JPH05311405A - 蒸着用材料の製造方法 - Google Patents
蒸着用材料の製造方法Info
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- JPH05311405A JPH05311405A JP14650392A JP14650392A JPH05311405A JP H05311405 A JPH05311405 A JP H05311405A JP 14650392 A JP14650392 A JP 14650392A JP 14650392 A JP14650392 A JP 14650392A JP H05311405 A JPH05311405 A JP H05311405A
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- wire
- alloy
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- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
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- H01F1/01—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
- H01F1/03—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
- H01F1/12—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
- H01F1/14—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys
- H01F1/143—Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys in the form of wires
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ＶＴＲテープの製造などで、Ｃｏ−Ｎｉ合金
をベースフィルムに蒸着する際、安定した蒸着条件が得
られるよう、線材で、靱性に優れた蒸着材料の製造法を
提供する。 【構成】 実質的にＣｏが８０ｗｔ％，Ｎｉが２０ｗｔ
％，残部が不可避的不純物のＣｏ−Ｎｉ合金を、溶解鋳
造にて合金塊とし、これを熱間で鍛造後、圧延にて線材
を得て、この線材に、４００℃以上６００℃以下で、減
面率１０％以上の塑性加工を行う。
をベースフィルムに蒸着する際、安定した蒸着条件が得
られるよう、線材で、靱性に優れた蒸着材料の製造法を
提供する。 【構成】 実質的にＣｏが８０ｗｔ％，Ｎｉが２０ｗｔ
％，残部が不可避的不純物のＣｏ−Ｎｉ合金を、溶解鋳
造にて合金塊とし、これを熱間で鍛造後、圧延にて線材
を得て、この線材に、４００℃以上６００℃以下で、減
面率１０％以上の塑性加工を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、蒸着ＶＴＲテープなど
を製造する工程で用いられる、Ｃｏ−Ｎｉ合金の長尺蒸
着用材料の製造方法に関するものである。
を製造する工程で用いられる、Ｃｏ−Ｎｉ合金の長尺蒸
着用材料の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】最近のＶＴＲテープは、より一層の高画
質、高音質が要求され、これに対応するため、従来のフ
ェライトやメタル塗布テープに比べてより高磁気密度化
が可能なＣｏ−Ｎｉ蒸着テープが用いられつつある。Ｃ
ｏ−Ｎｉ蒸着テープは、磁気密度を高めることにより、
高画質，高音質化が可能で、更に、長時間録画、ハイビ
ジョン放送への対応など、今後の需要増大が期待される
ものである。
質、高音質が要求され、これに対応するため、従来のフ
ェライトやメタル塗布テープに比べてより高磁気密度化
が可能なＣｏ−Ｎｉ蒸着テープが用いられつつある。Ｃ
ｏ−Ｎｉ蒸着テープは、磁気密度を高めることにより、
高画質，高音質化が可能で、更に、長時間録画、ハイビ
ジョン放送への対応など、今後の需要増大が期待される
ものである。
