JP2916836B2 - ガラス基板用緩衝材及び該緩衝材を用いた包装体 - Google Patents

ガラス基板用緩衝材及び該緩衝材を用いた包装体

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JP2916836B2 JP4146901A JP14690192A JP2916836B2 JP 2916836 B2 JP2916836 B2 JP 2916836B2 JP 4146901 A JP4146901 A JP 4146901A JP 14690192 A JP14690192 A JP 14690192A JP 2916836 B2 JP2916836 B2 JP 2916836B2
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【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ガラス基体上に半導体
装置等電子部品を形成してなるガラス基板を、輸送時の
振動等による損傷から保護する輸送用緩衝材に関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】近年半導体装置の発達に伴って、その梱
包や輸送などの周辺技術の開発が要求されている。ガラ
ス基体上に半導体装置等電子部品を組み込んでなるガラ
ス基板は薄く衝撃等に弱い上、その構成が非常に微細な
ため、外部からの影響を受け易く、取扱が難しい。特
に、最終的な製品になる前の、中間部品の状態で輸送す
る場合には、上記電子部品が剥き出しの状態で扱われる
ため静電気や埃などの影響をより強く受けてしまう。
【0003】図3に従来のガラス基板の梱包方法を示し
た。図中21はガラス基板、31は緩衝材である。緩衝
材31は外周がガラス基板21の外周よりも一回り大き
く、且つ内周が一回り小さい口字形のポリスチレン等の
低発泡体からなる緩衝板で、図3に示した様に、緩衝材
31とガラス基板21を順に複数枚重ね、例えば10枚
を1セットとして周囲をさらに緩衝板等で保護し、ゴム
或いはテープ等で固定する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら図3に示
したような緩衝材では、口字形の打ち抜き加工で粉の発
生が生じ、複数枚の集合体を固定する際、或いは輸送時
の振動等により、緩衝材とガラス基板とが摺擦し合い、
ガラス基板上の電子部品を広範囲に損傷してしまう。ま
た、同時に緩衝材も損傷して微細な粉塵を生じ、これが
電子部品に付着し、表面の機能を損傷するという問題も
有った。そのため、高機能を付与した該ガラス基板で
は、従来の梱包法で要求を達成でき得なかった。従っ
て、複数枚のガラス基板が接触せず容易に空中固定し、
且つ、クリーンルーム内で取り扱うためコンパクトで粉
塵発生が無く、耐薬品性の強い保護緩衝材が求められて
いた。
【0005】 本発明は、発泡倍率が少なくとも5倍以
上、圧縮強度が0.088MPa以上0.304MPa
以下のポリオレフィンビーズ発泡体からなる緩衝材であ
って、断面が略L字形を呈し、該L字に沿って内側には
基板挿入溝を複数本設けたことを特徴とするガラス基板
緩衝材である。さらに本発明は、複数のガラス基板を
所定の間隔をもって平行配置して立方体を形成し、各基
板の角部をそれぞれ上記本発明のガラス基板用緩衝材の
基板挿入溝に挿入して該基板表面に対して直交する上記
立方体の4辺を上記緩衝材により嵌合固定してなること
を特徴とする包装体である。本発明の緩衝材において
は、上記L字の外側にゴム、テープ等の固定具を案内す
る固定具案内溝を少なくとも1本設けることが望まし
い。
【0006】
【作用】本発明の緩衝材は、ガラス基板の角部を基板挿
入溝に挿着することによりガラス基板を空中固定させる
と同時に隣接するガラス基板との接触が妨げられる。ま
た、挿入溝以外にガラス基板が緩衝材に接触する部分が
なく、ガラス基板の周縁に必要なデッドスペースは基板
挿入溝に相当する領域のみで充分である。
【0007】また、本発明の緩衝材が目的とするガラス
基板は、高性能な機能を付与するため、或いは付与され
た状態で輸送されるため、輸送用緩衝材は使用前に厳重
