御を行う。また、装置全体の条件設定等並びに各種制
御は、図示せぬマイクロコンピュータ等よりなる制御手
段(CPU)により行われる。
【0023】次に、本発明によるパターン認識装置の作
用について説明する。撮像装置1から入力される1フ
レーム分のデータをタイミング発生部10の基準サンプ
リングクロックによってサンプリングして二値化処理部
2によって二値化された画像を得、これを二次元展開制
御部3によって二次元方向に展開する。この展開された
二値化データから16×16のスーパピクセルよりなる
基準パターンを生成して基準パターン選択制御部6によ
り指定されたアドレスでメモリ4に記憶させる。また、
図示せぬ制御手段によってセレクタ11から最初だけ0
が出力されるような設定が行われる。
【0024】次に、基準パターンの大きさを16×1
6スーパーピクセル、パターンマッチング数を算出する
X方向の座標の間隔をP、Y方向をP、1サンプリ
ングクロックを横方向の単位座標に、また、上記横方向
1ライン分のサンプリングクロック数を縦方向の単位座
標に対応するものとすると、二次元展開制御部3により
二次元展開されたデータは、まず、二次元展開制御部3
のラインメモリ101のLに記憶されている0行分の
データcが第1のセレクタ201のSで選択されて
2のセレクタ301に出力され、次にラインメモリ10
1のLに記憶されている1行目のデータcが第1の
レクタ201のSで選択されて第2のセレクタ301
に出力され、この動作がラインメモリ101のL
1のセレクタ201のSまで繰り返される。そして、
これら選択された各行方向データの中から、上記P
指定されたY方向の間隔をおいて第2のセレクタ301
により選択されて相関器5へ出力される。
【0025】そして、16×16スーパーピクセルから
分割された基準パターンである8×8に相当する前記第
2のセレクタ301から相関器5に入力された比較対象
となる8×8よりなる座標(0,0)のデータとを比較
するのであるが、図3(B)に示すように2クロック
づつサンプリングされるので、このタイミングで順次相
関器5に8×8の分割された基準パターンに相当するデ
ータが転送される。すなわち、同じライン上の座標
(0,0)と座標(0,1)にある8×8に相当するデ
ータは、基準クロック毎に生成され、2クロックの間保
持されるので、これが相関器5に転送されるタイミング
は、2クロック毎のサンプリングが行われる。
【0026】このとき、はじめの1クロック目のタイミ
ングで図4で示す基準パターン全体の中から分割された
左上の基準パターンとのパターンマッチングを行い、2
クロック目のタイミングで図4の前記基準パターンの中
から、右上の基準パターンとのパターンマッチングを行
う。
【0027】次に、図3(B)に示す次の行に下がって
掃引される場合には、前の行の同列座標,座標(0,
0)、座標(0,1)の2クロックの間にサンプルされ
た8×8と同一データである座標(1,0)と座標
(1,1)の2ライン目のデータcが相関器5に転送さ
れるので、前記と同様の方法で2クロックの間にこのデ
ータcと基準パターンの左下の分割された基準、パター
ンと右下の分割された基準パターンとが順次クロック毎
にパターンマッチングが行われることになる。
【0028】ここで、基準パターン全体の中心に対応す
る対象パターン全体の中心座標の位置は図5(A)に示
すような関係になり、この関係をパターン全体でみると
図5(B)に示すように9分割されたブロックの中心に
対象パターンが位置するとき、図5(A)に示す座標点
で基準パターンとのマッチングが行われることが示され
ている。
【0029】このようなパターンマッチング処理によ
って相関器5は、夫々のパターン、すなわち座標(0,
0)から座標(1,1)までのパターンマッチング処理
によって夫々のパターンでのマッチング数が出力されて
加算器9に入力される。この加算器9の出力は、マッチ
ング数累積メモリ8に帰還入力される構成となっている
ので、加算器9からの出力は、各対象パターンの中心座
標毎のマッチング数が累積された値が出力される。した
がって、この加算器9からの出力によって全マッチング
数が得られることになる。
【0030】上記加算器9で得られたマッチング数の
うち、最大マッチング数が得られた検出点を基準パター
ンとのマッチングがなされたものと図示せぬ制御手段が
判定して検出点とする。
【0031】次に、上記粗探索によって得られた検出
点までサーチを行った後、その検出点近傍の微探索を行
う。
【0032】以上のように、本実施例に係るパターンマ
ッチング処理によれば、分割した基準パターンである8
×8のブロック単位での入れ換えを行うことにより、1
フレーム分の入力のみで、対象とするエリア全面につい
てパターンマッチング動作を行うことができ、対象とす
る入力データ1フレーム分の処理時間で粗探索によるパ
ターンマッチングを行うことが可能となる。
【0033】本実施例では、基準パターンを8×8のパ
ターンで分割するように構成しているが、これらの値に
限らず、適宜選定して採択できることは勿論である。
【0034】なお、本発明に係るパターン認識装置によ
れば、高速にパターンマッチング動作を実現することが
できるから、例えば半導体製造装置であるワイヤーボン
ダーにおける位置検出装置に応用された際には、その生
産性を向上させることが可能であり、位置決め装置のず
れ量検出処理時間の短縮化を図ることができる。
【0035】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
基準パターンの大きさよりも小さな大きさの処理能力し
か持たない相関器であっても、粗いパターンマッチング
処理を1フレームのデータを取り込む時間内で分割され
た基準パターンと1フレーム分のデータとのパターンマ
ッチングを行い、各座標毎に分割されたパターン単位で
のパターンマッチング数を累積加算して全基準パターン
とのパターンマッチング数を算出して、高速処理を図る
ことができるという効果がある。したがって、本発明に
よれば、1フレームの入力時間で処理を行うことができ
るので、1フレーム分のデータを記憶させるような特別
なメモリ等を必要としないので、回路構成等も簡単に構
成することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明に係るパターン認識装置の回路
構成を示すブロック図である。
【図2】図2は、図1に示す二次元展開制御部の構成を
示すブロック図である。
【図3】図3(A)及び図3(B)は、二次元展開制御
部により1フレーム分のデータが平面展開された状態を
示す図及び相関器へのデータ転送のタイミングを示す図
である。
【図4】図4は、本発明に係るパターンマッチングの方
法を説明する説明図である。
【図5】図5(A)及び図5(B)は、本発明に係るパ
ターンマッチングの方法を説明する説明図である。
【図6】図6(A)乃至図6(C)は、本発明に係るパ
ターンマッチングの方法を説明する説明図である。
【符合の説明】
1 撮像装置 2 二値化処理部 3 二次元展開制御部 4 メモリ(基準パターンをストアするメモリ) 5 相関器 6 基準パターン選択制御部 7 座標出力部 8 マッチング数累積メモリ 9 加算器 10 タイミング発生部 11 セレクタ

