JPH05319456A - 緩衝材 - Google Patents
緩衝材Info
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- JPH05319456A JPH05319456A JP4146901A JP14690192A JPH05319456A JP H05319456 A JPH05319456 A JP H05319456A JP 4146901 A JP4146901 A JP 4146901A JP 14690192 A JP14690192 A JP 14690192A JP H05319456 A JPH05319456 A JP H05319456A
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Abstract
する緩衝材を提供する。 【構成】 発泡倍率が少なくとも5倍以上、圧縮強度が
11kg/cm2 以下のポリエチレン或いはポリプロピ
レンのビーズ発泡体からなる、ガラス基板の角部の保護
用緩衝材であって、断面が略L字形で、該L字に沿って
内側に0.5mm以上の間隔をもって複数の基板挿入溝
を設け、外側にはゴム、テープ等の固定具案内溝を設
け、4個一組で複数の電子基板を同時に梱包するガラス
基板用緩衝材。
Description
上に半導体装置等電子部品を形成してなるガラス基板
を、輸送時の振動等による損傷から保護する輸送用緩衝
材に関するものである。
包や輸送などの周辺技術の開発が要求されている。ガラ
ス等の基体上に半導体装置等電子部品を組み込んでなる
ガラス基板は薄く衝撃等に弱い上、その構成が非常に微
細なため、外部からの影響を受け易く、取扱が難しい。
特に、最終的な製品になる前の、中間部品の状態で輸送
する場合には、上記電子部品が剥き出しの状態で扱われ
るため静電気や埃などの影響をより強く受けてしまう。
た。図中21はガラス基板、31は緩衝材である。緩衝
材31は外周がガラス基板21の外周よりも一回り大き
く、且つ内周が一回り小さい口字形のポリスチレン等の
低発泡体からなる緩衝板で、図3に示した様に、緩衝材
31とガラス基板21を順に複数枚重ね、例えば10枚
を1セットとして周囲をさらに緩衝板等で保護し、ゴム
或いはテープ等で固定する。
したような緩衝材では、口字形の打ち抜き加工で粉の発
生が生じ、複数枚の集合体を固定する際、或いは輸送時
の振動等により、緩衝材とガラス基板とが摺擦し合い、
ガラス基板上の電子部品を広範囲に損傷してしまう。ま
た、同時に緩衝材も損傷して微細な粉塵を生じ、これが
電子部品に付着し、表面の機能を損傷するという問題も
有った。そのため、高機能を付与した該ガラス基板で
は、従来の梱包法で要求を達成でき得なかった。従っ
て、複数枚のガラス基板が接触せず容易に空中固定し、
且つ、クリーンルーム内で取り扱うためコンパクトで粉
塵発生が無く、耐薬品性の強い保護緩衝材が求められて
いた。
なくとも5倍以上、圧縮強度が11kg/cm2 以下の
ポリオレフィンビーズ発泡体からなる、ガラス基板21
を保護する緩衝材1であって、断面が略L字形を呈し、
該L字に沿って、内側には基板挿入溝2、2’を複数本
設けたことを特徴とする緩衝材である。本発明において
は、上記L字の外側にゴム、テープ等の固定具22を案
内する固定具案内溝3を少なくとも1本設けることが望
ましい。
入溝に挿着することによりガラス基板を空中固定させる
と同時に隣接するガラス基板との接触が妨げられる。ま
た、挿入溝以外にガラス基板が緩衝材に接触する部分が
なく、ガラス基板の周縁に必要なデッドスペースは基板
挿入溝に相当する領域のみで充分である。
基板は、高性能な機能を付与するため、或いは付与され
た状態で輸送されるため、輸送用緩衝材は使用前に厳重
なる品質管理状態を維持しなければならない。そのため
使用前に洗浄液に対し耐薬品性能が有り、粉塵の発生が
無いことが要求される。それ故該緩衝材は、クリーンル
ーム内での取扱が容易で、洗浄・クリーンルーム内取扱
・輸送等の繰り返しサイクルに耐えることが必須の条件
となっている。本発明においては、ポリオレフィン発泡
体を使用することで、ガラスのカット面等鋭利な刃物状
の面により、繰り返し切り裂くような衝撃を受けても、
ポリオレフィンが有する柔軟性で上記衝撃を吸収し、且
つ、ビーズの最大の特徴である表皮の厚みが厚いことに
より、粉塵の発生が著しく少ない。通常汎用的に使用さ
れているポリスチレン系樹脂(例:EPS)ビーズ、ポ
リスチレン−ポリエチレン共重合樹脂発泡体等では、輸
送時に樹脂特有の剛性による粉塵の発生が多く、ガラス
基板に損傷が発生する。また、ポリオレフィンは耐薬品
性に優れることから、洗浄にも耐え、上記した繰り返し
サイクルに充分適応することができる。
る。
図中1は本発明の緩衝材、2及び2’は基板挿入溝、3
は固定具案内溝である。また、本実施例を用いてガラス
基板を梱包した状態を図2に示す。図中21はガラス基