【０００３】このようなテープの蒸着過程を、図４に基
づいて説明する。同図は、蒸着装置の概略図で、真空チ
ャンバー１１内には、ベースフィルム１２の送出軸１３
及び巻き取り軸１４、蒸着材料１５を蓄えるるつぼ１
６、電子ビームにより蒸着材料を加熱、溶融、蒸発させ
る電子銃１７、並びに蒸着材料１５を供給する供給装置
１９が配置されている。このような装置において、真空
チャンバー１１内を１０-5〜１０-6Ｔｏｒｒ程度に真空
引きし、電子ビームにより、るつぼ１６で蒸着材料１５
を２０００℃程度に加熱、溶融して蒸発させる。蒸発し
た材料１５は、ベースフィルム２上に達し、薄膜が蒸着
形成されるのである。
づいて説明する。同図は、蒸着装置の概略図で、真空チ
ャンバー１１内には、ベースフィルム１２の送出軸１３
及び巻き取り軸１４、蒸着材料１５を蓄えるるつぼ１
６、電子ビームにより蒸着材料を加熱、溶融、蒸発させ
る電子銃１７、並びに蒸着材料１５を供給する供給装置
１９が配置されている。このような装置において、真空
チャンバー１１内を１０-5〜１０-6Ｔｏｒｒ程度に真空
引きし、電子ビームにより、るつぼ１６で蒸着材料１５
を２０００℃程度に加熱、溶融して蒸発させる。蒸発し
た材料１５は、ベースフィルム２上に達し、薄膜が蒸着
形成されるのである。
【０００４】ここで、蒸着材料１５は、蒸発した分補給
しなければならず、その供給は、供給装置１９からのペ
レット材（１０φ×１５〜２５ｍｍ）の落下や、バー材
（３０φ×１ｍ）等の使用により行われる。
しなければならず、その供給は、供給装置１９からのペ
レット材（１０φ×１５〜２５ｍｍ）の落下や、バー材
（３０φ×１ｍ）等の使用により行われる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の供給方
法によった場合、ペレットの落下に伴い、蒸着材料湯面
の乱れ、溶湯の飛散、溶湯内温度分布の不均一など、蒸
着条件が不安定となる。これらは、材料の蒸発方向や蒸
着量を不安定にするため、安定した品質のテープを製造
することができないという問題があった。
法によった場合、ペレットの落下に伴い、蒸着材料湯面
の乱れ、溶湯の飛散、溶湯内温度分布の不均一など、蒸
着条件が不安定となる。これらは、材料の蒸発方向や蒸
着量を不安定にするため、安定した品質のテープを製造
することができないという問題があった。
【０００６】一方、このような問題の対策として、蒸着
材料を長尺の線材とし、これをるつぼ内に連続供給し
て、蒸着条件を安定化し、信頼性の高いテープを製造す
ることが考えられる。この場合、長時間の連続蒸着作業
が可能になるというメリットもあるため、Ｃｏ−Ｎｉ合
金の線材化が要望されていた。現に、蒸着材料でもＡｌ
等のように長尺化が容易なものでは、線材による連続供
給も行われている。
材料を長尺の線材とし、これをるつぼ内に連続供給し
て、蒸着条件を安定化し、信頼性の高いテープを製造す
ることが考えられる。この場合、長時間の連続蒸着作業
が可能になるというメリットもあるため、Ｃｏ−Ｎｉ合
金の線材化が要望されていた。現に、蒸着材料でもＡｌ
等のように長尺化が容易なものでは、線材による連続供
給も行われている。
【０００７】しかし、Ｃｏ−Ｎｉ合金を線材加工するこ
とは極めて困難である。即ち、難加工性材料であるた
め、冷間加工による長尺化が困難で、熱間加工により長
尺化できても、表面に不純物の付着が多く、靱性の高い
ものが得られない。不純物が多いと、るつぼ中にも不純
物がたまり、これが蒸着材料と共に蒸発するため、良質
の蒸着膜が形成できない。
とは極めて困難である。即ち、難加工性材料であるた
め、冷間加工による長尺化が困難で、熱間加工により長
尺化できても、表面に不純物の付着が多く、靱性の高い
ものが得られない。不純物が多いと、るつぼ中にも不純
物がたまり、これが蒸着材料と共に蒸発するため、良質
の蒸着膜が形成できない。
【０００８】表面不純物を除去する方法としては、研削
（皮剥ぎダイスによる引き抜き加工「シェービング」
等）や酸洗い等がある。しかし、靱性の不足した線材で
は、研削すること自体が難しく、仮に酸洗いで不純物を
除去できても、供給時に折損するという問題がある。
（皮剥ぎダイスによる引き抜き加工「シェービング」
等）や酸洗い等がある。しかし、靱性の不足した線材で
