JPH05314421A - 磁気ヘッドの製造方法及びトラック突合せ装置 - Google Patents
磁気ヘッドの製造方法及びトラック突合せ装置Info
- Publication number
- JPH05314421A JPH05314421A JP11352292A JP11352292A JPH05314421A JP H05314421 A JPH05314421 A JP H05314421A JP 11352292 A JP11352292 A JP 11352292A JP 11352292 A JP11352292 A JP 11352292A JP H05314421 A JPH05314421 A JP H05314421A
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- Japan
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- magnetic
- gap
- cores
- pair
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明はＶＴＲやＲ−ＤＡＴ等に用いられ、
高密度記録に必要な狭トラックヘッドを高精度に且つト
ラックを構成する磁気コアの突合せズレを解消した、大
容量の信号を高密度に記録再生するのに好適な磁気ヘッ
ドを提供することを目的とする。 【構成】 両コアブロック４、５をトラック幅方向に相
対的に移動させ、磁気ギャップを構成するコア間のキャ
パシタンスが最大になる位置で固定し接着するトラック
突合せ方法及び装置。
高密度記録に必要な狭トラックヘッドを高精度に且つト
ラックを構成する磁気コアの突合せズレを解消した、大
容量の信号を高密度に記録再生するのに好適な磁気ヘッ
ドを提供することを目的とする。 【構成】 両コアブロック４、５をトラック幅方向に相
対的に移動させ、磁気ギャップを構成するコア間のキャ
パシタンスが最大になる位置で固定し接着するトラック
突合せ方法及び装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はＶＴＲやＲ−ＤＡＴ等に
用いられ、大容量の信号を高密度に記録再生するのに好
適な磁気ヘッドの製造方法及びその装置に関するもので
ある。
用いられ、大容量の信号を高密度に記録再生するのに好
適な磁気ヘッドの製造方法及びその装置に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来、ビデオヘッドやＲ−ＤＡＴ用ヘッ
ドの製造方法において、トラック幅を形成する工程は、
磁気ギャップ形成時に１対のコアブロックを磁気ギャッ
プを介して突合せ、光学顕微鏡で観察しながらコアブロ
ックを相対的に移動させて突合せ量を制御してトラック
幅を規制し、その状態で両コアを加圧・加熱してガラス
等で固着するものであった。使用されるトラック幅とし
ては２０μｍ以上のものが大半で、トラック幅精度は±
２μｍ程度で製造されてきた。
ドの製造方法において、トラック幅を形成する工程は、
磁気ギャップ形成時に１対のコアブロックを磁気ギャッ
プを介して突合せ、光学顕微鏡で観察しながらコアブロ
ックを相対的に移動させて突合せ量を制御してトラック
幅を規制し、その状態で両コアを加圧・加熱してガラス
等で固着するものであった。使用されるトラック幅とし
ては２０μｍ以上のものが大半で、トラック幅精度は±
２μｍ程度で製造されてきた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、近年の磁気記
録技術の発展はめざましいものがあり、特にＶＴＲでは
小型化・高密度化が押し進められ、用いられる磁気ヘッ
ドのトラック幅はどんどん狭くなっており、現在では２
０μｍ以下のものも実用化されている。更に、今後ディ
ジタルＶＴＲや高品位ＶＴＲのように、極めて大容量の
信号を扱うシステムの開発が進められており、磁気ヘッ
ドのトラック幅としても１０μｍ前後のものが必要とさ
れるようになることが予想される。このような狭トラッ