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 撮像装置から入力される1フレーム分の
    画像情報を基準サンプリングクロックによってサンプリ
    ングしてデジタル化した画像情報から予め規定されたエ
    リア内のパターンを基準パターンとして記憶する第1の
    記憶手段と、 前記第1の記憶手段に記憶される基準パターンを等しい
    大きさのパターンに分割し該分割されたパターンの選択
    制御を行う基準パターン選択制御部と、 前記デジタル化された画像情報のうち、水平方向の画像
    情報を順次メモリする複数のメモリと該メモリからの画
    像情報を水平方向のサンプリング間隔でサンプリングし
    て出力する複数の第1のセレクタと、前記第1のセレク
    タの各々がサンプリングして出力した水平方向の各画像
    情報から垂直方向のサンプリング間隔によって前記第1
    のセレクタの前記画像情報を選択する第2のセレクタと
    により前記画像情報を二次元方向に展開する二次元展開
    制御部と、 前記二次元展開制御部で展開される前記画像情報の前記
    水平方向のサンプリング間隔及び前記垂直方向のサンプ
    リング間隔を指定するアドレス信号を生成する座標出力
    部と、 前記二次元展開制御部の前記第2のセレクタから所定の
    タイミングで入力される前記画像情報と前記基準パター
    ン選択制御部により選択される分割されたパターンとの
    パターンマッチングを行う相関器と、 前記相関器により得られたパターンマッチング数を加算
    する加算手段と、 前記加算手段の出力した値を累積して記憶する第2の記
    憶手段とを備え、 前記撮像装置より1フレーム分入力される間に、前記座
    標出力部は、水平方向のサンプリング間隔及び垂直方向
    のサンプリング間隔が少なくとも2以上のサンプリング
    クロックとなるアドレス信号を出力して前記二次元展開
    制御部を制御し、前記二次元展開制御部の前記第2のセ
    レクタは前記アドレス信号で指定された前記画像情報を
    前記相関器へ入力し、前記基準パターン選択制御部は、
    前記基準パターンを前記分割されたパターン単位で各座
    標毎に入れ換えて前記相関器へ入力し、前記相関器は、
    前記第2のセレクタによって指定された前記画像情報と
    前記基準パターン選択制御部からの分割された基準パタ
    ーンとのパターン単位でのパターンマッチング数を求
    め、その数を第2の記憶手段に記憶されたパターンマッ
    チング数に累積して全基準パターンにおけるパターンマ
    ッチング数を算出する構成としたことを特徴とするパタ
    ーン認識装置。
JP2415522A 1990-12-28 1990-12-28 パターン認識装置 Expired - Lifetime JP2948331B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2415522A JP2948331B2 (ja) 1990-12-28 1990-12-28 パターン認識装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2415522A JP2948331B2 (ja) 1990-12-28 1990-12-28 パターン認識装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH04233671A JPH04233671A (ja) 1992-08-21
JP2948331B2 true JP2948331B2 (ja) 1999-09-13