は、研削すること自体が難しく、仮に酸洗いで不純物を
除去できても、供給時に折損するという問題がある。
【０００９】本発明は、このような技術的背景のもとに
なされたもので、安定した蒸着条件が得られ、連続供給
できるよう、靱性に優れた長尺のＣｏ−Ｎｉ合金蒸着用
材料の製造方法を提供することを目的とする。
なされたもので、安定した蒸着条件が得られ、連続供給
できるよう、靱性に優れた長尺のＣｏ−Ｎｉ合金蒸着用
材料の製造方法を提供することを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、実質的に本発明製造方法は、Ｃｏが８０ｗｔ％，
Ｎｉが２０ｗｔ％，残部が不可避的不純物のＣｏ−Ｎｉ
合金を、溶解鋳造にて合金塊とし、これを熱間で鍛造
後、圧延加工を施し、圧延線材を得て、この圧延線材
に、４００℃以上６００℃以下で、減面率１０％以上の
塑性加工を行うことを特徴とする。
めに、実質的に本発明製造方法は、Ｃｏが８０ｗｔ％，
Ｎｉが２０ｗｔ％，残部が不可避的不純物のＣｏ−Ｎｉ
合金を、溶解鋳造にて合金塊とし、これを熱間で鍛造
後、圧延加工を施し、圧延線材を得て、この圧延線材
に、４００℃以上６００℃以下で、減面率１０％以上の
塑性加工を行うことを特徴とする。
【００１１】又、実質的にＣｏが８０ｗｔ％，Ｎｉが２
０ｗｔ％，残部が不可避的不純物のＣｏ−Ｎｉ合金を、
真空溶解鋳造にて合金塊とし、これを熱間で鍛造後、圧
延加工を施し、圧延線材を得て、この圧延線材に、４０
０℃以上６００℃以下で、減面率１０％以上の塑性加工
を行い、さらに冷間又は温間による線引き加工及び／又
は皮剥ぎダイスによる引き抜き加工を行うことを特徴と
する。
０ｗｔ％，残部が不可避的不純物のＣｏ−Ｎｉ合金を、
真空溶解鋳造にて合金塊とし、これを熱間で鍛造後、圧
延加工を施し、圧延線材を得て、この圧延線材に、４０
０℃以上６００℃以下で、減面率１０％以上の塑性加工
を行い、さらに冷間又は温間による線引き加工及び／又
は皮剥ぎダイスによる引き抜き加工を行うことを特徴と
する。
【００１２】更に、前記蒸着用材料の製造方法におい
て、４００℃以上６００℃以下で行う、減面率１０％以
上の塑性加工を、スエージ、圧延又は伸線加工とするこ
とを特徴とする。
て、４００℃以上６００℃以下で行う、減面率１０％以
上の塑性加工を、スエージ、圧延又は伸線加工とするこ
とを特徴とする。
【００１３】このように、成分的には磁気特性が低下し
ないよう、添加元素のないＣｏ−Ｎｉ合金を用いてい
る。上記の各製造工程について若干の説明を加えると、
溶解鋳造は、大気中でもよいが、磁気特性を劣化させる
材料中の不純物を低減するには、真空溶解鋳造のほうが
適している。
ないよう、添加元素のないＣｏ−Ｎｉ合金を用いてい
る。上記の各製造工程について若干の説明を加えると、
溶解鋳造は、大気中でもよいが、磁気特性を劣化させる
材料中の不純物を低減するには、真空溶解鋳造のほうが
適している。
【００１４】また、熱間鍛造、圧延後に行う塑性加工の
温度限定に関し、４００℃未満では加工中に割れなどが
発生し易く、靱性向上がみられない。逆に、６００℃を
越えると、やはり靱性を向上させることができない。
温度限定に関し、４００℃未満では加工中に割れなどが
発生し易く、靱性向上がみられない。逆に、６００℃を
越えると、やはり靱性を向上させることができない。
【００１５】さらに、この塑性加工における減面率は、
１０％未満では靱性を向上させることができない。ここ
で、塑性加工の加工法は、減面率１０％以上の加工がで
きればどのような方法でもよいが、スエージ、圧延又は
伸線加工が、加工条件の安定性などの点で適している。
１０％未満では靱性を向上させることができない。ここ
で、塑性加工の加工法は、減面率１０％以上の加工がで
きればどのような方法でもよいが、スエージ、圧延又は
伸線加工が、加工条件の安定性などの点で適している。
【００１６】このような、加工を施すと、加工前に比べ
て、引張強度で１．５〜３倍、絞りで２〜５倍の特性向
上がみられる。このため、その後に所定の線径にする線
引き加工や、蒸着に適した表面状態にするシェービング
加工が容易に行える。また、得られた長尺の蒸着用材料
をコイル状に巻き取り、これを順次送り出して蒸着装置
に供給することもできる。