クのヘッドでは、トラック幅精度も±１μｍあるいは±
０．５μｍというように大幅に高精度化が要求されると
同時に、トラックを構成する１対のコア間の突合せズレ
が問題になってくる。両コア間で突合せのズレが発生す
ると、その部分でフリンジング磁界が発生し実効的なト
ラック幅が広がる等の悪影響を生じることになる。従っ
て、この突合せ量も１μｍ以下あるいは０．５μｍ以下
という精度が要求されるようになる。しかし、従来の方
法では、光学的手段で観察しながらコアを移動させて突
合せ量を制御しており、その拡大倍率もレンズの焦点距
離との関係からあまり大きくできず、光学系の分解能の
点からも、１μｍ以下の高精度を再現良く維持すること
は難しく、現状の方法では上述のような高精度な突合せ
は困難になっている。
録技術の発展はめざましいものがあり、特にＶＴＲでは
小型化・高密度化が押し進められ、用いられる磁気ヘッ
ドのトラック幅はどんどん狭くなっており、現在では２
０μｍ以下のものも実用化されている。更に、今後ディ
ジタルＶＴＲや高品位ＶＴＲのように、極めて大容量の
信号を扱うシステムの開発が進められており、磁気ヘッ
ドのトラック幅としても１０μｍ前後のものが必要とさ
れるようになることが予想される。このような狭トラッ
クのヘッドでは、トラック幅精度も±１μｍあるいは±
０．５μｍというように大幅に高精度化が要求されると
同時に、トラックを構成する１対のコア間の突合せズレ
が問題になってくる。両コア間で突合せのズレが発生す
ると、その部分でフリンジング磁界が発生し実効的なト
ラック幅が広がる等の悪影響を生じることになる。従っ
て、この突合せ量も１μｍ以下あるいは０．５μｍ以下
という精度が要求されるようになる。しかし、従来の方
法では、光学的手段で観察しながらコアを移動させて突
合せ量を制御しており、その拡大倍率もレンズの焦点距
離との関係からあまり大きくできず、光学系の分解能の
点からも、１μｍ以下の高精度を再現良く維持すること
は難しく、現状の方法では上述のような高精度な突合せ
は困難になっている。
【０００４】本発明は、このような問題点を解決した磁
気ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
気ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決するために、複数のトラック部を有する１対のコアブ
ロックのギャップ面を誘電体からなる非磁性ギャップ材
を介して対向させ、両コアブロックをトラック幅方向に
相対的に移動させ、磁気ギャップを構成するコア間のキ
ャパシタンスが最大になる位置で固定するようにしたも
のである。
決するために、複数のトラック部を有する１対のコアブ
ロックのギャップ面を誘電体からなる非磁性ギャップ材
を介して対向させ、両コアブロックをトラック幅方向に
相対的に移動させ、磁気ギャップを構成するコア間のキ
ャパシタンスが最大になる位置で固定するようにしたも
のである。
【０００６】
【作用】本発明の磁気ヘッドの製造方法における作用は
次の通りである。即ち、金属磁性材料から形成されてな
る１対のコアが例えばＳｉＯ2 等の誘電体からなる非磁
性の磁気ギャップ材料を介して対向しており、この両コ
ア間に電圧を印加するとキャパシタンスを構成すること
になる。この時、１トラックを構成するキャパシタンス
は両コア間の距離、即ち磁気ギャップ材料の膜厚と両コ
アの磁気ギャップ面が対向する面積できまる。従って、
両コアをトラック幅方向に相対的に移動させると両コア
の磁気ギャップ面が対向する面積が変化し、両コア間の
キャパシタンスも変化する。具体的には両コアがほとん
ど対向していない状態から徐々に対向する方向にコアを
移動させ、完全に対向した後更に対向しなくなるまで移
動させた時のキャパシタンスは、完全に対向した時に最
大となる山形のカーブを描くことになる。従って、両コ
アを相対的に移動させ、両コア間のキャパシタンスが最
大になる点で両コアを固定し、ガラス等で接着すること
により、コア間のズレがなく、スパッタリング等で高精