なる品質管理状態を維持しなければならない。そのため
使用前に洗浄液に対し耐薬品性能が有り、粉塵の発生が
無いことが要求される。それ故該緩衝材は、クリーンル
ーム内での取扱が容易で、洗浄・クリーンルーム内取扱
・輸送等の繰り返しサイクルに耐えることが必須の条件
となっている。本発明においては、ポリオレフィン発泡
体を使用することで、ガラスのカット面等鋭利な刃物状
の面により、繰り返し切り裂くような衝撃を受けても、
ポリオレフィンが有する柔軟性で上記衝撃を吸収し、且
つ、ビーズの最大の特徴である表皮の厚みが厚いことに
より、粉塵の発生が著しく少ない。通常汎用的に使用さ
れているポリスチレン系樹脂(例:EPS)ビーズ、ポ
リスチレン−ポリエチレン共重合樹脂発泡体等では、輸
送時に樹脂特有の剛性による粉塵の発生が多く、ガラス
基板に損傷が発生する。また、ポリオレフィンは耐薬品
性に優れることから、洗浄にも耐え、上記した繰り返し
サイクルに充分適応することができる。
【0008】
【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。
【0009】 図1に本発明の緩衝材の一実施例を示
す。図中1は本発明の緩衝材、2及び2’は基板挿入
溝、3は固定具案内溝である。また、本実施例を用いて
ガラス基板を梱包した本発明の包装体の一実施例を図2
に示す。図中21はガラス基板、22は固定具である。
【0010】図2に示す様に、本発明の緩衝材は、ガラ
ス基板の角部を保護し且つ、空中固定するもので、従っ
て最少単位4個で一組の梱包を行なう。図1に示す様
に、本発明の緩衝材はガラス基板の角部の形状に従って
断面が略L字形を呈し、基板の角部を形成する2側端を
固定するべく該L字に沿って基板挿入溝2及び2’が設
けられている。挿入溝2及び2’の幅は、本発明の緩衝
材を利用し得るガラス基板の厚みから、適宜選択される
が、その底部が基板の厚みと同じかもしくは若干狭く形
成し、発泡体の弾性を利用してガラス基板を挿入・固定
する。
【0011】また、本発明において、隣接する基板挿入
溝の距離は好ましくは0.5mm以上に形成される。
0.5mm未満では輸送時に基板の撓み等でガラス基板
同士が接触する可能性が高く好ましくない。さらに好ま
しくは1mm以上で10mm以下の範囲である。1mm
以上では、輸送時の撓み等による隣接するガラス基板同
士の接触の心配が全く無い。また、10mmを越えると
嵩高くなり搬送量が少なくなるため好ましくない。
【0012】本発明においては、ガラス基板を挿着した
状態で、隣接するガラス基板の面と面の間が0.5mm
以上、好ましくは1mm以上開いていることが望まし
い。また、基板挿入溝の深さも、ガラス基板の大きさや
厚さにより適宜選択されるところであるが、少なくとも
1mmあれば良く、好ましくは2〜10mmである。
【0013】 本発明においてはガラス基板を少なくと
も5枚以上、好ましくは10〜100枚の範囲で同時梱
包する。従って、基板挿入溝の本数も、5本以上必要で
ある。場合によっては梱包するガラス基板の枚数に対
し、基板挿入溝を2本多く形成した緩衝材を用意し、両
端にダミー基板を挿着して内側に挿着したガラス基板を
保護する。
【0014】図1に示す実施例においては、片側の基板
挿入溝2’が角部にまで形成されていない。これは本実
施例の緩衝材1の角部における可撓性を高めて着脱を容
易ならしめ、且つ粉塵の発生を激減せしめるためであ
る。このように、本発明においては、ガラス基板の角部
を保護し得る範囲であれば、基板挿入溝を角部にまで形
成する必要はない。
【0015】 本発明においては、図1に示す様に、
字の端部に当たる部分をテーパー状に形成していること
により、ガラス基板の着脱が容易となっている
【0016】また、固定を強化する必要が有る場合に
は、図1に示す様に、テープやゴム等の固定具を案内す
るための固定具案内溝3を少なくとも1本設け、図2に
示す様に、本発明の緩衝材をガラス基板に挿着した後、
外側から固定を強固にすることが望ましい。但し、本発
明は図1に示された実施例に限定されるものではない。
【0017】 本発明の緩衝材は、ポリオレフィンのビ
ーズ発泡体により形成される。ポリオレフィンとして好