て、引張強度で１．５〜３倍、絞りで２〜５倍の特性向
上がみられる。このため、その後に所定の線径にする線
引き加工や、蒸着に適した表面状態にするシェービング
加工が容易に行える。また、得られた長尺の蒸着用材料
をコイル状に巻き取り、これを順次送り出して蒸着装置
に供給することもできる。
【００１７】
（実施例１）以下、本発明の実施例について説明する。
先ず、大気中で、Ｃｏ８０ｋｇとＮｉ２０ｋｇを溶解，
鋳造した材料を、熱間で鍛造後、約１０φの圧延線材を
製造した。この線材に、１００〜９００℃の温度で、減
面率５，１０，２０％の再圧延加工を施し、加工後の長
尺の蒸着用材料の引張強度及び絞りを調査した。
先ず、大気中で、Ｃｏ８０ｋｇとＮｉ２０ｋｇを溶解，
鋳造した材料を、熱間で鍛造後、約１０φの圧延線材を
製造した。この線材に、１００〜９００℃の温度で、減
面率５，１０，２０％の再圧延加工を施し、加工後の長
尺の蒸着用材料の引張強度及び絞りを調査した。
【００１８】その結果を図１のグラフに示す。図示のよ
うに、４００〜６００℃で、減面率１０％以上の線引き
加工を施したものは、引張強度，絞り共に著しく向上し
ていることがわかる。
うに、４００〜６００℃で、減面率１０％以上の線引き
加工を施したものは、引張強度，絞り共に著しく向上し
ていることがわかる。
【００１９】（実施例２）次に、真空雰囲気で、Ｃｏ８
０ｋｇとＮｉ２０ｋｇを溶解，鋳造し、そのうちの８０
ｋｇからインゴットを製造した。これを、１０００℃に
加熱して鍛造，圧延し、７φの圧延線材を製造した。こ
の圧延線材を、１００〜９００℃の温度で、減面率５，
１０，２０％のスエージ加工を施し、加工後の長尺の蒸
着用材料の引張強度及び絞りを調査した。その結果を表
１及び図２のグラフに示す。
０ｋｇとＮｉ２０ｋｇを溶解，鋳造し、そのうちの８０
ｋｇからインゴットを製造した。これを、１０００℃に
加熱して鍛造，圧延し、７φの圧延線材を製造した。こ
の圧延線材を、１００〜９００℃の温度で、減面率５，
１０，２０％のスエージ加工を施し、加工後の長尺の蒸
着用材料の引張強度及び絞りを調査した。その結果を表
１及び図２のグラフに示す。
【００２０】
【表１】
【００２１】表１及び図２に示すように、４００〜６０
０℃で、１０％以上の線引き加工を施したものは、引張
強度，絞り共に著しく向上していることがわかる。加工
度が大きいほどこれらが向上する傾向が認められ、加工
度８０％でもこれら特性の向上がみられる。又、前記実
施例１の結果と比較すると、真空溶解鋳造した本実施例
のほうが一層優れた値を示していることがわかる。
０℃で、１０％以上の線引き加工を施したものは、引張
強度，絞り共に著しく向上していることがわかる。加工
度が大きいほどこれらが向上する傾向が認められ、加工
度８０％でもこれら特性の向上がみられる。又、前記実
施例１の結果と比較すると、真空溶解鋳造した本実施例
のほうが一層優れた値を示していることがわかる。
【００２２】このように、靱性の向上した材料は、その
後の工程で、目的の線径にする線引き加工や皮剥ぎダイ
スによる引き抜き加工（シェービング）が容易になり、
表面不純物のない長尺線材を得ることが可能になった。
後の工程で、目的の線径にする線引き加工や皮剥ぎダイ
スによる引き抜き加工（シェービング）が容易になり、
表面不純物のない長尺線材を得ることが可能になった。
【００２３】又、上記加工で評価の良かったものを実際
に蒸着装置に供給した。蒸着装置は、図３に示すよう
に、図４に示したものとほぼ同様で、真空チャンバー１
内に、ベースフィルム２の送出軸３及び巻き取り軸４、
蒸着材料５を蓄えるるつぼ６、電子ビームにより蒸着材
料５を加熱、溶融、蒸発させる電子銃７が備えられてい
る。違いは、蒸着材料の補給方法にあり、本例では真空
チャンバー外部より、Ｏリングによる真空シール機構８
を介して、長尺の蒸着材料を供給する。
に蒸着装置に供給した。蒸着装置は、図３に示すよう
に、図４に示したものとほぼ同様で、真空チャンバー１
内に、ベースフィルム２の送出軸３及び巻き取り軸４、
蒸着材料５を蓄えるるつぼ６、電子ビームにより蒸着材
料５を加熱、溶融、蒸発させる電子銃７が備えられてい
る。違いは、蒸着材料の補給方法にあり、本例では真空
チャンバー外部より、Ｏリングによる真空シール機構８
を介して、長尺の蒸着材料を供給する。