度に形成された膜厚でトラック幅を規制できるものであ
る。
次の通りである。即ち、金属磁性材料から形成されてな
る１対のコアが例えばＳｉＯ2 等の誘電体からなる非磁
性の磁気ギャップ材料を介して対向しており、この両コ
ア間に電圧を印加するとキャパシタンスを構成すること
になる。この時、１トラックを構成するキャパシタンス
は両コア間の距離、即ち磁気ギャップ材料の膜厚と両コ
アの磁気ギャップ面が対向する面積できまる。従って、
両コアをトラック幅方向に相対的に移動させると両コア
の磁気ギャップ面が対向する面積が変化し、両コア間の
キャパシタンスも変化する。具体的には両コアがほとん
ど対向していない状態から徐々に対向する方向にコアを
移動させ、完全に対向した後更に対向しなくなるまで移
動させた時のキャパシタンスは、完全に対向した時に最
大となる山形のカーブを描くことになる。従って、両コ
アを相対的に移動させ、両コア間のキャパシタンスが最
大になる点で両コアを固定し、ガラス等で接着すること
により、コア間のズレがなく、スパッタリング等で高精
度に形成された膜厚でトラック幅を規制できるものであ
る。
【０００７】
【実施例】以下本発明の一実施例の磁気ヘッドの製造方
法について、図面を参照しながら説明する。（図１）に
示したように、非磁性基板１の一方の面にスパッタリン
グ等の手法で金属磁性膜２を所望のトラック幅の厚みで
形成する。金属磁性膜の厚み精度はスパッタリング等の
薄膜形成技術により±１μｍ以下に押さえることは十分
に可能であり、且つ厚さが薄いほど絶対値としての膜厚
精度は向上することから、１０μｍ程度の膜厚の場合±
０．５μｍ以下の膜厚精度が十分に可能である。この金
属磁性膜は高周波領域で動作させる場合は、渦電流損失
を考慮して絶縁層を介した積層構造をとることが望まし
い。このようにして形成した金属磁性膜の上に接着用ガ
ラス膜３をスパッタリングで形成して複合基板を作製す
る。
法について、図面を参照しながら説明する。（図１）に
示したように、非磁性基板１の一方の面にスパッタリン
グ等の手法で金属磁性膜２を所望のトラック幅の厚みで
形成する。金属磁性膜の厚み精度はスパッタリング等の
薄膜形成技術により±１μｍ以下に押さえることは十分
に可能であり、且つ厚さが薄いほど絶対値としての膜厚
精度は向上することから、１０μｍ程度の膜厚の場合±
０．５μｍ以下の膜厚精度が十分に可能である。この金
属磁性膜は高周波領域で動作させる場合は、渦電流損失
を考慮して絶縁層を介した積層構造をとることが望まし
い。このようにして形成した金属磁性膜の上に接着用ガ
ラス膜３をスパッタリングで形成して複合基板を作製す
る。
【０００８】次に（図２）に示すように、この複合基板
を複数枚積み重ねて適当な圧力を加えながら加熱接着し
一体化する。その後、図中の破線で示すように切断しコ
アブロックを作製する。このようにして作製した１対の
コアブロック４、５の磁気ギャップ面を鏡面に仕上げた
のち、（図３）に示したように、少なくとも一方の磁気
ギャップ面上にＳｉＯ2 等の非磁性の誘電材料からなる
ギャップ材６を、スパッタリングで所定の磁気ギャップ
長に相当する厚さで形成する。
を複数枚積み重ねて適当な圧力を加えながら加熱接着し
一体化する。その後、図中の破線で示すように切断しコ
アブロックを作製する。このようにして作製した１対の
コアブロック４、５の磁気ギャップ面を鏡面に仕上げた
のち、（図３）に示したように、少なくとも一方の磁気
ギャップ面上にＳｉＯ2 等の非磁性の誘電材料からなる
ギャップ材６を、スパッタリングで所定の磁気ギャップ
長に相当する厚さで形成する。
【０００９】その後（図４）に示すように、両コアブロ
ックを磁気ギャップ面が対向するように突合せ、１対の
金属磁性膜コアをキャパシタンス測定器７に接続する。
そして、一方のコアブロックを固定治具８で固定し、両
コアをバネ材等を用いたギャップ面加圧手段９で適度に
加圧しながら、もう一方のコアブロックを微調駆動手段
１０と加圧手段１１とでトラック幅方向へ移動させる。
加圧手段１１はバネ材等を用いてコアブロック５を一方
向に押圧しておき、マイクロメーターあるいはステップ