板、22は固定具である。
ス基板の角部を保護し且つ、空中固定するもので、従っ
て最少単位4個で一組の梱包を行なう。図1に示す様
に、本発明の緩衝材はガラス基板の角部の形状に従って
断面が略L字形を呈し、基板の角部を形成する2側端を
固定するべく該L字に沿って基板挿入溝2及び2’が設
けられている。挿入溝2及び2’の幅は、本発明の緩衝
材を利用し得るガラス基板の厚みから、適宜選択される
が、その底部が基板の厚みと同じかもしくは若干狭く形
成し、発泡体の弾性を利用してガラス基板を挿入・固定
する。
溝の距離は好ましくは0.5mm以上に形成される。
0.5mm未満では輸送時に基板の撓み等でガラス基板
同士が接触する可能性が高く好ましくない。さらに好ま
しくは1mm以上で10mm以下の範囲である。1mm
以上では、輸送時の撓み等による隣接するガラス基板同
士の接触の心配が全く無い。また、10mmを越えると
嵩高くなり搬送量が少なくなるため好ましくない。
状態で、隣接するガラス基板の面と面の間が0.5mm
以上、好ましくは1mm以上開いていることが望まし
い。また、基板挿入溝の深さも、ガラス基板の大きさや
厚さにより適宜選択されるところであるが、少なくとも
1mmあれば良く、好ましくは2〜10mmである。
に、隣接する基板挿入溝の間の凸状の断面をテーパー状
に形成することにより、着脱を容易にし、端部での粉塵
の発生を激減させることができる。本発明においては少
なくとも5枚以上、好ましくは10〜100枚の範囲で
同時梱包する。従って、基板挿入溝の本数も、5本以上
必要である。場合によっては梱包するガラス基板の枚数
に対し、基板挿入溝を2本多く形成した緩衝材を用意
し、両端にダミー基板を挿着して内側に挿着したガラス
基板を保護する。
挿入溝2’が角部にまで形成されていない。これは本実
施例の緩衝材1の角部における可撓性を高めて着脱を容
易ならしめ、且つ粉塵の発生を激減せしめるためであ
る。このように、本発明においては、ガラス基板の角部
を保護し得る範囲であれば、基板挿入溝を角部にまで形
成する必要はない。
に当たる部分をテーパー状に形成することにより着脱が
さらに容易になる。
は、図1に示す様に、テープやゴム等の固定具を案内す
るための固定具案内溝3を少なくとも1本設け、図2に
示す様に、本発明の緩衝材をガラス基板に挿着した後、
外側から固定を強固にすることが望ましい。但し、本発
明は図1に示された実施例に限定されるものではない。
ズ発泡体により形成される。ポリオレフィンとして好ま
しくはポリエチレン、或いはポリプロピレンが挙げられ
る。具体的には、メフ(登録商標、旭化成工業株式会社
製)が好適に用いられる。本発明において、発泡体の発
泡倍率は少なくとも5倍以上、好ましくは10〜30倍
である。また、圧縮強度は11kg/cm2 以下であ
る。圧縮強度が11kg/cm2 を越えると、落下時に
破損し易い。好ましくは0.9〜3.1kg/cm2 で
ある。3.1kg/cm2 以下にするとガラスの破損が
激減するが、0.9kg/cm2 未満では、ガラスの自
重で永久歪みが発生し易くなる。
ことから帯電防止剤を添加するのが好ましい。帯電防止
剤としては一般に用いられているものがそのまま使用可
能で、例えばイオン系活性剤や非イオン系活性剤、両性
系活性剤等が好適に用いられる。しかしながら、表面塗
布タイプでは、繰り返し使用と洗浄液による洗浄で帯電
防止性能が低下するため、半永久的に性能維持させるた
めには練り込みタイプのビーズ発泡体を使用することが
好ましい。例えば、メフCB(登録商標、旭化成工業株
式会社製)が良好に用いられる。
は、複数のガラス基板を容易に且つ確実に保護して梱包
することができる。本発明の緩衝材を用いてガラス基板
を梱包すると、ガラス基板と緩衝材とが摺擦し合うこと
がないため、ガラス基板上の電子部品の損傷が防止され
る。さらに、ポリオレフィンを用いたことから、粉塵に
よるガラス基板への影響がなく、また洗浄して再使用が
可能となったため経済的である上、環境問題から考えて
も非常に有用である。
に利用することができるが、中でも最近開発が著しい液
晶分野において、特に薄膜トランジスタ(TFT)を作
り込んだTFT基板は製造レベルでの歩留が低いことが
問題となっているが、本発明の緩衝材を用いることによ
り輸送時のTFT基板の損傷を防止して歩留を高めるこ
とができる。
なった状態を示す斜視図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 発泡倍率が少なくとも5倍以上、圧縮強
度が11kg/cm2 以下のポリオレフィンビーズ発泡
体からなる緩衝材であって、断面が略L字形を呈し、該
L字に沿って内側には基板挿入溝を複数本設けたことを
特徴とする緩衝材。
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
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