【００２４】その結果、供給中に折損などが発生するこ
となく連続供給できることが確認された。尚、比較のた
め１０００℃で圧延した線材も供給を行ってみたが、折
損が多発し、連続供給は困難だった。
となく連続供給できることが確認された。尚、比較のた
め１０００℃で圧延した線材も供給を行ってみたが、折
損が多発し、連続供給は困難だった。
【００２５】（実施例３）さらに、実施例２の７φ圧延
線材に、５００℃で、減面率１５％の塑性加工を施し
た。塑性加工方法は、スエージ，圧延，伸線で、これら
加工後の線材について、引張強度及び絞りを調査した。
その結果を表２に示す。
線材に、５００℃で、減面率１５％の塑性加工を施し
た。塑性加工方法は、スエージ，圧延，伸線で、これら
加工後の線材について、引張強度及び絞りを調査した。
その結果を表２に示す。
【００２６】
【表２】
【００２７】同表に示すように、いずれの加工方法によ
っても、引張強度及び絞りの向上がみられることが確認
された。
っても、引張強度及び絞りの向上がみられることが確認
された。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の製造方法
によれば、極めて靱性の高いＣｏ−Ｎｉ合金の長尺の蒸
着用材料を得ることができる。これにより、その後の伸
線加工、不純物除去のシェービング等が容易になり、表
面不純物の除去が確実にでき、品質の高い蒸着膜を得る
ことができる。また、長尺線材の形で、折損することな
く連続供給することが可能となった。従って、従来問題
となった蒸着条件を安定させ、高品質の蒸着膜形成がで
きると共に、長時間、連続操業することができる。特
に、ＶＴＲ用テープなどの製造分野における有効利用が
期待される。
によれば、極めて靱性の高いＣｏ−Ｎｉ合金の長尺の蒸
着用材料を得ることができる。これにより、その後の伸
線加工、不純物除去のシェービング等が容易になり、表
面不純物の除去が確実にでき、品質の高い蒸着膜を得る
ことができる。また、長尺線材の形で、折損することな
く連続供給することが可能となった。従って、従来問題
となった蒸着条件を安定させ、高品質の蒸着膜形成がで
きると共に、長時間、連続操業することができる。特
に、ＶＴＲ用テープなどの製造分野における有効利用が
期待される。
【図１】大気中における溶解鋳造材を用い、塑性加工し
た蒸着用材料の引張強度及び絞りを示すグラフ。
た蒸着用材料の引張強度及び絞りを示すグラフ。
【図２】真空溶解鋳造材を用い、塑性加工した蒸着用材
料の引張強度及び絞りを示すグラフ。
料の引張強度及び絞りを示すグラフ。
【図３】本発明蒸着材料の補給状態を示す蒸着装置の概
略図である。
略図である。
【図４】ペレットの落下による蒸着材料補給状態を示す
蒸着装置の概略図である。
蒸着装置の概略図である。
１，１１ 真空チャンバー ２，１２ ベースフィルム ３，１３ 送出軸 ４，１４ 巻き取り軸 ５，１５ 蒸着材料 ６，１６ るつぼ ７，１７ 電子銃 ８ シール機構 １９ 供給装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｆ 10/16
Claims (3)
- 【請求項１】 実質的にＣｏが８０ｗｔ％，Ｎｉが２０
ｗｔ％，残部が不可避的不純物のＣｏ−Ｎｉ合金を、溶
解鋳造にて合金塊とし、 これを熱間で鍛造後、圧延にて線材を得て、 この圧延線材に、４００℃以上６００℃以下で、減面率
１０％以上の塑性加工を行うことを特徴とする長尺の蒸
着用材料の製造方法。 - 【請求項２】 実質的にＣｏが８０ｗｔ％，Ｎｉが２０
ｗｔ％，残部が不可避的不純物のＣｏ−Ｎｉ合金を、真
空溶解鋳造にて合金塊とし、 これを熱間で鍛造後、圧延にて線材を得て、 この圧延線材に、４００℃以上６００℃以下で、減面率
１０％以上の塑性加工を行い、 さらに、冷間又は温間による線引き加工及び／又は皮剥
ぎダイスによる引き抜き加工を行うことを特徴とする長
尺の蒸着用材料の製造方法。 - 【請求項３】 ４００℃以上６００℃以下で行う、減面
率１０％以上の塑性加工を、スエージ、圧延又は伸線加
工とすることを特徴とする請求項１又は２記載の長尺の