モーター等を用いた微調駆動手段１０で、両コアブロッ
ク４、５間の相対的な移動を行う。そして、キャパシタ
ンスが最大となる位置で両コアブロックを固定し、ギャ
ップ面加圧手段９で所定の加圧力を加え、接着用ガラス
で接着しギャップドバーを作製し、その後所定の厚さで
切断してヘッドチップ化する。
ックを磁気ギャップ面が対向するように突合せ、１対の
金属磁性膜コアをキャパシタンス測定器７に接続する。
そして、一方のコアブロックを固定治具８で固定し、両
コアをバネ材等を用いたギャップ面加圧手段９で適度に
加圧しながら、もう一方のコアブロックを微調駆動手段
１０と加圧手段１１とでトラック幅方向へ移動させる。
加圧手段１１はバネ材等を用いてコアブロック５を一方
向に押圧しておき、マイクロメーターあるいはステップ
モーター等を用いた微調駆動手段１０で、両コアブロッ
ク４、５間の相対的な移動を行う。そして、キャパシタ
ンスが最大となる位置で両コアブロックを固定し、ギャ
ップ面加圧手段９で所定の加圧力を加え、接着用ガラス
で接着しギャップドバーを作製し、その後所定の厚さで
切断してヘッドチップ化する。
【００１０】この方法を実現せしめる装置は、（図４）
と上述の製造方法で説明したように、１対のコアブロッ
クを個々に保持する手段と、少なくとも一方のコアブロ
ックをトラック幅方向に移動する手段と、磁気ギャップ
を形成する１対のコア間のキャパシタンスを測定する手
段と、前記１対のコアブロックを加圧する手段とを有す
るものである。
と上述の製造方法で説明したように、１対のコアブロッ
クを個々に保持する手段と、少なくとも一方のコアブロ
ックをトラック幅方向に移動する手段と、磁気ギャップ
を形成する１対のコア間のキャパシタンスを測定する手
段と、前記１対のコアブロックを加圧する手段とを有す
るものである。
【００１１】この方法によると、トラック突合せ工程の
自動化が容易である。トラック突合せ量が電気信号とし
て取り出せることから、（図４）に示したように、コン
ピュータを使ったフィードバックが可能となる。即ち、
両コアブロックの金属磁性膜が対向しはじめてから離れ
るまでのキャパシタンスの測定カーブは対象形となるこ
とから、１度このカーブを測定したのち、その最大位置
を割り出して微調駆動手段でその位置まで戻すことによ
って高精度のトラック突合せの自動化が可能となり、従
来高精度化と工数削減の両立が困難であったギャップ形
成工程が大幅に改善される。
自動化が容易である。トラック突合せ量が電気信号とし
て取り出せることから、（図４）に示したように、コン
ピュータを使ったフィードバックが可能となる。即ち、
両コアブロックの金属磁性膜が対向しはじめてから離れ
るまでのキャパシタンスの測定カーブは対象形となるこ
とから、１度このカーブを測定したのち、その最大位置
を割り出して微調駆動手段でその位置まで戻すことによ
って高精度のトラック突合せの自動化が可能となり、従
来高精度化と工数削減の両立が困難であったギャップ形
成工程が大幅に改善される。
【００１２】なお、フェライトヘッドや磁気ギャップ部
にのみ金属磁性膜を配置したＭＩＧヘッドのような場合
でも本発明は適用が可能である。この場合は、１トラッ
クだけではなく、全トラックが並列に接続されたキャパ
シタンスとして測定されるが、コアブロックをトラック
幅方向へ相対的に移動し、キャパシタンスが最大になる
位置で固定、接着することにより突合せズレの無い高精
度のトラックが実現できるものである。
にのみ金属磁性膜を配置したＭＩＧヘッドのような場合
でも本発明は適用が可能である。この場合は、１トラッ
クだけではなく、全トラックが並列に接続されたキャパ
シタンスとして測定されるが、コアブロックをトラック
幅方向へ相対的に移動し、キャパシタンスが最大になる
位置で固定、接着することにより突合せズレの無い高精
度のトラックが実現できるものである。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、スパッタリング等で高
精度に形成された膜厚でトラック幅を規制するために、