Family

ID=18523866

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2415522A Expired - Lifetime JP2948331B2 (ja) 1990-12-28 1990-12-28 パターン認識装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2948331B2 (ja)

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS51112236A (en) * 1975-03-28 1976-10-04 Hitachi Ltd Shape position recognizer unit
JPS63282889A (ja) * 1987-05-15 1988-11-18 Nichiden Mach Ltd 画像処理方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH04233671A (ja) 1992-08-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5301248A (en) Method for pattern inspection and apparatus therefor
US4949390A (en) Interconnect verification using serial neighborhood processors
JP2000172843A (ja) 外観検査装置及び方法
JPH07117498B2 (ja) 検査システム
JPWO2007063675A1 (ja) 画像処理方法、画像処理プログラム、画像処理装置、及び撮像装置
JPH06325162A (ja) 画像処理装置
JP3386025B2 (ja) 画像特徴抽出装置、画像特徴抽出方法、監視検査システム、半導体露光システム、およびインターフェースシステム
JP2948331B2 (ja) パターン認識装置
JP4523104B2 (ja) 画像検出処理装置
KR100211004B1 (ko) 화상 처리 방법 및 그 방법을 사용한 화상 처리 시스템
JP5005482B2 (ja) パターン検索方法及び装置
JP2021117909A (ja) 三次元画像生成装置及び三次元画像生成方法
JPH09128545A (ja) パターン認識装置及びその方法
WO1988008168A2 (en) Interconnect verification using serial neighborhood processors
JPH1069536A (ja) 画像合成装置
JPH07113612A (ja) 部品位置認識装置
JP3386491B2 (ja) 自動合焦方式
JPH08193958A (ja) 基板検査装置及び基板検査方法
JP2003149171A (ja) パターン検査装置および方法
JP2001243905A (ja) 複数検出器電子顕微鏡装置のリアルタイム処理方式
JP2864510B2 (ja) 形状判別装置
JPH04220779A (ja) パタ−ン認識装置及びその方法
JPH06323822A (ja) ボンディングワイヤ形状認識方法
JPS63254578A (ja) パタ−ン認識装置
CN113744180A (zh) 图像处理方法、非暂时性记录介质以及图像处理系统