ましくはポリエチレン、或いはポリプロピレンが挙げら
れる。具体的には、メフ(登録商標、旭化成工業株式会
社製)が好適に用いられる。本発明において、発泡体の
発泡倍率は少なくとも5倍以上、好ましくは10〜30
倍である。また、圧縮強度は0.088〜0.304M
Pa(0.9〜3.1kgf/cm2)である。0.3
04MPa以下にするとガラスの破損が激減するが、
0.08MPa未満では、ガラスの自重で歪みが発生
し易くなる。
【0018】また本発明においては、ガラス基板を扱う
ことから帯電防止剤を添加するのが好ましい。帯電防止
剤としては一般に用いられているものがそのまま使用可
能で、例えばイオン系活性剤や非イオン系活性剤、両性
系活性剤等が好適に用いられる。しかしながら、表面塗
布タイプでは、繰り返し使用と洗浄液による洗浄で帯電
防止性能が低下するため、半永久的に性能維持させるた
めには練り込みタイプのビーズ発泡体を使用することが
好ましい。例えば、メフCB(登録商標、旭化成工業株
式会社製)が良好に用いられる。
【0019】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の緩衝材
は、複数のガラス基板を容易に且つ確実に保護して梱包
することができる。本発明の緩衝材を用いてガラス基板
を梱包すると、ガラス基板と緩衝材とが摺擦し合うこと
がないため、ガラス基板上の電子部品の損傷が防止され
る。さらに、ポリオレフィンを用いたことから、粉塵に
よるガラス基板への影響がなく、また洗浄して再使用が
可能となったため経済的である上、環境問題から考えて
も非常に有用である。
【0020】本発明の緩衝材は、多種多様なガラス基板
に利用することができるが、中でも最近開発が著しい液
晶分野において、特に薄膜トランジスタ(TFT)を作
り込んだTFT基板は製造レベルでの歩留が低いことが
問題となっているが、本発明の緩衝材を用いることによ
り輸送時のTFT基板の損傷を防止して歩留を高めるこ
とができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例の斜視図である。
【図2】 図1に示した本発明の実施例を用いた本発明
の包装体の実施例の斜視図である。
【図3】従来の緩衝材の使用状態を示す図である。
【符号の説明】
1 緩衝材 2、2’ 基板挿入溝 3 固定具案内溝 21 ガラス基板 22 固定具 31 緩衝材
フロントページの続き (56)参考文献 実開 昭63−149591(JP,U) 実開 昭54−70776(JP,U) 実開 平1−160839(JP,U) 実開 平2−56173(JP,U) 実開 昭60−146065(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B65D 57/00 - 59/08 B65D 81/00 - 81/16 B65D 67/00 - 79/02 B65D 81/18 - 81/30 B65D 81/38 B65D 85/00 - 85/84 B29C 67/00 - 67/10 B29C 69/00 - 69/02 B29C 73/00 - 73/34 B29D 1/00 - 7/01 B29D 11/00 - 29/10 B29D 31/00 - 31/02

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 発泡倍率が少なくとも5倍以上、圧縮強
    度が0.088MPa以上0.304MPa以下のポリ
    オレフィンビーズ発泡体からなる緩衝材であって、断面
    が略L字形を呈し、該L字に沿って内側には基板挿入溝
    を複数本設けたことを特徴とするガラス基板用緩衝材。
  2. 【請求項2】 複数のガラス基板を所定の間隔をもって
    平行配置して立方体を形成し、各基板の角部をそれぞれ
    請求項1記載のガラス基板用緩衝材の基板挿入溝に挿入
    して該基板表面に対して直交する上記立方体の4辺を上
    記緩衝材により嵌合固定してなることを特徴とする包装
    体。
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