今後予想される狭トラックにも十分対応可能な高精度な
トラック幅の形成が可能であるとともに、磁気ギャップ
を構成する１対のコア間のズレも解消できるために、特
に狭トラック記録で影響が大きくなるフリンジング磁界
の影響を最小限にできる。また本発明によると、トラッ
ク突合せ情報を電気信号で取り出せるために、コンピュ
ータを用いた自動化が容易に実現でき、量産化に大きく
貢献できるものである。
精度に形成された膜厚でトラック幅を規制するために、
今後予想される狭トラックにも十分対応可能な高精度な
トラック幅の形成が可能であるとともに、磁気ギャップ
を構成する１対のコア間のズレも解消できるために、特
に狭トラック記録で影響が大きくなるフリンジング磁界
の影響を最小限にできる。また本発明によると、トラッ
ク突合せ情報を電気信号で取り出せるために、コンピュ
ータを用いた自動化が容易に実現でき、量産化に大きく
貢献できるものである。
【図１】第１の発明の実施例の磁気ヘッドの製造方法を
説明する図である。
説明する図である。
【図２】第１の発明の実施例の磁気ヘッドの製造方法を
説明する図である。
説明する図である。
【図３】第１の発明の実施例の磁気ヘッドの製造方法を
説明する図である。
説明する図である。
【図４】第１の発明の実施例の磁気ヘッドの製造方法を
説明する図である。
説明する図である。
１ 非磁性基板 ２ 金属磁性膜 ３ ガラス膜 ４、５ コアブロック ６ ギャップ材 ７ キャパシタンス測定器 ８ 固定治具 ９ ギャップ面加圧手段 １０ 微調駆動手段 １１ 加圧手段 １２ コンピュータ
Claims (3)
- 【請求項１】 複数のトラック部を有する１対のコアブ
ロックのギャップ面を誘電体からなる非磁性ギャップ材
を介して対向させ、両コアブロックをトラック幅方向に
相対的に移動させ、磁気ギャップを構成するコア間のキ
ャパシタンスが最大になる位置で固定する工程を含むこ
とを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項２】 コアブロックが金属磁性膜と非磁性基板
を交互に積層したものであることを特徴とする請求項１
記載の磁気ヘッドの製造方法。 - 【請求項３】 １対のコアブロックを個々に保持する手
段と、少なくとも一方のコアブロックをトラック幅方向
に移動する手段と、磁気ギャップを形成する１対のコア
間のキャパシタンスを測定する手段と、前記１対のコア
ブロックを加圧する手段とを有することを特徴とするト
ラック突合せ装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11352292A JPH05314421A (ja) | 1992-05-06 | 1992-05-06 | 磁気ヘッドの製造方法及びトラック突合せ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11352292A JPH05314421A (ja) | 1992-05-06 | 1992-05-06 | 磁気ヘッドの製造方法及びトラック突合せ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05314421A true JPH05314421A (ja) | 1993-11-26 |
Family
ID=14614479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11352292A Pending JPH05314421A (ja) | 1992-05-06 | 1992-05-06 | 磁気ヘッドの製造方法及びトラック突合せ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05314421A (ja) |
-
1992
- 1992-05-06 JP JP11352292A patent/JPH05314421A/ja active Pending
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