蒸着用材料の製造方法。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14650392A JPH05311405A (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | 蒸着用材料の製造方法 |
| ES93911971T ES2110094T3 (es) | 1992-05-11 | 1993-05-06 | Material de deposicion en forma de vapor y metodo para la produccion del mismo. |
| DE69315309T DE69315309T2 (de) | 1992-05-11 | 1993-05-06 | Material zur gasphasenabscheidung und herstellungsverfahren |
| PCT/JP1993/000594 WO1993023586A1 (en) | 1992-05-11 | 1993-05-06 | Vapor deposition material and production method thereof |
| EP93911971A EP0603407B1 (en) | 1992-05-11 | 1993-05-06 | Vapor deposition material and production method thereof |
| US08/178,277 US5441010A (en) | 1992-05-11 | 1994-05-06 | Evaporation material and method of preparing the same |
| US08/861,764 US6126760A (en) | 1992-05-11 | 1997-05-22 | Evaporation material |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14650392A JPH05311405A (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | 蒸着用材料の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05311405A true JPH05311405A (ja) | 1993-11-22 |
Family
ID=15409104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14650392A Pending JPH05311405A (ja) | 1992-05-11 | 1992-05-11 | 蒸着用材料の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05311405A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0874040A (ja) * | 1994-09-09 | 1996-03-19 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 蒸着用材料及びその製造方法 |
| JP2007203393A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Nippon Seisen Co Ltd | ソーワイヤー及びその製造方法 |
-
1992
- 1992-05-11 JP JP14650392A patent/JPH05311405A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0874040A (ja) * | 1994-09-09 | 1996-03-19 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 蒸着用材料及びその製造方法 |
| JP2007203393A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Nippon Seisen Co Ltd | ソーワイヤー及びその製造方法 |
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